JP2014049632A - コンベア装置 - Google Patents

Abstract

【課題】コンベア装置１０００において、半導体ウェハＷを乾燥炉１から送り出す炉内ベルトコンベア１０の搬送ベルト１１が大きく蛇行した場合でも、炉内ベルトコンベア１０の搬送ベルト１１上を２列に分かれて搬送されてくる半導体ウェハＷを、これらの半導体ウェハＷと誘い込みガイド１２１ａ〜１２１ｃとの衝突を回避しつつ、後続コンベア部２０の、炉内ベルトコンベア１０上での半導体ウェハＷの各列に対応する後続ベルトコンベア２１ａ及び２１ｂ上に移動させることを可能とする。
【解決手段】コンベア装置１０００において、炉内ベルトコンベア１０の搬送ベルト１１上を２列で搬送されてきた半導体ウェハＷを、各列に対応する後続ベルトコンベア２１ａおよび２１ｂの搬送ベルト２１ａ１及び２１ｂ１上に誘い込む誘い込みガイド１２１ａ〜１２１ｃの向きを、炉内ベルトコンベア１０の搬送ベルト１１の蛇行量に合わせて変更するようにした。
【選択図】図１

Description

本発明は、コンベア装置に関し、特に、被搬送基板を複数のベルトコンベアにより搬送するコンベア装置において、ベルトコンベアの搬送ベルトの蛇行により、このベルトコンベアから送り出された被搬送基板を後続のベルトコンベアに誘い込む誘い込みガイドに被搬送基板が衝突するのを防止する構造に関するものである。

半導体装置の製造工程には、半導体ウェハに拡散層や配線層を形成するための成膜プロセスやパターニングプロセスとともに、半導体ウェハに塗布した溶液や半導体ウェハの洗浄に用いた洗浄液を乾燥させる乾燥プロセスが含まれている。

このような乾燥プロセスでは、乾燥炉内で半導体ウェハを搬送しながら、半導体ウェハに塗布した溶液を乾燥し、乾燥炉から送り出された半導体ウェハを他の処理ステージに搬送するのに、複数のベルトコンベアにより半導体ウェハを搬送するコンベア装置が用いられる。

図１１は、例えば、太陽電池の製造工程で用いられるコンベア装置を説明する図であり、図１１（ａ）は、このコンベア装置における半導体ウェハの搬送方向に沿った断面構造を模式的に示す図、図１１（ｂ）は、コンベア装置における前後のベルトコンベアが隣接する部分の構造を模式的に示す斜視図であり、搬送ベルト（金属ベルト）の蛇行量が大きくなった状態を示している。また、図１２は、このコンベア装置を示す上面図であり、コンベア装置上を半導体ウェハが搬送される様子を示している。

このコンベア装置５００は、被搬送基板として半導体ウェハ（ここでは太陽電池基板）Ｗを複数のベルトコンベアにより搬送するコンベア装置であり、乾燥炉１内にその入口１ａから出口１ｂに渡って設けられ、半導体ウェハ（太陽電池基板）を搬送する第１のベルトコンベア（炉内ベルトコンベア）１０と、乾燥炉１の外側に炉内ベルトコンベア１０の下流側に位置するように設けられた後続コンベア部２０とを有している。この後続コンベア部２０は、炉内ベルトコンベア１０の下流側に設けられ、炉内ベルトコンベア１０から送り出された半導体ウェハＷを受け取る２台の後続ベルトコンベア（第２のベルトコンベア）２１ａ及び２１ｂを有している。また、コンベア装置５００は、炉内ベルトコンベア１０上を２列に分かれて搬送されてくる複数の半導体ウェハＷを、この炉内ベルトコンベア１０上での半導体ウェハＷの各列に対応する後続ベルトコンベア２１ａおよび２１ｂの搬送ベルト２１ａ１及び２１ｂ１上に誘導する基板ガイド機構５０を有している。

ここで、乾燥炉１内の上部には、乾燥用の加熱装置（例えば、加熱ヒータ）２ａ〜２ｃが炉内ベルトコンベア１０の搬送ベルト１１に対向するように半導体ウェハの搬送経路に沿って設けられている。

また、炉内ベルトコンベア１０は、その一端側（搬送始端側）及び他端側（搬送終端側）に設けられた駆動ローラ１２ａ及び１２ｃと、中間部分に配置された従動ローラ１２ｂとを有し、これらのローラ１２ａ〜１２ｃに搬送ベルト１１として金属ベルトが巻きつけられている。この搬送ベルト１１は網状の金属シートから構成されている。また、炉内ベルトコンベア１０の各ローラ１２ａ〜１２ｃは、ベルトコンベア１０のフレーム部分（ローラ支持部材）１１ａ及び１１ｂにより回転可能に支持されている。なお、炉内ベルトコンベア１０の一端側及び他端側のいずれか一方のローラのみを駆動ローラとしてもよい。

また、後続ベルトコンベア２１ａおよび２１ｂは、基本的に炉内ベルトコンベア１０と同一の構成を有している。つまり、後続ベルトコンベア２１ａ及び２１ｂは、そのフレーム部材２５に回転可能に支持された駆動ローラ２２及び従動ローラ（図示せず）を有し、これらのローラには搬送ベルト２１ａ及び２１ｂとして樹脂製ベルトが巻き付けられている。ここでは、２台の後続ベルトコンベア２１ａ及び２１ｂの間のフレーム部材２５は両後続ベルトコンベアで共有している。

また、基板ガイド機構５０は、炉内ベルトコンベア１０上を搬送される半導体ウェハＷの各列に対応するように設けられ、半導体ウェハＷを対応する列の後続ベルトコンベア２１ａおよび２１ｂの搬送ベルト２１ａ１及び２１ｂ１上に誘い込む複数の誘い込みガイド５１を有し、該誘い込みガイド５１は、後続ベルトコンベア２１ａ及び２１ｂのフレーム部材２２ａに固定ピン２２ｂにより取り付けられている。なお、ここでは、この誘い込みガイド５１を取り付けるフレーム部材２２ａは、後続ベルトコンベア２１ａ及び２１ｂの各ローラを支持するフレーム部材２５と異なる部材としているが、これらは同一部材であってもよい。

次に動作について説明する。

例えば、半導体ウェハＷに基板処理用溶液としてスクリーン印刷方式で塗布したマスキングペースト、つまり半導体ウェハにドーパントを熱拡散させる際にドーパントの侵入を阻止する部材を、この乾燥炉１内で乾燥させる場合について説明する。

この場合、マスキングペーストを塗布した半導体ウェハＷを乾燥炉１の入口１ａから乾燥炉１内に入れると、半導体ウェハＷは、炉内ベルトコンベア１０によりその搬送ベルト１１上を、図１１（ｂ）及び図１２に示すように２列に分かれて加熱装置２ａ〜２ｃの下側を移動する。このとき、加熱装置２ａ〜２ｃにより半導体ウェハＷが適宜所定の温度で加熱され、これにより半導体ウェハＷに塗布された溶液（マスキングペースト）が乾燥する。

乾燥炉１の出口１ｂに到達した半導体ウェハＷは、炉内ベルトコンベア１０の搬送ベルト１１上から後続のベルトコンベア２１ａおよび２１ｂの搬送ベルト２１ａ１及び２１ｂ１上に移動する。

