JP6694833B2 - Resin composition - Google Patents

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Description

本発明は、樹脂組成物に関する。さらに当該樹脂組成物を含有する、シート状積層材料、多層プリント配線板、半導体装置に関する。   The present invention relates to a resin composition. Further, the present invention relates to a sheet-shaped laminated material, a multilayer printed wiring board and a semiconductor device containing the resin composition.

近年、電子機器の小型化、高性能化が進み、多層プリント配線板においては、ビルドアップ層が複層化され、配線の微細化及び高密度化が求められている。また、信号の高周波数化に伴い、ビルドアップ層には低誘電正接化も求められている。   2. Description of the Related Art In recent years, electronic devices have become smaller and higher in performance, and in a multilayer printed wiring board, build-up layers are multi-layered, and finer wiring and higher density are required. In addition, as the frequency of signals increases, the buildup layer is also required to have a low dielectric loss tangent.

これに対して様々な取組みがなされてきた。例えば、特許文献1には、多官能性ビニルベンジルエーテル化合物、溶剤可溶性ポリイミド、熱硬化触媒を含有する熱硬化性樹脂組成物が開示されているが、表面粗さが大きいことや誘電正接が大きいことなど、その性能は十分なものではなかった。   Various efforts have been made to address this. For example, Patent Document 1 discloses a thermosetting resin composition containing a polyfunctional vinylbenzyl ether compound, a solvent-soluble polyimide, and a thermosetting catalyst, but has a large surface roughness and a large dielectric loss tangent. The performance was not enough.

特開2005−281673号公報JP, 2005-281673, A

本発明が解決しようとする課題は、湿式粗化工程において絶縁層表面の算術平均粗さが小さいのみならず、二乗平均平方根粗さも小さく、その上に安定した十分なピール強度を有するメッキ導体層を形成することができ、更に誘電正接も低い樹脂組成物を提供することである。   The problem to be solved by the present invention is that not only the arithmetic mean roughness of the surface of the insulating layer in the wet roughening step is small, but also the root mean square roughness is small, and a plated conductor layer having a stable and sufficient peel strength. And a low dielectric loss tangent.

本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意検討した結果、ラジカル重合性化合物、エポキシ樹脂、硬化剤及び粗化成分を含有することを特徴とする樹脂組成物において、本発明を完成するに至った。   As a result of intensive studies to solve the above problems, the inventors have completed the present invention in a resin composition containing a radically polymerizable compound, an epoxy resin, a curing agent and a roughening component. I arrived.

すなわち、本発明は以下の内容を含むものである。
〔1〕 (A)ラジカル重合性化合物、(B)エポキシ樹脂、(C)硬化剤及び(D)粗化成分を含有することを特徴とする樹脂組成物。
〔2〕 前記(A)ラジカル重合性化合物が、スチリル基、アリル基、ビニル基、アクリル基、メタクリル基及びプロペニル基から選択される1種以上を有することを特徴とする〔1〕記載の樹脂組成物。
〔3〕 前記(A)ラジカル重合性化合物が、下記式(1)で表される化合物であることを特徴とする〔1〕又は〔2〕記載の樹脂組成物。

Figure 0006694833
[R〜Rはそれぞれ独立に水素、炭素数1〜4のアルキル基である。Aは下記式(2)又は下記式(3)である。]
Figure 0006694833
[Bは下記構造式B−1、B−2又はB−3である。]
Figure 0006694833
[Dは下記式(4)である。]
Figure 0006694833
[R〜R14はそれぞれ独立に水素、炭素数6以下のアルキル基またはフェニル基である。a、bは、少なくとも一方が0でない0〜100の整数である。Bは下記構造式B−1、B−2又はB−3である。]
Figure 0006694833
[R15〜R34はそれぞれ独立に水素、炭素数6以下のアルキル基またはフェニル基である。Eは、炭素数20以下の直鎖状、分岐状又は環状の2価の炭化水素基である。]
〔4〕 前記(A)ラジカル重合性化合物の数平均分子量が、100〜10000の範囲であることを特徴とする〔1〕〜〔3〕のいずれか記載の樹脂組成物。
〔5〕 樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、前記(A)ラジカル重合性化合物の含有量が、5〜40質量%であることを特徴とする〔1〕〜〔4〕のいずれか記載の樹脂組成物。
〔6〕 前記(B)エポキシ樹脂が、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂及びアントラセン型エポキシ樹脂より選択される1種以上であることを特徴とする〔1〕〜〔5〕のいずれか記載の樹脂組成物。
〔7〕 樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、前記(B)エポキシ樹脂の含有量が、1〜30質量%であることを特徴とする〔1〕〜〔6〕のいずれか記載の樹脂組成物。
〔8〕 前記(C)硬化剤が、活性エステル型硬化剤及び/又はシアネートエステル型硬化剤を含有することを特徴とする〔1〕〜〔7〕のいずれか記載の樹脂組成物。
〔9〕 前記(C)硬化剤が、活性エステル型硬化剤を含有することを特徴とする〔1〕〜〔8〕のいずれか記載の樹脂組成物。
〔10〕 樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、前記(C)硬化剤の含有量が、1〜30質量%であることを特徴とする〔1〕〜〔9〕のいずれか記載の樹脂組成物。
〔11〕 前記(D)粗化成分が、ポリブタジエン樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアセタール樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリメタクリル酸メチル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂から選択される1種以上を含有することを特徴とする〔1〕〜〔10〕のいずれか記載の樹脂組成物。
〔12〕 前記(D)粗化成分が、ポリブタジエン樹脂を含有することを特徴とする〔1〕〜〔11〕のいずれか記載の樹脂組成物。
〔13〕 前記(D)粗化成分が、ブタジエン骨格と、反応性基とを有するポリブタジエン樹脂を含有することを特徴とする〔1〕〜〔12〕のいずれか記載の樹脂組成物。
〔14〕 前記(D)粗化成分の数平均分子量が、300〜30000の範囲であることを特徴とする〔1〕〜〔13〕のいずれか記載の樹脂組成物。
〔15〕 樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、前記(C)粗化成分の含有量が、0.5〜20質量%であることを特徴とする〔1〕〜〔14〕のいずれか記載の樹脂組成物。
〔16〕 (E)無機充填材を含有することを特徴とする〔1〕〜〔15〕のいずれか記載の樹脂組成物。
〔17〕 前記(E)無機充填材がスチリルシラン系カップリング剤で表面処理されていることを特徴とする〔16〕記載の樹脂組成物。
〔18〕 樹脂組成物を硬化して絶縁層を形成し、その絶縁層表面を粗化処理した後の算術平均粗さが10〜300nmであり、二乗平均平方根粗さが15〜450nmであることを特徴とする〔1〕〜〔17〕のいずれか記載の樹脂組成物。
〔19〕 樹脂組成物を硬化して絶縁層を形成し、その絶縁層表面を粗化処理し、メッキして得られる導体層と絶縁層とのピール強度が0.3〜1.2kgf/cmであることを特徴とする〔1〕〜〔18〕のいずれか記載の樹脂組成物。
〔20〕 樹脂組成物の硬化物の誘電正接が0.003以下であることを特徴とする〔1〕〜〔19〕のいずれかに記載の樹脂組成物。
〔21〕 多層プリント配線板の絶縁層用樹脂組成物であることを特徴とする〔1〕〜〔20〕のいずれか記載の樹脂組成物。
〔22〕 多層プリント配線板のビルドアップ層用樹脂組成物であることを特徴とする〔1〕〜〔21〕のいずれか記載の樹脂組成物。
〔23〕 〔1〕〜〔22〕のいずれか記載の樹脂組成物を含有することを特徴とするシート状積層材料。
〔24〕 〔23〕記載のシート状積層材料を用いることを特徴とする多層プリント配線板。
〔25〕 〔24〕記載の多層プリント配線板を用いることを特徴とする半導体装置。 That is, the present invention includes the following contents.
[1] A resin composition containing (A) a radically polymerizable compound, (B) an epoxy resin, (C) a curing agent, and (D) a roughening component.
[2] The resin according to [1], wherein the radically polymerizable compound (A) has at least one selected from styryl group, allyl group, vinyl group, acryl group, methacryl group and propenyl group. Composition.
[3] The resin composition according to [1] or [2], wherein the radically polymerizable compound (A) is a compound represented by the following formula (1).
Figure 0006694833
[R 1 to R 6 are each independently hydrogen or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms. A is the following formula (2) or the following formula (3). ]
Figure 0006694833
[B is the following structural formula B-1, B-2 or B-3. ]
Figure 0006694833
[D is the following formula (4). ]
Figure 0006694833
[R 7 to R 14 are each independently hydrogen, an alkyl group having 6 or less carbon atoms or a phenyl group. a and b are integers of 0 to 100 in which at least one is not 0. B is the following structural formula B-1, B-2 or B-3. ]
Figure 0006694833
[R 15 to R 34 are each independently hydrogen, an alkyl group having 6 or less carbon atoms or a phenyl group. E is a linear, branched or cyclic divalent hydrocarbon group having 20 or less carbon atoms. ]
[4] The resin composition according to any one of [1] to [3], wherein the number-average molecular weight of the radically polymerizable compound (A) is in the range of 100 to 10,000.
[5] When the nonvolatile component in the resin composition is 100% by mass, the content of the radically polymerizable compound (A) is 5 to 40% by mass [1] to [4]. The resin composition according to any one of 1.
[6] The (B) epoxy resin is a bisphenol A type epoxy resin, a bisphenol F type epoxy resin, a naphthol type epoxy resin, a naphthalene type epoxy resin, a biphenyl type epoxy resin, a naphthylene ether type epoxy resin, a glycidyl ester type epoxy resin. And at least one selected from anthracene type epoxy resins, [1] to [5].
[7] Any of [1] to [6], wherein the content of the (B) epoxy resin is 1 to 30 mass% when the nonvolatile component in the resin composition is 100 mass%. Or the resin composition as described above.
[8] The resin composition according to any one of [1] to [7], wherein the curing agent (C) contains an active ester type curing agent and / or a cyanate ester type curing agent.
[9] The resin composition according to any one of [1] to [8], wherein the curing agent (C) contains an active ester type curing agent.
[10] Any of [1] to [9], wherein the content of the (C) curing agent is 1 to 30% by mass, when the nonvolatile component in the resin composition is 100% by mass. Or the resin composition as described above.
[11] The (D) roughening component is one or more selected from polybutadiene resin, polyamide resin, polyamideimide resin, polyimide resin, polyacetal resin, polycarbonate resin, polymethyl methacrylate resin, polyester resin, polyurethane resin. The resin composition according to any one of [1] to [10], which further comprises:
[12] The resin composition according to any one of [1] to [11], wherein the roughening component (D) contains a polybutadiene resin.
[13] The resin composition according to any one of [1] to [12], wherein the (D) roughening component contains a polybutadiene resin having a butadiene skeleton and a reactive group.
[14] The resin composition according to any one of [1] to [13], wherein the number average molecular weight of the roughening component (D) is in the range of 300 to 30,000.
[15] When the nonvolatile component in the resin composition is 100% by mass, the content of the (C) roughening component is 0.5 to 20% by mass [1] to [14] ] The resin composition in any one of these.
[16] The resin composition according to any one of [1] to [15], which contains (E) an inorganic filler.
[17] The resin composition according to [16], wherein the inorganic filler (E) is surface-treated with a styrylsilane coupling agent.
[18] The resin composition is cured to form an insulating layer, and the arithmetic mean roughness after roughening the insulating layer surface is 10 to 300 nm and the root mean square roughness is 15 to 450 nm. The resin composition according to any one of [1] to [17].
[19] The resin composition is cured to form an insulating layer, the surface of the insulating layer is roughened, and the peel strength between the conductor layer and the insulating layer obtained by plating is 0.3 to 1.2 kgf / cm. The resin composition according to any one of [1] to [18].
[20] The resin composition according to any one of [1] to [19], wherein the cured product of the resin composition has a dielectric loss tangent of 0.003 or less.
[21] The resin composition according to any one of [1] to [20], which is a resin composition for an insulating layer of a multilayer printed wiring board.
[22] The resin composition according to any one of [1] to [21], which is a resin composition for a buildup layer of a multilayer printed wiring board.
[23] A sheet-shaped laminated material containing the resin composition according to any one of [1] to [22].
[24] A multilayer printed wiring board using the sheet-like laminated material according to [23].
[25] A semiconductor device using the multilayer printed wiring board according to [24].

