JP2014034580A - Resin composition - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a resin composition not only having smaller arithmetic average roughness of an insulator layer surface at a wet type roughening treatment step, but also having smaller root-mean-square roughness, and in addition, capable of forming a plated conductor layer having a stable peel strength and having lower dielectric loss tangent.SOLUTION: A resin composition includes: (A) a radical-polymerizable compound; (B) an epoxy resin; (C) a hardening agent and (D) a roughening treatment component.

Description

本発明は、樹脂組成物に関する。さらに当該樹脂組成物を含有する、シート状積層材料、多層プリント配線板、半導体装置に関する。   The present invention relates to a resin composition. Furthermore, it is related with the sheet-like laminated material, multilayer printed wiring board, and semiconductor device containing the said resin composition.

近年、電子機器の小型化、高性能化が進み、多層プリント配線板においては、ビルドアップ層が複層化され、配線の微細化及び高密度化が求められている。また、信号の高周波数化に伴い、ビルドアップ層には低誘電正接化も求められている。   2. Description of the Related Art In recent years, electronic devices have been reduced in size and performance, and in multilayer printed wiring boards, build-up layers have been multilayered, and miniaturization and high density of wiring have been demanded. As the signal frequency increases, the build-up layer is also required to have a low dielectric loss tangent.

これに対して様々な取組みがなされてきた。例えば、特許文献1には、多官能性ビニルベンジルエーテル化合物、溶剤可溶性ポリイミド、熱硬化触媒を含有する熱硬化性樹脂組成物が開示されているが、表面粗さが大きいことや誘電正接が大きいことなど、その性能は十分なものではなかった。   Various approaches have been made against this. For example, Patent Document 1 discloses a thermosetting resin composition containing a polyfunctional vinylbenzyl ether compound, a solvent-soluble polyimide, and a thermosetting catalyst, but has a large surface roughness and a large dielectric loss tangent. The performance was not enough.

特開2005−281673号公報JP 2005-281673 A

本発明が解決しようとする課題は、湿式粗化工程において絶縁層表面の算術平均粗さが小さいのみならず、二乗平均平方根粗さも小さく、その上に安定した十分なピール強度を有するメッキ導体層を形成することができ、更に誘電正接も低い樹脂組成物を提供することである。   The problem to be solved by the present invention is that the plating conductor layer having not only a small arithmetic average roughness of the insulating layer surface in the wet roughening process but also a small root mean square roughness and a stable and sufficient peel strength. It is also possible to provide a resin composition having a low dielectric loss tangent.

本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意検討した結果、ラジカル重合性化合物、エポキシ樹脂、硬化剤及び粗化成分を含有することを特徴とする樹脂組成物において、本発明を完成するに至った。   As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventors have completed the present invention in a resin composition containing a radical polymerizable compound, an epoxy resin, a curing agent and a roughening component. It came.

すなわち、本発明は以下の内容を含むものである。
〔1〕 (A)ラジカル重合性化合物、(B)エポキシ樹脂、(C)硬化剤及び(D)粗化成分を含有することを特徴とする樹脂組成物。
〔2〕 前記(A)ラジカル重合性化合物が、スチリル基、アリル基、ビニル基、アクリル基、メタクリル基及びプロペニル基から選択される1種以上を有することを特徴とする〔1〕記載の樹脂組成物。
〔3〕 前記(A)ラジカル重合性化合物が、下記式(1)で表される化合物であることを特徴とする〔1〕又は〔2〕記載の樹脂組成物。

Figure 2014034580
[R〜Rはそれぞれ独立に水素、炭素数1〜4のアルキル基である。Aは下記式(2)又は下記式(3)である。]
Figure 2014034580
[Bは下記構造式B−1、B−2又はB−3である。]
Figure 2014034580
[Dは下記式(4)である。]
Figure 2014034580
[R〜R14はそれぞれ独立に水素、炭素数6以下のアルキル基またはフェニル基である。a、bは、少なくとも一方が0でない0〜100の整数である。Bは下記構造式B−1、B−2又はB−3である。]
Figure 2014034580
[R15〜R34はそれぞれ独立に水素、炭素数6以下のアルキル基またはフェニル基である。Eは、炭素数20以下の直鎖状、分岐状又は環状の2価の炭化水素基である。]
〔4〕 前記(A)ラジカル重合性化合物の数平均分子量が、100〜10000の範囲であることを特徴とする〔1〕〜〔3〕のいずれか記載の樹脂組成物。
〔5〕 樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、前記(A)ラジカル重合性化合物の含有量が、5〜40質量%であることを特徴とする〔1〕〜〔4〕のいずれか記載の樹脂組成物。
〔6〕 前記(B)エポキシ樹脂が、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂及びアントラセン型エポキシ樹脂より選択される1種以上であることを特徴とする〔1〕〜〔5〕のいずれか記載の樹脂組成物。
〔7〕 樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、前記(B)エポキシ樹脂の含有量が、1〜30質量%であることを特徴とする〔1〕〜〔6〕のいずれか記載の樹脂組成物。
〔8〕 前記(C)硬化剤が、活性エステル型硬化剤及び/又はシアネートエステル型硬化剤を含有することを特徴とする〔1〕〜〔7〕のいずれか記載の樹脂組成物。
〔9〕 前記(C)硬化剤が、活性エステル型硬化剤を含有することを特徴とする〔1〕〜〔8〕のいずれか記載の樹脂組成物。
〔10〕 樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、前記(C)硬化剤の含有量が、1〜30質量%であることを特徴とする〔1〕〜〔9〕のいずれか記載の樹脂組成物。
〔11〕 前記(D)粗化成分が、ポリブタジエン樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアセタール樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリメタクリル酸メチル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂から選択される1種以上を含有することを特徴とする〔1〕〜〔10〕のいずれか記載の樹脂組成物。
〔12〕 前記(D)粗化成分が、ポリブタジエン樹脂を含有することを特徴とする〔1〕〜〔11〕のいずれか記載の樹脂組成物。
〔13〕 前記(D)粗化成分が、ブタジエン骨格と、反応性基とを有するポリブタジエン樹脂を含有することを特徴とする〔1〕〜〔12〕のいずれか記載の樹脂組成物。
〔14〕 前記(D)粗化成分の数平均分子量が、300〜30000の範囲であることを特徴とする〔1〕〜〔13〕のいずれか記載の樹脂組成物。
〔15〕 樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、前記(C)粗化成分の含有量が、0.5〜20質量%であることを特徴とする〔1〕〜〔14〕のいずれか記載の樹脂組成物。
〔16〕 (E)無機充填材を含有することを特徴とする〔1〕〜〔15〕のいずれか記載の樹脂組成物。
〔17〕 前記(E)無機充填材がスチリルシラン系カップリング剤で表面処理されていることを特徴とする〔16〕記載の樹脂組成物。
〔18〕 樹脂組成物を硬化して絶縁層を形成し、その絶縁層表面を粗化処理した後の算術平均粗さが10〜300nmであり、二乗平均平方根粗さが15〜450nmであることを特徴とする〔1〕〜〔17〕のいずれか記載の樹脂組成物。
〔19〕 樹脂組成物を硬化して絶縁層を形成し、その絶縁層表面を粗化処理し、メッキして得られる導体層と絶縁層とのピール強度が0.3〜1.2kgf/cmであることを特徴とする〔1〕〜〔18〕のいずれか記載の樹脂組成物。
〔20〕 樹脂組成物の硬化物の誘電正接が0.003以下であることを特徴とする〔1〕〜〔19〕のいずれかに記載の樹脂組成物。
〔21〕 多層プリント配線板の絶縁層用樹脂組成物であることを特徴とする〔1〕〜〔20〕のいずれか記載の樹脂組成物。
〔22〕 多層プリント配線板のビルドアップ層用樹脂組成物であることを特徴とする〔1〕〜〔21〕のいずれか記載の樹脂組成物。
〔23〕 〔1〕〜〔22〕のいずれか記載の樹脂組成物を含有することを特徴とするシート状積層材料。
〔24〕 〔23〕記載のシート状積層材料を用いることを特徴とする多層プリント配線板。
〔25〕 〔24〕記載の多層プリント配線板を用いることを特徴とする半導体装置。 That is, the present invention includes the following contents.
[1] A resin composition comprising (A) a radical polymerizable compound, (B) an epoxy resin, (C) a curing agent, and (D) a roughening component.
[2] The resin according to [1], wherein the radically polymerizable compound (A) has at least one selected from a styryl group, an allyl group, a vinyl group, an acrylic group, a methacryl group, and a propenyl group. Composition.
[3] The resin composition according to [1] or [2], wherein the (A) radical polymerizable compound is a compound represented by the following formula (1).
Figure 2014034580
[R 1 to R 6 are each independently hydrogen and an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms. A is the following formula (2) or the following formula (3). ]
Figure 2014034580
[B is the following structural formula B-1, B-2, or B-3. ]
Figure 2014034580
[D is the following formula (4). ]
Figure 2014034580
[R 7 to R 14 are each independently hydrogen, an alkyl group having 6 or less carbon atoms, or a phenyl group. a and b are integers of 0 to 100, at least one of which is not 0. B is the following structural formula B-1, B-2, or B-3. ]
Figure 2014034580
[R 15 to R 34 are each independently hydrogen, an alkyl group having 6 or less carbon atoms, or a phenyl group. E is a linear, branched or cyclic divalent hydrocarbon group having 20 or less carbon atoms. ]
[4] The resin composition according to any one of [1] to [3], wherein the number average molecular weight of the radically polymerizable compound (A) is in the range of 100 to 10,000.
[5] When the nonvolatile component in the resin composition is 100% by mass, the content of the (A) radical polymerizable compound is 5 to 40% by mass. [1] to [4] The resin composition in any one of these.
[6] The epoxy resin (B) is bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, naphthol type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, naphthylene ether type epoxy resin, glycidyl ester type epoxy resin. And an anthracene-type epoxy resin, which is at least one selected from the group consisting of [1] to [5].
[7] Any of [1] to [6], wherein the content of the epoxy resin (B) is 1 to 30% by mass when the nonvolatile component in the resin composition is 100% by mass. A resin composition as described above.
[8] The resin composition according to any one of [1] to [7], wherein the (C) curing agent contains an active ester type curing agent and / or a cyanate ester type curing agent.
[9] The resin composition according to any one of [1] to [8], wherein the (C) curing agent contains an active ester type curing agent.
[10] Any of [1] to [9], wherein the content of the curing agent (C) is 1 to 30% by mass when the nonvolatile component in the resin composition is 100% by mass. A resin composition as described above.
[11] The roughening component (D) is one or more selected from polybutadiene resin, polyamide resin, polyamideimide resin, polyimide resin, polyacetal resin, polycarbonate resin, polymethyl methacrylate resin, polyester resin, and polyurethane resin. The resin composition according to any one of [1] to [10], which is contained.
[12] The resin composition according to any one of [1] to [11], wherein the roughening component (D) contains a polybutadiene resin.
[13] The resin composition according to any one of [1] to [12], wherein the roughening component (D) contains a polybutadiene resin having a butadiene skeleton and a reactive group.
[14] The resin composition according to any one of [1] to [13], wherein the number average molecular weight of the (D) roughening component is in the range of 300 to 30000.
[15] When the nonvolatile component in the resin composition is 100% by mass, the content of the roughening component (C) is 0.5 to 20% by mass [1] to [14] ] The resin composition in any one of these.
[16] The resin composition according to any one of [1] to [15], which contains an inorganic filler (E).
[17] The resin composition as described in [16], wherein the (E) inorganic filler is surface-treated with a styrylsilane coupling agent.
[18] The resin composition is cured to form an insulating layer, the arithmetic average roughness after roughening the surface of the insulating layer is 10 to 300 nm, and the root mean square roughness is 15 to 450 nm. The resin composition according to any one of [1] to [17].
[19] The resin composition is cured to form an insulating layer, the surface of the insulating layer is roughened, and the peel strength between the conductor layer and the insulating layer obtained by plating is 0.3 to 1.2 kgf / cm The resin composition according to any one of [1] to [18], wherein
[20] The resin composition according to any one of [1] to [19], wherein the dielectric loss tangent of the cured product of the resin composition is 0.003 or less.
[21] The resin composition according to any one of [1] to [20], which is a resin composition for an insulating layer of a multilayer printed wiring board.
[22] The resin composition according to any one of [1] to [21], which is a resin composition for a buildup layer of a multilayer printed wiring board.
[23] A sheet-like laminated material comprising the resin composition according to any one of [1] to [22].
[24] A multilayer printed wiring board using the sheet-like laminated material according to [23].
[25] A semiconductor device using the multilayer printed wiring board according to [24].

ラジカル重合性化合物、エポキシ樹脂、硬化剤及び粗化成分を含有することを特徴とする樹脂組成物を用いることにより、湿式粗化工程において絶縁層表面の算術平均粗さが小さいのみならず、二乗平均平方根粗さも小さく、その上に安定した十分なピール強度を有するメッキ導体層を形成することができ、更に誘電正接も低い樹脂組成物を提供できるようになった。   By using a resin composition characterized by containing a radical polymerizable compound, an epoxy resin, a curing agent and a roughening component, not only the arithmetic average roughness of the insulating layer surface is small but also the square in the wet roughening step. A plated conductor layer having a small average square root roughness and a stable and sufficient peel strength can be formed thereon, and a resin composition having a low dielectric loss tangent can be provided.

本発明は(A)ラジカル重合性化合物、(B)エポキシ樹脂、(C)硬化剤及び(D)粗化成分を含有することを特徴とする樹脂組成物である。以下、樹脂組成物について詳述する。   The present invention is a resin composition comprising (A) a radical polymerizable compound, (B) an epoxy resin, (C) a curing agent and (D) a roughening component. Hereinafter, the resin composition will be described in detail.

<(A)ラジカル重合性化合物>
本発明に使用するラジカル重合性化合物としては、ラジカル重合性基を有していれば、特に限定されない。ラジカル重合性化合物を使用することで、硬化物の誘電正接を低下させることができる。ラジカル重合性基としては、スチリル基、アリル基、ビニル基、アクリル基、メタクリル基、プロペニル基等が挙げられ、保存安定性が優れるという観点から、スチリル基、アリル基、ビニル基、アクリル基、メタクリル基及びプロペニル基から選択される1種以上を有することが好ましく、耐熱性に優れるという観点からスチリル基を有することがより好ましい。
<(A) Radical polymerizable compound>
The radical polymerizable compound used in the present invention is not particularly limited as long as it has a radical polymerizable group. By using a radically polymerizable compound, the dielectric loss tangent of the cured product can be reduced. Examples of the radical polymerizable group include styryl group, allyl group, vinyl group, acrylic group, methacryl group, propenyl group, and the like, from the viewpoint of excellent storage stability, styryl group, allyl group, vinyl group, acrylic group, It preferably has one or more selected from a methacryl group and a propenyl group, and more preferably has a styryl group from the viewpoint of excellent heat resistance.

具体的には、下記式(1)で表される化合物が好ましい。   Specifically, a compound represented by the following formula (1) is preferable.

Figure 2014034580
[R〜Rはそれぞれ独立に水素、炭素数1〜4のアルキル基であり、好ましくは水素である。Aは下記式(2)又は下記式(3)である。]
Figure 2014034580
[R 1 to R 6 are each independently hydrogen and an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, preferably hydrogen. A is the following formula (2) or the following formula (3). ]

Figure 2014034580
[Bは下記構造式B−1、B−2又はB−3である。]
Figure 2014034580
[B is the following structural formula B-1, B-2, or B-3. ]

Figure 2014034580
[Dは下記式(4)である。]
Figure 2014034580
[D is the following formula (4). ]

Figure 2014034580
[R〜R14はそれぞれ独立に水素、炭素数6以下のアルキル基またはフェニル基であり、好ましくは水素またはメチル基である。特にR、R、R13、R14はメチル基がより好ましい。a、bは、少なくとも一方が0でない0〜100の整数である。Bは下記構造式B−1、B−2又はB−3である。]
Figure 2014034580
[R 7 to R 14 are each independently hydrogen, an alkyl group having 6 or less carbon atoms, or a phenyl group, preferably hydrogen or a methyl group. In particular, R 7 , R 8 , R 13 and R 14 are more preferably methyl groups. a and b are integers of 0 to 100, at least one of which is not 0. B is the following structural formula B-1, B-2, or B-3. ]

Figure 2014034580
[R15〜R34はそれぞれ独立に水素、炭素数6以下のアルキル基またはフェニル基であり、好ましくは水素またはメチル基である。Eは、炭素数20以下の直鎖状、分岐状又は環状の2価の炭化水素基である。]
Figure 2014034580
[R 15 to R 34 are each independently hydrogen, an alkyl group having 6 or less carbon atoms, or a phenyl group, preferably hydrogen or a methyl group. E is a linear, branched or cyclic divalent hydrocarbon group having 20 or less carbon atoms. ]

さらに具体的には、下記式(5)又は下記式(6)で表される化合物がより好ましい。   More specifically, a compound represented by the following formula (5) or the following formula (6) is more preferable.

Figure 2014034580
[R〜R、B、a、bは、上記と同様である。]
Figure 2014034580
[R 1 to R 6 , B, a, and b are the same as described above. ]

Figure 2014034580
Figure 2014034580

市販されているラジカル重合性化合物としては、スチレン変性ポリフェニレンエーテル樹脂(三菱瓦斯化学(株)製「OPE−2St(数平均分子量1200)」、一般式(5)相当)、ビキシレノールジアリルエーテル樹脂(三菱化学(株)製「YL7776(数平均分子量331)」、一般式(6)相当)等が挙げられる。   Examples of commercially available radical polymerizable compounds include styrene-modified polyphenylene ether resins ("OPE-2St (number average molecular weight 1200)" manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd., equivalent to general formula (5)), bixylenol diallyl ether resins ( “YL7776 (number average molecular weight 331)” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, corresponding to general formula (6)), and the like.