このとき、乾燥炉１内では、温度分布は均一ではなく、つまり、加熱装置毎に設定温度が異なっていたり、あるいは乾燥炉１の入口付近や出口付近では搬送経路に沿った温度変化が大きくなっていたりしており、このような乾燥炉内での温度変化が主な原因で炉内ベルトコンベア１０の搬送ベルト（金属ベルト）１１が蛇行することとなる。ただし、搬送ベルトの蛇行量が小さいときは、炉内ベルトコンベア１０と後続コンベア部２０との間の半導体ウェハの受け渡し部には誘い込みガイド５１が設けられているため、炉内ベルトコンベア１０の搬送ベルト１１上の２列の半導体ウェハＷは、後続コンベア部２０の、各列に対応する後続ベルトコンベア２１ａ及び２１ｂの搬送ベルト２１ａ１及び２１ｂ１上に誘い込まれる。つまり、炉内ベルトコンベア１０の搬送ベルト１１上を複数列（ここでは２列）で搬送されてくる各列の半導体ウェハＷは、誘い込みガイド５１の先端には衝突せずに、隣接する誘い込みガイド５１の先端の間を通過し、この誘い込みガイド５１にガイドされて、炉内ベルトコンベア１０の搬送ベルト１１上から、この搬送ベルト１１上での半導体ウェハＷの各列に対応する後続のベルトコンベア２１ａおよび２１ｂの搬送ベルト２１ａ１及び２１ｂ１上に移動することとなる。これにより後続コンベア部２０では、正常に半導体ウェハの搬送が行われることとなる。

なお、特許文献１には、蛇行自体をガイドレールで抑制する搬送装置が示されている。

特開平０８−１６４３６９公報

しかしながら、従来のコンベア装置では、搬送ベルト（金属ベルト）の蛇行量が大きくなると、図１１（ｂ）に示すように、誘い込みガイドの先端に半導体ウェハが衝突し、半導体ウェハが詰まったり、割れたりするという問題がある。

また、特許文献１のように、金属ベルトの蛇行を抑制する方法として、金属ベルト自体を蛇行防止ガイドによって押さえ込むこともできるが、金属ベルト自体と蛇行防止ガイドとの間にある程度の隙間がないと押し合いになり、金属ベルトや蛇行防止ガイドの故障につながるため、ある程度の蛇行は許容する必要がある。このため、金属ベルト自体を蛇行防止ガイドによって押さえ込む構成を用いたとしても、搬送ベルト（金属ベルト）の蛇行により誘い込みガイドの先端に半導体ウェハが衝突するおそれがある。

本発明は、上記のような問題点を解決するためになされたものであり、被搬送基板を送り出すベルトコンベアの搬送ベルトが蛇行しても、この搬送ベルト上を複数の列に分かれて搬送される被搬送基板を各列に対応する後続のベルトコンベアに誘い込む誘い込みガイドの先端に、被搬送基板が衝突するのを回避しつつ、被搬送基板を後続のベルトコンベア上に移動させることができるコンベア装置を得ることを目的とする。

本発明に係るコンベア装置は、被搬送基板を複数のベルトコンベアにより搬送するコンベア装置であって、該複数の被搬送基板を搬送する第１のベルトコンベアと、該第１のベルトコンベアの下流側に設けられ、該第１のベルトコンベアから送り出された該被搬送基板を受け取る複数の第２のベルトコンベアと、該第１のベルトコンベア上を複数の列に分かれて搬送されてくる複数の被搬送基板を、各列に対応する該第２のベルトコンベア上に誘導する基板ガイド機構とを備え、該基板ガイド機構は、該複数の列の各々に対応するように設けられ、各列の被搬送基板を該列に対応する第２のベルトコンベア上に誘い込む、回転可能な複数の誘い込みガイドと、該第１のベルトコンベアの搬送ベルトの蛇行を検出する蛇行検出部とを有し、該蛇行検出部で検出した該搬送ベルトの蛇行の大きさに基づいて、該第１のベルトコンベアから送り出される該被搬送基板が該誘い込みガイドの先端に衝突しないように該誘い込みガイドを回転させるものである。

以上のように、本発明によれば、被搬送基板を送り出すベルトコンベアの搬送ベルトが蛇行しても、この搬送ベルト上を複数の列に分かれて搬送される被搬送基板を各列に対応する後続のベルトコンベアに誘い込む誘い込みガイドの先端に、被搬送基板が衝突するのを回避しつつ、被搬送基板を後続のベルトコンベア上に移動させることができるコンベア装置を実現することができる。

図１は、本発明の実施形態１によるコンベア装置を説明する図であり、図１（ａ）は、このコンベア装置における半導体ウェハの搬送方向に沿った断面構造を模式的に示す図、図１（ｂ）は、このコンベア装置における前後のベルトコンベアが隣接する部分の構造を模式的に示す斜視図である。 図２は、本発明の実施形態１によるコンベア装置を説明する図であり、図２（ａ）は、このコンベア装置を示す上面図であり、図２（ｂ）は、コンベア装置における基板ガイド機構を後続ベルトコンベアの始端側から見た図である。 図３は、本発明の実施形態１によるコンベア装置を説明する図であり、図３（ａ）及び図３（ｂ）は、このコンベア装置における誘い込みガイドに接続された蛇行検出部を示す上面図及び側面図である。 図４は、本発明の実施形態１によるコンベア装置の動作を説明する図であり、炉内ベルトコンベアの搬送ベルトが大きく蛇行した状態を示している。 図５は、本発明の実施形態１の変形例によるコンベア装置を説明する図であり、図５（ａ）は、このコンベア装置を示す上面図であり、図５（ｂ）は、コンベア装置における基板ガイド機構を後続ベルトコンベアの始端側から見た図である。 図６は、本発明の実施形態２によるコンベア装置を説明する図であり、図６（ａ）は、半導体ウェハの搬送方向に沿った断面構造を模式的に示す図、図６（ｂ）は、コンベア装置における前後のベルトコンベアが隣接する部分の構造を模式的に示す斜視図である。 図７は、本発明の実施形態２によるコンベア装置を説明する図であり、図７（ａ）は、このコンベア装置を示す上面図であり、図７（ｂ）は、コンベア装置における基板ガイド機構を後続ベルトコンベアの始端側から見た図である。 図８は、本発明の実施形態２によるコンベア装置を説明する図であり、図８（ａ）及び図８（ｂ）は、このコンベア装置における誘い込みガイドに接続された蛇行検出部を示す上面図及び側面図である。 図９は、本発明の実施形態２によるコンベア装置の動作を説明する図であり、炉内ベルトコンベアの搬送ベルトが大きく蛇行した状態を示している。 図１０は、本発明の実施形態３によるコンベア装置の動作を説明する図であり、図１０（ａ）は、このコンベア装置を示す上面図であり、図１０（ｂ）は、このコンベア装置における基板ガイド機構を後続ベルトコンベアの始端側から見た図、図１０（ｃ）は、このコンベア装置における蛇行検出部の構成を示す図である。 図１１は、太陽電池の製造工程で用いられる従来のコンベア装置を説明する図であり、図１１（ａ）は、このコンベア装置における半導体ウェハの搬送方向に沿った断面構造を模式的に示す図、図１１（ｂ）は、コンベア装置における前後のベルトコンベアが隣接する部分の構造を模式的に示す斜視図である。 図１２は、従来のコンベア装置を示す上面図であり、このコンベア装置上を半導体ウェハが搬送される様子を示している。