ラジカル重合性化合物、エポキシ樹脂、硬化剤及び粗化成分を含有することを特徴とする樹脂組成物を用いることにより、湿式粗化工程において絶縁層表面の算術平均粗さが小さいのみならず、二乗平均平方根粗さも小さく、その上に安定した十分なピール強度を有するメッキ導体層を形成することができ、更に誘電正接も低い樹脂組成物を提供できるようになった。   By using a resin composition characterized by containing a radically polymerizable compound, an epoxy resin, a curing agent and a roughening component, not only the arithmetic average roughness of the insulating layer surface in the wet roughening step is small, but also the square. It has become possible to provide a resin composition having a small average square root roughness, a stable plated conductor layer having a sufficient peel strength, and a low dielectric loss tangent.

本発明は(A)ラジカル重合性化合物、(B)エポキシ樹脂、(C)硬化剤及び(D)粗化成分を含有することを特徴とする樹脂組成物である。以下、樹脂組成物について詳述する。   The present invention is a resin composition containing (A) a radically polymerizable compound, (B) an epoxy resin, (C) a curing agent, and (D) a roughening component. Hereinafter, the resin composition will be described in detail.

<(A)ラジカル重合性化合物>
本発明に使用するラジカル重合性化合物としては、ラジカル重合性基を有していれば、特に限定されない。ラジカル重合性化合物を使用することで、硬化物の誘電正接を低下させることができる。ラジカル重合性基としては、スチリル基、アリル基、ビニル基、アクリル基、メタクリル基、プロペニル基等が挙げられ、保存安定性が優れるという観点から、スチリル基、アリル基、ビニル基、アクリル基、メタクリル基及びプロペニル基から選択される1種以上を有することが好ましく、耐熱性に優れるという観点からスチリル基を有することがより好ましい。
<(A) Radical polymerizable compound>
The radical polymerizable compound used in the present invention is not particularly limited as long as it has a radical polymerizable group. By using a radically polymerizable compound, the dielectric loss tangent of the cured product can be reduced. Examples of the radically polymerizable group include a styryl group, an allyl group, a vinyl group, an acryl group, a methacryl group, and a propenyl group, and from the viewpoint of excellent storage stability, a styryl group, an allyl group, a vinyl group, an acryl group, It is preferable to have one or more selected from a methacryl group and a propenyl group, and it is more preferable to have a styryl group from the viewpoint of excellent heat resistance.

具体的には、下記式(1)で表される化合物が好ましい。   Specifically, a compound represented by the following formula (1) is preferable.

Figure 0006694833
[R〜Rはそれぞれ独立に水素、炭素数1〜4のアルキル基であり、好ましくは水素である。Aは下記式(2)又は下記式(3)である。]
Figure 0006694833
[R 1 to R 6 are each independently hydrogen or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, preferably hydrogen. A is the following formula (2) or the following formula (3). ]

Figure 0006694833
[Bは下記構造式B−1、B−2又はB−3である。]
Figure 0006694833
[B is the following structural formula B-1, B-2 or B-3. ]

Figure 0006694833
[Dは下記式(4)である。]
Figure 0006694833
[D is the following formula (4). ]

Figure 0006694833
[R〜R14はそれぞれ独立に水素、炭素数6以下のアルキル基またはフェニル基であり、好ましくは水素またはメチル基である。特にR、R、R13、R14はメチル基がより好ましい。a、bは、少なくとも一方が0でない0〜100の整数である。Bは下記構造式B−1、B−2又はB−3である。]
Figure 0006694833
[R 7 to R 14 are each independently hydrogen, an alkyl group having 6 or less carbon atoms or a phenyl group, and preferably hydrogen or a methyl group. In particular, R 7 , R 8 , R 13 , and R 14 are more preferably methyl groups. a and b are integers of 0 to 100 in which at least one is not 0. B is the following structural formula B-1, B-2 or B-3. ]

Figure 0006694833
[R15〜R34はそれぞれ独立に水素、炭素数6以下のアルキル基またはフェニル基であり、好ましくは水素またはメチル基である。Eは、炭素数20以下の直鎖状、分岐状又は環状の2価の炭化水素基である。]
Figure 0006694833
[R 15 to R 34 each independently represent hydrogen, an alkyl group having 6 or less carbon atoms or a phenyl group, preferably hydrogen or a methyl group. E is a linear, branched or cyclic divalent hydrocarbon group having 20 or less carbon atoms. ]

さらに具体的には、下記式(5)又は下記式(6)で表される化合物がより好ましい。   More specifically, a compound represented by the following formula (5) or the following formula (6) is more preferable.

Figure 0006694833
[R〜R、B、a、bは、上記と同様である。]
Figure 0006694833
[R 1 to R 6 , B, a, and b are the same as above. ]

Figure 0006694833
Figure 0006694833

市販されているラジカル重合性化合物としては、スチレン変性ポリフェニレンエーテル樹脂(三菱瓦斯化学(株)製「OPE−2St(数平均分子量1200)」、一般式(5)相当)、ビキシレノールジアリルエーテル樹脂(三菱化学(株)製「YL7776(数平均分子量331)」、一般式(6)相当)等が挙げられる。   Examples of commercially available radical-polymerizable compounds include styrene-modified polyphenylene ether resins (“OPE-2St (number average molecular weight 1200)” manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Inc., equivalent to general formula (5)), bixylenol diallyl ether resins ( “YL7776 (number average molecular weight 331)” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, equivalent to general formula (6), and the like can be mentioned.

ラジカル重合性化合物の数平均分子量は、樹脂ワニス乾燥時の揮発防止、樹脂組成物の溶融粘度が上昇しすぎるのを防止するという観点から、100〜10000の範囲であるのが好ましく、200〜3000の範囲であるのがより好ましい。なお本発明における数平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法(ポリスチレンン換算)で測定される。GPC法による数平均分子量は、具体的には、測定装置として(株)島津製作所製LC−9A/RID−6Aを、カラムとして昭和電工(株)社製Shodex K−800P/K−804L/K−804Lを、移動相としてクロロホルム等を用いて、カラム温度40℃にて測定し、標準ポリスチレンの検量線を用いて算出することができる。   The number average molecular weight of the radically polymerizable compound is preferably in the range of 100 to 10,000, from the viewpoint of preventing volatilization at the time of drying the resin varnish and preventing the melt viscosity of the resin composition from rising too much, and 200 to 3,000. The range is more preferably. The number average molecular weight in the present invention is measured by gel permeation chromatography (GPC) method (polystyrene conversion). The number average molecular weight by the GPC method is specifically LC-9A / RID-6A manufactured by Shimadzu Corporation as a measuring device and Shodex K-800P / K-804L / K manufactured by Showa Denko KK as a column. -804L can be calculated by using chloroform as a mobile phase at a column temperature of 40 ° C and using a calibration curve of standard polystyrene.

本発明の樹脂組成物において、樹脂組成物の相溶性向上という観点から、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、ラジカル重合性化合物の含有量は5〜40質量%が好ましく、10〜30質量%がより好ましい。   In the resin composition of the present invention, from the viewpoint of improving the compatibility of the resin composition, when the non-volatile component in the resin composition is 100% by mass, the content of the radically polymerizable compound is preferably 5 to 40% by mass, 10 to 30 mass% is more preferable.

<(B)エポキシ樹脂>
本発明に使用するエポキシ樹脂としては、特に限定されないが、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、tert-ブチル-カテコール型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、線状脂肪族エポキシ樹脂、ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、スピロ環含有エポキシ樹脂、シクロヘキサンジメタノール型エポキシ樹脂、トリメチロール型エポキシ樹脂、ハロゲン化エポキシ樹脂等が挙げられる。これらは1種又は2種以上組み合わせて使用してもよい。
<(B) Epoxy resin>
The epoxy resin used in the present invention is not particularly limited, but is bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, bisphenol AF type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, tert-butyl-catechol. Type epoxy resin, naphthol type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, naphthylene ether type epoxy resin, glycidyl amine type epoxy resin, glycidyl ester type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, anthracene type epoxy resin, wire Aliphatic epoxy resin, epoxy resin having butadiene structure, alicyclic epoxy resin, heterocyclic epoxy resin, spiro ring-containing epoxy resin, cyclohexanedimethanol type Carboxymethyl resin, trimethylol type epoxy resins, and halogenated epoxy resins. You may use these 1 type or in combination of 2 or more types.

これらの中でも、表面粗さを低下させながらもピール強度を向上させるという観点から、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂及びアントラセン型エポキシ樹脂より選択される1種以上を用いることが好ましい。具体的には、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(三菱化学(株)製「エピコート828EL」、「YL980」)、ビスフェノールF型エポキシ樹脂(三菱化学(株)製「jER806H」、「YL983U」)、ナフタレン型2官能エポキシ樹脂(DIC(株)製「HP4032」、「HP4032D」、「HP4032SS」、「EXA4032SS」)、ナフタレン型4官能エポキシ樹脂(DIC(株)製「HP4700」、「HP4710」)、ナフトール型エポキシ樹脂(新日鐵化学(株)製「ESN−475V」)、ビフェニル構造を有するエポキシ樹脂(日本化薬(株)製「NC3000H」、「NC3000L」、「NC3100」、三菱化学(株)製「YX4000」、「YX4000H」、「YX4000HK」、「YL6121」)、アントラセン型エポキシ樹脂(三菱化学(株)製「YX8800」)、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂(DIC(株)製「EXA−7310」、「EXA−7311」、「EXA−7311L」、「EXA7311−G3」)、グリシジルエステル型エポキシ樹脂(ナガセケムテックス(株)製「EX711」、「EX721」、(株)プリンテック製「R540」)などが挙げられる。特にビフェニル型エポキシ樹脂は、低粗度かつ高ピール強度を発揮するために好ましい。   Among these, from the viewpoint of improving peel strength while reducing surface roughness, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, naphthol type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, naphthylene. It is preferable to use one or more selected from ether type epoxy resins, glycidyl ester type epoxy resins and anthracene type epoxy resins. Specifically, for example, bisphenol A type epoxy resin (“Epicoat 828EL”, “YL980” manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd.), bisphenol F type epoxy resin (“jER806H”, “YL983U” manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd.), Naphthalene-type bifunctional epoxy resin ("HP4032", "HP4032D", "HP4032SS", "EXA4032SS" manufactured by DIC Corporation), naphthalene-type tetrafunctional epoxy resin ("HP4700", "HP4710" manufactured by DIC Corporation), Naphthol type epoxy resin (“ESN-475V” manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.), epoxy resin having a biphenyl structure (“NC3000H”, “NC3000L”, “NC3100” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., Mitsubishi Chemical Corporation) ) "YX4000", "YX4000H", "YX4000HK" , “YL6121”), anthracene type epoxy resin (“YX8800” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), naphthylene ether type epoxy resin (“EXA-7310”, “EXA-7331”, “EXA-7331L” manufactured by DIC Corporation). , "EXA7311-G3"), glycidyl ester type epoxy resin ("EX711", "EX721" manufactured by Nagase Chemtex Co., Ltd., "R540" manufactured by Printec Co., Ltd.), and the like. Biphenyl type epoxy resin is particularly preferable because it exhibits low roughness and high peel strength.

本発明の樹脂組成物において、樹脂組成物の硬化物の機械強度や耐水性を向上させるという観点から、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、エポキシ樹脂の含有量は1〜30質量%が好ましく、2〜20質量%がより好ましく、3〜10質量%が更に好ましい。   In the resin composition of the present invention, from the viewpoint of improving the mechanical strength and water resistance of a cured product of the resin composition, when the nonvolatile component in the resin composition is 100% by mass, the content of the epoxy resin is 1 to 1. 30 mass% is preferable, 2-20 mass% is more preferable, 3-10 mass% is still more preferable.

<(C)硬化剤>
本発明に使用する硬化剤としては、特に限定されないが、活性エステル型硬化剤、シアネートエステル型硬化剤、フェノール型硬化剤、ベンゾオキサジン型硬化剤等が挙げられ、表面粗さをより低下させ、かつ誘電正接を低下させることができるという観点から、活性エステル型硬化剤及び/又はシアネートエステル型硬化剤を用いることが好ましく、活性エステル型硬化剤を用いることがより好ましい。これらは1種又は2種以上組み合わせて使用してもよい。
<(C) Curing agent>
The curing agent used in the present invention is not particularly limited, but examples thereof include active ester type curing agents, cyanate ester type curing agents, phenol type curing agents, benzoxazine type curing agents, etc., to further reduce the surface roughness, In addition, from the viewpoint that the dielectric loss tangent can be lowered, it is preferable to use the active ester type curing agent and / or the cyanate ester type curing agent, and it is more preferable to use the active ester type curing agent. You may use these 1 type or in combination of 2 or more types.