ラジカル重合性化合物の数平均分子量は、樹脂ワニス乾燥時の揮発防止、樹脂組成物の溶融粘度が上昇しすぎるのを防止するという観点から、100〜10000の範囲であるのが好ましく、200〜3000の範囲であるのがより好ましい。なお本発明における数平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法(ポリスチレンン換算)で測定される。GPC法による数平均分子量は、具体的には、測定装置として(株)島津製作所製LC−9A/RID−6Aを、カラムとして昭和電工(株)社製Shodex K−800P/K−804L/K−804Lを、移動相としてクロロホルム等を用いて、カラム温度40℃にて測定し、標準ポリスチレンの検量線を用いて算出することができる。   The number average molecular weight of the radically polymerizable compound is preferably in the range of 100 to 10000 from the viewpoint of preventing volatilization when the resin varnish is dried and preventing the melt viscosity of the resin composition from being excessively increased. More preferably, it is the range. In addition, the number average molecular weight in this invention is measured by the gel permeation chromatography (GPC) method (polystyrene conversion). Specifically, the number average molecular weight by the GPC method is LC-9A / RID-6A manufactured by Shimadzu Corporation as a measuring device, and Shodex K-800P / K-804L / K manufactured by Showa Denko KK as a column. -804L can be measured at a column temperature of 40 ° C. using chloroform or the like as a mobile phase, and can be calculated using a standard polystyrene calibration curve.

本発明の樹脂組成物において、樹脂組成物の相溶性向上という観点から、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、ラジカル重合性化合物の含有量は5〜40質量%が好ましく、10〜30質量%がより好ましい。   In the resin composition of the present invention, from the viewpoint of improving the compatibility of the resin composition, when the nonvolatile component in the resin composition is 100% by mass, the content of the radical polymerizable compound is preferably 5 to 40% by mass, 10-30 mass% is more preferable.

<(B)エポキシ樹脂>
本発明に使用するエポキシ樹脂としては、特に限定されないが、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、tert-ブチル-カテコール型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、線状脂肪族エポキシ樹脂、ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、スピロ環含有エポキシ樹脂、シクロヘキサンジメタノール型エポキシ樹脂、トリメチロール型エポキシ樹脂、ハロゲン化エポキシ樹脂等が挙げられる。これらは1種又は2種以上組み合わせて使用してもよい。
<(B) Epoxy resin>
The epoxy resin used in the present invention is not particularly limited, but is bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, bisphenol AF type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, tert-butyl-catechol. Type epoxy resin, naphthol type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, naphthylene ether type epoxy resin, glycidylamine type epoxy resin, glycidyl ester type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, anthracene type epoxy resin, wire Aliphatic epoxy resin, epoxy resin having a butadiene structure, alicyclic epoxy resin, heterocyclic epoxy resin, spiro ring-containing epoxy resin, cyclohexanedimethanol type Carboxymethyl resin, trimethylol type epoxy resins, and halogenated epoxy resins. These may be used alone or in combination of two or more.

これらの中でも、表面粗さを低下させながらもピール強度を向上させるという観点から、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂及びアントラセン型エポキシ樹脂より選択される1種以上を用いることが好ましい。具体的には、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(三菱化学(株)製「エピコート828EL」、「YL980」)、ビスフェノールF型エポキシ樹脂(三菱化学(株)製「jER806H」、「YL983U」)、ナフタレン型2官能エポキシ樹脂(DIC(株)製「HP4032」、「HP4032D」、「HP4032SS」、「EXA4032SS」)、ナフタレン型4官能エポキシ樹脂(DIC(株)製「HP4700」、「HP4710」)、ナフトール型エポキシ樹脂(新日鐵化学(株)製「ESN−475V」)、ビフェニル構造を有するエポキシ樹脂(日本化薬(株)製「NC3000H」、「NC3000L」、「NC3100」、三菱化学(株)製「YX4000」、「YX4000H」、「YX4000HK」、「YL6121」)、アントラセン型エポキシ樹脂(三菱化学(株)製「YX8800」)、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂(DIC(株)製「EXA−7310」、「EXA−7311」、「EXA−7311L」、「EXA7311−G3」)、グリシジルエステル型エポキシ樹脂(ナガセケムテックス(株)製「EX711」、「EX721」、(株)プリンテック製「R540」)などが挙げられる。特にビフェニル型エポキシ樹脂は、低粗度かつ高ピール強度を発揮するために好ましい。   Among these, from the viewpoint of improving peel strength while reducing surface roughness, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, naphthol type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, naphthylene It is preferable to use one or more selected from ether type epoxy resins, glycidyl ester type epoxy resins and anthracene type epoxy resins. Specifically, for example, bisphenol A type epoxy resin (“Epicoat 828EL”, “YL980” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), bisphenol F type epoxy resin (“jER806H”, “YL983U” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), Naphthalene type bifunctional epoxy resin (“HP4032”, “HP4032D”, “HP4032SS”, “EXA4032SS” manufactured by DIC Corporation), naphthalene type tetrafunctional epoxy resin (“HP4700”, “HP4710” manufactured by DIC Corporation), Naphthol type epoxy resin (“ESN-475V” manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.), epoxy resin having biphenyl structure (“NC3000H”, “NC3000L”, “NC3100” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., Mitsubishi Chemical Corporation) ) "YX4000", "YX4000H", "YX4000HK" , “YL6121”), anthracene type epoxy resin (“YX8800” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), naphthylene ether type epoxy resin (“EXA-7310”, “EXA-7311”, “EXA-7311L manufactured by DIC Corporation) ”,“ EXA7311-G3 ”), glycidyl ester type epoxy resin (“ EX711 ”manufactured by Nagase ChemteX Corporation,“ EX721 ”,“ R540 ”manufactured by Printec Co., Ltd.), and the like. In particular, biphenyl type epoxy resins are preferred because they exhibit low roughness and high peel strength.

本発明の樹脂組成物において、樹脂組成物の硬化物の機械強度や耐水性を向上させるという観点から、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、エポキシ樹脂の含有量は1〜30質量%が好ましく、2〜20質量%がより好ましく、3〜10質量%が更に好ましい。   In the resin composition of the present invention, from the viewpoint of improving the mechanical strength and water resistance of the cured product of the resin composition, when the nonvolatile component in the resin composition is 100% by mass, the content of the epoxy resin is 1 to 1%. 30 mass% is preferable, 2-20 mass% is more preferable, and 3-10 mass% is still more preferable.

<(C)硬化剤>
本発明に使用する硬化剤としては、特に限定されないが、活性エステル型硬化剤、シアネートエステル型硬化剤、フェノール型硬化剤、ベンゾオキサジン型硬化剤等が挙げられ、表面粗さをより低下させ、かつ誘電正接を低下させることができるという観点から、活性エステル型硬化剤及び/又はシアネートエステル型硬化剤を用いることが好ましく、活性エステル型硬化剤を用いることがより好ましい。これらは1種又は2種以上組み合わせて使用してもよい。
<(C) Curing agent>
The curing agent used in the present invention is not particularly limited, and examples thereof include an active ester type curing agent, a cyanate ester type curing agent, a phenol type curing agent, a benzoxazine type curing agent, and the like, further reducing the surface roughness, From the viewpoint of reducing the dielectric loss tangent, it is preferable to use an active ester type curing agent and / or a cyanate ester type curing agent, and it is more preferable to use an active ester type curing agent. These may be used alone or in combination of two or more.

活性エステル型硬化剤としては、特に制限はないが、一般にフェノールエステル類、チオフェノールエステル類、N−ヒドロキシアミンエステル類、複素環ヒドロキシ化合物のエステル類等の反応活性の高いエステル基を1分子中に2個以上有する化合物が好ましく用いられる。当該活性エステル型硬化剤は、カルボン酸化合物及び/又はチオカルボン酸化合物とヒドロキシ化合物及び/又はチオール化合物との縮合反応によって得られるものが好ましい。   The active ester type curing agent is not particularly limited, but generally an ester group having high reaction activity such as phenol ester, thiophenol ester, N-hydroxyamine ester, heterocyclic hydroxy compound ester or the like in one molecule. A compound having two or more in the above is preferably used. The active ester type curing agent is preferably obtained by a condensation reaction between a carboxylic acid compound and / or a thiocarboxylic acid compound and a hydroxy compound and / or a thiol compound.

特に耐熱性向上の観点から、カルボン酸化合物とヒドロキシ化合物とから得られる活性エステル型硬化剤が好ましく、カルボン酸化合物とフェノール化合物及び/又はナフトール化合物とから得られる活性エステル型硬化剤がより好ましい。カルボン酸化合物としては、例えば安息香酸、酢酸、コハク酸、マレイン酸、イタコン酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ピロメリット酸等が挙げられる。フェノール化合物又はナフトール化合物としては、ハイドロキノン、レゾルシン、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールS、フェノールフタリン、メチル化ビスフェノールA、メチル化ビスフェノールF、メチル化ビスフェノールS、フェノール、o−クレゾール、m−クレゾール、p−クレゾール、カテコール、α−ナフトール、β−ナフトール、1,5−ジヒドロキシナフタレン、1,6−ジヒドロキシナフタレン、2,6−ジヒドロキシナフタレン、ジヒドロキシベンゾフェノン、トリヒドロキシベンゾフェノン、テトラヒドロキシベンゾフェノン、フロログルシン、ベンゼントリオール、ジシクロペンタジエニルジフェノール、フェノールノボラック等が挙げられる。活性エステル型硬化剤としては、ジシクロペンタジエニルジフェノール構造を含む活性エステル型硬化剤、ナフタレン構造を含む活性エステル型硬化剤、フェノールノボラックのアセチル化物である活性エステル型硬化剤、フェノールノボラックのベンゾイル化物である活性エステル型硬化剤が好ましく、なかでもピール強度の向上に優れるという点で、ジシクロペンタジエニルジフェノール構造を含む活性エステル型硬化剤、ナフタレン構造を含む活性エステル型硬化剤がより好ましく、ジシクロペンタジエニルジフェノール構造を含む活性エステル型硬化剤が更に好ましい。   In particular, from the viewpoint of improving heat resistance, an active ester type curing agent obtained from a carboxylic acid compound and a hydroxy compound is preferred, and an active ester type curing agent obtained from a carboxylic acid compound and a phenol compound and / or a naphthol compound is more preferred. Examples of the carboxylic acid compound include benzoic acid, acetic acid, succinic acid, maleic acid, itaconic acid, phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, and pyromellitic acid. Examples of the phenol compound or naphthol compound include hydroquinone, resorcin, bisphenol A, bisphenol F, bisphenol S, phenolphthaline, methylated bisphenol A, methylated bisphenol F, methylated bisphenol S, phenol, o-cresol, m-cresol, p-cresol, catechol, α-naphthol, β-naphthol, 1,5-dihydroxynaphthalene, 1,6-dihydroxynaphthalene, 2,6-dihydroxynaphthalene, dihydroxybenzophenone, trihydroxybenzophenone, tetrahydroxybenzophenone, phloroglucin, benzenetriol , Dicyclopentadienyl diphenol, phenol novolac and the like. The active ester type curing agent includes an active ester type curing agent having a dicyclopentadienyl diphenol structure, an active ester type curing agent having a naphthalene structure, an active ester type curing agent which is an acetylated product of phenol novolac, and phenol novolac. An active ester type curing agent that is a benzoylated product is preferable, and in particular, an active ester type curing agent containing a dicyclopentadienyl diphenol structure and an active ester type curing agent containing a naphthalene structure are excellent in terms of improving the peel strength. More preferred is an active ester type curing agent containing a dicyclopentadienyl diphenol structure.

活性エステル型硬化剤としては、特開2004−277460号公報に開示されている活性エステル型硬化剤を用いてもよく、また市販のものを用いることもできる。具体的には、ジシクロペンタジエニルジフェノール構造を含む活性エステル型硬化剤としてEXB9451、EXB9460、EXB9460S−65T、HPC−8000−65T(DIC(株)製、活性基当量約223)、ナフタレン構造を含む活性エステル型硬化剤としてEXB9416−70BK(DIC(株)製、活性基当量約274)、フェノールノボラックのアセチル化物である活性エステル型硬化剤としてDC808(三菱化学(株)製、活性基当量約149)、フェノールノボラックのベンゾイル化物である活性エステル型硬化剤としてYLH1026(三菱化学(株)製、活性基当量約200)、YLH1030(三菱化学(株)製、活性基当量約201)、YLH1048(三菱化学(株)製、活性基当量約245)等が挙げられる。   As the active ester type curing agent, an active ester type curing agent disclosed in JP-A-2004-277460 may be used, or a commercially available one may be used. Specifically, as an active ester type curing agent containing a dicyclopentadienyl diphenol structure, EXB9451, EXB9460, EXB9460S-65T, HPC-8000-65T (manufactured by DIC Corporation, active group equivalent of about 223), naphthalene structure EXB9416-70BK (manufactured by DIC Corporation, active group equivalent of about 274) as an active ester-type curing agent containing DC, and DC808 (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, active group equivalent as an active ester type curing agent which is an acetylated product of phenol novolak) 149), YLH1026 (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, active group equivalent of about 200), YLH1030 (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, active group equivalent of about 201), YLH1048 as an active ester type curing agent which is a benzoylated phenol novolak (Mitsubishi Chemical Corporation, active group equivalent of about 245) And the like.

シアネートエステル型硬化剤としては、特に制限はないが、ノボラック型(フェノールノボラック型、アルキルフェノールノボラック型など)シアネートエステル型硬化剤、ジシクロペンタジエン型シアネートエステル型硬化剤、ビスフェノール型(ビスフェノールA型、ビスフェノールF型、ビスフェノールS型など)シアネートエステル型硬化剤、及びこれらが一部トリアジン化したプレポリマーなどが挙げられる。シアネートエステル型硬化剤の重量平均分子量は、特に限定されるものではないが、500〜4500が好ましく、600〜3000がより好ましい。シアネートエステル型硬化剤の具体例としては、例えば、ビスフェノールAジシアネート、ポリフェノールシアネート(オリゴ(3−メチレン−1,5−フェニレンシアネート)、4,4’−メチレンビス(2,6−ジメチルフェニルシアネート)、4,4’−エチリデンジフェニルジシアネート、ヘキサフルオロビスフェノールAジシアネート、2,2−ビス(4−シアネート)フェニルプロパン、1,1−ビス(4−シアネートフェニルメタン)、ビス(4−シアネート−3,5−ジメチルフェニル)メタン、1,3−ビス(4−シアネートフェニル−1−(メチルエチリデン))ベンゼン、ビス(4−シアネートフェニル)チオエーテル、ビス(4−シアネートフェニル)エーテル等の2官能シアネート樹脂、フェノールノボラック、クレゾールノボラック、ジシクロペンタジエン構造含有フェノール樹脂等から誘導される多官能シアネート樹脂、これらシアネート樹脂が一部トリアジン化したプレポリマーなどが挙げられる。これらは1種又は2種以上組み合わせて使用してもよい。市販されているシアネートエステル樹脂としては、フェノールノボラック型多官能シアネートエステル樹脂(ロンザジャパン(株)製、PT30、シアネート当量124)、ビスフェノールAジシアネートの一部又は全部がトリアジン化され三量体となったプレポリマー(ロンザジャパン(株)製、BA230、シアネート当量232)、ジシクロペンタジエン構造含有シアネートエステル樹脂(ロンザジャパン(株)製、DT−4000、DT−7000)等が挙げられる。   Although there is no restriction | limiting in particular as a cyanate ester type hardening | curing agent, A novolak type (phenol novolak type, alkylphenol novolak type, etc.) cyanate ester type hardening | curing agent, dicyclopentadiene type cyanate ester type hardening | curing agent, bisphenol type (bisphenol A type, bisphenol) Fate, bisphenol S type, etc.) cyanate ester type curing agents, and prepolymers in which these are partially triazines. Although the weight average molecular weight of a cyanate ester type hardening | curing agent is not specifically limited, 500-4500 are preferable and 600-3000 are more preferable. Specific examples of the cyanate ester type curing agent include, for example, bisphenol A dicyanate, polyphenol cyanate (oligo (3-methylene-1,5-phenylene cyanate), 4,4′-methylenebis (2,6-dimethylphenyl cyanate), 4,4′-ethylidenediphenyl dicyanate, hexafluorobisphenol A dicyanate, 2,2-bis (4-cyanate) phenylpropane, 1,1-bis (4-cyanatephenylmethane), bis (4-cyanate-3, Bifunctional cyanate resins such as 5-dimethylphenyl) methane, 1,3-bis (4-cyanatephenyl-1- (methylethylidene)) benzene, bis (4-cyanatephenyl) thioether, bis (4-cyanatephenyl) ether , Phenol novolac, Examples thereof include polyfunctional cyanate resins derived from resole novolac, dicyclopentadiene structure-containing phenol resins, prepolymers in which these cyanate resins are partially triazines, and these may be used alone or in combination of two or more. Examples of commercially available cyanate ester resins include phenol novolac polyfunctional cyanate ester resins (manufactured by Lonza Japan Co., Ltd., PT30, cyanate equivalent 124), and some or all of bisphenol A dicyanate are triazines and trimers. The prepolymer (Lonza Japan Co., Ltd. product, BA230, cyanate equivalent 232), dicyclopentadiene structure containing cyanate ester resin (Lonza Japan Co., Ltd. product, DT-4000, DT-7000) etc. are mentioned.

フェノール型硬化剤としては、特に制限はないが、ビフェニル型硬化剤、ナフタレン型硬化剤、フェノールノボラック型硬化剤、ナフチレンエーテル型硬化剤、トリアジン骨格含有フェノール型硬化剤が好ましい。具体的には、ビフェニル型硬化剤のMEH−7700、MEH−7810、MEH−7851(明和化成(株)製)、ナフタレン型硬化剤のNHN、CBN、GPH(日本化薬(株)製)、SN170、SN180、SN190、SN475、SN485、SN495、SN375、SN395(新日鐵化学(株)製)、EXB9500(DIC(株)製)、フェノールノボラック型硬化剤のTD2090(DIC(株)製)、ナフチレンエーテル型硬化剤のEXB−6000(DIC(株)製)、トリアジン骨格含有フェノール型硬化剤のLA3018、LA7052、LA7054、LA1356(DIC(株)製)等が挙げられる。   The phenol type curing agent is not particularly limited, but a biphenyl type curing agent, a naphthalene type curing agent, a phenol novolac type curing agent, a naphthylene ether type curing agent, and a triazine skeleton-containing phenol type curing agent are preferable. Specifically, biphenyl type curing agents MEH-7700, MEH-7810, MEH-7785 (Maywa Kasei Co., Ltd.), naphthalene type curing agents NHN, CBN, GPH (Nippon Kayaku Co., Ltd.), SN170, SN180, SN190, SN475, SN485, SN495, SN375, SN395 (manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.), EXB9500 (manufactured by DIC Corporation), phenol novolac type curing agent TD2090 (manufactured by DIC Corporation), Examples include naphthylene ether type curing agents EXB-6000 (manufactured by DIC Corporation), triazine skeleton-containing phenol type curing agents LA3018, LA7052, LA7054, LA1356 (manufactured by DIC Corporation), and the like.