まず、本発明の本質的特徴について説明する。

本発明は、被搬送基板を複数のベルトコンベアにより搬送するコンベア装置であって、第１のベルトコンベア上を複数の列に分かれて搬送されてくる複数の被搬送基板を、各列に対応する第２のベルトコンベア上に誘導する基板ガイド機構を備え、この基板ガイド機構を、複数の列の各々に対応するように設けられ、各列の被搬送基板を該列に対応する第２のベルトコンベア上に誘い込む複数の誘い込みガイドと、第１のベルトコンベアの搬送ベルトの蛇行を検出する蛇行検出部とを有し、検出した搬送ベルトの蛇行の大きさに基づいて、第１のベルトコンベアから送り出される被搬送基板が誘い込みガイドの先端に衝突しないように誘い込みガイドを回転させる構成としたことを本質的特徴としている。

このような構成の本発明では、搬送ベルトが大きく蛇行した場合でも、第１のベルトコンベアの搬送ベルト上を複数の列で搬送される半導体ウェハを、この半導体ウェハが誘い込みガイドの先端と衝突するのを回避しつつ各列に対応する第２のベルトコンベア上に誘い込むことができ、これにより第２のベルトコンベアでは、正常に被搬送基板の搬送が行われることとなる。

また、本発明は、上記コンベア装置において、前記蛇行検出部は、前記搬送ベルトの側縁に当接する当接部材と、該当接部材を該搬送ベルトの幅方向に移動可能に支持する支持アームとを有し、該搬送ベルトの蛇行により該当接部材が移動したとき、該支持アームの姿勢変化として該搬送ベルトの蛇行を検出することが好ましい。

本発明は、上記コンベア装置において、前記誘い込みガイドは、前記第１あるいは第２のベルトコンベアのフレーム部材に取り付けられたガイド支軸に、前記第１のベルトコンベアの搬送面と平行な面内で回転可能となるように装着されており、前記支持アームの一端には前記当接部材が固定され、該支持アームの他端は、該誘い込みガイドの、該ガイド支軸より上流側に位置する部分に固定されていることが好ましい。

本発明は、上記コンベア装置において、前記誘い込みガイドは、前記第１あるいは第２のベルトコンベアのフレーム部材に取り付けられたガイド支軸に、前記第１のベルトコンベアの搬送面と平行な面内で回転可能となるように装着されており、前記支持アームは、前記第１あるいは第２のベルトコンベアのフレーム部材に取り付けられたアーム支軸に、前記第１のベルトコンベアの搬送面と平行な面内で回転可能となるように装着されており、前記当接部材は該支持アームの一端に取り付けられており、該支持アームは、その他端が、該誘い込みガイドの、該ガイド支軸より下流側に位置する部分に当接するように配置されていることが好ましい。

本発明は、上記コンベア装置において、前記支持アームは、前記アーム支軸に取り付ける部分を長孔形状とし、該支持アームの一端あるいは他端から該アーム支軸までの距離を調整可能な構成としたものであることが好ましい。

このような構成の本発明においては、支持アームの回転量に対する誘い込みガイドの回転量を調整することができ、その結果、搬送ベルトの蛇行量に対する誘い込みガイドの先端の蛇行方向への移動量を調整することができる。

本発明は、上記コンベア装置において、前記蛇行検出部は、前記第１のベルトコンベアの搬送ベルトの側部に配置され、基準位置に対する該搬送ベルトの側縁の位置のずれを検出する位置センサを有し、該位置センサの出力に基づいて該第１のベルトコンベアの搬送ベルトの蛇行を検出することが好ましい。

このような構成の本発明においては、蛇行検出部の検出出力の大きさに対する誘い込みガイドの回転量を調整することで、搬送ベルトの蛇行量に対する誘い込みガイドの先端の蛇行方向への移動量を調整することができる。

本発明は、上記コンベア装置において、前記当接部材は、前記第１のベルトコンベアの搬送面に対して垂直な回転軸を有する回転ローラと、該回転ローラの回転軸を支持するローラホルダとを有し、該ローラホルダが前記支持アームの一端に固着されていることが好ましい。

本発明は、上記コンベア装置において、前記複数の誘い込みガイドは連動して回転するように連結されていることが好ましい。

本発明は、上記コンベア装置において、前記第１のベルトコンベア上では、前記複数の被搬送基板が２列に分かれて搬送され、該第１のベルトコンベアの下流側には前記第２のベルトコンベアが、該第１のベルトコンベア上での該被搬送基板の各列に対応するように２台並列に設けられており、該第１のベルトコンベア上を２列で搬送される被搬送基板が列毎に別々の該第２のベルトコンベア上に移動することが好ましい。

本発明は、上記コンベア装置において、前記第１のベルトコンベア上では、前記複数の被搬送基板が４列に分かれて搬送され、該第１のベルトコンベアの下流側には前記第２のベルトコンベアが、該第１のベルトコンベア上での該複数の被搬送基板の各列に対応するように４台並列に設けられており、該第１のベルトコンベア上を４列で搬送される被搬送基板が列毎に別々の該第２のベルトコンベア上に移動することが好ましい。

本発明は、上記コンベア装置において、前記第１のベルトコンベア上では、前記複数の被搬送基板が４列に分かれて搬送され、前記第２のベルトコンベア上では、該複数の被搬送基板が２列に分かれて搬送され、該第１のベルトコンベアの下流側には、該第２のベルトコンベアが２台並列に設けられ、該第１のベルトコンベア上の４列のうちの一方側の２列の被搬送基板が、該２台の第２のベルトコンベアの一方で２列に並んで搬送され、該第１のベルトコンベア上の４列のうちの他方側の２列の被搬送基板が、該２台の第２のベルトコンベアの他方で２列に並んで搬送されることが好ましい。

以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。

（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１によるコンベア装置を説明する図であり、図１（ａ）は、このコンベア装置における半導体ウェハの搬送方向に沿った断面構造を模式的に示す図、図１（ｂ）は、このコンベア装置における前後のベルトコンベアが隣接する部分の構造を模式的に示す斜視図である。また、図２（ａ）は、このコンベア装置を示す上面図であり、図２（ｂ）は、コンベア装置における基板ガイド機構を説明する図であり、基板ガイド機構を後続ベルトコンベアの始端側から見た図である。

このコンベア装置１０００は、被搬送基板として半導体ウェハ（ここでは太陽電池基板）Ｗを複数のベルトコンベアにより搬送するコンベア装置であり、乾燥炉１内にその入口１ａから出口１ｂに渡って設けられ、半導体ウェハＷを搬送する炉内ベルトコンベア（第１のベルトコンベア）１０と、これに続く後続コンベア部２０とを有している。後続コンベア部２０は、乾燥炉１の外側に炉内ベルトコンベア１０の下流側に位置するように設けられ、炉内ベルトコンベア１０から送り出された半導体ウェハＷを受け取る複数の後続ベルトコンベア（第２のベルトコンベア）２０と、炉内ベルトコンベア１０上を２列に分かれて搬送されてくる複数の半導体ウェハＷを、各列に対応する後続ベルトコンベア２１ａおよび２１ｂの搬送ベルト２１ａ１及び２１ｂ１上に誘導する基板ガイド機構１００とを有している。