活性エステル型硬化剤としては、特に制限はないが、一般にフェノールエステル類、チオフェノールエステル類、N−ヒドロキシアミンエステル類、複素環ヒドロキシ化合物のエステル類等の反応活性の高いエステル基を1分子中に2個以上有する化合物が好ましく用いられる。当該活性エステル型硬化剤は、カルボン酸化合物及び/又はチオカルボン酸化合物とヒドロキシ化合物及び/又はチオール化合物との縮合反応によって得られるものが好ましい。   The active ester type curing agent is not particularly limited, but in general, an ester group having a high reaction activity such as a phenol ester, a thiophenol ester, an N-hydroxyamine ester, and an ester of a heterocyclic hydroxy compound is contained in one molecule. Compounds having two or more of them are preferably used. The active ester type curing agent is preferably obtained by a condensation reaction between a carboxylic acid compound and / or a thiocarboxylic acid compound and a hydroxy compound and / or a thiol compound.

特に耐熱性向上の観点から、カルボン酸化合物とヒドロキシ化合物とから得られる活性エステル型硬化剤が好ましく、カルボン酸化合物とフェノール化合物及び/又はナフトール化合物とから得られる活性エステル型硬化剤がより好ましい。カルボン酸化合物としては、例えば安息香酸、酢酸、コハク酸、マレイン酸、イタコン酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ピロメリット酸等が挙げられる。フェノール化合物又はナフトール化合物としては、ハイドロキノン、レゾルシン、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールS、フェノールフタリン、メチル化ビスフェノールA、メチル化ビスフェノールF、メチル化ビスフェノールS、フェノール、o−クレゾール、m−クレゾール、p−クレゾール、カテコール、α−ナフトール、β−ナフトール、1,5−ジヒドロキシナフタレン、1,6−ジヒドロキシナフタレン、2,6−ジヒドロキシナフタレン、ジヒドロキシベンゾフェノン、トリヒドロキシベンゾフェノン、テトラヒドロキシベンゾフェノン、フロログルシン、ベンゼントリオール、ジシクロペンタジエニルジフェノール、フェノールノボラック等が挙げられる。活性エステル型硬化剤としては、ジシクロペンタジエニルジフェノール構造を含む活性エステル型硬化剤、ナフタレン構造を含む活性エステル型硬化剤、フェノールノボラックのアセチル化物である活性エステル型硬化剤、フェノールノボラックのベンゾイル化物である活性エステル型硬化剤が好ましく、なかでもピール強度の向上に優れるという点で、ジシクロペンタジエニルジフェノール構造を含む活性エステル型硬化剤、ナフタレン構造を含む活性エステル型硬化剤がより好ましく、ジシクロペンタジエニルジフェノール構造を含む活性エステル型硬化剤が更に好ましい。   Particularly, from the viewpoint of improving heat resistance, an active ester type curing agent obtained from a carboxylic acid compound and a hydroxy compound is preferable, and an active ester type curing agent obtained from a carboxylic acid compound and a phenol compound and / or a naphthol compound is more preferable. Examples of the carboxylic acid compound include benzoic acid, acetic acid, succinic acid, maleic acid, itaconic acid, phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid and pyromellitic acid. Examples of the phenol compound or naphthol compound include hydroquinone, resorcin, bisphenol A, bisphenol F, bisphenol S, phenolphthaline, methylated bisphenol A, methylated bisphenol F, methylated bisphenol S, phenol, o-cresol, m-cresol, p-cresol, catechol, α-naphthol, β-naphthol, 1,5-dihydroxynaphthalene, 1,6-dihydroxynaphthalene, 2,6-dihydroxynaphthalene, dihydroxybenzophenone, trihydroxybenzophenone, tetrahydroxybenzophenone, phloroglucin, benzenetriol , Dicyclopentadienyl diphenol, phenol novolac and the like. As the active ester type curing agent, an active ester type curing agent containing a dicyclopentadienyl diphenol structure, an active ester type curing agent containing a naphthalene structure, an active ester type curing agent which is an acetylated product of phenol novolac, and a phenol novolak An active ester type curing agent which is a benzoyl compound is preferable, and among them, an active ester type curing agent containing a dicyclopentadienyl diphenol structure and an active ester type curing agent containing a naphthalene structure are preferable because they are excellent in improving the peel strength. More preferred is an active ester type curing agent containing a dicyclopentadienyl diphenol structure, and further preferred.

活性エステル型硬化剤としては、特開2004−277460号公報に開示されている活性エステル型硬化剤を用いてもよく、また市販のものを用いることもできる。具体的には、ジシクロペンタジエニルジフェノール構造を含む活性エステル型硬化剤としてEXB9451、EXB9460、EXB9460S−65T、HPC−8000−65T(DIC(株)製、活性基当量約223)、ナフタレン構造を含む活性エステル型硬化剤としてEXB9416−70BK(DIC(株)製、活性基当量約274)、フェノールノボラックのアセチル化物である活性エステル型硬化剤としてDC808(三菱化学(株)製、活性基当量約149)、フェノールノボラックのベンゾイル化物である活性エステル型硬化剤としてYLH1026(三菱化学(株)製、活性基当量約200)、YLH1030(三菱化学(株)製、活性基当量約201)、YLH1048(三菱化学(株)製、活性基当量約245)等が挙げられる。   As the active ester type curing agent, the active ester type curing agent disclosed in JP-A-2004-277460 may be used, or a commercially available one may be used. Specifically, as an active ester type curing agent containing a dicyclopentadienyl diphenol structure, EXB9451, EXB9460, EXB9460S-65T, HPC-8000-65T (manufactured by DIC Corporation, active group equivalent: 223), naphthalene structure. EXB9416-70BK (manufactured by DIC Corporation, active group equivalent: about 274) as an active ester type curing agent containing DC, and DC808 (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, active group equivalent: active ester type curing agent which is an acetylated product of phenol novolac). 149), YLH1026 (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, active group equivalent: about 200), YLH1030 (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, active group equivalent: about 201), YLH1048 as an active ester type curing agent which is a benzoylated product of phenol novolac. (Mitsubishi Chemical Corporation, active group equivalent of about 245) And the like.

シアネートエステル型硬化剤としては、特に制限はないが、ノボラック型(フェノールノボラック型、アルキルフェノールノボラック型など)シアネートエステル型硬化剤、ジシクロペンタジエン型シアネートエステル型硬化剤、ビスフェノール型(ビスフェノールA型、ビスフェノールF型、ビスフェノールS型など)シアネートエステル型硬化剤、及びこれらが一部トリアジン化したプレポリマーなどが挙げられる。シアネートエステル型硬化剤の重量平均分子量は、特に限定されるものではないが、500〜4500が好ましく、600〜3000がより好ましい。シアネートエステル型硬化剤の具体例としては、例えば、ビスフェノールAジシアネート、ポリフェノールシアネート(オリゴ(3−メチレン−1,5−フェニレンシアネート)、4,4’−メチレンビス(2,6−ジメチルフェニルシアネート)、4,4’−エチリデンジフェニルジシアネート、ヘキサフルオロビスフェノールAジシアネート、2,2−ビス(4−シアネート)フェニルプロパン、1,1−ビス(4−シアネートフェニルメタン)、ビス(4−シアネート−3,5−ジメチルフェニル)メタン、1,3−ビス(4−シアネートフェニル−1−(メチルエチリデン))ベンゼン、ビス(4−シアネートフェニル)チオエーテル、ビス(4−シアネートフェニル)エーテル等の2官能シアネート樹脂、フェノールノボラック、クレゾールノボラック、ジシクロペンタジエン構造含有フェノール樹脂等から誘導される多官能シアネート樹脂、これらシアネート樹脂が一部トリアジン化したプレポリマーなどが挙げられる。これらは1種又は2種以上組み合わせて使用してもよい。市販されているシアネートエステル樹脂としては、フェノールノボラック型多官能シアネートエステル樹脂(ロンザジャパン(株)製、PT30、シアネート当量124)、ビスフェノールAジシアネートの一部又は全部がトリアジン化され三量体となったプレポリマー(ロンザジャパン(株)製、BA230、シアネート当量232)、ジシクロペンタジエン構造含有シアネートエステル樹脂(ロンザジャパン(株)製、DT−4000、DT−7000)等が挙げられる。   The cyanate ester type curing agent is not particularly limited, but is a novolac type (phenol novolac type, alkylphenol novolac type, etc.) cyanate ester type curing agent, dicyclopentadiene type cyanate ester type curing agent, bisphenol type (bisphenol A type, bisphenol Cyanate ester type curing agents such as F type and bisphenol S type, and prepolymers obtained by partially converting these into triazine. The weight average molecular weight of the cyanate ester type curing agent is not particularly limited, but is preferably 500 to 4500, more preferably 600 to 3000. Specific examples of the cyanate ester type curing agent include, for example, bisphenol A dicyanate, polyphenol cyanate (oligo (3-methylene-1,5-phenylene cyanate), 4,4′-methylenebis (2,6-dimethylphenyl cyanate), 4,4′-Ethylidene diphenyl dicyanate, hexafluorobisphenol A dicyanate, 2,2-bis (4-cyanate) phenyl propane, 1,1-bis (4-cyanate phenylmethane), bis (4-cyanate-3, Bifunctional cyanate resins such as 5-dimethylphenyl) methane, 1,3-bis (4-cyanatephenyl-1- (methylethylidene)) benzene, bis (4-cyanatephenyl) thioether, and bis (4-cyanatephenyl) ether. , Phenol novolac, Examples include polyfunctional cyanate resins derived from resole novolacs, phenolic resins containing dicyclopentadiene structure, and prepolymers obtained by partially converting these cyanate resins into triazines. Examples of commercially available cyanate ester resins include phenol novolac-type polyfunctional cyanate ester resins (PT30, cyanate equivalent 124, manufactured by Lonza Japan Co., Ltd.), and some or all of bisphenol A dicyanate is triazined to form a trimer. The following prepolymers (BA230, cyanate equivalent 232, manufactured by Lonza Japan Co., Ltd.), cyanate ester resins containing a dicyclopentadiene structure (DT-4000, DT-7000, manufactured by Lonza Japan Co., Ltd.) and the like can be mentioned.

フェノール型硬化剤としては、特に制限はないが、ビフェニル型硬化剤、ナフタレン型硬化剤、フェノールノボラック型硬化剤、ナフチレンエーテル型硬化剤、トリアジン骨格含有フェノール型硬化剤が好ましい。具体的には、ビフェニル型硬化剤のMEH−7700、MEH−7810、MEH−7851(明和化成(株)製)、ナフタレン型硬化剤のNHN、CBN、GPH(日本化薬(株)製)、SN170、SN180、SN190、SN475、SN485、SN495、SN375、SN395(新日鐵化学(株)製)、EXB9500(DIC(株)製)、フェノールノボラック型硬化剤のTD2090(DIC(株)製)、ナフチレンエーテル型硬化剤のEXB−6000(DIC(株)製)、トリアジン骨格含有フェノール型硬化剤のLA3018、LA7052、LA7054、LA1356(DIC(株)製)等が挙げられる。   The phenol type curing agent is not particularly limited, but a biphenyl type curing agent, a naphthalene type curing agent, a phenol novolac type curing agent, a naphthylene ether type curing agent, and a triazine skeleton-containing phenol type curing agent are preferable. Specifically, biphenyl type curing agents MEH-7700, MEH-7810, MEH-7851 (manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd.), naphthalene type curing agents NHN, CBN, GPH (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), SN170, SN180, SN190, SN475, SN485, SN495, SN375, SN395 (manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.), EXB9500 (manufactured by DIC Co., Ltd.), TD2090 (manufactured by DIC Co., Ltd.) as a phenol novolac type curing agent, Examples include naphthylene ether type curing agents EXB-6000 (manufactured by DIC Corporation), triazine skeleton-containing phenol type curing agents LA3018, LA7052, LA7054, LA1356 (manufactured by DIC Corporation) and the like.

ベンゾオキサジン型硬化剤としては、特に制限はないが、具体例としては、F−a、P−d(四国化成(株)製)、HFB2006M(昭和高分子(株)製)などが挙げられる。   The benzoxazine type curing agent is not particularly limited, but specific examples thereof include Fa, Pd (manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd.), HFB2006M (manufactured by Showa High Polymer Co., Ltd.) and the like.

本発明の樹脂組成物において、樹脂組成物の硬化物の誘電正接を低下させるという観点から、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、硬化剤の含有量は1〜30質量%が好ましく、2〜20質量%がより好ましく、3〜10質量%が更に好ましい。   In the resin composition of the present invention, from the viewpoint of reducing the dielectric loss tangent of the cured product of the resin composition, when the nonvolatile component in the resin composition is 100% by mass, the content of the curing agent is 1 to 30% by mass. Is preferred, 2 to 20 mass% is more preferred, and 3 to 10 mass% is even more preferred.

