JP2014048529A - ラマン顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】励起光2を出射する光源1と、励起光2を試料15に照射する光学系と、試料15で発生したラマン散乱光を検出する検出器12とを備えたラマン顕微鏡であって、光学系は、光反射面4cを有し励起光2の向きを可変に変更するガルバノミラー4bと、対物レンズ5とを有しており、対物レンズ5のビームスポット16で発生する光により対物レンズ5の後側に形成される光束は、少なくとも一部の光束18は反射素子の光反射面に入射し、他の一部の光束17はガルバノミラー4bの光反射面4cに入射しないラマン顕微鏡を構成する。
【選択図】図2
Description
前記光学系は、光反射面を有し前記励起光の向きを可変に変更する反射素子と、対物レンズとを有しており、前記対物レンズの前側焦点で発生する光により前記対物レンズの後側に形成される光束は、少なくとも一部は前記反射素子の光反射面に入射し、前記光束の他の一部は前記反射素子の光反射面に入射しないものである。
このような構成により、対物レンズの開口数を最大限に活かしたビーム走査が可能となり、試料の広い視野のラマン分光像を得ることができる。
(1)ガルバノミラー4bの設置位置
図4は、図3の一部拡大図であり、ガルバノミラー4bの好ましい設置位置を説明するものである。図4では、光線の屈折を理解しやすくするために、対物レンズ5は1枚のレンズで示している。図4に示すように、ガルバノミラー4bの光反射面4cと対物レンズ5の光軸との交点を、対物レンズ5の後側焦点21から、対物レンズ5から離れる方向に距離0.2F(F:対物レンズの後側焦点距離)離れた位置(遠点22)よりも対物レンズ5に近い側におくことが好ましい。対物レンズ5の筐体に蹴られることなく、励起光2を走査できる範囲を広げるという観点、或いは、試料15からの光束を検出器12に導くという観点から、ガルバノミラー4bは、できるだけ対物レンズ5に近い位置に置くことが好ましいからである。
図5は、図2の一部拡大図であり、対物レンズ5付近の光路を示すものである。
対物レンズ5に入射する励起光2のビーム径の大きさDiは、対物レンズ5の前側焦点で発生する光により対物レンズ5の後側に形成される光束であって反射素子であるガルバノミラー4bの光反射面4cに入射する光束18の径の大きさDdの70%以下であることが好ましい。より好ましくは60%以下、さらに好ましくは50%以下、いっそう好ましくは40%以下である。以下、励起光2のビーム径の大きさDiを、光束18の径の大きさDdよりも小さくすることが望ましい理由について詳しく説明する。
(3−1)反射素子が複数ある場合
図2を用いて説明したように、反射素子が複数ある場合は、対物レンズ5の前側焦点で発生する光により対物レンズ5の後側に形成される光束17は、対物レンズ5に最も近いガルバノミラー4bによって蹴られる構成にする必要があるが、ガルバノミラー4bによって蹴られずに反射された光束18は、対物レンズ5に対して遠い位置にあるガルバノミラー4aによっては蹴られない構成とすることが望ましい。対物レンズ5の瞳はガルバノミラー4bによって規定されているため、光束18が瞳以外のガルバノミラー4aによって蹴られると、分光器10に入射する光の量が不必要に低下し、分光イメージング特性を一定に保てないからである。
先にも少し触れたが、一つの反射素子を用いてX軸、Y軸の2軸の角度を走査することもできる。2軸可変の反射素子としては、例えば、THORLABS社製の「高速ステアリングミラー」を使用することができる。このような1枚で2軸可変の反射素子を用いることにより、対物レンズ5に対する開口絞りが1つの反射素子の光反射面で定まるため、分光イメージング特性を一定に保つことができる。
対物レンズ5に最も近いガルバノミラー4bの光反射面4cの形状を楕円とすることが望ましい。光反射面4cは、上述の通り対物レンズ5の開口絞りの役割を果たしているが、検出器12から見て開口絞りである光反射面4cが円形となるためには、光反射面4cの実際の形状を楕円とすればよいからである。上記の高速ステアリングミラーを使用する場合も同様に、光反射面4cの形状を楕円とすることが望ましい。
2 励起光
3 ビームエキスパンダー
4a ガルバノミラー
4b ガルバノミラー
4c 光反射面
5 対物レンズ
6 試料ステージ
7 エッジフィルタ
8 結像レンズ