ベンゾオキサジン型硬化剤としては、特に制限はないが、具体例としては、F−a、P−d(四国化成(株)製)、HFB2006M(昭和高分子(株)製)などが挙げられる。   Although there is no restriction | limiting in particular as a benzoxazine type hardening | curing agent, As a specific example, Fa, Pd (made by Shikoku Kasei Co., Ltd.), HFB2006M (made by Showa Polymer Co., Ltd.), etc. are mentioned.

本発明の樹脂組成物において、樹脂組成物の硬化物の誘電正接を低下させるという観点から、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、硬化剤の含有量は1〜30質量%が好ましく、2〜20質量%がより好ましく、3〜10質量%が更に好ましい。   In the resin composition of the present invention, from the viewpoint of reducing the dielectric loss tangent of the cured product of the resin composition, when the nonvolatile component in the resin composition is 100% by mass, the content of the curing agent is 1 to 30% by mass. Is preferable, 2-20 mass% is more preferable, and 3-10 mass% is still more preferable.

本発明の樹脂組成物において、樹脂組成物の硬化物の機械強度や耐水性を向上させるという観点から、エポキシ樹脂のエポキシ基の合計数と、硬化剤の反応基の合計数との比が、1:0.2〜1:2が好ましく、1:0.3〜1:1.5がより好ましく、1:0.4〜1:1が更に好ましい。なお樹脂組成物中に存在するエポキシ樹脂のエポキシ基の合計数とは、各エポキシ樹脂の固形分質量をエポキシ当量で除した値をすべてのエポキシ樹脂について合計した値であり、硬化剤の反応基の合計数とは、各硬化剤の固形分質量を反応基当量で除した値をすべての硬化剤について合計した値である。   In the resin composition of the present invention, from the viewpoint of improving the mechanical strength and water resistance of the cured product of the resin composition, the ratio of the total number of epoxy groups of the epoxy resin and the total number of reactive groups of the curing agent is: 1: 0.2-1: 2 is preferable, 1: 0.3-1: 1.5 is more preferable, and 1: 0.4-1: 1 is still more preferable. The total number of epoxy groups of the epoxy resin present in the resin composition is a value obtained by dividing the solid content mass of each epoxy resin by the epoxy equivalent for all epoxy resins, and the reactive group of the curing agent. The total number of is a value obtained by adding the values obtained by dividing the solid mass of each curing agent by the reactive group equivalent for all curing agents.

<(D)粗化成分>
本発明に使用する粗化成分としては、デスミア処理により粗化されることで、ピール強度を付与することができるものであれば、特に限定されない。例えば、粗化成分としては、ポリブタジエン樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアセタール樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリメタクリル酸メチル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂から選択される1種以上を用いることが好ましく、なかでも低誘電正接と粗化性とを有する点からポリブタジエン樹脂がより好ましい。また、粗化成分は反応性基を有することが好ましく、反応性基を有することで均一な硬化物となり、粗化処理後の表面粗さを低く抑えつつ十分なピール強度を得ることが出来るようになる。反応性基としては、カルボン酸基、酸無水物基、水酸基、エポキシ基などが挙げられ、なかでも低誘電正接という点から酸無水物基が好ましい。従って、一実施態様として、ブタジエン骨格と、反応性基とを有するポリブタジエン樹脂が好ましく、ブタジエン骨格と、反応性基と、ポリイミド骨格とを有するポリブタジエン樹脂が好ましい。なお、ポリイミド骨格を有することで、耐熱性を損なわない粗化成分とすることができる。
<(D) Roughening component>
The roughening component used in the present invention is not particularly limited as long as it can impart peel strength by roughening by desmear treatment. For example, as the roughening component, it is preferable to use at least one selected from polybutadiene resin, polyamide resin, polyamideimide resin, polyimide resin, polyacetal resin, polycarbonate resin, polymethyl methacrylate resin, polyester resin, and polyurethane resin. Of these, polybutadiene resin is more preferred from the viewpoint of low dielectric loss tangent and roughening property. Further, the roughening component preferably has a reactive group, and by having the reactive group, a uniform cured product is obtained, so that a sufficient peel strength can be obtained while keeping the surface roughness after the roughening treatment low. become. Examples of the reactive group include a carboxylic acid group, an acid anhydride group, a hydroxyl group, and an epoxy group. Among them, an acid anhydride group is preferable from the viewpoint of low dielectric loss tangent. Therefore, as one embodiment, a polybutadiene resin having a butadiene skeleton and a reactive group is preferable, and a polybutadiene resin having a butadiene skeleton, a reactive group, and a polyimide skeleton is preferable. In addition, it can be set as the roughening component which does not impair heat resistance by having a polyimide frame | skeleton.

粗化成分の具体例としては、ブタジエン骨格と水酸基とを有するポリブタジエン樹脂(日本曹達(株)製G−1000、G−3000、GI−1000、GI−3000)、ブタジエン骨格と水酸基とを有するポリブタジエン樹脂(出光石油化学(株)製R−45EPI)、ブタジエン骨格とエポキシ基とを有するポリブタジエン樹脂(ダイセル化学工業(株)製PB3600)、ブタジエン骨格と酸無水物基とポリイミド骨格を有するポリブタジエン樹脂(特開2006−37083号公報記載のもの)などが挙げられる。   Specific examples of the roughening component include polybutadiene resins having a butadiene skeleton and a hydroxyl group (G-1000, G-3000, GI-1000, GI-3000, manufactured by Nippon Soda Co., Ltd.), and polybutadiene having a butadiene skeleton and a hydroxyl group. Resin (R-45EPI manufactured by Idemitsu Petrochemical Co., Ltd.), polybutadiene resin having butadiene skeleton and epoxy group (PB3600 manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.), polybutadiene resin having butadiene skeleton, acid anhydride group and polyimide skeleton ( And the like described in JP-A-2006-37083).

粗化成分の数平均分子量は300〜30000の範囲であるのが好ましく、800〜15000の範囲であるのがより好ましい。数平均分子量をこの範囲とすることで、樹脂組成物中の相溶性や粗化性を両立することができる。なお本発明における数平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法(ポリスチレンン換算)で測定される。GPC法による数平均分子量は、具体的には、測定装置として(株)島津製作所製LC−9A/RID−6Aを、カラムとして昭和電工(株)社製Shodex K−800P/K−804L/K−804Lを、移動相としてクロロホルム等を用いて、カラム温度40℃にて測定し、標準ポリスチレンの検量線を用いて算出することができる。   The number average molecular weight of the roughening component is preferably in the range of 300 to 30000, more preferably in the range of 800 to 15000. By setting the number average molecular weight within this range, compatibility and roughening properties in the resin composition can be achieved. In addition, the number average molecular weight in this invention is measured by the gel permeation chromatography (GPC) method (polystyrene conversion). Specifically, the number average molecular weight by the GPC method is LC-9A / RID-6A manufactured by Shimadzu Corporation as a measuring device, and Shodex K-800P / K-804L / K manufactured by Showa Denko KK as a column. -804L can be measured at a column temperature of 40 ° C. using chloroform or the like as a mobile phase, and can be calculated using a standard polystyrene calibration curve.

本発明の樹脂組成物において、樹脂の相溶性を損なわずに均一な硬化物の作製を可能にするという観点から、樹脂組成物中の不揮発成分100質量%とした場合、粗化成分の含有量は0.5〜20質量%が好ましく、1〜10質量%がより好ましい。   In the resin composition of the present invention, the content of the roughening component when the nonvolatile component in the resin composition is 100% by mass from the viewpoint of enabling the production of a uniform cured product without impairing the compatibility of the resin. 0.5-20 mass% is preferable, and 1-10 mass% is more preferable.

<(E)無機充填材>
本発明の樹脂組成物は、さらに無機充填材を含有させることにより、誘電正接を低下させることができる。無機充填材としては、例えば、シリカ、アルミナ、硫酸バリウム、タルク、クレー、雲母粉、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、酸化マグネシウム、窒化ホウ素、ホウ酸アルミニウム、チタン酸バリウム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸カルシウム、チタン酸マグネシウム、チタン酸ビスマス、酸化チタン、ジルコン酸バリウム、ジルコン酸カルシウムなどが挙げられる。なかでも、シリカが好ましい。また、無定形シリカ、粉砕シリカ、溶融シリカ、結晶シリカ、合成シリカ、中空シリカ、メソポーラスシリカ等のシリカが好ましく、溶融シリカがより好ましい。また、シリカとしては球状のものが好ましい。これらは1種または2種以上組み合わせて使用してもよい。市販されている球状溶融シリカとして、(株)アドマテックス製「SO−C2」、「SO−C1」が挙げられる。
<(E) Inorganic filler>
The resin composition of the present invention can lower the dielectric loss tangent by further containing an inorganic filler. Examples of the inorganic filler include silica, alumina, barium sulfate, talc, clay, mica powder, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, calcium carbonate, magnesium carbonate, magnesium oxide, boron nitride, aluminum borate, barium titanate, Examples include strontium titanate, calcium titanate, magnesium titanate, bismuth titanate, titanium oxide, barium zirconate, and calcium zirconate. Of these, silica is preferable. In addition, silica such as amorphous silica, pulverized silica, fused silica, crystalline silica, synthetic silica, hollow silica, and mesoporous silica is preferable, and fused silica is more preferable. Further, the silica is preferably spherical. You may use these 1 type or in combination of 2 or more types. Examples of commercially available spherical fused silica include “SO-C2” and “SO-C1” manufactured by Admatechs.

無機充填材の平均粒径は、特に限定されるものではないが、絶縁層上へ微細配線形成を行うという観点から、5μm以下が好ましく、3μm以下がより好ましく、1μm以下が更に好ましく、0.7μm以下が更に一層好ましい。一方、樹脂組成物をワニスとした場合に、ワニスの粘度が上昇し、取り扱い性が低下するのを防止するという観点から、0.01μm以上が好ましく、0.05μm以上がより好ましく、0.1μm以上が更に好ましい。上記無機充填材の平均粒径はミー(Mie)散乱理論に基づくレーザー回折・散乱法により測定することができる。具体的にはレーザー回折散乱式粒度分布測定装置により、無機充填材の粒度分布を体積基準で作成し、そのメディアン径を平均粒径とすることで測定することができる。測定サンプルは、無機充填材を超音波により水中に分散させたものを好ましく使用することができる。レーザー回折散乱式粒度分布測定装置としては、(株)堀場製作所製 LA−950等を使用することができる。   The average particle size of the inorganic filler is not particularly limited, but is preferably 5 μm or less, more preferably 3 μm or less, still more preferably 1 μm or less, from the viewpoint of forming fine wiring on the insulating layer. 7 μm or less is even more preferable. On the other hand, when the resin composition is a varnish, it is preferably 0.01 μm or more, more preferably 0.05 μm or more, and more preferably 0.1 μm from the viewpoint of preventing the viscosity of the varnish from increasing and handling properties from decreasing. The above is more preferable. The average particle diameter of the inorganic filler can be measured by a laser diffraction / scattering method based on Mie scattering theory. Specifically, the particle size distribution of the inorganic filler can be prepared on a volume basis by a laser diffraction / scattering particle size distribution measuring apparatus, and the median diameter can be measured as the average particle diameter. As the measurement sample, an inorganic filler dispersed in water by ultrasonic waves can be preferably used. As a laser diffraction scattering type particle size distribution measuring apparatus, LA-950 manufactured by Horiba, Ltd. or the like can be used.

無機充填材を配合する場合の含有量は、特に制限されないが、誘電正接を低下させ、かつフィルム形態の可撓性が低下するのを防止するという観点から、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、40〜85質量%が好ましく、45〜80質量%がより好ましく、50〜75質量%が更に好ましい。   The content in the case of blending the inorganic filler is not particularly limited, but from the viewpoint of reducing the dielectric loss tangent and preventing the flexibility of the film form from being reduced, the nonvolatile component in the resin composition is 100%. When it is set as mass%, 40-85 mass% is preferable, 45-80 mass% is more preferable, 50-75 mass% is still more preferable.

無機充填材は、アミノシラン系カップリング剤、ウレイドシラン系カップリング剤、エポキシシラン系カップリング剤、メルカプトシラン系カップリング剤、シラン系カップリング剤、ビニルシラン系カップリング剤、スチリルシラン系カップリング剤、アクリレートシラン系カップリング剤、イソシアネートシラン系カップリング剤、スルフィドシラン系カップリング剤、オルガノシラザン化合物、チタネート系カップリング剤等の表面処理剤で表面処理してその耐湿性、分散性を向上させたものが好ましい。これらは1種又は2種以上組み合わせて使用してもよい。   Inorganic fillers include amino silane coupling agents, ureido silane coupling agents, epoxy silane coupling agents, mercapto silane coupling agents, silane coupling agents, vinyl silane coupling agents, and styryl silane coupling agents. Surface treatment with surface treatment agents such as acrylate silane coupling agents, isocyanate silane coupling agents, sulfide silane coupling agents, organosilazane compounds, titanate coupling agents, etc. to improve its moisture resistance and dispersibility Are preferred. These may be used alone or in combination of two or more.

具体的には、3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−アミノプロピルジエトキシメチルシラン、N−フェニル−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−メチルアミノプロピルトリメトキシシラン、N−2(−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルジメトキシメチルシラン等のアミノシラン系カップリング剤、3−ウレイドプロピルトリエトキシシラン等のウレイドシラン系カップリング剤、3−グリシジルオキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシジルオキシプロピルトリエトキシシラン、3−グリシジルオキシプロピルメチルジエトキシシラン、3−グリシジルオキシプロピル(ジメトキシ)メチルシラン、グリシジルブチルトリメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン等のエポキシシラン系カップリング剤、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリエトキシシラン、3−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、11−メルカプトウンデシルトリメトキシシラン等のメルカプトシラン系カップリング剤、メチルトリメトキシシラン、オクタデシルトリメトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、メタクロキシプロピルトリメトキシシラン、イミダゾールシラン、トリアジンシラン、t-ブチルトリメトキシシラン等のシラン系カップリング剤、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルメチルジエトキシシラン等のビニルシラン系カップリング剤、p−スチリルトリメトキシシラン等のスチリルシラン系カップリング剤、3−アクリルオキシプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリルオキシプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリルオキシプロピルジメトキシシラン、3−メタクリルオキシプロピルトリエトキシシラン、3−メタクリルオキシプロピルジエトキシシラン等のアクリレートシラン系カップリング剤、3−イソシアネートプロピルトリメトキシシラン等のイソシアネートシラン系カップリング剤、ビス(トリエトキシシリルプロピル)ジスルフィド、ビス(トリエトキシシリルプロピル)テトラスルフィド等のスルフィドシラン系カップリング剤、ヘキサメチルジシラザン、1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシラザン、ヘキサフェニルジシラザン、トリシラザン、シクロトリシラザン、2,2,4,4,6,6−ヘキサメチルシクロトリシラザン、オクタメチルシクロテトラシラザン、ヘキサブチルジシラザン、ヘキサオクチルジシラザン、1,3−ジエチルテトラメチルジシラザン、1,3−ジ−n−オクチルテトラメチルジシラザン、1,3−ジフェニルテトラメチルジシラザン、1,3−ジメチルテトラフェニルジシラザン、1,3−ジエチルテトラメチルジシラザン、1,1,3,3−テトラフェニル−1,3−ジメチルジシラザン、1,3−ジプロピルテトラメチルジシラザン、ヘキサメチルシクロトリシラザン、ジメチルアミノトリメチルシラザン、テトラメチルジシラザン等のオルガノシラザン化合物、テトラ-n-ブチルチタネートダイマー、チタニウム-i-プロポキシオクチレングリコレート、テトラ−n−ブチルチタネート、チタンオクチレングリコレート、ジイソプロポキシチタンビス(トリエタノールアミネート)、ジヒドロキシチタンビスラクテート、ジヒドロキシビス(アンモニウムラクテート)チタニウム、ビス(ジオクチルパイロホスフェート)エチレンチタネート、ビス(ジオクチルパイロホスフェート)オキシアセテートチタネート、トリ−n−ブトキシチタンモノステアレート、テトラ−n−ブチルチタネート、テトラ(2−エチルヘキシル)チタネート、テトライソプロピルビス(ジオクチルホスファイト)チタネート、テトラオクチルビス(ジトリデシルホスファイト)チタネート、テトラ(2,2−ジアリルオキシメチル−1−ブチル)ビス(ジトリデシル)ホスファイトチタネート、イソプロピルトリオクタノイルチタネート、イソプロピルトリクミルフェニルチタネート、イソプロピルトリイソステアロイルチタネート、イソプロピルイソステアロイルジアクリルチタネート、イソプロピルジメタクリルイソステアロイルチタネート、イソプロピルトリ(ジオクチルホスフェート)チタネート、イソプロピルトリドデシルベンゼンスルホニルチタネート、イソプロピルトリス(ジオクチルパイロホスフェート)チタネート、イソプロピルトリ(N−アミドエチル・アミノエチル)チタネート等のチタネート系カップリング剤等が挙げられる。市販品としては、信越化学工業(株)製「KBM403」(3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業(株)製「KBM803」(3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業(株)製「KBE903」(3−アミノプロピルトリエトキシシラン)、信越化学工業(株)製「KBM573」(N−フェニル−3−アミノプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業(株)製「KBM1403」(p−スチリルトリメトキシシラン)等が挙げられる。これらのなかでも、無機充填材がスチリルシラン系カップリング剤で表面処理されている場合は、誘電正接を低下させることに優れていて好ましい。   Specifically, 3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-aminopropyldiethoxymethylsilane, N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane, N-methylaminopropyltrimethoxysilane Aminosilane coupling agents such as N-2 (-aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropyldimethoxymethylsilane, 3-ureidopropyltriethoxysilane, etc. Ureidosilane coupling agent, 3-glycidyloxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidyloxypropyltriethoxysilane, 3-glycidyloxypropylmethyldiethoxysilane, 3-glycidyloxypropyl (dimethoxy) methylsilane Epoxysilane coupling agents such as glycidylbutyltrimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltriethoxysilane, 3-mercaptopropylmethyl Mercaptosilane-based coupling agents such as dimethoxysilane and 11-mercaptoundecyltrimethoxysilane, methyltrimethoxysilane, octadecyltrimethoxysilane, phenyltrimethoxysilane, methacroxypropyltrimethoxysilane, imidazolesilane, triazinesilane, t- Silane coupling agents such as butyltrimethoxysilane, vinylsilane coupling agents such as vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, and vinylmethyldiethoxysilane. Ring agent, styrylsilane coupling agent such as p-styryltrimethoxysilane, 3-acryloxypropyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropyldimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltri Acrylate silane coupling agents such as ethoxysilane and 3-methacryloxypropyldiethoxysilane, isocyanate silane coupling agents such as 3-isocyanatopropyltrimethoxysilane, bis (triethoxysilylpropyl) disulfide, bis (triethoxysilyl) Propyl) sulfide silane coupling agents such as tetrasulfide, hexamethyldisilazane, 1,3-divinyl-1,1,3,3-tetramethyldisilazane, hexaphenyl Silazane, trisilazane, cyclotrisilazane, 2,2,4,4,6,6-hexamethylcyclotrisilazane, octamethylcyclotetrasilazane, hexabutyldisilazane, hexaoctyldisilazane, 1,3-diethyltetramethyldi Silazane, 1,3-di-n-octyltetramethyldisilazane, 1,3-diphenyltetramethyldisilazane, 1,3-dimethyltetraphenyldisilazane, 1,3-diethyltetramethyldisilazane, 1,1, Organosilazane compounds such as 3,3-tetraphenyl-1,3-dimethyldisilazane, 1,3-dipropyltetramethyldisilazane, hexamethylcyclotrisilazane, dimethylaminotrimethylsilazane, tetramethyldisilazane, tetra-n -Butyl titanate dimer, titanium-i-propo Xyloctylene glycolate, tetra-n-butyl titanate, titanium octylene glycolate, diisopropoxy titanium bis (triethanolaminate), dihydroxy titanium bis lactate, dihydroxy bis (ammonium lactate) titanium, bis (dioctyl pyrophosphate) ethylene titanate , Bis (dioctylpyrophosphate) oxyacetate titanate, tri-n-butoxytitanium monostearate, tetra-n-butyl titanate, tetra (2-ethylhexyl) titanate, tetraisopropylbis (dioctylphosphite) titanate, tetraoctylbis ( Ditridecylphosphite) titanate, tetra (2,2-diallyloxymethyl-1-butyl) bis (ditridecyl) phosphite Isopropyl trioctanoyl titanate, isopropyl tricumyl phenyl titanate, isopropyl triisostearoyl titanate, isopropyl isostearoyl diacryl titanate, isopropyl dimethacryl isostearoyl titanate, isopropyl tri (dioctyl phosphate) titanate, isopropyl tridodecylbenzene sulfonyl titanate, isopropyl And titanate coupling agents such as tris (dioctylpyrophosphate) titanate and isopropyltri (N-amidoethyl / aminoethyl) titanate. Commercially available products include “KBM403” (3-glycidoxypropyltrimethoxysilane) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., “KBM803” (3-mercaptopropyltrimethoxysilane) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "KBE903" (3-aminopropyltriethoxysilane) manufactured by Co., Ltd., "KBM573" (N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., "KBM1403" manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. (P-styryltrimethoxysilane) and the like. Among these, when the inorganic filler is surface-treated with a styrylsilane coupling agent, it is excellent in reducing the dielectric loss tangent and is preferable.