ここで、乾燥炉１は図１１に示すものと同一のものであり、炉内ベルトコンベア１０の搬送ベルト１１に対向するように半導体ウェハＷの搬送経路に沿って設けられている乾燥用の加熱装置（例えば、加熱ヒータ）２ａ〜２ｃを有している。

また、炉内ベルトコンベア１０及び後続ベルトコンベア２１ａおよび２１ｂも、従来のコンベア装置５００におけるものと同一のものであり、炉内ベルトコンベア１０は、駆動ローラ１２ａ、１２ｃ、従動ローラ１２ｂ、及び網状の金属シートからなる搬送ベルト１１を有し、炉内ベルトコンベア１０の各ローラ１２ａ〜１２ｃは、ベルトコンベア１０のフレーム部分（ローラ支持部材）１１ａ及び１１ｂにより回転可能に支持されている。

また、後続ベルトコンベア２１ａおよび２１ｂはそれぞれ、そのフレーム部材２５に回転可能に支持された駆動ローラ２２及び従動ローラ（図示せず）を有し、各後続ベルトコンベア２１ａおよび２１ｂのローラには独立した樹脂製の搬送ベルト２１ａ１及び２１ｂ１が巻きつけられている。

そして、この実施形態１では、上記基板ガイド機構１００は、炉内ベルトコンベア１０の搬送ベルト１１上を複数の列に分かれて搬送される半導体ウェハＷの各列に対応するように設けられ、各列の半導体ウェハＷを各列に対応する後続ベルトコンベアの搬送ベルト２１ａ及び２１ｂ上に誘い込む複数の誘い込みガイド１２１ａ〜１２１ｃを有している。また、この基板ガイド機構１００は、誘い込みガイド１２１ａ〜１２１ｃを回転可能に支持するガイド支軸１２１ｄと、この炉内ベルトコンベア１０の搬送ベルト１１の蛇行を検出する蛇行検出部１１０とを有している。

図３は、この蛇行検出部１１０を説明する図であり、図３（ａ）及び図３（ｂ）は、誘い込みガイド１２１ｃに接続された蛇行検出部１１０を示す上面図及び側面図である。

図３に示すように、蛇行検出部１１０は、炉内ベルトコンベア１０の搬送ベルト１１の側縁に当接する当接部材１１１と、この当接部材１１１を炉内ベルトコンベア１０の搬送ベルト１１１の幅方向に変位可能に支持する支持アーム１１０ａとを有し、炉内ベルトコンベア１０の搬送ベルト１１の蛇行により当接部材１１１が移動したとき、支持アーム１１０ａの姿勢変化として炉内ベルトコンベア１０の搬送ベルト１１の蛇行を検出するように構成されている。つまり、当接部材１１１は、誘い込みガイド１２１ａ及び１２１ｃにおける搬送ベルト１１のエッジ検出端となっている。なお、誘い込みガイド１２１ａに接続された蛇行検出部１１０も、誘い込みガイド１２１ｃに接続された蛇行検出部１１０と同一構成となっている。

具体的には、誘い込みガイド１２１ａ〜１２１ｃは、後続コンベア部２０のフレーム部材２２ａに取り付けられたガイド支軸１２１ｄに、炉内ベルトコンベア１０の搬送面（つまり搬送ベルト１１の上表面）と平行な面内で回転可能となるように装着されており、蛇行検出部１１０を構成する支持アーム１１０ａの一端には当接部材１１１が固定され、支持アーム１１０ａの他端は、両端の誘い込みガイド１２１ｃの、ガイド支軸１２１ｄより搬送方向の上流側に位置する部分に固定されている。なお、ここでは、この誘い込みガイド１２１ａ〜１２１ｃを取り付けるフレーム部材２２ａは、後続ベルトコンベア２１ａ及び２１ｂの各ローラを支持するフレーム部材２５と異なる部材としているが、これらは同一部材であってもよい。

また、当接部材１１１は、図３に示すように、炉内ベルトコンベア１０の搬送ベルト１１の表面に対して垂直な回転軸１１１ａを有する回転ローラ１１１ｃと、回転ローラ１１１ｃの回転軸１１１ａを支持するローラホルダ１１１ｂとを有し、ローラホルダ１１１ｂが支持アーム１１０ａの一端に固着されている。また、３つの誘い込みガイド１２１ａ〜１２１ｃは、連動して回動するように連結ロッド１２２の連結ピン１２２ａに回転自在に連結されている。

次に、動作について説明する。

例えば、半導体ウェハＷにスクリーン印刷方式で塗布したマスキングペーストを乾燥炉１内で乾燥させ、炉内ベルトコンベア１０から送り出された半導体ウェハＷを後続コンベア部２０に受け渡す動作について説明する。

まず、マスキングペーストを塗布した半導体ウェハＷを乾燥炉１の入口１ａから乾燥炉１内に入れる。ここでは、半導体ウェハＷは、炉内ベルトコンベア１０によりその搬送ベルト１１上を、図１（ｂ）及び図２に示すように２列に分かれて加熱装置２ａ〜２ｃの下側を移動するように、炉内ベルトコンベア１０に供給される。このとき、加熱装置２ａ〜２ｃにより半導体ウェハＷが適宜所定の温度で加熱され、これにより半導体ウェハＷに塗布された溶液（マスキングペースト）が乾燥する。

乾燥炉１の出口１ｂに到達した半導体ウェハＷは、炉内ベルトコンベア１０の搬送ベルト１１上から後続コンベア部２０における各後続ベルトコンベア２１ａ及び２１ｂの搬送ベルト２１ａ１及び２１ｂ１上に移動する。

このとき、図２（ａ）に示すように、炉内ベルトコンベア１０の搬送ベルト（金属ベルト）１１の蛇行が発生していなければ、炉内ベルトコンベア１０の搬送ベルト１１上を２列に並んで搬送されてきた半導体ウェハは、炉内ベルトコンベア１０の搬送ベルト１１上から、それぞれの列に対応する後続ベルトコンベア２１ａおよび２１ｂの搬送ベルト２１ａ１および２１ｂ１上に移動することとなる。

また、通常、蛇行検出部１１０の当接ローラ１１１ｃと炉内ベルトコンベア１０の搬送ベルト１１との間には所定の隙間を設けているので、この搬送ベルト１１の蛇行がこの隙間の範囲内の蛇行である場合は、誘い込みガイド１２１ａ〜１２１ｃは回転しない。ただし、この場合は、半導体ウェハＷの位置ずれが小さいので、炉内ベルトコンベア１０上の搬送ベルト１１の各列の半導体ウェハＷは定位置の誘い込みガイド１２１ａ〜１２１ｃによりガイドされて、各列に対応する後続ベルトコンベア２１ａおよび２１ｂの搬送ベルト２１ａ１および２１ｂ１上に移動する。

一方、図４に示すように、この搬送ベルト１１が大きく蛇行した場合は、蛇行検出部１１０の当接部材１１１（紙面右側のもの）が搬送ベルト１１の側縁に押され、支持アーム１１０ａの姿勢変化に伴って誘い込みガイド１２１ｃが右回転する。このとき、誘い込みガイド１２１ｃに連結ロッド１２２によりつながっている他の誘い込みガイド１２１ａ及び１２１ｂも連動して右回転する。この搬送ベルト１１が図４に示す蛇行方向とは逆方向に蛇行した場合は、蛇行検出部１１０の当接部材１１１（紙面左側のもの）が搬送ベルト１１の側縁に押され、支持アーム１１０ａの姿勢変化に伴って誘い込みガイド１２１ａが左回転する。このとき、誘い込みガイド１２１ａに連結ロッド１２２によりつながっている他の誘い込みガイド１２１ｂ及び１２１ｃも連動して左回転する。