本発明の樹脂組成物において、樹脂組成物の硬化物の機械強度や耐水性を向上させるという観点から、エポキシ樹脂のエポキシ基の合計数と、硬化剤の反応基の合計数との比が、1:0.2〜1:2が好ましく、1:0.3〜1:1.5がより好ましく、1:0.4〜1:1が更に好ましい。なお樹脂組成物中に存在するエポキシ樹脂のエポキシ基の合計数とは、各エポキシ樹脂の固形分質量をエポキシ当量で除した値をすべてのエポキシ樹脂について合計した値であり、硬化剤の反応基の合計数とは、各硬化剤の固形分質量を反応基当量で除した値をすべての硬化剤について合計した値である。   In the resin composition of the present invention, from the viewpoint of improving the mechanical strength and water resistance of the cured product of the resin composition, the ratio of the total number of epoxy groups of the epoxy resin and the total number of reactive groups of the curing agent, 1: 0.2 to 1: 2 is preferable, 1: 0.3 to 1: 1.5 is more preferable, and 1: 0.4 to 1: 1 is further preferable. Incidentally, the total number of epoxy groups of the epoxy resin present in the resin composition is a value obtained by dividing the solid content mass of each epoxy resin by the epoxy equivalent for all epoxy resins, and the reactive group of the curing agent. Is the total value of all the curing agents obtained by dividing the solid content mass of each curing agent by the reactive group equivalent.

<(D)粗化成分>
本発明に使用する粗化成分としては、デスミア処理により粗化されることで、ピール強度を付与することができるものであれば、特に限定されない。例えば、粗化成分としては、ポリブタジエン樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアセタール樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリメタクリル酸メチル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂から選択される1種以上を用いることが好ましく、なかでも低誘電正接と粗化性とを有する点からポリブタジエン樹脂がより好ましい。また、粗化成分は反応性基を有することが好ましく、反応性基を有することで均一な硬化物となり、粗化処理後の表面粗さを低く抑えつつ十分なピール強度を得ることが出来るようになる。反応性基としては、カルボン酸基、酸無水物基、水酸基、エポキシ基などが挙げられ、なかでも低誘電正接という点から酸無水物基が好ましい。従って、一実施態様として、ブタジエン骨格と、反応性基とを有するポリブタジエン樹脂が好ましく、ブタジエン骨格と、反応性基と、ポリイミド骨格とを有するポリブタジエン樹脂が好ましい。なお、ポリイミド骨格を有することで、耐熱性を損なわない粗化成分とすることができる。
<(D) Roughening component>
The roughening component used in the present invention is not particularly limited as long as it can impart peel strength by being roughened by desmear treatment. For example, as the roughening component, it is preferable to use one or more selected from polybutadiene resin, polyamide resin, polyamideimide resin, polyimide resin, polyacetal resin, polycarbonate resin, polymethylmethacrylate resin, polyester resin, and polyurethane resin. Among them, polybutadiene resin is more preferable because it has low dielectric loss tangent and roughening property. Further, the roughening component preferably has a reactive group, and by having the reactive group, it becomes a uniform cured product, and it is possible to obtain sufficient peel strength while suppressing the surface roughness after the roughening treatment to be low. become. Examples of the reactive group include a carboxylic acid group, an acid anhydride group, a hydroxyl group, and an epoxy group. Among them, the acid anhydride group is preferable from the viewpoint of low dielectric loss tangent. Therefore, as one embodiment, a polybutadiene resin having a butadiene skeleton and a reactive group is preferable, and a polybutadiene resin having a butadiene skeleton, a reactive group and a polyimide skeleton is preferable. By having a polyimide skeleton, it can be a roughening component that does not impair heat resistance.

粗化成分の具体例としては、ブタジエン骨格と水酸基とを有するポリブタジエン樹脂(日本曹達(株)製G−1000、G−3000、GI−1000、GI−3000)、ブタジエン骨格と水酸基とを有するポリブタジエン樹脂(出光石油化学(株)製R−45EPI)、ブタジエン骨格とエポキシ基とを有するポリブタジエン樹脂(ダイセル化学工業(株)製PB3600)、ブタジエン骨格と酸無水物基とポリイミド骨格を有するポリブタジエン樹脂(特開2006−37083号公報記載のもの)などが挙げられる。   Specific examples of the roughening component include a polybutadiene resin having a butadiene skeleton and a hydroxyl group (G-1000, G-3000, GI-1000, GI-3000 manufactured by Nippon Soda Co., Ltd.), a polybutadiene having a butadiene skeleton and a hydroxyl group. Resin (R-45 EPI manufactured by Idemitsu Petrochemical Co., Ltd.), polybutadiene resin having a butadiene skeleton and an epoxy group (PB3600 manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.), polybutadiene resin having a butadiene skeleton, an acid anhydride group and a polyimide skeleton ( JP-A-2006-37083) and the like.

粗化成分の数平均分子量は300〜30000の範囲であるのが好ましく、800〜15000の範囲であるのがより好ましい。数平均分子量をこの範囲とすることで、樹脂組成物中の相溶性や粗化性を両立することができる。なお本発明における数平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法(ポリスチレンン換算)で測定される。GPC法による数平均分子量は、具体的には、測定装置として(株)島津製作所製LC−9A/RID−6Aを、カラムとして昭和電工(株)社製Shodex K−800P/K−804L/K−804Lを、移動相としてクロロホルム等を用いて、カラム温度40℃にて測定し、標準ポリスチレンの検量線を用いて算出することができる。   The number average molecular weight of the roughening component is preferably in the range of 300 to 30,000, more preferably 800 to 15,000. By setting the number average molecular weight within this range, compatibility and roughening properties in the resin composition can be compatible. The number average molecular weight in the present invention is measured by gel permeation chromatography (GPC) method (polystyrene conversion). The number average molecular weight by the GPC method is specifically LC-9A / RID-6A manufactured by Shimadzu Corporation as a measuring device and Shodex K-800P / K-804L / K manufactured by Showa Denko KK as a column. -804L can be calculated by using chloroform as a mobile phase at a column temperature of 40 ° C and using a calibration curve of standard polystyrene.

本発明の樹脂組成物において、樹脂の相溶性を損なわずに均一な硬化物の作製を可能にするという観点から、樹脂組成物中の不揮発成分100質量%とした場合、粗化成分の含有量は0.5〜20質量%が好ましく、1〜10質量%がより好ましい。   In the resin composition of the present invention, the content of the roughening component is 100% by mass of the non-volatile component in the resin composition from the viewpoint of enabling the production of a uniform cured product without impairing the compatibility of the resin. Is preferably 0.5 to 20% by mass, more preferably 1 to 10% by mass.

<(E)無機充填材>
本発明の樹脂組成物は、さらに無機充填材を含有させることにより、誘電正接を低下させることができる。無機充填材としては、例えば、シリカ、アルミナ、硫酸バリウム、タルク、クレー、雲母粉、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、酸化マグネシウム、窒化ホウ素、ホウ酸アルミニウム、チタン酸バリウム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸カルシウム、チタン酸マグネシウム、チタン酸ビスマス、酸化チタン、ジルコン酸バリウム、ジルコン酸カルシウムなどが挙げられる。なかでも、シリカが好ましい。また、無定形シリカ、粉砕シリカ、溶融シリカ、結晶シリカ、合成シリカ、中空シリカ、メソポーラスシリカ等のシリカが好ましく、溶融シリカがより好ましい。また、シリカとしては球状のものが好ましい。これらは1種または2種以上組み合わせて使用してもよい。市販されている球状溶融シリカとして、(株)アドマテックス製「SO−C2」、「SO−C1」が挙げられる。
<(E) Inorganic filler>
The resin composition of the present invention can lower the dielectric loss tangent by further containing an inorganic filler. As the inorganic filler, for example, silica, alumina, barium sulfate, talc, clay, mica powder, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, calcium carbonate, magnesium carbonate, magnesium oxide, boron nitride, aluminum borate, barium titanate, Examples thereof include strontium titanate, calcium titanate, magnesium titanate, bismuth titanate, titanium oxide, barium zirconate, and calcium zirconate. Of these, silica is preferred. Further, silica such as amorphous silica, pulverized silica, fused silica, crystalline silica, synthetic silica, hollow silica and mesoporous silica is preferable, and fused silica is more preferable. Further, spherical silica is preferable. You may use these 1 type or in combination of 2 or more types. Examples of commercially available spherical fused silica include "SO-C2" and "SO-C1" manufactured by Admatechs Co., Ltd.

無機充填材の平均粒径は、特に限定されるものではないが、絶縁層上へ微細配線形成を行うという観点から、5μm以下が好ましく、3μm以下がより好ましく、1μm以下が更に好ましく、0.7μm以下が更に一層好ましい。一方、樹脂組成物をワニスとした場合に、ワニスの粘度が上昇し、取り扱い性が低下するのを防止するという観点から、0.01μm以上が好ましく、0.05μm以上がより好ましく、0.1μm以上が更に好ましい。上記無機充填材の平均粒径はミー(Mie)散乱理論に基づくレーザー回折・散乱法により測定することができる。具体的にはレーザー回折散乱式粒度分布測定装置により、無機充填材の粒度分布を体積基準で作成し、そのメディアン径を平均粒径とすることで測定することができる。測定サンプルは、無機充填材を超音波により水中に分散させたものを好ましく使用することができる。レーザー回折散乱式粒度分布測定装置としては、(株)堀場製作所製 LA−950等を使用することができる。   Although the average particle diameter of the inorganic filler is not particularly limited, it is preferably 5 μm or less, more preferably 3 μm or less, still more preferably 1 μm or less, from the viewpoint of forming fine wiring on the insulating layer. It is even more preferably 7 μm or less. On the other hand, when the resin composition is a varnish, 0.01 μm or more is preferable, 0.05 μm or more is more preferable, and 0.1 μm is 0.1 μm or more from the viewpoint of preventing the viscosity of the varnish from increasing and the handleability from decreasing. The above is more preferable. The average particle diameter of the inorganic filler can be measured by a laser diffraction / scattering method based on the Mie scattering theory. Specifically, the particle size distribution of the inorganic filler can be created on a volume basis by a laser diffraction / scattering particle size distribution measuring device, and the median diameter can be used as the average particle diameter for measurement. As the measurement sample, an inorganic filler dispersed in water by ultrasonic waves can be preferably used. As the laser diffraction / scattering particle size distribution measuring device, LA-950 manufactured by Horiba, Ltd. can be used.

無機充填材を配合する場合の含有量は、特に制限されないが、誘電正接を低下させ、かつフィルム形態の可撓性が低下するのを防止するという観点から、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、40〜85質量%が好ましく、45〜80質量%がより好ましく、50〜75質量%が更に好ましい。   The content of the inorganic filler in the case of being blended is not particularly limited, but from the viewpoint of reducing the dielectric loss tangent and preventing the flexibility of the film form from decreasing, the content of the nonvolatile component in the resin composition is 100. When it is defined as mass%, 40 to 85 mass% is preferable, 45 to 80 mass% is more preferable, and 50 to 75 mass% is further preferable.

無機充填材は、アミノシラン系カップリング剤、ウレイドシラン系カップリング剤、エポキシシラン系カップリング剤、メルカプトシラン系カップリング剤、シラン系カップリング剤、ビニルシラン系カップリング剤、スチリルシラン系カップリング剤、アクリレートシラン系カップリング剤、イソシアネートシラン系カップリング剤、スルフィドシラン系カップリング剤、オルガノシラザン化合物、チタネート系カップリング剤等の表面処理剤で表面処理してその耐湿性、分散性を向上させたものが好ましい。これらは1種又は2種以上組み合わせて使用してもよい。   Inorganic fillers include amino silane coupling agents, ureido silane coupling agents, epoxy silane coupling agents, mercapto silane coupling agents, silane coupling agents, vinyl silane coupling agents, styryl silane coupling agents. Surface treatment with surface treatment agents such as acrylate silane coupling agents, isocyanate silane coupling agents, sulfide silane coupling agents, silane silane coupling agents, organosilazane compounds, and titanate coupling agents to improve their moisture resistance and dispersibility. Those that are preferred. You may use these 1 type or in combination of 2 or more types.