<(F)硬化促進剤>
本発明の樹脂組成物は、さらに硬化促進剤を含有させることにより、エポキシ樹脂と硬化剤を効率的に硬化させることができる。硬化促進剤としては、特に限定されないが、アミン系硬化促進剤、グアニジン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤、ホスホニウム系硬化促進剤、金属系硬化促進剤等が挙げられる。これらは1種又は2種以上組み合わせて使用してもよい。
<(F) Curing accelerator>
The resin composition of this invention can harden an epoxy resin and a hardening | curing agent efficiently by containing a hardening accelerator further. Although it does not specifically limit as a hardening accelerator, An amine hardening accelerator, a guanidine hardening accelerator, an imidazole hardening accelerator, a phosphonium hardening accelerator, a metal hardening accelerator, etc. are mentioned. These may be used alone or in combination of two or more.

アミン系硬化促進剤としては、特に限定されるものではないが、トリエチルアミン、トリブチルアミンなどのトリアルキルアミン、4−ジメチルアミノピリジン、ベンジルジメチルアミン、2,4,6,−トリス(ジメチルアミノメチル)フェノール、1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)−ウンデセン(以下、DBUと略記する。)などのアミン化合物などが挙げられる。これらは1種または2種以上組み合わせて使用してもよい。   The amine curing accelerator is not particularly limited, but trialkylamines such as triethylamine and tributylamine, 4-dimethylaminopyridine, benzyldimethylamine, 2,4,6, -tris (dimethylaminomethyl). And amine compounds such as phenol and 1,8-diazabicyclo (5,4,0) -undecene (hereinafter abbreviated as DBU). You may use these 1 type or in combination of 2 or more types.

グアニジン系硬化促進剤としては、特に限定されるものではないが、ジシアンジアミド、1−メチルグアニジン、1−エチルグアニジン、1−シクロヘキシルグアニジン、1−フェニルグアニジン、1−(o−トリル)グアニジン、ジメチルグアニジン、ジフェニルグアニジン、トリメチルグアニジン、テトラメチルグアニジン、ペンタメチルグアニジン、1,5,7−トリアザビシクロ[4.4.0]デカ−5−エン、7−メチル−1,5,7−トリアザビシクロ[4.4.0]デカ−5−エン、1−メチルビグアニド、1−エチルビグアニド、1−n−ブチルビグアニド、1−n−オクタデシルビグアニド、1,1−ジメチルビグアニド、1,1−ジエチルビグアニド、1−シクロヘキシルビグアニド、1−アリルビグアニド、1−フェニルビグアニド、1−(o−トリル)ビグアニド等が挙げられる。これらは1種または2種以上組み合わせて使用してもよい。   Although it does not specifically limit as a guanidine type hardening accelerator, Dicyandiamide, 1-methyl guanidine, 1-ethyl guanidine, 1-cyclohexyl guanidine, 1-phenyl guanidine, 1- (o-tolyl) guanidine, dimethyl guanidine , Diphenylguanidine, trimethylguanidine, tetramethylguanidine, pentamethylguanidine, 1,5,7-triazabicyclo [4.4.0] dec-5-ene, 7-methyl-1,5,7-triazabicyclo [4.4.0] Deca-5-ene, 1-methyl biguanide, 1-ethyl biguanide, 1-n-butyl biguanide, 1-n-octadecyl biguanide, 1,1-dimethyl biguanide, 1,1-diethyl biguanide 1-cyclohexyl biguanide, 1-allyl biguanide, 1-phenyl Rubiguanido, 1-(o-tolyl) biguanide, and the like. You may use these 1 type or in combination of 2 or more types.

イミダゾール系硬化促進剤としては、特に限定されるものではないが、2−メチルイミダゾール、2−ウンデシルイミダゾール、2−ヘプタデシルイミダゾール、1,2−ジメチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、1,2−ジメチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾール、1−シアノエチル−2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾリウムトリメリテイト、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾリウムトリメリテイト、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−ウンデシルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−エチル−4’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジンイソシアヌル酸付加物、2−フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール、2−フェニル−4−メチル−5ヒドロキシメチルイミダゾール、2,3−ジヒドロ−1H−ピロロ[1,2−a]ベンズイミダゾール、1−ドデシル−2−メチル−3−ベンジルイミダゾリウムクロライド、2−メチルイミダゾリン、2−フェニルイミダゾリン等のイミダゾール化合物及びイミダゾール化合物とエポキシ樹脂とのアダクト体が挙げられる。これらは1種または2種以上組み合わせて使用してもよい。   The imidazole curing accelerator is not particularly limited, but 2-methylimidazole, 2-undecylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 1-benzyl-2-methylimidazole, 1-benzyl-2-phenylimidazole, 1- Cyanoethyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazolium tri Meritate 1-cyanoethyl-2-phenylimidazolium trimellitate, 2,4-diamino-6- [2'-methylimidazolyl- (1 ')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2 '-Undecylimidazolyl- (1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2'-ethyl-4'-methylimidazolyl- (1 ')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2'-methylimidazolyl- (1 ')]-ethyl-s-triazine isocyanuric acid adduct, 2-phenylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethyl Imidazole, 2-phenyl-4-methyl-5hydroxymethylimidazole, 2,3-dihydro-1H-pyrrolo [1,2-a] benzimidazole, 1 Dodecyl-2-methyl-3-benzyl-imidazolium chloride, 2-methyl-imidazoline, adduct of 2-phenyl-imidazo imidazole compounds such as phosphorus and imidazole compound and an epoxy resin. You may use these 1 type or in combination of 2 or more types.

ホスホニウム系硬化促進剤としては、特に限定されるものではないが、トリフェニルホスフィン、ホスホニウムボレート化合物、テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート、n−ブチルホスホニウムテトラフェニルボレート、テトラブチルホスホニウムデカン酸塩、(4−メチルフェニル)トリフェニルホスホニウムチオシアネート、テトラフェニルホスホニウムチオシアネート、ブチルトリフェニルホスホニウムチオシアネート等が挙げられる。これらは1種または2種以上組み合わせて使用してもよい。   Although it does not specifically limit as a phosphonium type hardening accelerator, Triphenylphosphine, a phosphonium borate compound, tetraphenylphosphonium tetraphenylborate, n-butylphosphonium tetraphenylborate, tetrabutylphosphonium decanoate, (4- Methylphenyl) triphenylphosphonium thiocyanate, tetraphenylphosphonium thiocyanate, butyltriphenylphosphonium thiocyanate, and the like. You may use these 1 type or in combination of 2 or more types.

硬化促進剤(金属系硬化促進剤を除く)を配合する場合の含有量は、特に制限されないが、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、0.005〜1質量%の範囲が好ましく、0.01〜0.5質量%の範囲がより好ましい。この範囲内であると、熱硬化をより効率的にでき、樹脂ワニスの保存安定性も向上する。   Although content in particular when mix | blending a hardening accelerator (except a metal type hardening accelerator) is not restrict | limited, When the non-volatile component in a resin composition is 100 mass%, it is the range of 0.005-1 mass%. Is preferable, and the range of 0.01-0.5 mass% is more preferable. Within this range, thermosetting can be performed more efficiently, and the storage stability of the resin varnish is improved.

金属系硬化促進剤としては、特に限定されるものではないが、コバルト、銅、亜鉛、鉄、ニッケル、マンガン、スズ等の金属の、有機金属錯体又は有機金属塩が挙げられる。有機金属錯体の具体例としては、コバルト(II)アセチルアセトナート、コバルト(III)アセチルアセトナート等の有機コバルト錯体、銅(II)アセチルアセトナート等の有機銅錯体、亜鉛(II)アセチルアセトナート等の有機亜鉛錯体、鉄(III)アセチルアセトナート等の有機鉄錯体、ニッケル(II)アセチルアセトナート等の有機ニッケル錯体、マンガン(II)アセチルアセトナート等の有機マンガン錯体などが挙げられる。有機金属塩としては、オクチル酸亜鉛、オクチル酸錫、ナフテン酸亜鉛、ナフテン酸コバルト、ステアリン酸スズ、ステアリン酸亜鉛などが挙げられる。これらは1種又は2種以上組み合わせて使用してもよい。   Although it does not specifically limit as a metal type hardening accelerator, The organometallic complex or organometallic salt of metals, such as cobalt, copper, zinc, iron, nickel, manganese, tin, is mentioned. Specific examples of the organometallic complex include organic cobalt complexes such as cobalt (II) acetylacetonate and cobalt (III) acetylacetonate, organic copper complexes such as copper (II) acetylacetonate, and zinc (II) acetylacetonate. Organic zinc complexes such as iron (III) acetylacetonate, organic nickel complexes such as nickel (II) acetylacetonate, and organic manganese complexes such as manganese (II) acetylacetonate. Examples of the organic metal salt include zinc octylate, tin octylate, zinc naphthenate, cobalt naphthenate, tin stearate, and zinc stearate. These may be used alone or in combination of two or more.

金属系硬化促進剤を添加する場合の添加量は、特に制限されないが、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、金属系硬化触媒に基づく金属の含有量が25〜500ppmの範囲が好ましく、40〜200ppmの範囲がより好ましい。この範囲内であると、絶縁層表面への密着性により優れる導体層が形成され、樹脂ワニスの保存安定性も向上する。   The addition amount in the case of adding a metal curing accelerator is not particularly limited, but when the nonvolatile component in the resin composition is 100% by mass, the metal content based on the metal curing catalyst is in the range of 25 to 500 ppm. Is preferable, and the range of 40 to 200 ppm is more preferable. Within this range, a conductor layer having superior adhesion to the surface of the insulating layer is formed, and the storage stability of the resin varnish is also improved.

<(G)重合開始剤>
本発明の樹脂組成物は、さらに重合開始剤を含有させる事により、効率的にラジカル重合性化合物の硬化を行うことができる。重合開始剤の種類は、特に限定されないが、シクロヘキサノンパーオキサイド、tert-ブチルパーオキシベンゾエート、メチルエチルケトンパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、tert-ブチルクミルパーオキサイド、ジ−tert−ブチルパーオキシド、ジイソプロピルベンゼンハイドロパーオキサイド、クメンハイドロパーオキシド、tert−ブチルハイドロパーオキサイド、2,3−ジメチル−2,3−ジフェニルブタンなどのラジカル発生剤が挙げられる。これらは1種または2種以上組み合わせて使用してもよい。
<(G) Polymerization initiator>
The resin composition of the present invention can efficiently cure the radical polymerizable compound by further containing a polymerization initiator. The type of the polymerization initiator is not particularly limited, but cyclohexanone peroxide, tert-butyl peroxybenzoate, methyl ethyl ketone peroxide, dicumyl peroxide, tert-butyl cumyl peroxide, di-tert-butyl peroxide, diisopropylbenzene hydro gen. Examples of the radical generator include peroxide, cumene hydroperoxide, tert-butyl hydroperoxide, and 2,3-dimethyl-2,3-diphenylbutane. You may use these 1 type or in combination of 2 or more types.

重合開始剤を配合する場合の含有量は、特に制限されないが、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、0.1〜3質量%が好ましく、0.2〜2質量%がより好ましい。この範囲内であると、誘電正接の上昇を防止することができる。   Although content in particular when mix | blending a polymerization initiator is not restrict | limited, When the non-volatile component in a resin composition is 100 mass%, 0.1-3 mass% is preferable, and 0.2-2 mass% is preferable. More preferred. Within this range, an increase in dielectric loss tangent can be prevented.

<(H)ゴム粒子>
本発明の樹脂組成物には、さらにゴム粒子を含有させることにより、メッキピール強度を向上させることができ、ドリル加工性の向上、誘電正接の低下、応力緩和効果を得ることもできる。本発明において使用され得るゴム粒子は、例えば、当該樹脂組成物のワニスを調製する際に使用する有機溶剤にも溶解せず、エポキシ樹脂などとも相溶しないものである。従って、該ゴム粒子は、本発明の樹脂組成物のワニス中では分散状態で存在する。このようなゴム粒子は、一般には、ゴム成分の分子量を有機溶剤や樹脂に溶解しないレベルまで大きくし、粒子状とすることで調製される。
<(H) Rubber particles>
When the resin composition of the present invention further contains rubber particles, the plating peel strength can be improved, and drilling workability can be improved, the dielectric loss tangent can be reduced, and the stress relaxation effect can be obtained. The rubber particles that can be used in the present invention are, for example, those that do not dissolve in an organic solvent used when preparing the varnish of the resin composition and are incompatible with an epoxy resin or the like. Accordingly, the rubber particles exist in a dispersed state in the varnish of the resin composition of the present invention. Such rubber particles are generally prepared by increasing the molecular weight of the rubber component to a level at which it does not dissolve in an organic solvent or resin and making it into particles.

ゴム粒子の好ましい例としては、コアシェル型ゴム粒子、架橋アクリロニトリルブタジエンゴム粒子、架橋スチレンブタジエンゴム粒子、アクリルゴム粒子などが挙げられる。コアシェル型ゴム粒子は、コア層とシェル層とを有するゴム粒子であり、例えば、外層のシェル層がガラス状ポリマーで構成され、内層のコア層がゴム状ポリマーで構成される2層構造、又は外層のシェル層がガラス状ポリマーで構成され、中間層がゴム状ポリマーで構成され、コア層がガラス状ポリマーで構成される3層構造のものなどが挙げられる。ガラス状ポリマー層は、例えば、メタクリル酸メチルの重合物などで構成され、ゴム状ポリマー層は、例えば、ブチルアクリレート重合物(ブチルゴム)などで構成される。ゴム粒子は2種以上を組み合わせて使用してもよい。コアシェル型ゴム粒子の具体例としては、スタフィロイドAC3832、AC3816N、AC3401N、IM−401改7−17 (商品名、ガンツ化成(株)製)、メタブレンKW−4426(商品名、三菱レイヨン(株)製)が挙げられる。架橋アクリロニトリルブタジエンゴム(NBR)粒子の具体例としては、XER−91(平均粒径0.5μm、JSR(株)製)などが挙げられる。架橋スチレンブタジエンゴム(SBR)粒子の具体例としては、XSK−500(平均粒径0.5μm、JSR(株)製)などが挙げられる。アクリルゴム粒子の具体例としては、メタブレンW300A(平均粒径0.1μm)、W450A(平均粒径0.2μm)(三菱レイヨン(株)製)を挙げることができる。   Preferable examples of the rubber particles include core-shell type rubber particles, cross-linked acrylonitrile butadiene rubber particles, cross-linked styrene butadiene rubber particles, and acrylic rubber particles. The core-shell type rubber particles are rubber particles having a core layer and a shell layer. For example, a two-layer structure in which an outer shell layer is made of a glassy polymer and an inner core layer is made of a rubbery polymer, or Examples include a three-layer structure in which the outer shell layer is made of a glassy polymer, the intermediate layer is made of a rubbery polymer, and the core layer is made of a glassy polymer. The glassy polymer layer is made of, for example, a polymer of methyl methacrylate, and the rubbery polymer layer is made of, for example, a butyl acrylate polymer (butyl rubber). Two or more rubber particles may be used in combination. Specific examples of the core-shell type rubber particles include Staphyloid AC3832, AC3816N, AC3401N, IM-401 modified 7-17 (trade name, manufactured by Gantz Kasei Co., Ltd.), Metabrene KW-4426 (trade name, Mitsubishi Rayon Co., Ltd.) Manufactured). Specific examples of the crosslinked acrylonitrile butadiene rubber (NBR) particles include XER-91 (average particle size: 0.5 μm, manufactured by JSR Corporation). Specific examples of the crosslinked styrene butadiene rubber (SBR) particles include XSK-500 (average particle size 0.5 μm, manufactured by JSR Corporation). Specific examples of the acrylic rubber particles include Methbrene W300A (average particle size 0.1 μm) and W450A (average particle size 0.2 μm) (manufactured by Mitsubishi Rayon Co., Ltd.).