9 空間フィルタ
10 分光器
11 反射型グレーティング
12 検出器
13 ビデオカメラ
14 エッジフィルタ
15 試料
16 ビームスポット
17 光束
18 光束
19 ビームスポット
20 光束
21 後側焦点
22 遠点
Claims (12)
- 励起光を出射する光源と、
前記励起光を試料に照射する光学系と、
前記試料で発生したラマン散乱光を検出する検出器と、を備えたラマン顕微鏡であって、
前記光学系は、光反射面を有し前記励起光の向きを可変に変更する反射素子と、対物レンズとを有しており、
前記対物レンズの前側焦点で発生する光により前記対物レンズの後側に形成される光束は、少なくとも一部は前記反射素子の光反射面に入射し、前記光束の他の一部は前記反射素子の光反射面に入射しないことを特徴とするラマン顕微鏡。 - 前記反射素子の光反射面と前記対物レンズの光軸との交点は、前記対物レンズの後側焦点から、前記対物レンズから離れる方向に距離0.2F(F:対物レンズの後側焦点距離)離れた位置よりも前記対物レンズに近い側にある請求項1に記載のラマン顕微鏡。
- 前記対物レンズに入射する前記励起光のビーム径が、前記対物レンズの前側焦点で発生する光により前記対物レンズの後側に形成される光束であって前記反射素子の光反射面に入射する光束の径の70%以下である請求項1または2に記載のラマン顕微鏡。
- 前記反射素子の光反射面に入射する前記励起光のビーム径が、前記光反射面の短径の70%以下である請求項1〜3のいずれかに記載のラマン顕微鏡。
- 前記対物レンズは、1または複数のレンズで構成されるレンズ系と、該レンズ系を保持するための筒状筐体とを有しており、前記対物レンズの前側焦点で発生して前記対物レンズの像面側に透過できる光と光軸とがなす角の最大値が前記筒状筐体によって制限されている請求項1〜4のいずれかに記載のラマン顕微鏡。
- 前記対物レンズが、平行系実体顕微鏡用対物レンズである請求項1〜5のいずれかに記載のラマン顕微鏡。
- 前記平行系実体顕微鏡用対物レンズの焦点距離が40mm以上である請求項6に記載のラマン顕微鏡。
- 前記試料を観察する撮像装置をさらに設けた請求項1〜7のいずれかに記載のラマン顕微鏡。
- 前記反射素子と前記対物レンズとの間にレンズが存在しない請求項1〜8のいずれかに記載のラマン顕微鏡。
- 前記検出器の光入射側に分光器、該分光器の光入射側に空間フィルタを更に有しており、前記対物レンズの前側焦点位置から、前記空間フィルタへの結像倍率が2.5倍以下である請求項1〜9のいずれかに記載のラマン顕微鏡。
- 前記反射素子のうちの少なくとも1つは、2軸方向に走査が可能な反射素子である請求項1〜10のいずれかに記載のラマン顕微鏡。
- 前記反射素子のうち、前記対物レンズに最も近いものの光反射面の形状が楕円である請求項1〜11のいずれかに記載のラマン顕微鏡。
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000193890A (ja) * | 1998-12-25 | 2000-07-14 | Olympus Optical Co Ltd | 顕微鏡光学系 |
JP2001091848A (ja) * | 1999-09-27 | 2001-04-06 | Nikon Corp | 走査型光学顕微鏡 |
JP2007179002A (ja) * | 2005-12-02 | 2007-07-12 | Nano Photon Kk | 光学顕微鏡及びスペクトル測定方法 |
JP2012145687A (ja) * | 2011-01-11 | 2012-08-02 | Nikon Corp | 走査型顕微鏡 |
-
2012
- 2012-08-31 JP JP2012192335A patent/JP5998342B2/ja active Active
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JP2001091848A (ja) * | 1999-09-27 | 2001-04-06 | Nikon Corp | 走査型光学顕微鏡 |
JP2007179002A (ja) * | 2005-12-02 | 2007-07-12 | Nano Photon Kk | 光学顕微鏡及びスペクトル測定方法 |
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