具体的には、3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−アミノプロピルジエトキシメチルシラン、N−フェニル−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−メチルアミノプロピルトリメトキシシラン、N−2(−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルジメトキシメチルシラン等のアミノシラン系カップリング剤、3−ウレイドプロピルトリエトキシシラン等のウレイドシラン系カップリング剤、3−グリシジルオキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシジルオキシプロピルトリエトキシシラン、3−グリシジルオキシプロピルメチルジエトキシシラン、3−グリシジルオキシプロピル(ジメトキシ)メチルシラン、グリシジルブチルトリメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン等のエポキシシラン系カップリング剤、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリエトキシシラン、3−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、11−メルカプトウンデシルトリメトキシシラン等のメルカプトシラン系カップリング剤、メチルトリメトキシシラン、オクタデシルトリメトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、メタクロキシプロピルトリメトキシシラン、イミダゾールシラン、トリアジンシラン、t-ブチルトリメトキシシラン等のシラン系カップリング剤、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルメチルジエトキシシラン等のビニルシラン系カップリング剤、p−スチリルトリメトキシシラン等のスチリルシラン系カップリング剤、3−アクリルオキシプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリルオキシプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリルオキシプロピルジメトキシシラン、3−メタクリルオキシプロピルトリエトキシシラン、3−メタクリルオキシプロピルジエトキシシラン等のアクリレートシラン系カップリング剤、3−イソシアネートプロピルトリメトキシシラン等のイソシアネートシラン系カップリング剤、ビス(トリエトキシシリルプロピル)ジスルフィド、ビス(トリエトキシシリルプロピル)テトラスルフィド等のスルフィドシラン系カップリング剤、ヘキサメチルジシラザン、1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシラザン、ヘキサフェニルジシラザン、トリシラザン、シクロトリシラザン、2,2,4,4,6,6−ヘキサメチルシクロトリシラザン、オクタメチルシクロテトラシラザン、ヘキサブチルジシラザン、ヘキサオクチルジシラザン、1,3−ジエチルテトラメチルジシラザン、1,3−ジ−n−オクチルテトラメチルジシラザン、1,3−ジフェニルテトラメチルジシラザン、1,3−ジメチルテトラフェニルジシラザン、1,3−ジエチルテトラメチルジシラザン、1,1,3,3−テトラフェニル−1,3−ジメチルジシラザン、1,3−ジプロピルテトラメチルジシラザン、ヘキサメチルシクロトリシラザン、ジメチルアミノトリメチルシラザン、テトラメチルジシラザン等のオルガノシラザン化合物、テトラ-n-ブチルチタネートダイマー、チタニウム-i-プロポキシオクチレングリコレート、テトラ−n−ブチルチタネート、チタンオクチレングリコレート、ジイソプロポキシチタンビス(トリエタノールアミネート)、ジヒドロキシチタンビスラクテート、ジヒドロキシビス(アンモニウムラクテート)チタニウム、ビス(ジオクチルパイロホスフェート)エチレンチタネート、ビス(ジオクチルパイロホスフェート)オキシアセテートチタネート、トリ−n−ブトキシチタンモノステアレート、テトラ−n−ブチルチタネート、テトラ(2−エチルヘキシル)チタネート、テトライソプロピルビス(ジオクチルホスファイト)チタネート、テトラオクチルビス(ジトリデシルホスファイト)チタネート、テトラ(2,2−ジアリルオキシメチル−1−ブチル)ビス(ジトリデシル)ホスファイトチタネート、イソプロピルトリオクタノイルチタネート、イソプロピルトリクミルフェニルチタネート、イソプロピルトリイソステアロイルチタネート、イソプロピルイソステアロイルジアクリルチタネート、イソプロピルジメタクリルイソステアロイルチタネート、イソプロピルトリ(ジオクチルホスフェート)チタネート、イソプロピルトリドデシルベンゼンスルホニルチタネート、イソプロピルトリス(ジオクチルパイロホスフェート)チタネート、イソプロピルトリ(N−アミドエチル・アミノエチル)チタネート等のチタネート系カップリング剤等が挙げられる。市販品としては、信越化学工業(株)製「KBM403」(3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業(株)製「KBM803」(3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業(株)製「KBE903」(3−アミノプロピルトリエトキシシラン)、信越化学工業(株)製「KBM573」(N−フェニル−3−アミノプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業(株)製「KBM1403」(p−スチリルトリメトキシシラン)等が挙げられる。これらのなかでも、無機充填材がスチリルシラン系カップリング剤で表面処理されている場合は、誘電正接を低下させることに優れていて好ましい。   Specifically, 3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-aminopropyldiethoxymethylsilane, N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane, N-methylaminopropyltrimethoxysilane , Aminosilane coupling agents such as N-2 (-aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropyldimethoxymethylsilane, 3-ureidopropyltriethoxysilane, etc. Ureidosilane coupling agent, 3-glycidyloxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidyloxypropyltriethoxysilane, 3-glycidyloxypropylmethyldiethoxysilane, 3-glycidyloxypropyl (dimethoxy) methylsilane Epoxysilane-based coupling agents such as glycidylbutyltrimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltriethoxysilane, 3-mercaptopropylmethyl Mercaptosilane-based coupling agents such as dimethoxysilane, 11-mercaptoundecyltrimethoxysilane, methyltrimethoxysilane, octadecyltrimethoxysilane, phenyltrimethoxysilane, methacryloxypropyltrimethoxysilane, imidazolesilane, triazinesilane, t- Silane-based coupling agents such as butyltrimethoxysilane, vinylsilane-based coupling agents such as vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, and vinylmethyldiethoxysilane. Ring agent, styrylsilane-based coupling agent such as p-styryltrimethoxysilane, 3-acryloxypropyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropyldimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltri Acrylate silane coupling agents such as ethoxysilane and 3-methacryloxypropyldiethoxysilane, isocyanate silane coupling agents such as 3-isocyanatepropyltrimethoxysilane, bis (triethoxysilylpropyl) disulfide, bis (triethoxysilyl) Propyl) tetrasulfide and other sulfide silane coupling agents, hexamethyldisilazane, 1,3-divinyl-1,1,3,3-tetramethyldisilazane, hexaphenyl Silazane, trisilazane, cyclotrisilazane, 2,2,4,4,6,6-hexamethylcyclotrisilazane, octamethylcyclotetrasilazane, hexabutyldisilazane, hexaoctyldisilazane, 1,3-diethyltetramethyldi Silazane, 1,3-di-n-octyltetramethyldisilazane, 1,3-diphenyltetramethyldisilazane, 1,3-dimethyltetraphenyldisilazane, 1,3-diethyltetramethyldisilazane, 1,1, Organosilazane compounds such as 3,3-tetraphenyl-1,3-dimethyldisilazane, 1,3-dipropyltetramethyldisilazane, hexamethylcyclotrisilazane, dimethylaminotrimethylsilazane, tetramethyldisilazane, tetra-n -Butyl titanate dimer, titanium-i-propo Xyoctylene glycolate, tetra-n-butyl titanate, titanium octylene glycolate, diisopropoxy titanium bis (triethanol aminate), dihydroxy titanium bis lactate, dihydroxy bis (ammonium lactate) titanium, bis (dioctyl pyrophosphate) ethylene titanate , Bis (dioctyl pyrophosphate) oxyacetate titanate, tri-n-butoxy titanium monostearate, tetra-n-butyl titanate, tetra (2-ethylhexyl) titanate, tetraisopropyl bis (dioctyl phosphite) titanate, tetraoctyl bis ( Ditridecylphosphite) titanate, tetra (2,2-diallyloxymethyl-1-butyl) bis (ditridecyl) phosphite Nate, isopropyl trioctanoyl titanate, isopropyl tricumyl phenyl titanate, isopropyl triisostearoyl titanate, isopropyl isostearoyl diacrylic titanate, isopropyl dimethacryl isostearoyl titanate, isopropyl tri (dioctyl phosphate) titanate, isopropyl tridodecylbenzene sulfonyl titanate, isopropyl Examples of titanate coupling agents such as tris (dioctyl pyrophosphate) titanate and isopropyltri (N-amidoethylaminoamino) titanate. As commercial products, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "KBM403" (3-glycidoxypropyltrimethoxysilane), Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "KBM803" (3-mercaptopropyltrimethoxysilane), Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "KBE903" (3-aminopropyltriethoxysilane) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., "KBM573" (N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., "KBM1403 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd." (P-styryltrimethoxysilane) and the like. Among these, when the inorganic filler is surface-treated with a styrylsilane-based coupling agent, it is excellent in reducing the dielectric loss tangent and is preferable.

<(F)硬化促進剤>
本発明の樹脂組成物は、さらに硬化促進剤を含有させることにより、エポキシ樹脂と硬化剤を効率的に硬化させることができる。硬化促進剤としては、特に限定されないが、アミン系硬化促進剤、グアニジン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤、ホスホニウム系硬化促進剤、金属系硬化促進剤等が挙げられる。これらは1種又は2種以上組み合わせて使用してもよい。
<(F) Curing accelerator>
When the resin composition of the present invention further contains a curing accelerator, the epoxy resin and the curing agent can be efficiently cured. The curing accelerator is not particularly limited, and examples thereof include an amine curing accelerator, a guanidine curing accelerator, an imidazole curing accelerator, a phosphonium curing accelerator, and a metal curing accelerator. You may use these 1 type or in combination of 2 or more types.

アミン系硬化促進剤としては、特に限定されるものではないが、トリエチルアミン、トリブチルアミンなどのトリアルキルアミン、4−ジメチルアミノピリジン、ベンジルジメチルアミン、2,4,6,−トリス(ジメチルアミノメチル)フェノール、1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)−ウンデセン(以下、DBUと略記する。)などのアミン化合物などが挙げられる。これらは1種または2種以上組み合わせて使用してもよい。   The amine curing accelerator is not particularly limited, but trialkylamine such as triethylamine and tributylamine, 4-dimethylaminopyridine, benzyldimethylamine, 2,4,6-tris (dimethylaminomethyl). Examples thereof include amine compounds such as phenol and 1,8-diazabicyclo (5,4,0) -undecene (hereinafter abbreviated as DBU). You may use these 1 type or in combination of 2 or more types.

グアニジン系硬化促進剤としては、特に限定されるものではないが、ジシアンジアミド、1−メチルグアニジン、1−エチルグアニジン、1−シクロヘキシルグアニジン、1−フェニルグアニジン、1−(o−トリル)グアニジン、ジメチルグアニジン、ジフェニルグアニジン、トリメチルグアニジン、テトラメチルグアニジン、ペンタメチルグアニジン、1,5,7−トリアザビシクロ[4.4.0]デカ−5−エン、7−メチル−1,5,7−トリアザビシクロ[4.4.0]デカ−5−エン、1−メチルビグアニド、1−エチルビグアニド、1−n−ブチルビグアニド、1−n−オクタデシルビグアニド、1,1−ジメチルビグアニド、1,1−ジエチルビグアニド、1−シクロヘキシルビグアニド、1−アリルビグアニド、1−フェニルビグアニド、1−(o−トリル)ビグアニド等が挙げられる。これらは1種または2種以上組み合わせて使用してもよい。   The guanidine curing accelerator is not particularly limited, but includes dicyandiamide, 1-methylguanidine, 1-ethylguanidine, 1-cyclohexylguanidine, 1-phenylguanidine, 1- (o-tolyl) guanidine, dimethylguanidine. , Diphenylguanidine, trimethylguanidine, tetramethylguanidine, pentamethylguanidine, 1,5,7-triazabicyclo [4.4.0] dec-5-ene, 7-methyl-1,5,7-triazabicyclo [4.4.0] Deca-5-ene, 1-methyl biguanide, 1-ethyl biguanide, 1-n-butyl biguanide, 1-n-octadecyl biguanide, 1,1-dimethyl biguanide, 1,1-diethyl biguanide , 1-cyclohexyl biguanide, 1-allyl biguanide, 1-fe Rubiguanido, 1-(o-tolyl) biguanide, and the like. You may use these 1 type or in combination of 2 or more types.

イミダゾール系硬化促進剤としては、特に限定されるものではないが、2−メチルイミダゾール、2−ウンデシルイミダゾール、2−ヘプタデシルイミダゾール、1,2−ジメチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、1,2−ジメチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾール、1−シアノエチル−2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾリウムトリメリテイト、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾリウムトリメリテイト、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−ウンデシルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−エチル−4’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジンイソシアヌル酸付加物、2−フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール、2−フェニル−4−メチル−5ヒドロキシメチルイミダゾール、2,3−ジヒドロ−1H−ピロロ[1,2−a]ベンズイミダゾール、1−ドデシル−2−メチル−3−ベンジルイミダゾリウムクロライド、2−メチルイミダゾリン、2−フェニルイミダゾリン等のイミダゾール化合物及びイミダゾール化合物とエポキシ樹脂とのアダクト体が挙げられる。これらは1種または2種以上組み合わせて使用してもよい。   The imidazole-based curing accelerator is not particularly limited, 2-methylimidazole, 2-undecylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 1,2-Dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 1-benzyl-2-methylimidazole, 1-benzyl-2-phenylimidazole, 1- Cyanoethyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazolium tri Meritate 1-Cyanoethyl-2-phenylimidazolium trimellitate, 2,4-diamino-6- [2'-methylimidazolyl- (1 ')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2 '-Undecylimidazolyl- (1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2'-ethyl-4'-methylimidazolyl- (1 ')]-ethyl-s-triazine, 2,4-Diamino-6- [2'-methylimidazolyl- (1 ')]-ethyl-s-triazine isocyanuric acid adduct, 2-phenylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethyl Imidazole, 2-phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole, 2,3-dihydro-1H-pyrrolo [1,2-a] benzimidazole, 1 Dodecyl-2-methyl-3-benzyl-imidazolium chloride, 2-methyl-imidazoline, adduct of 2-phenyl-imidazo imidazole compounds such as phosphorus and imidazole compound and an epoxy resin. You may use these 1 type or in combination of 2 or more types.

