JP2014048109A - 遠赤外線検出装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】遠赤外線を集光するレンズ基板群と遠赤外線を検出するセンサ基板群とを含む遠赤外線検出装置であって、レンズ基板群は、遠赤外線を集光するレンズからなるレンズ基板と、遠赤外線を吸収するスペーサ基板と、を含み、センサ基板群は、遠赤外線を検知するセンサ基板と、内部に電気配線が形成されている支持基板と、を含む。
【選択図】図1
Description
101 レンズ基板群
102 センサ基板群
111 レンズ基板
121 スペーサ基板
122 孔
123 ガス吸着剤層
131 遠赤外線センサ基板
132 回路形成層
133 遠赤外線センサ画素
141 支持基板
142 内部電気コンタクト
143 配線
144 外部電気コンタクト
Claims (6)
- 遠赤外線を集光するレンズ基板群と前記遠赤外線を検出するセンサ基板群とを含む遠赤外線検出装置であって、
前記レンズ基板群は、
前記遠赤外線を集光するレンズからなるレンズ基板と、前記遠赤外線を吸収するスペーサ基板と、を含み、
前記センサ基板群は、
前記遠赤外線を検知するセンサ基板と、内部に電気配線が形成されている支持基板と、を含むことを特徴とする遠赤外線検出装置。 - 前記レンズ基板は、前記遠赤外線が入射する面と、前記遠赤外線が出射する面とにレンズが形成されていることを特徴とする請求項1に記載の遠赤外線検出装置。
- 前記スペーサ基板は、前記遠赤外線が透過する孔を含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の遠赤外線検出装置。
- 前記センサ基板は、前記遠赤外線が照射されると電気信号を出力する回路が形成されていることを特徴とする請求項1から3の何れか1項に記載の遠赤外線検出装置。
- 前記支持基板は、前記センサ基板と電気的に接触する内部接触部と、外部に電気信号を伝達する外部接触部と、前記内部接触部と外部接触部とを導通する配線と、を含むことを特徴とする請求項1から4の何れか1項に記載の遠赤外線検出装置。
- 遠赤外線検出装置の製造方法であって、
遠赤外線を集光するレンズからなるレンズ基板と、前記遠赤外線を吸収するスペーサ基板とをガラスフリット接合により接合する第1工程と、
前記遠赤外線を検知するセンサ基板と、内部に電気配線が形成されている支持基板とを第1の陽極接合により接合する第2工程と、
前記第1工程により形成されたレンズ基板群と、前記第2工程により形成されたセンサ基板群とを、第2の陽極接合により接合する第3工程と、
を含むことを特徴とする製造方法。
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2012
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