これにより誘い込みガイド１２１ａ〜１２１ｃの先端が搬送ベルト１１の蛇行した方向にずれることとなり、蛇行した搬送ベルト１１上を搬送されてくる半導体ウェハＷが、誘い込みガイドの先端と衝突するのを回避しつつ、炉内ベルトコンベア１０の搬送ベルト１１を２列で搬送される半導体ウェハＷを、この搬送ベルト１１上から各列に対応する後続ベルトコンベア２１ａ及び２１ｂの搬送ベルト２１ａ１及び２１ｂ１上に移動させることができる。

このように、本実施形態１では、炉内ベルトコンベア１０の搬送ベルト１１上を２列で搬送されてきた半導体ウェハを、各列に対応する後続ベルトコンベア２１ａ及び２１ｂの搬送ベルト２１ａ１及び２１ｂ１上に誘い込む誘い込みガイド１２１ａ〜１２１ｃの向きを、炉内ベルトコンベア１０の搬送ベルト１１の蛇行量に合わせて変更するようにしたので、この搬送ベルト１１が大きく蛇行した場合でも、炉内ベルトコンベア１０の搬送ベルト１１上を２列で搬送される半導体ウェハＷを、これらの半導体ウェハＷが誘い込みガイドの先端と衝突するのを回避しつつ、各列に対応する後続ベルトコンベア２１ａ及び２１ｂの搬送ベルト２１ａ１及び２１ｂ１上に誘い込むことができ、これにより後続ベルトコンベア２０では、正常に半導体ウェハの搬送が行われることとなる。

なお、上記実施形態１では、コンベア装置として、炉内ベルトコンベア上では、複数の半導体ウェハが２列に分かれて搬送され、この炉内ベルトコンベアの下流側の後続コンベア部２０では、後続ベルトコンベア２１ａ及び２１ｂが、炉内ベルトコンベア１０上での半導体ウェハの各列に対応するように２台並列に設けられているものを示したが、コンベア装置はこれに限定されるものではない。

（実施形態１の変形例）
図５は、本発明の実施形態１の変形例によるコンベア装置を説明する図であり、図５（ａ）は、このコンベア装置を示す上面図であり、図５（ｂ）は、コンベア装置における基板ガイド機構を後続ベルトコンベアの始端側から見た図である。

このコンベア装置１０００ａでは、炉内ベルトコンベア１０ａ上を複数の半導体ウェハが４列に分かれて搬送され、この炉内ベルトコンベア１０ａの下流側の後続コンベア部２０ａには、後続ベルトコンベア２３ａ〜２３ｄが、炉内ベルトコンベア１０ａ上での半導体ウェハの各列に対応するように４台並列に設けられている。なお、図５では図示していないが、炉内ベルトコンベア１０ａは、実施形態１の炉内ベルトコンベア１０と同様に乾燥炉１（図１参照）内に配置されており、後続コンベア部２０ａにおける後続ベルトコンベア２３ａ〜２３ｄは、乾燥炉の外側に配置されている。

具体的に説明すると、このコンベア装置１０００ａは、実施形態１のコンベア装置１００００と同様、被搬送基板として半導体ウェハ（太陽電池基板）Ｗを複数のベルトコンベアにより搬送するコンベア装置である。

この実施形態１の変形例によるコンベア装置１０００ａは、複数の半導体ウェハＷが４列で搬送されるように構成された炉内ベルトコンベア１０ａと、これに続く後続コンベア部２０ａとを有している。後続コンベア部２０ａは、乾燥炉１の外側に炉内ベルトコンベア１０ａの下流側に位置するように設けられ、炉内ベルトコンベア１０ａから送り出された半導体ウェハＷを受け取る４台の後続ベルトコンベア（第２のベルトコンベア）２３ａ〜２３ｄと、炉内ベルトコンベア１０ａ上を４列に分かれて搬送されてくる複数の半導体ウェハＷを、各列に対応する後続ベルトコンベア２３ａ〜２３ｄの搬送ベルト２３ａ１〜２３ｄ１上に誘導する基板ガイド機構１００ａとを有している。

また、炉内ベルトコンベア１０ａは、実施形態１の炉内ベルトコンベア１０と同様に、駆動ローラ１４ａ、１４ｃ、従動ローラ１４ｂ、及び網状の金属シートからなる搬送ベルト１３を有し、炉内ベルトコンベア１０ａの各ローラ１４ａ〜１４ｃは、炉内ベルトコンベア１０ａのフレーム部分（ローラ支持部材）１３ａ及び１３ｂにより回転可能に支持されている。

また、後続コンベア部２０ａにおける後続ベルトコンベア２３ａは、後続コンベア部２０ａのフレーム部材２７に回転可能に支持された駆動ローラ２４及び従動ローラ（図示せず）を有し、これらのローラには搬送ベルト２３ａ１が巻きつけられている。また、後続ベルトコンベア２３ｂ〜２３ｄも、後続ベルトコンベア２３ａと同じ構造となっている。

さらに、この実施形態１の変形例では、基板ガイド機構１００ａは、炉内ベルトコンベア１０ａの搬送ベルト１３上を４列で搬送される半導体ウェハＷの各列に対応するように設けられ、半導体ウェハＷをその各列に対応する後続ベルトコンベア２３ａ〜２３ｄの搬送ベルト２３ａ１〜２３ｄ１上に誘い込む複数の誘い込みガイド１３１ａ〜１３１ｅを有している。また、この基板ガイド機構１００ａは、誘い込みガイド１３１ａ〜１３１ｅを回動可能に支持するガイド支軸１３１ｆと、炉内ベルトコンベア１０ａの搬送ベルト１３の蛇行を検出する蛇行検出部１１０とを有している。この蛇行検出部１１０は、図３に示す実施形態１におけるものと同一である。

また、ここでは、誘い込みガイド１３１ａ〜１３１ｅは、後続コンベア部２０ａのフレーム部材２７に取り付けられたガイド支軸１３１ｆに、炉内ベルトコンベア１０ａの搬送面と平行な面内で回転可能となるように装着されており、搬送ベルト１３の両側の支持アーム１１０ａの一端には当接部材１１１が固定され、これらの支持アーム１１０ａの他端は、両端の誘い込みガイド１３１ａ及び１３１ｅの、ガイド支軸１３１ｆより搬送方向の上流側に位置する部分に固定されている。また、５つの誘い込みガイド１３１ａ〜１３１ｅは、連動して回動するように連結ロッド１３２の連結ピン１３２ａに回動自在に連結されている。

このような構成の実施形態１の変形例によるコンベア装置１０００ａにおいても、実施形態１のコンベア装置１０００と同様、炉内ベルトコンベア１０ａの搬送ベルト１３が大きく蛇行した場合でも、炉内ベルトコンベア１０の搬送ベルト１１上を４列で搬送される半導体ウェハＷが、誘い込みガイド１３１ａ〜１３１ｅの先端と衝突するのを回避しつつ、各列に対応する後続ベルトコンベア２３ａ〜２３ｄの搬送ベルト２３ａ１〜２３ｄ１上に誘い込むことができ、これにより後続コンベア部２０ａでは、正常に半導体ウェハの搬送が行われることとなるという効果が得られる。