ホスホニウム系硬化促進剤としては、特に限定されるものではないが、トリフェニルホスフィン、ホスホニウムボレート化合物、テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート、n−ブチルホスホニウムテトラフェニルボレート、テトラブチルホスホニウムデカン酸塩、(4−メチルフェニル)トリフェニルホスホニウムチオシアネート、テトラフェニルホスホニウムチオシアネート、ブチルトリフェニルホスホニウムチオシアネート等が挙げられる。これらは1種または2種以上組み合わせて使用してもよい。   The phosphonium-based curing accelerator is not particularly limited, but includes triphenylphosphine, phosphonium borate compound, tetraphenylphosphonium tetraphenylborate, n-butylphosphonium tetraphenylborate, tetrabutylphosphonium decanoate, (4- Methylphenyl) triphenylphosphonium thiocyanate, tetraphenylphosphonium thiocyanate, butyltriphenylphosphonium thiocyanate and the like can be mentioned. You may use these 1 type or in combination of 2 or more types.

硬化促進剤(金属系硬化促進剤を除く)を配合する場合の含有量は、特に制限されないが、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、0.005〜1質量%の範囲が好ましく、0.01〜0.5質量%の範囲がより好ましい。この範囲内であると、熱硬化をより効率的にでき、樹脂ワニスの保存安定性も向上する。   The content of the curing accelerator (excluding the metal-based curing accelerator) is not particularly limited, but is 0.005 to 1% by mass when the nonvolatile component in the resin composition is 100% by mass. Is preferable, and the range of 0.01-0.5 mass% is more preferable. Within this range, thermosetting can be made more efficient and the storage stability of the resin varnish is also improved.

金属系硬化促進剤としては、特に限定されるものではないが、コバルト、銅、亜鉛、鉄、ニッケル、マンガン、スズ等の金属の、有機金属錯体又は有機金属塩が挙げられる。有機金属錯体の具体例としては、コバルト(II)アセチルアセトナート、コバルト(III)アセチルアセトナート等の有機コバルト錯体、銅(II)アセチルアセトナート等の有機銅錯体、亜鉛(II)アセチルアセトナート等の有機亜鉛錯体、鉄(III)アセチルアセトナート等の有機鉄錯体、ニッケル(II)アセチルアセトナート等の有機ニッケル錯体、マンガン(II)アセチルアセトナート等の有機マンガン錯体などが挙げられる。有機金属塩としては、オクチル酸亜鉛、オクチル酸錫、ナフテン酸亜鉛、ナフテン酸コバルト、ステアリン酸スズ、ステアリン酸亜鉛などが挙げられる。これらは1種又は2種以上組み合わせて使用してもよい。   The metal-based curing accelerator is not particularly limited, and examples thereof include organic metal complexes or organic metal salts of metals such as cobalt, copper, zinc, iron, nickel, manganese, and tin. Specific examples of the organometallic complex include organic cobalt complexes such as cobalt (II) acetylacetonate and cobalt (III) acetylacetonate, organic copper complexes such as copper (II) acetylacetonate, zinc (II) acetylacetonate. And the like, organic iron complexes such as iron (III) acetylacetonate, organic nickel complexes such as nickel (II) acetylacetonate, and organic manganese complexes such as manganese (II) acetylacetonate. Examples of the organic metal salt include zinc octylate, tin octylate, zinc naphthenate, cobalt naphthenate, tin stearate, and zinc stearate. You may use these 1 type or in combination of 2 or more types.

金属系硬化促進剤を添加する場合の添加量は、特に制限されないが、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、金属系硬化触媒に基づく金属の含有量が25〜500ppmの範囲が好ましく、40〜200ppmの範囲がより好ましい。この範囲内であると、絶縁層表面への密着性により優れる導体層が形成され、樹脂ワニスの保存安定性も向上する。   The addition amount of the metal-based curing accelerator is not particularly limited, but when the nonvolatile component in the resin composition is 100% by mass, the content of the metal based on the metal-based curing catalyst is in the range of 25 to 500 ppm. Is preferable, and the range of 40 to 200 ppm is more preferable. Within this range, a conductor layer having excellent adhesion to the surface of the insulating layer is formed, and the storage stability of the resin varnish is also improved.

<(G)重合開始剤>
本発明の樹脂組成物は、さらに重合開始剤を含有させる事により、効率的にラジカル重合性化合物の硬化を行うことができる。重合開始剤の種類は、特に限定されないが、シクロヘキサノンパーオキサイド、tert-ブチルパーオキシベンゾエート、メチルエチルケトンパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、tert-ブチルクミルパーオキサイド、ジ−tert−ブチルパーオキシド、ジイソプロピルベンゼンハイドロパーオキサイド、クメンハイドロパーオキシド、tert−ブチルハイドロパーオキサイド、2,3−ジメチル−2,3−ジフェニルブタンなどのラジカル発生剤が挙げられる。これらは1種または2種以上組み合わせて使用してもよい。
<(G) Polymerization initiator>
When the resin composition of the present invention further contains a polymerization initiator, the radical polymerizable compound can be efficiently cured. The type of the polymerization initiator is not particularly limited, but cyclohexanone peroxide, tert-butyl peroxybenzoate, methyl ethyl ketone peroxide, dicumyl peroxide, tert-butyl cumyl peroxide, di-tert-butyl peroxide, diisopropylbenzene hydrol Radical generators such as peroxide, cumene hydroperoxide, tert-butyl hydroperoxide, and 2,3-dimethyl-2,3-diphenylbutane are mentioned. You may use these 1 type or in combination of 2 or more types.

重合開始剤を配合する場合の含有量は、特に制限されないが、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、0.1〜3質量%が好ましく、0.2〜2質量%がより好ましい。この範囲内であると、誘電正接の上昇を防止することができる。   The content in the case of adding the polymerization initiator is not particularly limited, but when the nonvolatile component in the resin composition is 100% by mass, 0.1 to 3% by mass is preferable, and 0.2 to 2% by mass is More preferable. Within this range, an increase in dielectric loss tangent can be prevented.

<(H)ゴム粒子>
本発明の樹脂組成物には、さらにゴム粒子を含有させることにより、メッキピール強度を向上させることができ、ドリル加工性の向上、誘電正接の低下、応力緩和効果を得ることもできる。本発明において使用され得るゴム粒子は、例えば、当該樹脂組成物のワニスを調製する際に使用する有機溶剤にも溶解せず、エポキシ樹脂などとも相溶しないものである。従って、該ゴム粒子は、本発明の樹脂組成物のワニス中では分散状態で存在する。このようなゴム粒子は、一般には、ゴム成分の分子量を有機溶剤や樹脂に溶解しないレベルまで大きくし、粒子状とすることで調製される。
<(H) rubber particles>
When the resin composition of the present invention further contains rubber particles, the plating peel strength can be improved, drill workability can be improved, dielectric loss tangent can be reduced, and stress relaxation effect can be obtained. The rubber particles that can be used in the present invention are, for example, those that are insoluble in an organic solvent used when preparing a varnish of the resin composition, and are also incompatible with an epoxy resin and the like. Therefore, the rubber particles are present in a dispersed state in the varnish of the resin composition of the present invention. Such rubber particles are generally prepared by increasing the molecular weight of the rubber component to a level at which the rubber component does not dissolve in the organic solvent or the resin and forming the rubber particles.

ゴム粒子の好ましい例としては、コアシェル型ゴム粒子、架橋アクリロニトリルブタジエンゴム粒子、架橋スチレンブタジエンゴム粒子、アクリルゴム粒子などが挙げられる。コアシェル型ゴム粒子は、コア層とシェル層とを有するゴム粒子であり、例えば、外層のシェル層がガラス状ポリマーで構成され、内層のコア層がゴム状ポリマーで構成される2層構造、又は外層のシェル層がガラス状ポリマーで構成され、中間層がゴム状ポリマーで構成され、コア層がガラス状ポリマーで構成される3層構造のものなどが挙げられる。ガラス状ポリマー層は、例えば、メタクリル酸メチルの重合物などで構成され、ゴム状ポリマー層は、例えば、ブチルアクリレート重合物(ブチルゴム)などで構成される。ゴム粒子は2種以上を組み合わせて使用してもよい。コアシェル型ゴム粒子の具体例としては、スタフィロイドAC3832、AC3816N、AC3401N、IM−401改7−17 (商品名、ガンツ化成(株)製)、メタブレンKW−4426(商品名、三菱レイヨン(株)製)が挙げられる。架橋アクリロニトリルブタジエンゴム(NBR)粒子の具体例としては、XER−91(平均粒径0.5μm、JSR(株)製)などが挙げられる。架橋スチレンブタジエンゴム(SBR)粒子の具体例としては、XSK−500(平均粒径0.5μm、JSR(株)製)などが挙げられる。アクリルゴム粒子の具体例としては、メタブレンW300A(平均粒径0.1μm)、W450A(平均粒径0.2μm)(三菱レイヨン(株)製)を挙げることができる。   Preferable examples of the rubber particles include core-shell type rubber particles, crosslinked acrylonitrile butadiene rubber particles, crosslinked styrene butadiene rubber particles and acrylic rubber particles. The core-shell type rubber particles are rubber particles having a core layer and a shell layer, for example, a two-layer structure in which the outer shell layer is composed of a glassy polymer and the inner core layer is composed of a rubbery polymer, or Examples include a three-layer structure in which the outer shell layer is composed of a glassy polymer, the intermediate layer is composed of a rubbery polymer, and the core layer is composed of a glassy polymer. The glassy polymer layer is made of, for example, a polymer of methyl methacrylate, and the rubbery polymer layer is made of, for example, a butyl acrylate polymer (butyl rubber). The rubber particles may be used in combination of two or more kinds. Specific examples of the core-shell type rubber particles include staphyloid AC3832, AC3816N, AC3401N, IM-401 Kai 7-17 (trade name, manufactured by Ganz Kasei Co., Ltd.), and METABLEN KW-4426 (trade name, Mitsubishi Rayon Co., Ltd.). Manufactured). Specific examples of the crosslinked acrylonitrile butadiene rubber (NBR) particles include XER-91 (average particle size 0.5 μm, manufactured by JSR Corporation). Specific examples of the crosslinked styrene-butadiene rubber (SBR) particles include XSK-500 (average particle size 0.5 μm, manufactured by JSR Corporation). Specific examples of the acrylic rubber particles include Metablen W300A (average particle size 0.1 μm) and W450A (average particle size 0.2 μm) (manufactured by Mitsubishi Rayon Co., Ltd.).

ゴム粒子の平均粒径は、好ましくは0.005〜1μmの範囲であり、より好ましくは0.2〜0.6μmの範囲である。本発明で使用されるゴム粒子の平均粒径は、動的光散乱法を用いて測定することができる。例えば、適当な有機溶剤にゴム粒子を超音波などにより均一に分散させ、濃厚系粒径アナライザー(FPAR−1000;大塚電子(株)製)を用いて、ゴム粒子の粒度分布を質量基準で作成し、そのメディアン径を平均粒径とすることで測定することができる。   The average particle diameter of the rubber particles is preferably in the range of 0.005 to 1 μm, more preferably 0.2 to 0.6 μm. The average particle size of the rubber particles used in the present invention can be measured by a dynamic light scattering method. For example, rubber particles are uniformly dispersed in an appropriate organic solvent by ultrasonic waves, etc., and a particle size distribution of rubber particles is prepared on a mass basis using a concentrated particle size analyzer (FPAR-1000; manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.). However, it can be measured by setting the median diameter to the average particle diameter.

ゴム粒子を配合する場合の含有量は、特に制限されないが、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、0.05〜10質量%が好ましく、0.5〜5質量%がより好ましい。   The content of the rubber particles when blended is not particularly limited, but is preferably 0.05 to 10 mass% and more preferably 0.5 to 5 mass% when the nonvolatile component in the resin composition is 100 mass%. preferable.