ゴム粒子の平均粒径は、好ましくは0.005〜1μmの範囲であり、より好ましくは0.2〜0.6μmの範囲である。本発明で使用されるゴム粒子の平均粒径は、動的光散乱法を用いて測定することができる。例えば、適当な有機溶剤にゴム粒子を超音波などにより均一に分散させ、濃厚系粒径アナライザー(FPAR−1000;大塚電子(株)製)を用いて、ゴム粒子の粒度分布を質量基準で作成し、そのメディアン径を平均粒径とすることで測定することができる。   The average particle size of the rubber particles is preferably in the range of 0.005 to 1 μm, more preferably in the range of 0.2 to 0.6 μm. The average particle diameter of the rubber particles used in the present invention can be measured using a dynamic light scattering method. For example, rubber particles are uniformly dispersed in an appropriate organic solvent by ultrasonic waves, etc., and a particle size distribution of rubber particles is created on a mass basis using a concentrated particle size analyzer (FPAR-1000; manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.). And it can measure by making the median diameter into an average particle diameter.

ゴム粒子を配合する場合の含有量は、特に制限されないが、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、0.05〜10質量%が好ましく、0.5〜5質量%がより好ましい。   The content in the case of blending rubber particles is not particularly limited, but when the nonvolatile component in the resin composition is 100% by mass, 0.05 to 10% by mass is preferable, and 0.5 to 5% by mass is more preferable. preferable.

<他の成分>
本発明の樹脂組成物には、本発明の効果を阻害しない範囲で、必要に応じて他の成分を配合することができる。他の成分としては、ビニルベンジル化合物、アクリル化合物、マレイミド化合物、ブロックイソシアネート化合物のような熱硬化性樹脂、シリコンパウダー、ナイロンパウダー、フッ素パウダー等の有機充填剤、オルベン、ベントン等の増粘剤、シリコーン系、フッ素系、高分子系の消泡剤又はレベリング剤、イミダゾール系、チアゾール系、トリアゾール系、シランカップリング剤等の密着性付与剤、フタロシアニン・ブルー、フタロシアニン・グリーン、アイオジン・グリーン、ジスアゾイエロー、カーボンブラック等の着色剤、有機リン系難燃剤、有機系窒素含有リン化合物、窒素化合物、シリコーン系難燃剤、金属水酸化物等の難燃剤、等を挙げることができる。
<Other ingredients>
In the resin composition of the present invention, other components can be blended as necessary within a range not inhibiting the effects of the present invention. Other components include vinyl benzyl compounds, acrylic compounds, maleimide compounds, thermosetting resins such as blocked isocyanate compounds, organic fillers such as silicon powder, nylon powder and fluorine powder, thickeners such as Orben and Benton, Silicone-based, fluorine-based, polymer-based antifoaming agent or leveling agent, imidazole-based, thiazole-based, triazole-based, silane coupling agent and other adhesion-imparting agents, phthalocyanine blue, phthalocyanine green, iodin green, disazo Examples thereof include colorants such as yellow and carbon black, organic phosphorus flame retardants, organic nitrogen-containing phosphorus compounds, nitrogen compounds, silicone flame retardants, flame retardants such as metal hydroxides, and the like.

本発明の樹脂組成物は、上記成分を適宜混合し、また、必要に応じて三本ロール、ボールミル、ビーズミル、サンドミル等の混練手段、あるいはスーパーミキサー、プラネタリーミキサー等の撹拌手段により混練または混合することにより調整することができる。また、さらに有機溶剤を加えることで樹脂ワニスとしても調整することができる。   The resin composition of the present invention is appropriately mixed with the above components and, if necessary, kneaded or mixed by a kneading means such as a three-roll, ball mill, bead mill, or sand mill, or a stirring means such as a super mixer or a planetary mixer. It can be adjusted by doing. Moreover, it can adjust also as a resin varnish by adding an organic solvent.

本発明の樹脂組成物においては、湿式粗化工程において絶縁層表面の算術平均粗さが小さいのみならず、二乗平均平方根粗さも小さくとも、その上に安定した十分なピール強度を有するメッキ導体層を形成することができ、更に誘電正接も低くできるので、多層プリント配線板の製造において、絶縁層を形成するための樹脂組成物(多層プリント配線板の絶縁層用樹脂組成物)として好適に使用することができ、メッキにより導体層を形成するための樹脂組成物(メッキにより導体層を形成する多層プリント配線板の絶縁層用樹脂組成物)としてより好適に使用することが出来る。つまり、多層プリント配線板のビルドアップ層用樹脂組成物として好適である。   In the resin composition of the present invention, a plated conductor layer having not only a small arithmetic average roughness on the surface of the insulating layer in the wet roughening step but also a small root mean square roughness and a stable and sufficient peel strength thereon. Can be formed, and the dielectric loss tangent can also be lowered. Therefore, it is suitably used as a resin composition (resin composition for an insulating layer of a multilayer printed wiring board) for forming an insulating layer in the production of a multilayer printed wiring board. And can be more suitably used as a resin composition for forming a conductor layer by plating (resin composition for an insulating layer of a multilayer printed wiring board on which a conductor layer is formed by plating). That is, it is suitable as a resin composition for buildup layers of multilayer printed wiring boards.

本発明の樹脂組成物を硬化して絶縁層を形成し、その絶縁層表面を粗化処理した後の算術平均粗さ(Ra値)は、後述する<粗化後の算術平均粗さ(Ra値)、二乗平均平方根粗さ(Rq)の測定>に記載の測定方法により把握することができる。具体的には、算術平均粗さ(Ra値)の上限値は、微細配線形成のために、300nm以下が好ましく、250nm以下がより好ましく、200nm以下が更に好ましく、150nm以下が更に一層好ましく、130nm以下が殊更好ましい。算術平均粗さ(Ra値)の下限値は、特に制限は無く、10nm以上、50nm以上、80nm以上などとなる。   The arithmetic average roughness (Ra value) after curing the resin composition of the present invention to form an insulating layer and roughening the surface of the insulating layer is described below <arithmetic average roughness (Ra Value) and root mean square roughness (Rq) measurement>. Specifically, the upper limit of the arithmetic average roughness (Ra value) is preferably 300 nm or less, more preferably 250 nm or less, still more preferably 200 nm or less, even more preferably 150 nm or less, and even more preferably 130 nm for the formation of fine wiring. The following are particularly preferred: The lower limit value of the arithmetic average roughness (Ra value) is not particularly limited, and is 10 nm or more, 50 nm or more, 80 nm or more, and the like.

二乗平均平方根粗さ(Rq値)は絶縁層表面の局所的な状態が反映されるため、Rq値の把握により緻密で平滑な絶縁層表面になっていることが確認できることを見出した。二乗平均平方根粗さ(Rq値)の上限値は、緻密で平滑な絶縁層表面とするために、450nm以下が好ましく、400nm以下がより好ましく、350nm以下が更に好ましく、300nm以下が更に一層好ましく、250nm以下が殊更好ましい。二乗平均平方根粗さ(Rq値)の下限値は、ピール強度を安定化させるという観点から、15nm以上が好ましく、70nm以上がより好ましく、100nm以上が更に好ましい。   Since the root mean square roughness (Rq value) reflects the local state of the insulating layer surface, it was found that the surface of the insulating layer can be confirmed to be dense and smooth by grasping the Rq value. The upper limit of the root mean square roughness (Rq value) is preferably 450 nm or less, more preferably 400 nm or less, even more preferably 350 nm or less, and even more preferably 300 nm or less in order to obtain a dense and smooth insulating layer surface. 250 nm or less is particularly preferable. From the viewpoint of stabilizing the peel strength, the lower limit value of the root mean square roughness (Rq value) is preferably 15 nm or more, more preferably 70 nm or more, and further preferably 100 nm or more.

本発明の樹脂組成物を硬化して絶縁層を形成し、その絶縁層表面を粗化処理し、メッキして得られる導体層と絶縁層とのピール強度は、後述する<メッキ導体層の引き剥がし強さ(ピール強度)の測定>に記載の測定方法により把握することができる。具体的にはピール強度は、絶縁層と導体層とを十分に密着させておくために0.3kgf/cm以上が好ましく、0.35kgf/cm以上がより好ましい。0.4kgf/cm以上が好ましい。ピール強度の上限値は高いほどよく、特に制限は無いが、一般的に1.2kgf/cm以下、1.0kgf/cm以下、0.8kgf/cm以下となる。   The resin composition of the present invention is cured to form an insulating layer, the surface of the insulating layer is roughened, and the peel strength between the conductor layer and the insulating layer obtained by plating is described in <Plating conductor layer pulling> It can be grasped by the measurement method described in Measurement of Peel Strength (Peel Strength)>. Specifically, the peel strength is preferably 0.3 kgf / cm or more and more preferably 0.35 kgf / cm or more in order to keep the insulating layer and the conductor layer in close contact with each other. 0.4 kgf / cm or more is preferable. The upper limit of the peel strength is preferably as high as possible and is not particularly limited, but is generally 1.2 kgf / cm or less, 1.0 kgf / cm or less, or 0.8 kgf / cm or less.

本発明の樹脂組成物の硬化物の誘電正接は、後述の<誘電正接の測定>により測定することができる。具体的には、空洞共振摂動法により周波数5.8GHz、測定温度23℃で測定することができる。具体的には、高周波での発熱防止、信号遅延および信号ノイズの低減という観点から、誘電正接は0.003以下が好ましい。下限値は特に制限が無く、0.001、0.0005、0などである。   The dielectric loss tangent of the cured product of the resin composition of the present invention can be measured by <Measurement of dielectric loss tangent> described later. Specifically, it can be measured at a frequency of 5.8 GHz and a measurement temperature of 23 ° C. by the cavity resonance perturbation method. Specifically, the dielectric loss tangent is preferably 0.003 or less from the viewpoint of preventing heat generation at high frequencies, reducing signal delay, and signal noise. The lower limit value is not particularly limited and is 0.001, 0.0005, 0 or the like.

本発明の樹脂組成物の用途は、特に限定されないが、接着フィルム、プリプレグ等のシート状積層材料、回路基板(積層板用途、多層プリント配線板用途等)、ソルダーレジスト、アンダ−フィル材、ダイボンディング材、半導体封止材、穴埋め樹脂、部品埋め込み樹脂等、樹脂組成物が必要とされる用途の広範囲に使用できる。本発明の樹脂組成物は、ワニス状態で回路基板に塗布して絶縁層を形成することもできるが、工業的には一般に、接着フィルム、プリプレグ等のシート状積層材料の形態で用いるのが好ましい。樹脂組成物の軟化点は、シート状積層材料のラミネート性の観点から40〜150℃が好ましい。   Although the use of the resin composition of the present invention is not particularly limited, sheet-like laminated materials such as adhesive films and prepregs, circuit boards (for laminated boards, multilayer printed wiring boards, etc.), solder resists, underfill materials, die It can be used in a wide range of applications where a resin composition is required, such as a bonding material, a semiconductor sealing material, a hole-filling resin, and a component-filling resin. The resin composition of the present invention can be applied to a circuit board in a varnish state to form an insulating layer, but in general, it is preferably used in the form of a sheet-like laminated material such as an adhesive film or a prepreg. . The softening point of the resin composition is preferably 40 to 150 ° C. from the viewpoint of the laminate property of the sheet-like laminated material.

<シート状積層材料>
(接着フィルム)
本発明の接着フィルムは、当業者に公知の方法、例えば、有機溶剤に樹脂組成物を溶解した樹脂ワニスを調製し、この樹脂ワニスを、ダイコーターなどを用いて、支持体に塗布し、更に加熱、あるいは熱風吹きつけ等により有機溶剤を乾燥させて樹脂組成物層を形成させることにより製造することができる。
<Sheet laminated material>
(Adhesive film)
The adhesive film of the present invention is prepared by a method known to those skilled in the art, for example, by preparing a resin varnish in which a resin composition is dissolved in an organic solvent, and applying the resin varnish to a support using a die coater or the like. It can be produced by drying the organic solvent by heating or blowing hot air to form the resin composition layer.

有機溶剤としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類、酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、カルビトールアセテート等の酢酸エステル類、セロソルブ、ブチルカルビトール等のカルビトール類、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン等のアミド系溶媒等を挙げることができる。有機溶剤は2種以上を組みわせて用いてもよい。   Examples of the organic solvent include ketones such as acetone, methyl ethyl ketone and cyclohexanone, acetates such as ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate and carbitol acetate, and carbitols such as cellosolve and butyl carbitol. And aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene, amide solvents such as dimethylformamide, dimethylacetamide, and N-methylpyrrolidone. Two or more organic solvents may be used in combination.

乾燥条件は特に限定されないが、樹脂組成物層への有機溶剤の含有量が10質量%以下、好ましくは5質量%以下となるように乾燥させる。ワニス中の有機溶剤量、有機溶剤の沸点によっても異なるが、例えば30〜60質量%の有機溶剤を含むワニスを50〜150℃で3〜10分程度乾燥させることにより、樹脂組成物層を形成することができる。   The drying conditions are not particularly limited, but the drying is performed so that the content of the organic solvent in the resin composition layer is 10% by mass or less, preferably 5% by mass or less. Depending on the amount of organic solvent in the varnish and the boiling point of the organic solvent, for example, a resin composition layer is formed by drying a varnish containing 30 to 60% by mass of an organic solvent at 50 to 150 ° C. for about 3 to 10 minutes. can do.

接着フィルムにおいて形成される樹脂組成物層の厚さは、導体層の厚さ以上とするのが好ましい。回路基板が有する導体層の厚さは通常5〜70μmの範囲であるので、樹脂組成物層は10〜100μmの厚さを有するのが好ましい。薄膜化の観点から、15〜80μmがより好ましい。   The thickness of the resin composition layer formed in the adhesive film is preferably equal to or greater than the thickness of the conductor layer. Since the thickness of the conductor layer of the circuit board is usually in the range of 5 to 70 μm, the resin composition layer preferably has a thickness of 10 to 100 μm. From the viewpoint of thinning, 15 to 80 μm is more preferable.

支持体としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル等のポリオレフィンのフィルム、ポリエチレンテレフタレート(以下「PET」と略称することがある。)、ポリエチレンナフタレート等のポリエステルのフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリイミドフィルムなどの各種プラスチックフィルムが挙げられる。また離型紙や銅箔、アルミニウム箔等の金属箔などを使用してもよい。中でも、汎用性の点から、プラスチックフィルムが好ましく、ポリエチレンテレフタレートフィルムがより好ましい。支持体及び後述する保護フィルムには、マッド処理、コロナ処理等の表面処理が施してあってもよい。また、シリコーン樹脂系離型剤、アルキッド樹脂系離型剤、フッ素樹脂系離型剤等の離型剤で離型処理が施してあってもよい。   Examples of the support include polyolefin films such as polyethylene, polypropylene, and polyvinyl chloride, polyethylene terephthalate (hereinafter sometimes abbreviated as “PET”), polyester films such as polyethylene naphthalate, polycarbonate films, and polyimide films. Various plastic films are listed. Moreover, you may use release foil, metal foil, such as copper foil and aluminum foil. Among these, from the viewpoint of versatility, a plastic film is preferable, and a polyethylene terephthalate film is more preferable. The support and a protective film described later may be subjected to surface treatment such as mud treatment or corona treatment. The release treatment may be performed with a release agent such as a silicone resin release agent, an alkyd resin release agent, or a fluororesin release agent.

支持体の厚さは特に限定されないが、10〜150μmが好ましく、25〜50μmがより好ましい。   Although the thickness of a support body is not specifically limited, 10-150 micrometers is preferable and 25-50 micrometers is more preferable.

樹脂組成物層の支持体が密着していない面には、支持体に準じた保護フィルムをさらに積層することができる。保護フィルムの厚みは、特に限定されるものではないが、例えば、1〜40μmである。保護フィルムを積層することにより、樹脂組成物層の表面へのゴミ等の付着やキズを防止することができる。接着フィルムは、ロール状に巻きとって貯蔵することもできる。   A protective film according to the support can be further laminated on the surface of the resin composition layer on which the support is not in close contact. Although the thickness of a protective film is not specifically limited, For example, it is 1-40 micrometers. By laminating the protective film, it is possible to prevent dust and the like from being attached to the surface of the resin composition layer and scratches. The adhesive film can also be stored in a roll.

(プリプレグ)
本発明のプリプレグは、本発明の樹脂組成物をシート状補強基材にホットメルト法又はソルベント法により含浸させ、加熱して半硬化させることにより製造することができる。すなわち、本発明の樹脂組成物がシート状補強基材に含浸した状態となるプリプレグとすることができる。シート状補強基材としては、例えば、ガラスクロスやアラミド繊維等のプリプレグ用繊維として常用されている基材を用いることができる。そして支持体上にプリプレグが形成されたものが好適である。
(Prepreg)
The prepreg of the present invention can be produced by impregnating the resin composition of the present invention into a sheet-like reinforcing base material by a hot melt method or a solvent method, and heating and semi-curing it. That is, it can be set as the prepreg which will be in the state which impregnated the sheet-like reinforcement base material with the resin composition of this invention. As the sheet-like reinforcing base material, for example, a base material commonly used as a prepreg fiber such as glass cloth or aramid fiber can be used. And what formed the prepreg on the support body is suitable.