なお、上記実施形態１の変形例では、コンベア装置１０００ａとして、炉内ベルトコンベア１０ａ上を４列に分かれて搬送されてくる複数の半導体ウェハＷを、後続コンベア部２０ａにおける、炉内ベルトコンベア１０ａ上での半導体ウェハＷの各列に対応する４台のベルトコンベア２３ａ〜２３ｄで受け取るものを示したが、後続コンベア部２０ａでは、炉内ベルトコンベア１０ａ上を４列に分かれて搬送されてくる複数の半導体ウェハＷを、半導体ウェハＷの２列分に相当する幅の搬送ベルトを有する、並列に配置した２台の後続ベルトコンベアで受け取るようにしてもよい。この場合も、誘い込みガイドは、炉内ベルトコンベア１０ａ上を４列に分かれて搬送されてくる複数の半導体ウェハＷの一方側の２列の半導体ウェハを、２台の後続ベルトコンベアの一方側で受け取り、炉内ベルトコンベア１０ａ上を４列に分かれて搬送されてくる複数の半導体ウェハＷの他方側の２列の半導体ウェハを、２台の後続ベルトコンベアの他方側で受け取るために、実施形態１の変形例と同様、基板ガイド機構１００ａでは、５つの誘い込みガイド１３１ａ〜１３１ｅを設けることが望ましい。

（実施形態２）
図６は、本発明の実施形態２によるコンベア装置を説明する図であり、図６（ａ）は、このコンベア装置における半導体ウェハの搬送方向に沿った断面構造を模式的に示す図、図６（ｂ）は、このコンベア装置における前後のベルトコンベアが隣接する部分の構造を模式的に示す斜視図である。図７（ａ）は、このコンベア装置を示す上面図であり、図７（ｂ）は、このコンベア装置における基板ガイド機構を後続ベルトコンベアの始端側から見た図である。

この実施形態２によるコンベア装置２０００は、実施形態１によるコンベア装置１０００における基板ガイド機構１００に代わる基板ガイド機構２００を備えたものであり、その他の構成は、実施形態１におけるものと同一である。

つまり、この実施形態２によるコンベア装置２０００は、複数の半導体ウェハＷが２列で搬送されるように構成された炉内ベルトコンベア１０と、これに続く後続コンベア部２０とを有している。後続コンベア部２０は、乾燥炉１の外側に炉内ベルトコンベア１０の下流側に位置するように設けられ、炉内ベルトコンベア１０から送り出された半導体ウェハＷを受け取る２台の後続ベルトコンベア（第２のベルトコンベア）２１ａ及び２１ｂと、炉内ベルトコンベア１０上を２列に分かれて搬送されてくる複数の半導体ウェハＷを、各列に対応する後続ベルトコンベア２１ａ及び２１ｂの搬送ベルト２１ａ１及び２１ｂ１上に誘導する基板ガイド機構２００とを有している。ここで、炉内ベルトコンベア１０、及び後続コンベア部２０における後続ベルトコンベア２１ａおよび２１ｂは、実施形態１におけるものと同一のものである。

そして、この実施形態２のコンベア装置２０００では、基板ガイド機構２００は、炉内ベルトコンベア１０の搬送ベルト１１上を２列で搬送される半導体ウェハＷの各列に対応するように設けられ、半導体ウェハＷをその各列に対応する後続ベルトコンベア２１ａ及び２１ｂの搬送ベルト２１ａ１及び２１ｂ１上に誘い込む複数の誘い込みガイド１２１ａ〜１２１ｃを有している。また、この基板ガイド機構２００は、誘い込みガイド１２１ａ〜１２１ｃを回転可能に支持するガイド支軸１２１ｄと、炉内ベルトコンベア１０の搬送ベルト１１の蛇行を検出する蛇行検出部２１０とを有している。

図８は、この蛇行検出部２１０を説明する図であり、図８（ａ）及び図８（ｂ）は、誘い込みガイド１２１ｃに係合する蛇行検出部２１０を示す上面図及び側面図である。

図８に示すように、蛇行検出部２１０は、炉内ベルトコンベア１０の搬送ベルト１１の側縁に当接する当接部材２１１と、この当接部材２１１を炉内ベルトコンベア１０の搬送ベルト１１１の幅方向に変位可能に支持する支持アーム２１０ａとを有している。この支持アーム２１０ａは、炉内ベルトコンベア１０のフレーム部材１６に固着されたアーム軸２１３に回転可能に装着されている。なお、アーム軸２１３は、後続コンベア部２０のフレーム部材に固着されたものでもよい。また、蛇行検出部２１０は、炉内ベルトコンベア１０の搬送ベルト１１１の蛇行により当接部材２１１が移動したとき、支持アーム２１０ａの回転移動として炉内ベルトコンベア１０の搬送ベルト１１の蛇行を検出するように構成されている。つまり、当接部材２１１は、誘い込みガイド１２１ａ及び１２１ｃにおける搬送ベルト１１のエッジ検出端となっている。

具体的には、誘い込みガイド１２１ａ〜１２１ｃは、後続コンベア部２０のフレーム部材２２ａに取り付けられたガイド支軸１２１ｄに、炉内ベルトコンベア１０の搬送面と平行な面内で回転可能となるように装着されており、支持アーム２１０ａは、その一端には当接部材２１１が固定され、その他端が、両端の誘い込みガイド１２１ｃの、ガイド支軸１２１ｄより搬送方向の下流側に位置する部分に当接するように構成されている。なお、ここでは、この誘い込みガイド１２１ａ〜１２１ｃを取り付けるフレーム部材２２ａは、後続ベルトコンベア２１ａ及び２１ｂの各ローラを支持するフレーム部材２５と異なる部材としているが、これらは同一部材であってもよい。

また、当接部材２１１は、炉内ベルトコンベア１０の搬送ベルト１１の表面に対して垂直な回転軸２１１ａを有する回転ローラ２１１ｃと、回転ローラ２１１ｃの回転軸２１１ａを支持するローラホルダ２１１ｂとを有し、ローラホルダ２１１ｂが支持アーム２１０ａの一端に固着されている。また、３つの誘い込みガイド１２１ａ〜１２１ｃは、連動して回動するように連結ロッド１２２の連結ピン１２２ａに回動自在に連結されている。

次に、動作について説明する。

この実施形態２のコンベア装置２０００においても、半導体ウェハＷにスクリーン印刷方式で塗布したマスキングペーストを乾燥炉１内で乾燥させ、炉内ベルトコンベア１０から送り出された半導体ウェハＷを後続コンベア部２０の後続ベルトコンベア２１ａ及び２１ｂに受け渡す動作は、実施形態１のコンベア装置と同様であるので、ここでは、基板ガイド機構２００の動作についてのみ説明する。

この実施形態２のコンベア装置２０００においても、当接ローラ２１１ｃと炉内ベルトコンベア１０の搬送ベルト１１との間には所定の隙間を設けているので、この搬送ベルト１１の蛇行がこの隙間の範囲内の蛇行である場合は、誘い込みガイド１２１ａ〜１２１ｃは回転しない。ただし、この場合は、半導体ウェハＷの位置ずれが小さいので、炉内ベルトコンベア１０上の搬送ベルト１１の各列の半導体ウェハＷは定位置の誘い込みガイド１２１ａ〜１２１ｃによりガイドされて、各列に対応する後続ベルトコンベア２１ａおよび２１ｂの搬送ベルト２１ａ１および２１ｂ１上に移動する。