<他の成分>
本発明の樹脂組成物には、本発明の効果を阻害しない範囲で、必要に応じて他の成分を配合することができる。他の成分としては、ビニルベンジル化合物、アクリル化合物、マレイミド化合物、ブロックイソシアネート化合物のような熱硬化性樹脂、シリコンパウダー、ナイロンパウダー、フッ素パウダー等の有機充填剤、オルベン、ベントン等の増粘剤、シリコーン系、フッ素系、高分子系の消泡剤又はレベリング剤、イミダゾール系、チアゾール系、トリアゾール系、シランカップリング剤等の密着性付与剤、フタロシアニン・ブルー、フタロシアニン・グリーン、アイオジン・グリーン、ジスアゾイエロー、カーボンブラック等の着色剤、有機リン系難燃剤、有機系窒素含有リン化合物、窒素化合物、シリコーン系難燃剤、金属水酸化物等の難燃剤、等を挙げることができる。
<Other ingredients>
Other components can be added to the resin composition of the present invention, if necessary, within a range that does not impair the effects of the present invention. As other components, vinylbenzyl compounds, acrylic compounds, maleimide compounds, thermosetting resins such as blocked isocyanate compounds, silicone powder, nylon powder, organic fillers such as fluorine powder, orben, thickeners such as Benton, Adhesion imparting agents such as silicone type, fluorine type, polymer type antifoaming agents or leveling agents, imidazole type, thiazole type, triazole type, silane coupling agents, phthalocyanine blue, phthalocyanine green, iodin green, disazo Examples thereof include colorants such as yellow and carbon black, organic phosphorus flame retardants, organic nitrogen-containing phosphorus compounds, nitrogen compounds, silicone flame retardants, flame retardants such as metal hydroxides, and the like.

本発明の樹脂組成物は、上記成分を適宜混合し、また、必要に応じて三本ロール、ボールミル、ビーズミル、サンドミル等の混練手段、あるいはスーパーミキサー、プラネタリーミキサー等の撹拌手段により混練または混合することにより調整することができる。また、さらに有機溶剤を加えることで樹脂ワニスとしても調整することができる。   The resin composition of the present invention is prepared by appropriately mixing the above components, and if necessary, kneading or mixing by a kneading means such as a triple roll, a ball mill, a bead mill, a sand mill, or a stirring means such as a super mixer or a planetary mixer. It can be adjusted by Further, a resin varnish can be prepared by further adding an organic solvent.

本発明の樹脂組成物においては、湿式粗化工程において絶縁層表面の算術平均粗さが小さいのみならず、二乗平均平方根粗さも小さくとも、その上に安定した十分なピール強度を有するメッキ導体層を形成することができ、更に誘電正接も低くできるので、多層プリント配線板の製造において、絶縁層を形成するための樹脂組成物(多層プリント配線板の絶縁層用樹脂組成物)として好適に使用することができ、メッキにより導体層を形成するための樹脂組成物(メッキにより導体層を形成する多層プリント配線板の絶縁層用樹脂組成物)としてより好適に使用することが出来る。つまり、多層プリント配線板のビルドアップ層用樹脂組成物として好適である。   In the resin composition of the present invention, not only the arithmetic mean roughness of the insulating layer surface in the wet roughening step is small, but the root mean square roughness is also small, and a plated conductor layer having a stable and sufficient peel strength on it. Can be formed, and the dielectric loss tangent can be lowered, so that it is suitably used as a resin composition for forming an insulating layer (a resin composition for an insulating layer of a multilayer printed wiring board) in the production of a multilayer printed wiring board. It can be more preferably used as a resin composition for forming a conductor layer by plating (a resin composition for an insulating layer of a multilayer printed wiring board in which a conductor layer is formed by plating). That is, it is suitable as a resin composition for a buildup layer of a multilayer printed wiring board.

本発明の樹脂組成物を硬化して絶縁層を形成し、その絶縁層表面を粗化処理した後の算術平均粗さ(Ra値)は、後述する<粗化後の算術平均粗さ(Ra値)、二乗平均平方根粗さ(Rq)の測定>に記載の測定方法により把握することができる。具体的には、算術平均粗さ(Ra値)の上限値は、微細配線形成のために、300nm以下が好ましく、250nm以下がより好ましく、200nm以下が更に好ましく、150nm以下が更に一層好ましく、130nm以下が殊更好ましい。算術平均粗さ(Ra値)の下限値は、特に制限は無く、10nm以上、50nm以上、80nm以上などとなる。   The arithmetic average roughness (Ra value) after the resin composition of the present invention is cured to form an insulating layer and the surface of the insulating layer is subjected to a roughening treatment will be described later. Value) and measurement of root mean square roughness (Rq)>. Specifically, the upper limit of the arithmetic average roughness (Ra value) is preferably 300 nm or less, more preferably 250 nm or less, further preferably 200 nm or less, still more preferably 150 nm or less, and even more preferably 130 nm for forming fine wiring. The following are particularly preferred. The lower limit of the arithmetic average roughness (Ra value) is not particularly limited and is 10 nm or more, 50 nm or more, 80 nm or more.

二乗平均平方根粗さ(Rq値)は絶縁層表面の局所的な状態が反映されるため、Rq値の把握により緻密で平滑な絶縁層表面になっていることが確認できることを見出した。二乗平均平方根粗さ(Rq値)の上限値は、緻密で平滑な絶縁層表面とするために、450nm以下が好ましく、400nm以下がより好ましく、350nm以下が更に好ましく、300nm以下が更に一層好ましく、250nm以下が殊更好ましい。二乗平均平方根粗さ(Rq値)の下限値は、ピール強度を安定化させるという観点から、15nm以上が好ましく、70nm以上がより好ましく、100nm以上が更に好ましい。   Since the root mean square roughness (Rq value) reflects the local state of the surface of the insulating layer, it was found that it is possible to confirm that the surface of the insulating layer is dense and smooth by grasping the Rq value. The upper limit of the root mean square roughness (Rq value) is preferably 450 nm or less, more preferably 400 nm or less, still more preferably 350 nm or less, still more preferably 300 nm or less, in order to obtain a dense and smooth insulating layer surface. A thickness of 250 nm or less is particularly preferable. The lower limit of the root mean square roughness (Rq value) is preferably 15 nm or more, more preferably 70 nm or more, still more preferably 100 nm or more, from the viewpoint of stabilizing the peel strength.

本発明の樹脂組成物を硬化して絶縁層を形成し、その絶縁層表面を粗化処理し、メッキして得られる導体層と絶縁層とのピール強度は、後述する<メッキ導体層の引き剥がし強さ(ピール強度)の測定>に記載の測定方法により把握することができる。具体的にはピール強度は、絶縁層と導体層とを十分に密着させておくために0.3kgf/cm以上が好ましく、0.35kgf/cm以上がより好ましい。0.4kgf/cm以上が好ましい。ピール強度の上限値は高いほどよく、特に制限は無いが、一般的に1.2kgf/cm以下、1.0kgf/cm以下、0.8kgf/cm以下となる。   The peel strength between the conductor layer and the insulating layer obtained by curing the resin composition of the present invention to form the insulating layer, roughening the surface of the insulating layer, and plating is described below. Measurement of peeling strength (peel strength)> can be understood. Specifically, the peel strength is preferably 0.3 kgf / cm or more, and more preferably 0.35 kgf / cm or more, in order to keep the insulating layer and the conductor layer in close contact with each other. It is preferably 0.4 kgf / cm or more. The higher the upper limit of the peel strength, the better, and there is no particular limitation, but it is generally 1.2 kgf / cm or less, 1.0 kgf / cm or less, and 0.8 kgf / cm or less.

本発明の樹脂組成物の硬化物の誘電正接は、後述の<誘電正接の測定>により測定することができる。具体的には、空洞共振摂動法により周波数5.8GHz、測定温度23℃で測定することができる。具体的には、高周波での発熱防止、信号遅延および信号ノイズの低減という観点から、誘電正接は0.003以下が好ましい。下限値は特に制限が無く、0.001、0.0005、0などである。   The dielectric loss tangent of the cured product of the resin composition of the present invention can be measured by <Measurement of dielectric loss tangent> described below. Specifically, it can be measured by a cavity resonance perturbation method at a frequency of 5.8 GHz and a measurement temperature of 23 ° C. Specifically, the dielectric loss tangent is preferably 0.003 or less from the viewpoint of preventing heat generation at high frequencies, reducing signal delay and reducing signal noise. The lower limit value is not particularly limited and is 0.001, 0.0005, 0 or the like.

本発明の樹脂組成物の用途は、特に限定されないが、接着フィルム、プリプレグ等のシート状積層材料、回路基板(積層板用途、多層プリント配線板用途等)、ソルダーレジスト、アンダ−フィル材、ダイボンディング材、半導体封止材、穴埋め樹脂、部品埋め込み樹脂等、樹脂組成物が必要とされる用途の広範囲に使用できる。本発明の樹脂組成物は、ワニス状態で回路基板に塗布して絶縁層を形成することもできるが、工業的には一般に、接着フィルム、プリプレグ等のシート状積層材料の形態で用いるのが好ましい。樹脂組成物の軟化点は、シート状積層材料のラミネート性の観点から40〜150℃が好ましい。   The use of the resin composition of the present invention is not particularly limited, but includes adhesive films, sheet-like laminated materials such as prepregs, circuit boards (used for laminated boards, used for multilayer printed wiring boards, etc.), solder resists, underfill materials, dies. It can be used in a wide range of applications where a resin composition is required, such as a bonding material, a semiconductor encapsulating material, a hole filling resin, a component filling resin. The resin composition of the present invention can be applied to a circuit board in a varnish state to form an insulating layer, but it is generally industrially preferable to use it in the form of a sheet-like laminated material such as an adhesive film and a prepreg. .. The softening point of the resin composition is preferably 40 to 150 ° C. from the viewpoint of the laminating property of the sheet-shaped laminated material.

<シート状積層材料>
(接着フィルム)
本発明の接着フィルムは、当業者に公知の方法、例えば、有機溶剤に樹脂組成物を溶解した樹脂ワニスを調製し、この樹脂ワニスを、ダイコーターなどを用いて、支持体に塗布し、更に加熱、あるいは熱風吹きつけ等により有機溶剤を乾燥させて樹脂組成物層を形成させることにより製造することができる。
<Sheet-like laminated material>
(Adhesive film)
The adhesive film of the present invention is a method known to those skilled in the art, for example, a resin varnish prepared by dissolving a resin composition in an organic solvent is prepared, and the resin varnish is applied to a support using a die coater or the like, and It can be produced by drying the organic solvent by heating, blowing hot air or the like to form the resin composition layer.

有機溶剤としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類、酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、カルビトールアセテート等の酢酸エステル類、セロソルブ、ブチルカルビトール等のカルビトール類、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン等のアミド系溶媒等を挙げることができる。有機溶剤は2種以上を組みわせて用いてもよい。   Examples of the organic solvent include ketones such as acetone, methyl ethyl ketone and cyclohexanone, ethyl acetate, butyl acetate, acetic ester such as cellosolve acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate and carbitol acetate, carbitol such as cellosolve and butyl carbitol. And aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene, amide solvents such as dimethylformamide, dimethylacetamide and N-methylpyrrolidone. Two or more kinds of organic solvents may be used in combination.

乾燥条件は特に限定されないが、樹脂組成物層への有機溶剤の含有量が10質量%以下、好ましくは5質量%以下となるように乾燥させる。ワニス中の有機溶剤量、有機溶剤の沸点によっても異なるが、例えば30〜60質量%の有機溶剤を含むワニスを50〜150℃で3〜10分程度乾燥させることにより、樹脂組成物層を形成することができる。   The drying condition is not particularly limited, but the resin composition layer is dried so that the content of the organic solvent in the resin composition layer is 10% by mass or less, preferably 5% by mass or less. Although it varies depending on the amount of organic solvent in the varnish and the boiling point of the organic solvent, for example, a resin composition layer is formed by drying a varnish containing 30 to 60% by mass of the organic solvent at 50 to 150 ° C. for about 3 to 10 minutes. can do.

接着フィルムにおいて形成される樹脂組成物層の厚さは、導体層の厚さ以上とするのが好ましい。回路基板が有する導体層の厚さは通常5〜70μmの範囲であるので、樹脂組成物層は10〜100μmの厚さを有するのが好ましい。薄膜化の観点から、15〜80μmがより好ましい。   The thickness of the resin composition layer formed in the adhesive film is preferably not less than the thickness of the conductor layer. Since the thickness of the conductor layer of the circuit board is usually in the range of 5 to 70 μm, the resin composition layer preferably has a thickness of 10 to 100 μm. From the viewpoint of thinning, the thickness is more preferably 15 to 80 μm.