ホットメルト法は、樹脂組成物を有機溶剤に溶解することなく、支持体上に一旦コーティングし、それをシート状補強基材にラミネートする、あるいはダイコーターによりシート状補強基材に直接塗工するなどして、プリプレグを製造する方法である。またソルベント法は、接着フィルムと同様にして樹脂を有機溶剤に溶解して樹脂ワニスを調製し、このワニスにシート状補強基材を浸漬し、樹脂ワニスをシート状補強基材に含浸させ、その後乾燥させる方法である。また、接着フィルムをシート状補強基材の両面から加熱、加圧条件下、連続的に熱ラミネートすることで調製することもできる。支持体や保護フィルム等も接着フィルムと同様に用いることができる。   In the hot melt method, the resin composition is once coated on a support without being dissolved in an organic solvent, and then laminated on a sheet-like reinforcing substrate, or directly applied to a sheet-like reinforcing substrate by a die coater. Thus, a prepreg is manufactured. In the solvent method, a resin varnish is prepared by dissolving a resin in an organic solvent in the same manner as the adhesive film, and a sheet-like reinforcing base material is immersed in the varnish, and then the resin-like varnish is impregnated into the sheet-like reinforcing base material. It is a method of drying. Alternatively, the adhesive film can be prepared by continuously laminating the adhesive film from both sides of the sheet-like reinforcing substrate under heating and pressure conditions. A support, a protective film, and the like can be used in the same manner as the adhesive film.

<シート状積層材料を用いた多層プリント配線板>
次に、上記のようにして製造したシート状積層材料を用いることで多層プリント配線板を製造することができる。以下、その一例を説明する。
<Multilayer printed wiring board using sheet-like laminated material>
Next, a multilayer printed wiring board can be manufactured by using the sheet-like laminated material manufactured as described above. An example will be described below.

まず、シート状積層材料を、真空ラミネーターを用いて回路基板の片面又は両面にラミネート(積層)する。回路基板に用いられる基板としては、例えば、ガラスエポキシ基板、金属基板、ポリエステル基板、ポリイミド基板、BTレジン基板、熱硬化型ポリフェニレンエーテル基板等が挙げられる。なお、ここで回路基板とは、上記のような基板の片面又は両面にパターン加工された導体層(回路)が形成されたものをいう。また導体層と絶縁層とを交互に積層してなる多層プリント配線板において、該多層プリント配線板の最外層の片面又は両面がパターン加工された導体層(回路)となっているものも、ここでいう回路基板に含まれる。なお導体層表面には、黒化処理、銅エッチング等により予め粗化処理が施されていてもよい。   First, a sheet-like laminated material is laminated (laminated) on one side or both sides of a circuit board using a vacuum laminator. Examples of the substrate used for the circuit substrate include a glass epoxy substrate, a metal substrate, a polyester substrate, a polyimide substrate, a BT resin substrate, a thermosetting polyphenylene ether substrate, and the like. In addition, a circuit board means here that the conductor layer (circuit) patterned was formed in the one or both surfaces of the above boards. Also, in a multilayer printed wiring board in which conductor layers and insulating layers are alternately laminated, one of the outermost layers of the multilayer printed wiring board is a conductor layer (circuit) in which one or both sides are patterned. It is included in the circuit board. The surface of the conductor layer may be previously roughened by blackening, copper etching, or the like.

上記ラミネートにおいて、シート状積層材料が保護フィルムを有している場合には該保護フィルムを除去した後、必要に応じてシート状積層材料及び回路基板をプレヒートし、シート状積層材料を加圧及び加熱しながら回路基板にラミネートする。本発明のシート状積層材料においては、真空ラミネート法により減圧下で回路基板にラミネートする方法が好適に用いられる。ラミネートの条件は、特に限定されるものではないが、例えば、圧着温度(ラミネート温度)を好ましくは70〜140℃、圧着圧力(ラミネート圧力)を好ましくは1〜11kgf/cm(9.8×10〜107.9×10N/m)とし、圧着時間(ラミネート時間)を好ましくは5〜180秒とし、空気圧20mmHg(26.7hPa)以下の減圧下でラミネートするのが好ましい。また、ラミネートの方法は、バッチ式であってもロールでの連続式であってもよい。真空ラミネートは、市販の真空ラミネーターを使用して行うことができる。市販の真空ラミネーターとしては、例えば、ニチゴー・モートン(株)製バキュームアップリケーター、(株)名機製作所製真空加圧式ラミネーター、(株)日立インダストリイズ製ロール式ドライコータ、日立エーアイーシー(株)製真空ラミネーター等を挙げることができる。 In the above laminate, when the sheet-like laminate material has a protective film, after removing the protective film, the sheet-like laminate material and the circuit board are preheated as necessary, and the sheet-like laminate material is pressurized and Laminate to circuit board while heating. In the sheet-like laminated material of the present invention, a method of laminating on a circuit board under reduced pressure by a vacuum laminating method is suitably used. Lamination conditions are not particularly limited. For example, the pressure bonding temperature (laminating temperature) is preferably 70 to 140 ° C., and the pressure bonding pressure (laminating pressure) is preferably 1 to 11 kgf / cm 2 (9.8 × 10 4 to 107.9 × 10 4 N / m 2 ), the pressure bonding time (laminating time) is preferably 5 to 180 seconds, and the lamination is preferably performed under reduced pressure with an air pressure of 20 mmHg (26.7 hPa) or less. The laminating method may be a batch method or a continuous method using a roll. The vacuum lamination can be performed using a commercially available vacuum laminator. Commercially available vacuum laminators include, for example, a vacuum applicator manufactured by Nichigo-Morton Co., Ltd., a vacuum pressurizing laminator manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd., a roll dry coater manufactured by Hitachi Industries, Ltd., and Hitachi AIC Co., Ltd. ) Made vacuum laminator and the like.

シート状積層材料を回路基板にラミネートした後、室温付近に冷却してから、支持体を剥離する場合は剥離し、樹脂組成物を熱硬化して硬化物を形成することで、回路基板上に絶縁層を形成することができる。熱硬化の条件は、樹脂組成物中の樹脂成分の種類、含有量などに応じて適宜選択すればよいが、好ましくは150℃〜220℃で20分〜180分、より好ましくは160℃〜210℃で30〜120分の範囲で選択される。絶縁層を形成した後、硬化前に支持体を剥離しなかった場合は、必要によりここで剥離することもできる。   After laminating the sheet-like laminated material on the circuit board, after cooling to near room temperature, if the support is peeled off, it is peeled off, and the resin composition is thermally cured to form a cured product, thereby forming a cured product on the circuit board An insulating layer can be formed. The thermosetting conditions may be appropriately selected according to the type and content of the resin component in the resin composition, but preferably 150 ° C. to 220 ° C. for 20 minutes to 180 minutes, more preferably 160 ° C. to 210 ° C. It is selected in the range of 30 to 120 minutes at ° C. After the insulating layer is formed, if the support is not peeled before curing, it can be peeled off here if necessary.

また、シート状積層材料を、真空プレス機を用いて回路基板の片面又は両面に積層することもできる。減圧下、加熱及び加圧を行う積層工程は、一般の真空ホットプレス機を用いて行うことが可能である。例えば、加熱されたSUS板等の金属板を支持体層側からプレスすることにより行うことができる。プレス条件は、減圧度を通常1×10−2MPa以下、好ましくは1×10−3MPa以下の減圧下とする。加熱及び加圧は、1段階で行うことも出来るが、樹脂のしみだしを制御する観点から2段階以上に条件を分けて行うのが好ましい。例えば、1段階目のプレスを、温度が70〜150℃、圧力が1〜15kgf/cm2の範囲、2段階目のプレスを、温度が150〜200℃、圧力が1〜40kgf/cm2の範囲で行うのが好ましい。各段階の時間は30〜120分で行うのが好ましい。このように樹脂組成物層を熱硬化することにより回路基板上に絶縁層を形成することができる。市販されている真空ホットプレス機としては、例えば、MNPC−V−750−5−200(株)名機製作所製)、VH1−1603(北川精機(株)製)等が挙げられる。 Moreover, a sheet-like laminated material can also be laminated | stacked on the single side | surface or both surfaces of a circuit board using a vacuum press machine. The lamination process for heating and pressurizing under reduced pressure can be performed using a general vacuum hot press machine. For example, it can be performed by pressing a metal plate such as a heated SUS plate from the support layer side. The pressing condition is that the degree of vacuum is usually 1 × 10 −2 MPa or less, preferably 1 × 10 −3 MPa or less. Although heating and pressurization can be carried out in one stage, it is preferable to carry out the conditions separately in two or more stages from the viewpoint of controlling the oozing of the resin. For example, the first stage press has a temperature of 70 to 150 ° C. and the pressure is in the range of 1 to 15 kgf / cm 2, and the second stage press has the temperature of 150 to 200 ° C. and the pressure is in the range of 1 to 40 kgf / cm 2 It is preferred to do so. The time for each stage is preferably 30 to 120 minutes. Thus, an insulating layer can be formed on a circuit board by thermosetting the resin composition layer. Examples of commercially available vacuum hot press machines include MNPC-V-750-5-200 (manufactured by Meiki Seisakusho), VH1-1603 (manufactured by Kitagawa Seiki Co., Ltd.), and the like.

次いで、回路基板上に形成された絶縁層に穴開け加工を行ってビアホール、スルーホールを形成する。穴あけ加工は、例えば、ドリル、レーザー、プラズマ等の公知の方法により、また必要によりこれらの方法を組み合わせて行うことができるが、炭酸ガスレーザー、YAGレーザー等のレーザーによる穴あけ加工が最も一般的な方法である。穴あけ加工前に支持体を剥離しなかった場合は、ここで剥離することになる。   Next, a hole is formed in the insulating layer formed on the circuit board to form a via hole and a through hole. For example, the drilling can be performed by a known method such as drilling, laser, or plasma, or a combination of these methods if necessary, but drilling by a laser such as a carbon dioxide gas laser or a YAG laser is the most common. Is the method. If the support is not peeled off before drilling, it will be peeled off here.

次いで、絶縁層表面に粗化処理を行う。乾式の粗化処理の場合はプラズマ処理等が挙げられ、湿式の粗化処理の場合は膨潤液による膨潤処理、酸化剤による粗化処理及び中和液による中和処理をこの順に行う方法が挙げられる。湿式の粗化処理の方が、絶縁層表面に凸凹のアンカーを形成しながら、ビアホール内のスミアを除去することができる点で好ましい。膨潤液による膨潤処理は、絶縁層を50〜80℃で5〜20分間(好ましくは55〜70℃で8〜15分間)、膨潤液に浸漬させることで行われる。膨潤液としてはアルカリ溶液、界面活性剤溶液等が挙げられ、好ましくはアルカリ溶液であり、該アルカリ溶液としては、例えば、水酸化ナトリウム溶液、水酸化カリウム溶液等が挙げられる。市販されている膨潤液としては、例えば、アトテックジャパン(株)製のスウェリング・ディップ・セキュリガンスP(Swelling Dip Securiganth P)、スウェリング・ディップ・セキュリガンスSBU(Swelling Dip Securiganth SBU)等を挙げることができる。酸化剤による粗化処理は、絶縁層を60〜80℃で10〜30分間(好ましくは70〜80℃で15〜25分間)、酸化剤溶液に浸漬させることで行われる。酸化剤としては、例えば、水酸化ナトリウムの水溶液に過マンガン酸カリウムや過マンガン酸ナトリウムを溶解したアルカリ性過マンガン酸溶液、重クロム酸塩、オゾン、過酸化水素/硫酸、硝酸等を挙げることができる。また、アルカリ性過マンガン酸溶液における過マンガン酸塩の濃度は5〜10重量%とするのが好ましい。市販されている酸化剤としては、例えば、アトテックジャパン(株)製のコンセントレート・コンパクト CP、ドージングソリューション セキュリガンスP等のアルカリ性過マンガン酸溶液が挙げられる。中和液による中和処理は、30〜50℃で3〜10分間(好ましくは35〜45℃で3〜8分間)、中和液に浸漬させることで行われる。中和液としては、酸性の水溶液が好ましく、市販品としては、アトテックジャパン(株)製のリダクションソリューシン・セキュリガントPが挙げられる。   Next, a roughening process is performed on the surface of the insulating layer. In the case of dry-type roughening treatment, plasma treatment and the like can be mentioned, and in the case of wet-type roughening treatment, a swelling treatment with a swelling liquid, a roughening treatment with an oxidizing agent, and a neutralization treatment with a neutralizing liquid are performed in this order. It is done. The wet roughening treatment is preferable in that smear in the via hole can be removed while forming an uneven anchor on the surface of the insulating layer. The swelling treatment with the swelling liquid is performed by immersing the insulating layer in the swelling liquid at 50 to 80 ° C. for 5 to 20 minutes (preferably at 55 to 70 ° C. for 8 to 15 minutes). Examples of the swelling liquid include an alkaline solution and a surfactant solution, and an alkaline solution is preferable. Examples of the alkaline solution include a sodium hydroxide solution and a potassium hydroxide solution. Examples of commercially available swelling liquids include Swelling Dip Securiganth P (Swelling Dip Securiganth S) and Swelling Dip Securiganth SBU (ABUTEC Japan). be able to. The roughening treatment with an oxidizing agent is performed by immersing the insulating layer in an oxidizing agent solution at 60 to 80 ° C. for 10 to 30 minutes (preferably at 70 to 80 ° C. for 15 to 25 minutes). Examples of the oxidizing agent include alkaline permanganate solution in which potassium permanganate and sodium permanganate are dissolved in an aqueous solution of sodium hydroxide, dichromate, ozone, hydrogen peroxide / sulfuric acid, nitric acid and the like. it can. The concentration of permanganate in the alkaline permanganate solution is preferably 5 to 10% by weight. Examples of commercially available oxidizing agents include alkaline permanganic acid solutions such as Concentrate Compact CP and Dosing Solution Securigans P manufactured by Atotech Japan. The neutralization treatment with the neutralizing solution is performed by immersing in a neutralizing solution at 30 to 50 ° C. for 3 to 10 minutes (preferably at 35 to 45 ° C. for 3 to 8 minutes). As the neutralizing solution, an acidic aqueous solution is preferable, and as a commercially available product, Reduction Solution / Secligant P manufactured by Atotech Japan Co., Ltd. may be mentioned.

次いで、乾式メッキ又は湿式メッキにより絶縁層上に導体層を形成する。乾式メッキとしては、蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング等の公知の方法を使用することができる。湿式メッキとしては、無電解メッキと電解メッキとを組み合わせて導体層を形成する方法、導体層とは逆パターンのメッキレジストを形成し、無電解メッキのみで導体層を形成する方法、等が挙げられる。その後のパターン形成の方法として、例えば、当業者に公知のサブトラクティブ法、セミアディティブ法などを用いることができ、上述の一連の工程を複数回繰り返すことで、ビルドアップ層を多段に積層した多層プリント配線板となる。本発明においては、低粗度、高ピール及び低誘電正接であるため、多層プリント配線板のビルドアップ層として好適に使用することができる。   Next, a conductor layer is formed on the insulating layer by dry plating or wet plating. As the dry plating, a known method such as vapor deposition, sputtering, or ion plating can be used. Examples of wet plating include a method in which a conductive layer is formed by combining electroless plating and electrolytic plating, a method in which a plating resist having a pattern opposite to that of the conductive layer is formed, and a conductive layer is formed only by electroless plating. It is done. As a pattern formation method thereafter, for example, a subtractive method or a semi-additive method known to those skilled in the art can be used. By repeating the above-described series of steps a plurality of times, a multilayer in which build-up layers are stacked in multiple stages It becomes a printed wiring board. In the present invention, since it has low roughness, high peel, and low dielectric loss tangent, it can be suitably used as a build-up layer of a multilayer printed wiring board.

<半導体装置>
本発明の多層プリント配線板を用いることで半導体装置を製造することができる。本発明の多層プリント配線板の導通箇所に、半導体チップを実装することにより半導体装置を製造することができる。「導通箇所」とは、「多層プリント配線板における電気信号を伝える箇所」であって、その場所は表面であっても、埋め込まれた箇所であってもいずれでも構わない。また、半導体チップは半導体を材料とする電気回路素子であれば特に限定されない。
<Semiconductor device>
A semiconductor device can be manufactured by using the multilayer printed wiring board of the present invention. A semiconductor device can be manufactured by mounting a semiconductor chip in a conductive portion of the multilayer printed wiring board of the present invention. The “conduction location” is a “location where an electrical signal is transmitted in a multilayer printed wiring board”, and the location may be a surface or an embedded location. The semiconductor chip is not particularly limited as long as it is an electric circuit element made of a semiconductor.

本発明の半導体装置を製造する際の半導体チップの実装方法は、半導体チップが有効に機能しさえすれば、特に限定されないが、具体的には、ワイヤボンディング実装方法、フリップチップ実装方法、バンプなしビルドアップ層(BBUL)による実装方法、異方性導電フィルム(ACF)による実装方法、非導電性フィルム(NCF)による実装方法、などが挙げられる。   The semiconductor chip mounting method for manufacturing the semiconductor device of the present invention is not particularly limited as long as the semiconductor chip functions effectively, but specifically, a wire bonding mounting method, a flip chip mounting method, and no bumps. Examples include a mounting method using a build-up layer (BBUL), a mounting method using an anisotropic conductive film (ACF), and a mounting method using a non-conductive film (NCF).

以下、本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。なお、「部」は質量部を意味する。   EXAMPLES The present invention will be specifically described below with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples. “Part” means part by mass.

<測定方法・評価方法>
まずは各種測定方法・評価方法について説明する。
<Measurement method / Evaluation method>
First, various measurement methods and evaluation methods will be described.

<算術平均粗さ(Ra値)二乗平均平方根粗さ(Rq値)及びピール強度測定用サンプルの調製>
(1)内層回路基板の下地処理
内層回路を形成したガラス布基材エポキシ樹脂両面銅張積層板(銅箔の厚さ18μm、基板厚み0.3mm、松下電工(株)製R5715ES)の両面をメック(株)製CZ8100にて1μmエッチングして銅表面の粗化処理をおこなった。
<Calculation of arithmetic average roughness (Ra value) root mean square roughness (Rq value) and peel strength measurement sample>
(1) Underlayer treatment of inner layer circuit board Both sides of a glass cloth base epoxy resin double-sided copper-clad laminate (copper foil thickness 18 μm, substrate thickness 0.3 mm, Matsushita Electric Works R5715ES) on which an inner layer circuit is formed The copper surface was roughened by etching 1 μm with CZ8100 manufactured by MEC.