一方、図９に示すように、この搬送ベルト１１が大きく蛇行した場合は、蛇行検出部２１０の当接部材２１１（紙面右側のもの）が搬送ベルト１１の側縁に押され、支持アーム２１０ａの回転に伴って、誘い込みガイド１２１ｃが支持アーム２１０ａの他端に押されて右回転し、このとき、誘い込みガイド１２１ｃに連結ロッド１２２によりつながっている他の誘い込みガイド１２１ａ及び１２１ｂも連動して右回転する。この搬送ベルト１１が図９に示す蛇行方向とは逆方向に蛇行した場合は、蛇行検出部２１０の当接部材２１１（紙面左側のもの）が搬送ベルト１１の側縁に押され、支持アーム２１０ａの回転に伴って、誘い込みガイド１２１ａが支持アーム２１０ａの他端に押されて左回転し、このとき、誘い込みガイド１２１ａに連結ロッド１２２によりつながっている他の誘い込みガイド１２１ｂ及び１２１ｃも連動して左回転する。

これにより誘い込みガイド１２１ａ〜１２１ｃの先端が搬送ベルト１１の蛇行した方向にずれることとなり、蛇行した搬送ベルト１１上を搬送されてくる半導体ウェハＷが、誘い込みガイドの先端と衝突するのを回避しつつ、炉内ベルトコンベア１０の搬送ベルト上を２列で搬送される半導体ウェハＷを、この搬送ベルト１１上から各列に対応する後続ベルトコンベア２１ａおよび２１ｂの搬送ベルト２１ａ１及び２１ｂ１上に移動させることができる。

このように、本実施形態２では、炉内ベルトコンベア１０の搬送ベルト１１上を２列で搬送されてきた半導体ウェハＷを、各列に対応する後続ベルトコンベア２１ａおよび２１ｂの搬送ベルト２１ａ１及び２１ｂ１上に誘い込む誘い込みガイド１２１ａ〜１２１ｃの向きを、該炉内ベルトコンベア１０の搬送ベルト１１の蛇行量に合わせて変更するようにしたので、この搬送ベルト１１が大きく蛇行した場合でも、炉内ベルトコンベア１０の搬送ベルト１１上を２列で搬送される半導体ウェハＷを、これらの半導体ウェハＷが誘い込みガイドの先端と衝突するのを回避しつつ、各列に対応する後続ベルトコンベア２１ａおよび２１ｂの搬送ベルト２１ａ１及び２１ｂ１上に誘い込むことができ、これにより後続コンベア部２０では、正常に半導体ウェハの搬送が行われることとなる。

また、この実施形態２のコンベア装置２０００では、炉内ベルトコンベアのフレーム部材１６に取り付けられているアーム支軸２１３を、該フレーム部材１６上で搬送ベルトの側縁に沿った方向に移動可能とすることで、支持アーム２１０ａの回転量に対する誘い込みガイド１２１ａ〜１２１ｃの回転量を調整することができ、その結果、搬送ベルトの蛇行量に対する誘い込みガイドの先端の蛇行方向への移動量を調整することができる。

また、支持アーム２１０ａの、アーム支軸２１３を取り付ける部分を長孔形状とし、支持アーム２１０ａの一端あるいは他端からアーム支軸２１３までの距離を、支持アーム２１０ａの長孔内でのアーム支軸２１３の位置を調整して変えることにより、上記と同様に、搬送ベルトの蛇行量に対する誘い込みガイドの先端の蛇行方向への移動量を調整することができる。

（実施形態３）
図１０は、本発明の実施形態３によるコンベア装置を説明する図であり、図１０（ａ）は、このコンベア装置を示す上面図であり、図１０（ｂ）は、コンベア装置における基板ガイド機構を後続ベルトコンベアの始端側から見た図、図１０（ｃ）は、このコンベア装置における蛇行検出部の構成を示す図である。

この実施形態３のコンベア装置３０００は、実施形態１のコンベア装置１０００における、炉内ベルトコンベア１０の搬送ベルト１１の蛇行を機械的に検出する蛇行検出部１１０に代えて、炉内ベルトコンベア１０の終端近傍に配置され、その搬送ベルト１１の蛇行を電気的に検出する蛇行検出部３１０を備え、この蛇行検出部３１０の検出出力に基づいて、誘い込みガイド１２１ａ〜１２１ｃを回動可能に連結する連結ロッド１２２を移動させるアクチュエータ３２０を備えたものであり、その他の構成は実施形態１のコンベア装置１０００におけるものと同一である。

ここで、蛇行検出部３１０は、炉内ベルトコンベア１０の搬送ベルト１１の側部エッジの両側に跨るようにその上側に配置され、発光ダイオード３１１ａを搬送ベルト１１の幅方向に直線状に配列してなるライン発光素子３１１と、このライン発光素子３１１に対向するようにこの搬送ベルト１１の下側に配置され、フォトダイオード３１２ａを搬送ベルト１１の幅方向に直線状に配列してなるライン受光素子３１２とを有する位置センサである。

このような構成のコンベア装置３０００では、蛇行検出部３１０は、発光ダイオード３１１ａからの光を検知するフォトダイオード３１２ａのうちで、最も搬送ベルト１１に近いものの位置を、搬送ベルト１１のエッジの位置として検出し、アクチュエータ３２０は、この検出位置と基準位置との差分に応じて、誘い込みガイド１２１ａ〜１２１ｃの先端が搬送ベルト１１の蛇行した方向に蛇行した距離だけ移動するように連結ロッド１２２を駆動させるようになっている。

このような構成の実施形態３のコンベア装置３０００においても、実施形態１のコンベア装置１０００と同様、炉内ベルトコンベア１０の搬送ベルト１１が大きく蛇行した場合でも、炉内ベルトコンベア１０の搬送ベルト１１上を２列で搬送される半導体ウェハＷを、これらの半導体ウェハＷと誘い込みガイド１２１ａ〜１２１ｃの先端との衝突を回避しつつ、各列に対応する後続ベルトコンベア２１ａ及び２１ｂの搬送ベルト２１ａ１及び２１ｂ１上に誘い込むことができ、これにより後続コンベア部２０では、正常に半導体ウェハの搬送が行われることとなるという効果が得られる。

また、この実施形態３のコンベア装置３０００では、蛇行検出部３１０の検出出力に基づいて、アクチュエータ３２０により、誘い込みガイド１２１ａ〜１２１ｃを回動可能に連結する連結ロッド１２２を移動させるので、蛇行検出部３１０の検出出力の大きさに対する連結ロッドの移動量を調整することで、上記と同様に、搬送ベルトの蛇行量に対する誘い込みガイドの先端の蛇行方向への移動量を調整することができる。

以上のように、本発明の好ましい実施形態を用いて本発明を例示してきたが、本発明は、この実施形態に限定して解釈されるべきものではない。本発明は、特許請求の範囲によってのみその範囲が解釈されるべきであることが理解される。当業者は、本発明の具体的な好ましい実施形態の記載から、本発明の記載および技術常識に基づいて等価な範囲を実施することができることが理解される。本明細書において引用した特許、特許出願および文献は、その内容自体が具体的に本明細書に記載されているのと同様にその内容が本明細書に対する参考として援用されるべきであることが理解される。

