JP2014037340A - グラフェン膜の製造装置及びグラフェン膜の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】グラフェン膜を製造するプラズマCVD装置10は、炭素を含む成膜材料ガスを供給するガス供給系21と、基材を支持するステージ電極16と、ステージ電極16と対向し、ステージ電極16との間でプラズマを生成する対向電極20と、周波数が1Hz以上20kHz以下の直流パルス電圧を対向電極20に印加するパルス電源装置25とを備える。
【選択図】図1
Description
請求項2に記載の発明によれば、パルス電源装置は、負極性のパルス電圧を対向電極に印加する。従って、プラズマ中の正イオンを対向電極側に引き付けることができるため、正イオンによって基材又はグラフェン膜に与えられるダメージを軽減することができる。さらにパルス幅を上記範囲にすることによって、パルス電圧が印加されない休止期間を比較的長く確保できるので、基材又はグラフェン膜に与えるダメージを極力小さくすることができる。
請求項3に記載の発明によれば、パルス幅を上記範囲にすることによって、パルス電圧が印加されない休止期間を比較的長く確保できるので、基材又はグラフェン膜に与えるダメージを極力小さくすることができる。
請求項4に記載の発明によれば、負極性のパルス電圧と正極性のパルス電圧とをパルス幅が3μ秒以上1000μ秒以下で交互に出力する。このため、パルス電圧が印加されない休止期間を比較的長く確保できるので、基材又はグラフェン膜に与えるダメージを極力小さくすることができる。
請求項5に記載の発明によれば、ヒータによって、基材温度が750℃以下に調整される。このため、グラフェン膜の合成を促すとともに、基材を、900℃程度の高温に耐えうる材料又は膜厚に構成する必要がなく、基材の材料及び膜厚の自由度を高めることができる。
(1)第1実施形態では、プラズマCVD装置10の対向電極20に、周波数1Hz以上20kHzの直流パルス電圧が印加される。このため、高周波プラズマ源等を用いる場合に比べ、プラズマにより基材又はグラフェン膜に与えられるダメージを軽減することによって、高品質なグラフェン膜を形成することができる。また、直流パルス電圧の周波数を上記範囲にすることによって比較的低い温度でグラフェン膜を形成できるので、高温に弱い金属箔を基材として用いることができる。
・上記各実施形態では、負極性の直流パルス電圧を対向電極20に印加したが、図3(a)に示すように、正の極性を有するパルス電圧を印加してもよい。このときのパルス電圧のパルス幅及びデューティー比は、図2と同様である。さらに、図3(b)に示すように、極性を反転させて、正の極性を有するパルス電圧と負の極性を有するパルス電圧を交互に印加してもよい。パルス幅τは、図2と同様である。例えば、パルス幅5μ秒、異なる極性のパルス間の周期T2は、極性を反転させるのに要する時間も含め、60μ秒である。この場合にも、55μ秒の休止期間が設けられることになるため、基材やグラフェンに加えられるダメージは小さくなる。
・第1実施形態では、ステージ電極16及び対向電極20の間にメッシュ電極26を設けたが、成膜条件に応じてメッシュ電極26は省略してもよい。
上記実施形態のプラズマCVD装置を用い、炭素源としてメタンガスを用いて、Cu箔上にグラフェン膜の合成を行った。成膜条件は、基材温度730℃、メタンガス流量200sccm、圧力900Pa、パルス電圧±400V、パルス幅5μ秒、周波数8.33kHz、成膜時間を2分間とした。このようにして得られたグラフェン膜をガラス基材上に転写し、ラマン分光装置及び透過型電子顕微鏡(TEM)によって、転写後のグラフェンに対し測定及び観察を行った。グラフェンの欠陥は、ラマンスペクトルにおける1350cm−1付近のDバンドの増大により確認される。図4に示すように、ラマンスペクトルのうち、グラフェンの欠陥に起因する1350cm−1付近のDバンド(D)は低下した。図5に示すようにTEM像では、5層の良質なグラフェンが確認された。
成膜ガスとしてメタンガス及びアルゴンガスを用いた他は、実施例1と同様にしてグラフェンの成膜を行った。メタンガス及びアルゴンガスの流量は、10sccm:200sccmとした。ラマン分光装置及びTEMによって、転写後のグラフェンに対し測定及び観察を行ったところ、実施例1と同様な結果が得られた。
成膜ガスとしてメタンガス、アルゴンガス及び水素ガスを用いた他は、実施例1と同様にしてグラフェンの成膜を行った。メタンガス、アルゴンガス及び水素ガスの流量は、10sccm:100sccm:200sccmとした。ラマン分光装置及びTEMによって、転写後のグラフェンに対し測定及び観察を行ったところ、図6に示すようにラマンスペクトルのDバンド(D)が増大するものの、図7に示すようにTEM像からは10層程度のグラフェンが確認できた。
グラフェンの下地層となる金属箔を、Ni箔とする他は、実施例3と同様にしてグラフェンの成膜を行った。ラマン分光装置及びTEMによって、転写後のグラフェンに対し測定及び観察を行った。図8に示すようにラマンスペクトルのDバンド(D)は実施例3に比べ低下し、図9に示すようにTEM像からは17層程度のグラフェンが確認できた。
13.56MHzの高周波を出力するプラズマ源を用い、200Wのパワーで、Cu箔上にグラフェンを成膜した。成膜ガス及び流量、温度、圧力、及び成膜時間は実施例1と同様にした。そしてラマン分光装置及びTEMによって、転写後のグラフェンに対し測定及び観察を行ったところ、図10に示すように、ラマンスペクトルのDバンド(D)は、実施例1に比べ増大した。RFプラズマでは、イオンによるダメージが大きいことが示唆された。
成膜ガスを、メタンガス、アルゴンガス及び水素ガスにした以外は、比較例1と同様にグラフェンを成膜した。メタンガス、アルゴンガス及び水素ガスの流量は、10sccm:100sccm:200sccmとした。ラマン分光装置及びTEMによって、転写後のグラフェンに対し測定及び観察を行ったところ、比較例1と同様の結果が得られた。
Claims (6)
- 炭素を含有する成膜材料ガスを供給するガス供給系と、
基材を支持するステージ電極と、
前記ステージ電極と対向する対向電極と、
周波数が1Hz以上20kHz以下の直流パルス電圧を前記対向電極に印加するパルス電源装置とを備え、前記ステージ電極と前記対向電極との間で前記成膜材料ガスのプラズマを生成することを特徴とするグラフェン膜の製造装置。 - 前記パルス電源装置は、パルス幅が3μ秒以上1000μ秒以下の負極性のパルス電圧を前記対向電極に印加する請求項1のグラフェン膜の製造装置。
- 前記パルス電源装置は、パルス幅が3μ秒以上1000μ秒以下の正極性のパルス電圧を出力する請求項1のグラフェン膜の製造装置。
- 前記パルス電源装置は、パルス幅が3μ秒以上1000μ秒以下の負極性のパルス電圧と正極性のパルス電圧を交互に出力する請求項1のグラフェン膜の製造装置。
- 前記基材を加熱するヒータをさらに備え、
前記ヒータは、基材温度を750℃以下に調整する請求項1〜4のいずれか1項に記載のグラフェン膜の製造装置。 - 炭素含有ガスを用いて、基材を支持するステージ電極と前記ステージ電極と対向する対向電極との間で前記炭素含有ガスのプラズマを生成するグラフェン膜の製造方法において、
周波数が1Hz以上20kHz以下の直流パルス電圧を前記対向電極に印加することを特徴とするグラフェン膜の製造方法。
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