(2)接着フィルムのラミネート
実施例及び比較例で作成した接着フィルムを、バッチ式真空加圧ラミネーターMVLP-500(名機(株)製商品名)を用いて、内層回路基板の両面にラミネートした。ラミネートは、30秒間減圧して気圧を13hPa以下とし、その後30秒間、100℃、圧力0.74MPaで圧着することにより行った。
(2) Lamination of adhesive film The adhesive film created in Examples and Comparative Examples was laminated on both surfaces of the inner layer circuit board using a batch type vacuum pressure laminator MVLP-500 (trade name, manufactured by Meiki Co., Ltd.). . Lamination was performed by reducing the pressure for 30 seconds to a pressure of 13 hPa or less, and then pressure bonding for 30 seconds at 100 ° C. and a pressure of 0.74 MPa.

(3)樹脂組成物の硬化
ラミネートされた接着フィルムを200℃、60分の硬化条件で樹脂組成物を硬化して絶縁層を形成し、その後PETフィルムを剥離した。
(3) Curing of Resin Composition The laminated adhesive film was cured at 200 ° C. under a curing condition of 60 minutes to form an insulating layer, and then the PET film was peeled off.

(4)粗化処理
絶縁層を形成した内層回路基板を、膨潤液である、アトテックジャパン(株)のジエチレングリコールモノブチルエーテル含有のスエリングディップ・セキュリガントPに60℃で10分間浸漬し、次に粗化液として、アトテックジャパン(株)のコンセントレート・コンパクトP(KMnO4:60g/L、NaOH:40g/Lの水溶液)に80℃で20分間浸漬、最後に中和液として、アトテックジャパン(株)のリダクションショリューシン・セキュリガントPに40℃で5分間浸漬した。80℃で30分乾燥後、この粗化処理後の絶縁層表面について、算術平均粗さ(Ra値)、二乗平均平方根粗さ(Rq値)の測定を行った。
(4) Roughening treatment The inner layer circuit board on which the insulating layer is formed is immersed in a swelling liquid, diethylene glycol monobutyl ether-containing swelling dip securigant P, which is a swelling liquid, at 60 ° C. for 10 minutes, and then roughened. As a chemical solution, it is immersed in an Atotech Japan Co., Ltd. Concentrate Compact P (KMnO4: 60 g / L, NaOH: 40 g / L aqueous solution) at 80 ° C. for 20 minutes, and finally as a neutralizing solution, Atotech Japan Co., Ltd. Were dipped in 40 g of reduction Shoryushin securigant P for 5 minutes. After drying at 80 ° C. for 30 minutes, arithmetic surface roughness (Ra value) and root mean square roughness (Rq value) were measured on the surface of the insulating layer after the roughening treatment.

(5)セミアディティブ工法によるメッキ
絶縁層表面に回路を形成するために、内層回路基板を、PdCl を含む無電解メッキ用溶液に40℃で5分間浸漬し、次に無電解銅メッキ液に25℃で20分間浸漬した。150℃にて30分間加熱してアニール処理を行った後に、エッチングレジストを形成し、エッチングによるパターン形成の後に、硫酸銅電解メッキを行い、25μmの厚さで導体層を形成した。次に、アニール処理を180℃にて30分間行った。この回路基板についてメッキ導体層の引き剥がし強さ(ピール強度)の測定を行った。
(5) Plating by semi-additive method In order to form a circuit on the surface of the insulating layer, the inner layer circuit board is immersed in an electroless plating solution containing PdCl 2 at 40 ° C. for 5 minutes, and then in an electroless copper plating solution. It was immersed for 20 minutes at 25 ° C. After annealing at 150 ° C. for 30 minutes, an etching resist was formed. After pattern formation by etching, copper sulfate electrolytic plating was performed to form a conductor layer with a thickness of 25 μm. Next, annealing treatment was performed at 180 ° C. for 30 minutes. The circuit board was measured for peel strength (peel strength) of the plated conductor layer.

<粗化処理後の算術平均粗さ(Ra値)、二乗平均平方根粗さ(Rq値)の測定>
非接触型表面粗さ計(ビーコインスツルメンツ社製WYKO NT3300)を用いて、VSIコンタクトモード、50倍レンズにより測定範囲を121μm×92μmとして得られる数値によりRa値を求めた。そして、10点の平均値を求めることにより測定値とした。
<Measurement of arithmetic average roughness (Ra value) and root mean square roughness (Rq value) after roughening>
Using a non-contact type surface roughness meter (BYCO Instruments WYKO NT3300), the Ra value was determined by a numerical value obtained by setting the measurement range to 121 μm × 92 μm with a VSI contact mode and a 50 × lens. And it was set as the measured value by calculating | requiring the average value of 10 points | pieces.

<メッキ導体層の引き剥がし強さ(ピール強度)の測定>
回路基板の導体層に、幅10mm、長さ100mmの切込みをいれ、この一端を剥がしてつかみ具(株式会社ティー・エス・イー、オートコム型試験機 AC−50CSL)で掴み、室温中にて、50mm/分の速度で垂直方向に35mmを引き剥がした時の荷重(kgf/cm)を測定した。
<Measurement of peel strength (peel strength) of plated conductor layer>
Make a notch of width 10mm and length 100mm in the conductor layer of the circuit board, peel off one end and grasp it with a gripping tool (TSE Co., Ltd., Autocom type testing machine AC-50CSL) at room temperature The load (kgf / cm) when peeling 35 mm in the vertical direction at a speed of 50 mm / min was measured.

<誘電正接の測定>
実施例及び比較例において得られた樹脂ワニスを、離型処理されたPETフィルム(リンテック(株)製、「PET501010」)上に、乾燥後の樹脂組成物層の厚みが40μmとなるようにダイコーターにて均一に塗布し、80〜110℃(平均95℃)で6分間乾燥した。その後、窒素雰囲気下にて200℃で90分間熱処理し、支持体から剥離することで硬化物フィルムを得た。該硬化物フィルムを長さ80mm、幅2mmに切り出し評価サンプルとした。この評価サンプルについてアジレントテクノロジーズ(Agilent Technologies)社製HP8362B装置を用い空洞共振摂動法により測定周波数5.8GHz、測定温度23℃にて誘電正接を測定した。2本の試験片について測定を行い、平均値を算出した。
<Measurement of dielectric loss tangent>
The resin varnishes obtained in Examples and Comparative Examples were placed on a PET film (“PET501010”, manufactured by Lintec Co., Ltd.) having been subjected to a release treatment so that the thickness of the resin composition layer after drying was 40 μm. The film was uniformly coated with a tar and dried at 80 to 110 ° C. (average 95 ° C.) for 6 minutes. Then, it heat-processed for 90 minutes at 200 degreeC in nitrogen atmosphere, and obtained the hardened | cured material film by peeling from a support body. The cured film was cut into a length of 80 mm and a width of 2 mm and used as an evaluation sample. The dielectric loss tangent of this evaluation sample was measured at a measurement frequency of 5.8 GHz and a measurement temperature of 23 ° C. by a cavity resonance perturbation method using an HP 8362B apparatus manufactured by Agilent Technologies. Two test pieces were measured, and the average value was calculated.

<ポリブタジエン樹脂Aの調整>
反応容器にG−3000(2官能性ヒドロキシル基末端ポリブタジエン、数平均分子量=5047(GPC法)、ヒドロキシル基当量=1798g/eq.、固形分100w%:日本曹達(株)製)50gと、イプゾール150(芳香族炭化水素系混合溶媒:出光石油化学(株)製)23.5g、ジブチル錫ジラウレート0.005gを混合し均一に溶解させた。均一になったところで50℃に昇温し、更に撹拌しながら、トルエン−2,4−ジイソシアネート(イソシアネート基当量=87.08g/eq.)4.8gを添加し約3時間反応を行った。次いで、この反応物を室温まで冷却してから、これにベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物(酸無水物当量=161.1g/eq.)8.96gと、トリエチレンジアミン0.07gと、エチルジグリコールアセテート(ダイセル化学工業(株)社製)40.4gを添加し、攪拌しながら130℃まで昇温し、約4時間反応を行った。FT−IRより2250cm−1のNCOピークの消失の確認を行った。NCOピーク消失の確認をもって反応の終点とみなし、反応物を室温まで降温してから100メッシュの濾布で濾過してブタジエン骨格と酸無水物基とポリイミド骨格を有するポリブタジエン樹脂(ポリブタジエン樹脂A)を得た。
該ポリブタジエン樹脂Aの性状:
粘度=7.5Pa・s(25℃、E型粘度計)
酸価=16.9mgKOH/g
固形分=50wt%
数平均分子量=13723
ポリブタジエン構造部分の含有率=50/(50+4.8+8.96)*100
=78.4質量%
<Adjustment of polybutadiene resin A>
In a reaction vessel, 50 g of G-3000 (bifunctional hydroxyl group-terminated polybutadiene, number average molecular weight = 5047 (GPC method), hydroxyl group equivalent = 1798 g / eq., Solid content: 100 w%, manufactured by Nippon Soda Co., Ltd.), ipzol 23.5 g of 150 (aromatic hydrocarbon-based mixed solvent: manufactured by Idemitsu Petrochemical Co., Ltd.) and 0.005 g of dibutyltin dilaurate were mixed and dissolved uniformly. When the temperature became uniform, the temperature was raised to 50 ° C., and while further stirring, 4.8 g of toluene-2,4-diisocyanate (isocyanate group equivalent = 87.08 g / eq.) Was added and the reaction was carried out for about 3 hours. The reaction was then cooled to room temperature before 8.96 g benzophenonetetracarboxylic dianhydride (acid anhydride equivalent = 161.1 g / eq.), 0.07 g triethylenediamine, and ethyl diglycol. 40.4 g of acetate (manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.) was added, the temperature was raised to 130 ° C. with stirring, and the reaction was carried out for about 4 hours. The disappearance of the NCO peak at 2250 cm −1 was confirmed by FT-IR. After confirming the disappearance of the NCO peak, the reaction is considered to be the end point of the reaction. The reaction product is cooled to room temperature and then filtered through a 100 mesh filter cloth to obtain a polybutadiene resin (polybutadiene resin A) having a butadiene skeleton, an acid anhydride group, and a polyimide skeleton Obtained.
Properties of the polybutadiene resin A:
Viscosity = 7.5 Pa · s (25 ° C, E-type viscometer)
Acid value = 16.9 mgKOH / g
Solid content = 50wt%
Number average molecular weight = 13723
Content ratio of polybutadiene structure portion = 50 / (50 + 4.8 + 8.96) * 100
= 78.4% by mass

<実施例1>
(樹脂ワニスの調整)
スチレン変性ポリフェニレンエーテル樹脂(三菱瓦斯化学(株)製「OPE−2St(数平均分子量1200)」)48部、ビキシレノールジアリルエーテル樹脂(三菱化学(株)製「YL7776(数平均分子量331)」)24部、ビフェニル型エポキシ樹脂(日本化薬(株)製「NC3000L」)18部、活性エステル型硬化剤(DIC(株)製「EXB9416−70BK」、固形分70質量%のメチルイソブチルケトン溶液)26部、ポリブタジエン樹脂A20部、ソルベントナフサ30部、トルエン25部の混合溶液を撹拌しながら加熱溶解させた。混合溶液を室温まで冷却後、硬化促進剤(四国化成(株)製「1B2PZ」の40質量%MEK溶液)3部、重合開始剤(日油(株)製「パーヘキシン25B」)4.8部、ゴム粒子(ガンツ化成(株)製、スタフィロイドAC3816N)1.58部、スチリルシラン系カップリング剤(信越化学工業(株)製、「KBM1403」)で表面処理された球形シリカ(平均粒径0.5μm、(株)アドマテックス製「SOC2」)158部を混合し、高速回転ミキサーで均一に分散して、樹脂ワニスを作製した。
<Example 1>
(Adjustment of resin varnish)
48 parts of styrene-modified polyphenylene ether resin (“OPE-2St (number average molecular weight 1200)” manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd.), bixylenol diallyl ether resin (“YL7776 (number average molecular weight 331) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation)” 24 parts, 18 parts of biphenyl type epoxy resin (“NC3000L” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), active ester type curing agent (“EXB9416-70BK” manufactured by DIC Corporation, methyl isobutyl ketone solution having a solid content of 70% by mass) A mixed solution of 26 parts, 20 parts of polybutadiene resin A, 30 parts of solvent naphtha and 25 parts of toluene was heated and dissolved while stirring. After cooling the mixed solution to room temperature, 3 parts of a curing accelerator (40% by mass MEK solution of “1B2PZ” manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd.), 4.8 parts of a polymerization initiator (“Perhexin 25B” manufactured by NOF Corporation) , 1.58 parts of rubber particles (manufactured by Ganz Kasei Co., Ltd., Staphyloid AC3816N), spherical silica (average particle diameter) surface-treated with a styrylsilane coupling agent (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., “KBM1403”) A resin varnish was prepared by mixing 158 parts of 0.5 μm, “SOC2” manufactured by Admatechs Co., Ltd., and uniformly dispersing with a high-speed rotary mixer.

(接着フィルムの作製)
次に、上記の樹脂ワニスを、離型処理されたPETフィルム(リンテック(株)製、「PET501010」)上に、乾燥後の樹脂組成物層の厚みが40μmとなるようにダイコーターにて均一に塗布し、80〜110℃(平均95℃)で6分間乾燥し、接着フィルムを作製した。
(Preparation of adhesive film)
Next, the above resin varnish is uniformly applied to a release-treated PET film (Lintec Co., Ltd., “PET501010”) with a die coater so that the thickness of the resin composition layer after drying is 40 μm. And dried at 80 to 110 ° C. (average 95 ° C.) for 6 minutes to prepare an adhesive film.

<実施例2>
スチレン変性ポリフェニレンエーテル樹脂(三菱瓦斯化学(株)製「OPE−2St(数平均分子量1200)」)48部、ビキシレノールジアリルエーテル樹脂(三菱化学(株)製「YL7776(数平均分子量331)」)24部、ビフェニル型エポキシ樹脂(日本化薬(株)製「NC3000L」)36部、活性エステル型硬化剤(DIC(株)製「EXB9416−70BK」、固形分70質量%のメチルイソブチルケトン溶液)52部、ポリブタジエン樹脂A75部、ソルベントナフサ35部、トルエン50部の混合溶液を撹拌しながら加熱溶解させた。混合溶液を室温まで冷却後、硬化促進剤(四国化成(株)製「1B2PZ」の40質量%MEK溶液)4.7部、重合開始剤(日油(株)製「パーヘキシン25B」)7.5部、ゴム粒子(ガンツ化成(株)製、スタフィロイドAC3816N)2.42部、スチリルシラン系カップリング剤(信越化学工業(株)製、「KBM1403」)で表面処理された球形シリカ(平均粒径0.5μm、(株)アドマテックス製「SOC2」)242部を混合し、高速回転ミキサーで均一に分散して、樹脂ワニスを作製した。その後、実施例1と同様にして接着フィルムを作製した。
<Example 2>
48 parts of styrene-modified polyphenylene ether resin (“OPE-2St (number average molecular weight 1200)” manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd.), bixylenol diallyl ether resin (“YL7776 (number average molecular weight 331) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation)” 24 parts, biphenyl type epoxy resin (“NC3000L” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), active ester type curing agent (“EXB9416-70BK” manufactured by DIC Corporation, methyl isobutyl ketone solution having a solid content of 70% by mass) A mixed solution of 52 parts, 75 parts of polybutadiene resin A, 35 parts of solvent naphtha, and 50 parts of toluene was heated and dissolved while stirring. 6. After cooling the mixed solution to room temperature, 4.7 parts of curing accelerator (40% by mass MEK solution of “1B2PZ” manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd.), polymerization initiator (“Perhexine 25B” manufactured by NOF Corporation) 5 parts, 2.42 parts of rubber particles (manufactured by Ganz Kasei Co., Ltd., Staphyloid AC3816N), spherical silica surface treated with a styrylsilane coupling agent (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., “KBM1403”) (average) A resin varnish was prepared by mixing 242 parts of a particle size of 0.5 μm and “SOC2” manufactured by Admatechs Co., Ltd. and uniformly dispersing with a high-speed rotary mixer. Thereafter, an adhesive film was produced in the same manner as in Example 1.

<実施例3>
スチレン変性ポリフェニレンエーテル樹脂(三菱瓦斯化学(株)製「OPE−2St(数平均分子量1200)」)48部、ビキシレノールジアリルエーテル樹脂(三菱化学(株)製「YL7776(数平均分子量331)」)24部、ビフェニル型エポキシ樹脂(日本化薬(株)製「NC3000L」)18部、活性エステル型硬化剤(DIC(株)製「HPC8000−65T」、固形分65質量%のトルエン溶液)23部、ポリブタジエン樹脂A20部、ソルベントナフサ30部、トルエン25部の混合溶液を撹拌しながら加熱溶解させた。混合溶液を室温まで冷却後、硬化促進剤(四国化成(株)製「1B2PZ」の40質量%MEK溶液)3部、重合開始剤(日油(株)製「パーヘキシン25B」)4.7部、ゴム粒子(ガンツ化成(株)製、スタフィロイドAC3816N)1.54部、スチリルシラン系カップリング剤(信越化学工業(株)製、「KBM1403」)で表面処理された球形シリカ(平均粒径0.5μm、(株)アドマテックス製「SOC2」)154部を混合し、高速回転ミキサーで均一に分散して、樹脂ワニスを作製した。その後、実施例1と同様にして接着フィルムを作製した。
<Example 3>
48 parts of styrene-modified polyphenylene ether resin (“OPE-2St (number average molecular weight 1200)” manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd.), bixylenol diallyl ether resin (“YL7776 (number average molecular weight 331) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation)” 24 parts, 18 parts of biphenyl type epoxy resin (“NC3000L” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), 23 parts of active ester type curing agent (“HPC8000-65T” manufactured by DIC Corporation, toluene solution having a solid content of 65% by mass) Then, a mixed solution of 20 parts of polybutadiene resin A, 30 parts of solvent naphtha and 25 parts of toluene was heated and dissolved while stirring. After cooling the mixed solution to room temperature, 3 parts of a curing accelerator (40% by mass MEK solution of “1B2PZ” manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd.), 4.7 parts of a polymerization initiator (“Perhexine 25B” manufactured by NOF Corporation) , Spherical silica (average particle size) surface-treated with 1.54 parts of rubber particles (manufactured by Ganz Kasei Co., Ltd., Staphyloid AC3816N), styrylsilane coupling agent (“KBM1403” manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) A resin varnish was prepared by mixing 154 parts of 0.5 μm and “SOC2” manufactured by Admatechs Co., Ltd. and uniformly dispersing with a high-speed rotary mixer. Thereafter, an adhesive film was produced in the same manner as in Example 1.