本発明は、コンベア装置の分野において、被搬送基板を送り出すベルトコンベアの搬送ベルトが蛇行しても、この搬送ベルト上を複数の列に分かれて搬送される被搬送基板を各列に対応する後続のベルトコンベアに誘い込む誘い込みガイドの先端に被搬送基板が衝突するのを回避しつつ、被搬送基板を後続のベルトコンベア上に移動させることができるコンベア装置を実現することができる。

１ 乾燥炉
１ａ 入口
１ｂ 出口
２ａ〜２ｃ 加熱装置（加熱ヒータ）
１０ 炉内ベルトコンベア（第１のベルトコンベア）
１１、２１ａ１、２１ｂ１，２３ａ１〜２３ｄ１ 搬送ベルト
１１ａ、１１ｂ、１３ａ、１３ｂ、２２ａ、２５、２７ フレーム部材
１２ａ、１２ｃ、１４ａ、１４ｃ、２４ 駆動ローラ
１２ｃ、１４ｂ 従動ローラ
２０ 後続コンベア部
２１ａ、２１ｂ，２３ａ〜２３ｄ 後続ベルトコンベア（第２のベルトコンベア）
１００、２００ 基板ガイド機構
１１０、２１０、３１０ 蛇行検出部
１１０ａ、２１０ａ 支持アーム
１１１、２１１ 当接部材
１１１ａ、２１１ａ 回転軸
１１１ｂ、２１１ｂ ローラホルダ
１１１ｃ、２１１ｃ 回転ローラ
１２１ａ〜１２１ｃ、１３１ａ〜１３１ｅ 誘い込みガイド
１２１ｄ、１３１ｆ ガイド支軸
１２２ 連結ロッド
１２２ａ 連結ピン
３２０ アクチュエータ
１０００、１０００ａ、２０００、３０００ コンベア装置
Ｗ 半導体ウェハ（被搬送基板）

Claims (11)

1. 被搬送基板を複数のベルトコンベアにより搬送するコンベア装置であって、
   該複数の被搬送基板を搬送する第１のベルトコンベアと、
   該第１のベルトコンベアの下流側に設けられ、該第１のベルトコンベアから送り出された該被搬送基板を受け取る複数の第２のベルトコンベアと、
   該第１のベルトコンベア上を複数の列に分かれて搬送されてくる複数の被搬送基板を、各列に対応する該第２のベルトコンベア上に誘導する基板ガイド機構と
   を備え、
   該基板ガイド機構は、
   該複数の列の各々に対応するように設けられ、各列の被搬送基板を該列に対応する第２のベルトコンベア上に誘い込む、回転可能な複数の誘い込みガイドと、
   該第１のベルトコンベアの搬送ベルトの蛇行を検出する蛇行検出部と
   を有し、
   該蛇行検出部で検出した該搬送ベルトの蛇行の大きさに基づいて、該第１のベルトコンベアから送り出される該被搬送基板が該誘い込みガイドの先端に衝突しないように該誘い込みガイドを回転させる、コンベア装置。
2. 前記蛇行検出部は、
   前記搬送ベルトの側縁に当接する当接部材と、
   該当接部材を該搬送ベルトの幅方向に移動可能に支持する支持アームと
   を有し、
   該搬送ベルトの蛇行により該当接部材が移動したとき、該支持アームの姿勢変化として該搬送ベルトの蛇行を検出する、請求項１に記載のコンベア装置。
3. 前記誘い込みガイドは、前記第１あるいは第２のベルトコンベアのフレーム部材に取り付けられたガイド支軸に、前記第１のベルトコンベアの搬送面と平行な面内で回転可能となるように装着されており、
   前記支持アームの一端には前記当接部材が固定され、
   該支持アームの他端は、該誘い込みガイドの、該ガイド支軸より上流側に位置する部分に固定されている、請求項２に記載のコンベア装置。
4. 前記誘い込みガイドは、前記第１あるいは第２のベルトコンベアのフレーム部材に取り付けられたガイド支軸に、前記第１のベルトコンベアの搬送面と平行な面内で回転可能となるように装着されており、
   前記支持アームは、前記第１あるいは第２のベルトコンベアのフレーム部材に取り付けられたアーム支軸に、前記第１のベルトコンベアの搬送面と平行な面内で回転可能となるように装着されており、
   前記当接部材は該支持アームの一端に取り付けられており、
   該支持アームは、その他端が、該誘い込みガイドの、該ガイド支軸より下流側に位置する部分に当接するように配置されている、請求項２に記載のコンベア装置。
5. 前記支持アームは、前記アーム支軸に取り付ける部分を長孔形状とし、該支持アームの一端あるいは他端から該アーム支軸までの距離を調整可能な構成としたものである、請求項４に記載のコンベア装置。
6. 前記蛇行検出部は、
   前記第１のベルトコンベアの搬送ベルトの側部に配置され、基準位置に対する該搬送ベルトの側縁の位置のずれを検出する位置センサを有し、
   該位置センサの出力に基づいて該第１のベルトコンベアの搬送ベルトの蛇行を検出する、
   請求項１に記載のコンベア装置。
7. 前記当接部材は、
   前記第１のベルトコンベアの搬送面に対して垂直な回転軸を有する回転ローラと、
   該回転ローラの回転軸を支持するローラホルダと
   を有し、
   該ローラホルダが前記支持アームの一端に固着されている、請求項３から請求項５のいずれか１項に記載のコンベア装置。
8. 前記複数の誘い込みガイドは連動して回転するように連結されている、請求項１から請求項７のいずれか１項に記載のコンベア装置。
9. 前記第１のベルトコンベア上では、前記複数の被搬送基板が２列に分かれて搬送され、
   該第１のベルトコンベアの下流側には前記第２のベルトコンベアが、該第１のベルトコンベア上での該被搬送基板の各列に対応するように２台並列に設けられており、
   該第１のベルトコンベア上を２列で搬送される被搬送基板が列毎に別々の該第２のベルトコンベア上に移動する、請求項１に記載のコンベア装置。
10. 前記第１のベルトコンベア上では、前記複数の被搬送基板が４列に分かれて搬送され、
    該第１のベルトコンベアの下流側には前記第２のベルトコンベアが、該第１のベルトコンベア上での該複数の被搬送基板の各列に対応するように４台並列に設けられており、
    該第１のベルトコンベア上を４列で搬送される被搬送基板が列毎に別々の該第２のベルトコンベア上に移動する、請求項１に記載のコンベア装置。
11. 前記第１のベルトコンベア上では、前記複数の被搬送基板が４列に分かれて搬送され、
    前記第２のベルトコンベア上では、該複数の被搬送基板が２列に分かれて搬送され、
    該第１のベルトコンベアの下流側には、該第２のベルトコンベアが２台並列に設けられ、
    該第１のベルトコンベア上の４列のうちの一方側の２列の被搬送基板が、該２台の第２のベルトコンベアの一方で２列に並んで搬送され、
    該第１のベルトコンベア上の４列のうちの他方側の２列の被搬送基板が、該２台の第２のベルトコンベアの他方で２列に並んで搬送される、請求項１に記載のコンベア装置。