JP2014046543A - インク吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
基板201に設けられ、複数のヒータと、複数のヒータ上に設けられたインク流路CHと、インク流路CHに連通する複数のノズル孔110とを有するインク吐出ヘッド100の製造方法において、インク流路CHの側面を構成する流路壁203を形成する流路壁形成工程S2と、インク流路CHの底面及び流路壁203に反射防止膜206を形成する反射防止膜形成工程S3と、インク流路CHの中に犠牲層樹脂204を充填する充填工程S4と、インク流路CHの上部に、紫外線硬化性樹脂からなるカバー部207を形成するカバー部形成工程S6と、基板201に垂直な方向からカバー部207を露光する紫外線照射工程S7と、ノズル孔110を形成するノズル孔形成工程S8と、犠牲層樹脂204を除去する犠牲層除去工程S10とを含む。
【選択図】図5
Description
(インク吐出ヘッドの構成)
図1を用いて、本発明の実施形態にかかるインク吐出ヘッドの構成について説明する。図1は、本発明の実施形態にかかるインク吐出ヘッドの一例を示す模式的斜視図である。図1において、インク吐出ヘッド100は、カバー部207に整列した複数のノズル孔110を有する。ノズル孔110のそれぞれは、図2で後述する個別に設けられたインク流路CHにそれぞれ連通する。図2は、図1に示すA−A線に従うインク吐出ヘッドの模式的断面図である。図2に示すインク吐出ヘッドは、インク吐出ヘッドの製造工程を終えた完成状態である。A−A断面は、図示上側鉛直方向からの断面で、複数のノズル孔110のうち、2つのノズル孔110を切断する断面の一例を示す。
図2から図16を用いて、本実施形態にかかるインク吐出ヘッドの製造方法について説明する。図2から図12は、本実施形態にかかるインク吐出ヘッドの製造方法について各工程の一例を示す模式的断面図である。図13は、図9に示した紫外線照射工程S7の詳細を示す模式的断面図である。図14は、図13に示した紫外線照射工程S7後のインク吐出ヘッドを示す模式的断面図である。図15は、従来の紫外線照射工程を示す模式的断面図である。図16は、図15に示した従来の紫外線照射工程後のインク吐出ヘッドを示す模式的断面図である。
本実施形態では、反射防止膜206をスパッタ法により形成したが、本発明はこれに限られず、蒸着などにより反射防止膜206を形成してもよい。
110 ノズル孔
CH インク流路
201 基板
202 発熱抵抗体
203 流路壁
203b 側面
204 犠牲層樹脂
206 反射防止膜
207 カバー部
207a ノズル孔部
307 保護膜
308 耐キャビテーション膜
S1 ヒータ形成工程
S2 流路壁形成工程
S3 反射防止膜形成工程
S4 埋め込み工程
S5 平坦化工程
S6 カバー部形成工程
S7 紫外線照射工程
S8 ノズル孔形成工程
S9 インク供給口形成工程
S10 犠牲層除去工程
S11 反射防止膜除去工程
Claims (5)
- 基板に設けられ、インクを吐出させる熱エネルギーを発生する複数のヒータと、複数のヒータ上に設けられたインク流路と、インク流路に連通する複数のインク吐出口とを有するインク吐出ヘッドの製造方法において、
前記インク流路の側面を構成する流路壁を形成する工程と、
前記インク流路の底面及び前記流路壁に反射防止膜を形成する工程と、
前記インク流路の中に犠牲層樹脂を充填する工程と、
前記インク流路の上部に、被覆感光性樹脂からなるカバー部を形成する工程と、
前記基板に垂直な方向から前記カバー部を露光し、インク吐出口を形成する工程と、
前記犠牲層樹脂を除去する工程とを含むことを特徴とするインク吐出ヘッドの製造方法。 - 請求項1に記載のインク吐出ヘッドの製造方法において、
前記基板に平行な方向に前記犠牲層樹脂及び前記反射防止膜の上部を切削して、その切削面を平坦化する工程を含むことを特徴とするインク吐出ヘッドの製造方法。 - 請求項1又は請求項2に記載のインク吐出ヘッドの製造方法において、
前記反射防止膜を形成する工程は、前記反射防止膜を30nmから100nmまでの範囲内の膜厚で形成することを特徴とするインク吐出ヘッドの製造方法。 - 請求項1から請求項3のいずれか1つに記載のインク吐出ヘッドの製造方法において、
前記反射防止膜を形成する工程は、前記反射防止膜をスパッタ法により形成することを特徴とするインク吐出ヘッドの製造方法。 - 請求項1から請求項4のいずれか1つに記載のインク吐出ヘッドの製造方法において、反射防止膜を除去する工程を含むことを特徴とするインク吐出ヘッドの製造方法。
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2012
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