<比較例1>
スチレン変性ポリフェニレンエーテル樹脂(三菱瓦斯化学(株)製「OPE−2St(数平均分子量1200)」)48部、ビキシレノールジアリルエーテル樹脂(三菱化学(株)製「YL7776(数平均分子量331)」)24部、ポリブタジエン樹脂A37部、ソルベントナフサ30部、トルエン40部の混合溶液を撹拌しながら加熱溶解させた。混合溶液を室温まで冷却後、重合開始剤(日油(株)製「パーヘキシン25B」)3.7部、ゴム粒子(ガンツ化成(株)製、スタフィロイドAC3816N)1.2部、スチリルシラン系カップリング剤(信越化学工業(株)製、「KBM1403」)で表面処理された球形シリカ(平均粒径0.5μm、(株)アドマテックス製「SOC2」)120部を混合し、高速回転ミキサーで均一に分散して、樹脂ワニスを作製した。その後、実施例1と同様にして接着フィルムを作製した。
<Comparative Example 1>
48 parts of styrene-modified polyphenylene ether resin (“OPE-2St (number average molecular weight 1200)” manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd.), bixylenol diallyl ether resin (“YL7776 (number average molecular weight 331) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation)” A mixed solution of 24 parts, polybutadiene resin A 37 parts, solvent naphtha 30 parts, and toluene 40 parts was heated and dissolved while stirring. After cooling the mixed solution to room temperature, 3.7 parts of a polymerization initiator (“Perhexin 25B” manufactured by NOF Corporation), 1.2 parts of rubber particles (STAFYROID AC3816N manufactured by Ganz Kasei Co., Ltd.), styrylsilane type 120 parts of spherical silica (average particle size 0.5 μm, “SOC2” manufactured by Admatechs Co., Ltd.) surface-treated with a coupling agent (“KBM1403” manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) is mixed, and a high-speed rotating mixer To uniformly disperse the resin varnish. Thereafter, an adhesive film was produced in the same manner as in Example 1.

<比較例2>
スチレン変性ポリフェニレンエーテル樹脂(三菱瓦斯化学(株)製「OPE−2St(数平均分子量1200)」)48部、ビキシレノールジアリルエーテル樹脂(三菱化学(株)製「YL7776(数平均分子量331)」)24部、ビフェニル型エポキシ樹脂(日本化薬(株)製「NC3000L」)18部、活性エステル型硬化剤(DIC(株)製「EXB9416−70BK」、固形分70質量%のメチルイソブチルケトン溶液)26部、ソルベントナフサ30部、トルエン15部の混合溶液を撹拌しながら加熱溶解させた。混合溶液を室温まで冷却後、硬化促進剤(四国化成(株)製「1B2PZ」の40質量%MEK溶液)2.8部、重合開始剤(日油(株)製「パーヘキシン25B」)4.5部、ゴム粒子(ガンツ化成(株)製、スタフィロイドAC3816N)1.44部、スチリルシラン系カップリング剤(信越化学工業(株)製、「KBM1403」)で表面処理された球形シリカ(平均粒径0.5μm、(株)アドマテックス製「SOC2」)144部を混合し、高速回転ミキサーで均一に分散して、樹脂ワニスを作製した。その後、実施例1と同様にして接着フィルムを作製した。
<Comparative example 2>
48 parts of styrene-modified polyphenylene ether resin (“OPE-2St (number average molecular weight 1200)” manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd.), bixylenol diallyl ether resin (“YL7776 (number average molecular weight 331) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation)” 24 parts, 18 parts of biphenyl type epoxy resin (“NC3000L” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), active ester type curing agent (“EXB9416-70BK” manufactured by DIC Corporation, methyl isobutyl ketone solution having a solid content of 70% by mass) A mixed solution of 26 parts, 30 parts of solvent naphtha and 15 parts of toluene was heated and dissolved while stirring. 3. After cooling the mixed solution to room temperature, 2.8 parts of a curing accelerator (40% by mass MEK solution of “1B2PZ” manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd.), polymerization initiator (“Perhexin 25B” manufactured by NOF Corporation) 5 parts, 1.44 parts of rubber particles (manufactured by Ganz Kasei Co., Ltd., Staphyloid AC3816N), spherical silica surface treated with a styrylsilane coupling agent (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., “KBM1403”) (average) A resin varnish was prepared by mixing 144 parts of a particle size of 0.5 μm and “SOC2” manufactured by Admatechs Co., Ltd. and uniformly dispersing with a high-speed rotary mixer. Thereafter, an adhesive film was produced in the same manner as in Example 1.

<比較例3>
スチレン変性ポリフェニレンエーテル樹脂(三菱瓦斯化学(株)製「OPE−2St(数平均分子量1200)」)48部、ビキシレノールジアリルエーテル樹脂(三菱化学(株)製「YL7776(数平均分子量331)」)24部、ビフェニル型エポキシ樹脂(日本化薬(株)製「NC3000L」)18部、活性エステル型硬化剤(DIC(株)製「EXB9416−70BK」、固形分70質量%のメチルイソブチルケトン溶液)26部、フェノキシ樹脂(三菱化学(株)製「YL7553BH30」、固形分30質量%のMEK溶液)34部、ソルベントナフサ30部、トルエン25部、メチルエチルケトン10部の混合溶液を撹拌しながら加熱溶解させた。混合溶液を室温まで冷却後、硬化促進剤(四国化成(株)製「1B2PZ」の40質量%MEK溶液)3部、重合開始剤(日油(株)製「パーヘキシン25B」)4.9部、ゴム粒子(ガンツ化成(株)製、スタフィロイドAC3816N)1.58部、スチリルシラン系カップリング剤(信越化学工業(株)製、「KBM1403」)で表面処理された球形シリカ(平均粒径0.5μm、(株)アドマテックス製「SOC2」)158部を混合し、高速回転ミキサーで均一に分散して、樹脂ワニスを作製した。その後、実施例1と同様にして接着フィルムを作製した。
<Comparative Example 3>
48 parts of styrene-modified polyphenylene ether resin (“OPE-2St (number average molecular weight 1200)” manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd.), bixylenol diallyl ether resin (“YL7776 (number average molecular weight 331) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation)” 24 parts, 18 parts of biphenyl type epoxy resin (“NC3000L” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), active ester type curing agent (“EXB9416-70BK” manufactured by DIC Corporation, methyl isobutyl ketone solution having a solid content of 70% by mass) 26 parts, 34 parts of phenoxy resin ("YL7553BH30" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, MEK solution with a solid content of 30% by mass), 30 parts of solvent naphtha, 25 parts of toluene, and 10 parts of methyl ethyl ketone are heated and dissolved with stirring. It was. After cooling the mixed solution to room temperature, 3 parts of a curing accelerator (40% by mass MEK solution of “1B2PZ” manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd.), 4.9 parts of a polymerization initiator (“Perhexin 25B” manufactured by NOF Corporation) , 1.58 parts of rubber particles (manufactured by Ganz Kasei Co., Ltd., Staphyloid AC3816N), spherical silica (average particle diameter) surface-treated with a styrylsilane coupling agent (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., “KBM1403”) A resin varnish was prepared by mixing 158 parts of 0.5 μm, “SOC2” manufactured by Admatechs Co., Ltd., and uniformly dispersing with a high-speed rotary mixer. Thereafter, an adhesive film was produced in the same manner as in Example 1.

結果を表1に示す。   The results are shown in Table 1.

Figure 2014034580
Figure 2014034580

表1の結果から、実施例の樹脂組成物は、低算術平均粗さ、低二乗平均平方根粗さでピール強度が十分な値で安定しており、誘電正接も低い。一方、比較例1では算術平均粗さ、二乗平均平方根粗さが大きく、ピール強度も低い。比較例2ではピール強度が低い。比較例3ではピール強度が低く、誘電正接も大きい。   From the results in Table 1, the resin compositions of the examples are stable with a low arithmetic average roughness, low root mean square roughness, a sufficient peel strength, and a low dielectric loss tangent. On the other hand, in Comparative Example 1, the arithmetic average roughness and the root mean square roughness are large, and the peel strength is also low. In Comparative Example 2, the peel strength is low. In Comparative Example 3, the peel strength is low and the dielectric loss tangent is also large.

湿式粗化工程において絶縁層表面の算術平均粗さが小さいのみならず、二乗平均平方根粗さも小さく、その上に安定したピール強度を有するメッキ導体層を形成することができ、更に誘電正接も低い樹脂組成物を提供できるようになった。更に該樹脂組成物を用いたシート状積層材料、多層プリント配線板、半導体装置を提供できるようになった。更にこれらを搭載した、コンピューター、携帯電話、デジタルカメラ、テレビ、等の電気製品や、自動二輪車、自動車、電車、船舶、航空機、等の乗物も提供できるようになった。   In the wet roughening process, not only the arithmetic average roughness of the insulating layer surface is small, but also the root mean square roughness is small, and a plated conductor layer having a stable peel strength can be formed thereon, and the dielectric loss tangent is also low. A resin composition can be provided. Furthermore, sheet-like laminated materials, multilayer printed wiring boards, and semiconductor devices using the resin composition can be provided. Furthermore, electric products such as computers, mobile phones, digital cameras, and televisions, and vehicles such as motorcycles, automobiles, trains, ships, and airplanes equipped with these can be provided.

Claims (25)

(A)ラジカル重合性化合物、(B)エポキシ樹脂、(C)硬化剤及び(D)粗化成分を含有することを特徴とする樹脂組成物。   (A) A radically polymerizable compound, (B) an epoxy resin, (C) a curing agent, and (D) a roughening component. 前記(A)ラジカル重合性化合物が、スチリル基、アリル基、ビニル基、アクリル基、メタクリル基及びプロペニル基から選択される1種以上を有することを特徴とする請求項1記載の樹脂組成物。   The resin composition according to claim 1, wherein the radically polymerizable compound (A) has one or more selected from a styryl group, an allyl group, a vinyl group, an acrylic group, a methacryl group, and a propenyl group. 前記(A)ラジカル重合性化合物が、下記式(1)で表される化合物であることを特徴とする請求項1又は2記載の樹脂組成物。
Figure 2014034580
[R〜Rはそれぞれ独立に水素、炭素数1〜4のアルキル基である。Aは下記式(2)又は下記式(3)である。]
Figure 2014034580
[Bは下記構造式B−1、B−2又はB−3である。]
Figure 2014034580
[Dは下記式(4)である。]
Figure 2014034580
[R〜R14はそれぞれ独立に水素、炭素数6以下のアルキル基またはフェニル基である。a、bは、少なくとも一方が0でない0〜100の整数である。Bは下記構造式B−1、B−2又はB−3である。]
Figure 2014034580
[R15〜R34はそれぞれ独立に水素、炭素数6以下のアルキル基またはフェニル基である。Eは、炭素数20以下の直鎖状、分岐状又は環状の2価の炭化水素基である。]
The resin composition according to claim 1 or 2, wherein the (A) radical polymerizable compound is a compound represented by the following formula (1).
Figure 2014034580
[R 1 to R 6 are each independently hydrogen and an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms. A is the following formula (2) or the following formula (3). ]
Figure 2014034580
[B is the following structural formula B-1, B-2, or B-3. ]
Figure 2014034580
[D is the following formula (4). ]
Figure 2014034580
[R 7 to R 14 are each independently hydrogen, an alkyl group having 6 or less carbon atoms, or a phenyl group. a and b are integers of 0 to 100, at least one of which is not 0. B is the following structural formula B-1, B-2, or B-3. ]
Figure 2014034580
[R 15 to R 34 are each independently hydrogen, an alkyl group having 6 or less carbon atoms, or a phenyl group. E is a linear, branched or cyclic divalent hydrocarbon group having 20 or less carbon atoms. ]
前記(A)ラジカル重合性化合物の数平均分子量が、100〜10000の範囲であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載の樹脂組成物。   The number average molecular weight of the said (A) radically polymerizable compound is the range of 100-10000, The resin composition of any one of Claims 1-3 characterized by the above-mentioned. 樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、前記(A)ラジカル重合性化合物の含有量が、5〜40質量%であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項記載の樹脂組成物。   5. The content of the radically polymerizable compound (A) is 5 to 40% by mass when the non-volatile component in the resin composition is 100% by mass. 5. The resin composition as described. 前記(B)エポキシ樹脂が、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂及びアントラセン型エポキシ樹脂より選択される1種以上であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項記載の樹脂組成物。   The (B) epoxy resin is bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, naphthol type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, naphthylene ether type epoxy resin, glycidyl ester type epoxy resin and anthracene type It is 1 or more types selected from an epoxy resin, The resin composition of any one of Claims 1-5 characterized by the above-mentioned. 樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、前記(B)エポキシ樹脂の含有量が、1〜30質量%であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項記載の樹脂組成物。   The content of said (B) epoxy resin is 1-30 mass%, when the non-volatile component in a resin composition is 100 mass%, The any one of Claims 1-6 characterized by the above-mentioned. Resin composition. 前記(C)硬化剤が、活性エステル型硬化剤及び/又はシアネートエステル型硬化剤を含有することを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項記載の樹脂組成物。   The resin composition according to claim 1, wherein the (C) curing agent contains an active ester type curing agent and / or a cyanate ester type curing agent. 前記(C)硬化剤が、活性エステル型硬化剤を含有することを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項記載の樹脂組成物。   The resin composition according to claim 1, wherein the (C) curing agent contains an active ester type curing agent. 樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、前記(C)硬化剤の含有量が、1〜30質量%であることを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項記載の樹脂組成物。   The content of the curing agent (C) is 1 to 30% by mass when the nonvolatile component in the resin composition is 100% by mass, according to any one of claims 1 to 9. Resin composition. 前記(D)粗化成分が、ポリブタジエン樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアセタール樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリメタクリル酸メチル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂から選択される1種以上を含有することを特徴とする請求項1〜10のいずれか1項記載の樹脂組成物。   The roughening component (D) contains at least one selected from polybutadiene resin, polyamide resin, polyamideimide resin, polyimide resin, polyacetal resin, polycarbonate resin, polymethyl methacrylate resin, polyester resin, and polyurethane resin. The resin composition of any one of Claims 1-10 characterized by these. 前記(D)粗化成分が、ポリブタジエン樹脂を含有することを特徴とする請求項1〜11のいずれか1項記載の樹脂組成物。   The resin composition according to claim 1, wherein the roughening component (D) contains a polybutadiene resin. 前記(D)粗化成分が、ブタジエン骨格と、反応性基とを有するポリブタジエン樹脂を含有することを特徴とする請求項1〜12のいずれか1項記載の樹脂組成物。   The resin composition according to any one of claims 1 to 12, wherein the roughening component (D) contains a polybutadiene resin having a butadiene skeleton and a reactive group. 前記(D)粗化成分の数平均分子量が、300〜30000の範囲であることを特徴とする請求項1〜13のいずれか1項記載の樹脂組成物。   The resin composition according to any one of claims 1 to 13, wherein the number average molecular weight of the (D) roughening component is in the range of 300 to 30,000. 樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、前記(C)粗化成分の含有量が、0.5〜20質量%であることを特徴とする請求項1〜14のいずれか1項記載の樹脂組成物。   When the non-volatile component in a resin composition is 100 mass%, content of the said (C) roughening component is 0.5-20 mass%, Any one of Claims 1-14 characterized by the above-mentioned. The resin composition according to Item. (E)無機充填材を含有することを特徴とする請求項1〜15のいずれか1項記載の樹脂組成物。   (E) Inorganic filler is contained, The resin composition of any one of Claims 1-15 characterized by the above-mentioned. 前記(E)無機充填材がスチリルシラン系カップリング剤で表面処理されていることを特徴とする請求項16記載の樹脂組成物。   The resin composition according to claim 16, wherein the (E) inorganic filler is surface-treated with a styrylsilane coupling agent. 樹脂組成物を硬化して絶縁層を形成し、その絶縁層表面を粗化処理した後の算術平均粗さが10〜300nmであり、二乗平均平方根粗さが15〜450nmであることを特徴とする請求項1〜17のいずれか1項記載の樹脂組成物。   The arithmetic average roughness after the resin composition is cured to form an insulating layer, and the surface of the insulating layer is roughened is 10 to 300 nm, and the root mean square roughness is 15 to 450 nm. The resin composition according to any one of claims 1 to 17. 樹脂組成物を硬化して絶縁層を形成し、その絶縁層表面を粗化処理し、メッキして得られる導体層と絶縁層とのピール強度が0.3〜1.2kgf/cmであることを特徴とする請求項1〜18のいずれか1項記載の樹脂組成物。   The resin composition is cured to form an insulating layer, the surface of the insulating layer is roughened, and the peel strength between the conductor layer and the insulating layer obtained by plating is 0.3 to 1.2 kgf / cm The resin composition of any one of Claims 1-18 characterized by these. 樹脂組成物の硬化物の誘電正接が0.003以下であることを特徴とする請求項1〜19のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to any one of claims 1 to 19, wherein the dielectric loss tangent of the cured product of the resin composition is 0.003 or less. 多層プリント配線板の絶縁層用樹脂組成物であることを特徴とする請求項1〜20のいずれか1項記載の樹脂組成物。   The resin composition according to any one of claims 1 to 20, wherein the resin composition is a resin composition for an insulating layer of a multilayer printed wiring board. 多層プリント配線板のビルドアップ層用樹脂組成物であることを特徴とする請求項1〜21のいずれか1項記載の樹脂組成物。 The resin composition according to any one of claims 1 to 21, which is a resin composition for a buildup layer of a multilayer printed wiring board. 請求項1〜22のいずれか1項記載の樹脂組成物を含有することを特徴とするシート状積層材料。 A sheet-like laminated material comprising the resin composition according to any one of claims 1 to 22. 請求項23記載のシート状積層材料を用いることを特徴とする多層プリント配線板。 A multilayer printed wiring board comprising the sheet-like laminated material according to claim 23. 請求項24記載の多層プリント配線板を用いることを特徴とする半導体装置。 A semiconductor device using the multilayer printed wiring board according to claim 24.
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