支持体としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル等のポリオレフィンのフィルム、ポリエチレンテレフタレート(以下「PET」と略称することがある。)、ポリエチレンナフタレート等のポリエステルのフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリイミドフィルムなどの各種プラスチックフィルムが挙げられる。また離型紙や銅箔、アルミニウム箔等の金属箔などを使用してもよい。中でも、汎用性の点から、プラスチックフィルムが好ましく、ポリエチレンテレフタレートフィルムがより好ましい。支持体及び後述する保護フィルムには、マッド処理、コロナ処理等の表面処理が施してあってもよい。また、シリコーン樹脂系離型剤、アルキッド樹脂系離型剤、フッ素樹脂系離型剤等の離型剤で離型処理が施してあってもよい。   Examples of the support include films of polyolefins such as polyethylene, polypropylene and polyvinyl chloride, polyethylene terephthalate (hereinafter sometimes abbreviated as "PET"), polyester films such as polyethylene naphthalate, polycarbonate films and polyimide films. Examples include various plastic films. Further, release paper or metal foil such as copper foil and aluminum foil may be used. Among them, a plastic film is preferable, and a polyethylene terephthalate film is more preferable, from the viewpoint of versatility. The support and the protective film described later may be subjected to surface treatment such as mud treatment and corona treatment. Further, the release treatment may be performed with a release agent such as a silicone resin release agent, an alkyd resin release agent, or a fluororesin release agent.

支持体の厚さは特に限定されないが、10〜150μmが好ましく、25〜50μmがより好ましい。   The thickness of the support is not particularly limited, but is preferably 10 to 150 μm, more preferably 25 to 50 μm.

樹脂組成物層の支持体が密着していない面には、支持体に準じた保護フィルムをさらに積層することができる。保護フィルムの厚みは、特に限定されるものではないが、例えば、1〜40μmである。保護フィルムを積層することにより、樹脂組成物層の表面へのゴミ等の付着やキズを防止することができる。接着フィルムは、ロール状に巻きとって貯蔵することもできる。   A protective film conforming to the support can be further laminated on the surface of the resin composition layer on which the support is not adhered. The thickness of the protective film is not particularly limited, but is, for example, 1 to 40 μm. By laminating the protective film, it is possible to prevent dust and the like from adhering to the surface of the resin composition layer and prevent scratches. The adhesive film can be wound into a roll and stored.

(プリプレグ)
本発明のプリプレグは、本発明の樹脂組成物をシート状補強基材にホットメルト法又はソルベント法により含浸させ、加熱して半硬化させることにより製造することができる。すなわち、本発明の樹脂組成物がシート状補強基材に含浸した状態となるプリプレグとすることができる。シート状補強基材としては、例えば、ガラスクロスやアラミド繊維等のプリプレグ用繊維として常用されている基材を用いることができる。そして支持体上にプリプレグが形成されたものが好適である。
(Prepreg)
The prepreg of the present invention can be produced by impregnating the sheet-shaped reinforcing base material with the resin composition of the present invention by a hot melt method or a solvent method, and heating and semi-curing the resin composition. That is, a prepreg in which the resin composition of the present invention is impregnated in a sheet-like reinforcing base material can be obtained. As the sheet-like reinforcing base material, for example, a base material that is commonly used as a fiber for prepreg such as glass cloth or aramid fiber can be used. And what has a prepreg formed on a support body is suitable.

ホットメルト法は、樹脂組成物を有機溶剤に溶解することなく、支持体上に一旦コーティングし、それをシート状補強基材にラミネートする、あるいはダイコーターによりシート状補強基材に直接塗工するなどして、プリプレグを製造する方法である。またソルベント法は、接着フィルムと同様にして樹脂を有機溶剤に溶解して樹脂ワニスを調製し、このワニスにシート状補強基材を浸漬し、樹脂ワニスをシート状補強基材に含浸させ、その後乾燥させる方法である。また、接着フィルムをシート状補強基材の両面から加熱、加圧条件下、連続的に熱ラミネートすることで調製することもできる。支持体や保護フィルム等も接着フィルムと同様に用いることができる。   In the hot-melt method, the resin composition is not dissolved in an organic solvent and is once coated on a support and then laminated on a sheet-shaped reinforcing base material, or is directly applied to the sheet-shaped reinforcing base material by a die coater. It is a method of manufacturing a prepreg by performing the above. Further, the solvent method, the resin is dissolved in an organic solvent in the same manner as the adhesive film to prepare a resin varnish, the sheet-shaped reinforcing base material is immersed in this varnish, and the resin varnish is impregnated into the sheet-shaped reinforcing base material. It is a method of drying. Alternatively, the adhesive film may be prepared by continuously heat laminating the adhesive film from both sides of the sheet-like reinforcing base material under heating and pressurizing conditions. A support, a protective film, etc. can be used similarly to the adhesive film.

<シート状積層材料を用いた多層プリント配線板>
次に、上記のようにして製造したシート状積層材料を用いることで多層プリント配線板を製造することができる。以下、その一例を説明する。
<Multilayer printed wiring board using sheet-like laminated material>
Next, a multilayer printed wiring board can be manufactured by using the sheet-shaped laminated material manufactured as described above. An example will be described below.

まず、シート状積層材料を、真空ラミネーターを用いて回路基板の片面又は両面にラミネート(積層)する。回路基板に用いられる基板としては、例えば、ガラスエポキシ基板、金属基板、ポリエステル基板、ポリイミド基板、BTレジン基板、熱硬化型ポリフェニレンエーテル基板等が挙げられる。なお、ここで回路基板とは、上記のような基板の片面又は両面にパターン加工された導体層(回路)が形成されたものをいう。また導体層と絶縁層とを交互に積層してなる多層プリント配線板において、該多層プリント配線板の最外層の片面又は両面がパターン加工された導体層(回路)となっているものも、ここでいう回路基板に含まれる。なお導体層表面には、黒化処理、銅エッチング等により予め粗化処理が施されていてもよい。   First, the sheet-shaped laminated material is laminated (laminated) on one side or both sides of the circuit board using a vacuum laminator. Examples of the substrate used for the circuit substrate include a glass epoxy substrate, a metal substrate, a polyester substrate, a polyimide substrate, a BT resin substrate, and a thermosetting polyphenylene ether substrate. The term "circuit board" used herein refers to a board on which a patterned conductor layer (circuit) is formed on one side or both sides of the board. Further, in a multilayer printed wiring board in which conductor layers and insulating layers are alternately laminated, one or both outermost layers of the multilayer printed wiring board are patterned conductor layers (circuits). It is included in the circuit board. The surface of the conductor layer may be previously roughened by blackening treatment, copper etching or the like.

上記ラミネートにおいて、シート状積層材料が保護フィルムを有している場合には該保護フィルムを除去した後、必要に応じてシート状積層材料及び回路基板をプレヒートし、シート状積層材料を加圧及び加熱しながら回路基板にラミネートする。本発明のシート状積層材料においては、真空ラミネート法により減圧下で回路基板にラミネートする方法が好適に用いられる。ラミネートの条件は、特に限定されるものではないが、例えば、圧着温度(ラミネート温度)を好ましくは70〜140℃、圧着圧力(ラミネート圧力)を好ましくは1〜11kgf/cm(9.8×10〜107.9×10N/m)とし、圧着時間(ラミネート時間)を好ましくは5〜180秒とし、空気圧20mmHg(26.7hPa)以下の減圧下でラミネートするのが好ましい。また、ラミネートの方法は、バッチ式であってもロールでの連続式であってもよい。真空ラミネートは、市販の真空ラミネーターを使用して行うことができる。市販の真空ラミネーターとしては、例えば、ニチゴー・モートン(株)製バキュームアップリケーター、(株)名機製作所製真空加圧式ラミネーター、(株)日立インダストリイズ製ロール式ドライコータ、日立エーアイーシー(株)製真空ラミネーター等を挙げることができる。 In the above laminate, when the sheet-shaped laminated material has a protective film, after removing the protective film, the sheet-shaped laminated material and the circuit board are preheated if necessary, and the sheet-shaped laminated material is pressed and Laminate on circuit board while heating. In the sheet-shaped laminated material of the present invention, a method of laminating on a circuit board under reduced pressure by a vacuum laminating method is preferably used. The laminating conditions are not particularly limited, but for example, the pressure bonding temperature (lamination temperature) is preferably 70 to 140 ° C., and the pressure bonding pressure (lamination pressure) is preferably 1 to 11 kgf / cm 2 (9.8 ×). 10 4 to 107.9 × 10 4 N / m 2 ), the pressure bonding time (laminating time) is preferably 5 to 180 seconds, and the lamination is preferably performed under a reduced pressure of 20 mmHg (26.7 hPa) or less. The laminating method may be a batch method or a continuous method using rolls. Vacuum lamination can be performed using a commercially available vacuum laminator. Examples of commercially available vacuum laminators include vacuum applicators manufactured by Nichigo Morton Co., Ltd., vacuum press laminators manufactured by Meiki Co., Ltd., roll dry coaters manufactured by Hitachi Industries Co., Ltd., Hitachi AIC Co., Ltd. ) Vacuum laminator etc. made by the above can be mentioned.

シート状積層材料を回路基板にラミネートした後、室温付近に冷却してから、支持体を剥離する場合は剥離し、樹脂組成物を熱硬化して硬化物を形成することで、回路基板上に絶縁層を形成することができる。熱硬化の条件は、樹脂組成物中の樹脂成分の種類、含有量などに応じて適宜選択すればよいが、好ましくは150℃〜220℃で20分〜180分、より好ましくは160℃〜210℃で30〜120分の範囲で選択される。絶縁層を形成した後、硬化前に支持体を剥離しなかった場合は、必要によりここで剥離することもできる。   After laminating the sheet-shaped laminated material on the circuit board, and then cooling it to around room temperature, if the support is peeled off, peel the resin composition and heat cure the resin composition to form a cured product. An insulating layer can be formed. The conditions for thermosetting may be appropriately selected depending on the type and content of the resin component in the resin composition, but are preferably 150 ° C to 220 ° C for 20 minutes to 180 minutes, more preferably 160 ° C to 210 ° C. It is selected in the range of 30 to 120 minutes at ° C. After the insulating layer is formed, if the support is not peeled off before curing, it may be peeled off here if necessary.

また、シート状積層材料を、真空プレス機を用いて回路基板の片面又は両面に積層することもできる。減圧下、加熱及び加圧を行う積層工程は、一般の真空ホットプレス機を用いて行うことが可能である。例えば、加熱されたSUS板等の金属板を支持体層側からプレスすることにより行うことができる。プレス条件は、減圧度を通常1×10−2MPa以下、好ましくは1×10−3MPa以下の減圧下とする。加熱及び加圧は、1段階で行うことも出来るが、樹脂のしみだしを制御する観点から2段階以上に条件を分けて行うのが好ましい。例えば、1段階目のプレスを、温度が70〜150℃、圧力が1〜15kgf/cm2の範囲、2段階目のプレスを、温度が150〜200℃、圧力が1〜40kgf/cm2の範囲で行うのが好ましい。各段階の時間は30〜120分で行うのが好ましい。このように樹脂組成物層を熱硬化することにより回路基板上に絶縁層を形成することができる。市販されている真空ホットプレス機としては、例えば、MNPC−V−750−5−200(株)名機製作所製)、VH1−1603(北川精機(株)製)等が挙げられる。 Further, the sheet-shaped laminated material can be laminated on one side or both sides of the circuit board by using a vacuum press machine. The lamination process of heating and pressurizing under reduced pressure can be performed using a general vacuum hot press machine. For example, it can be performed by pressing a metal plate such as a heated SUS plate from the support layer side. The pressing conditions are such that the degree of pressure reduction is usually 1 × 10 −2 MPa or less, preferably 1 × 10 −3 MPa or less. The heating and pressurizing can be carried out in one step, but it is preferable to carry out the conditions divided into two or more steps from the viewpoint of controlling the exudation of the resin. For example, the first-stage press has a temperature of 70 to 150 ° C. and a pressure of 1 to 15 kgf / cm 2, and the second stage of the press has a temperature of 150 to 200 ° C. and a pressure of 1 to 40 kgf / cm 2. It is preferable to carry out. The time of each step is preferably 30 to 120 minutes. By thermally curing the resin composition layer in this manner, an insulating layer can be formed on the circuit board. Examples of commercially available vacuum hot press machines include MNPC-V-750-5-200 (manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd.) and VH1-1603 (manufactured by Kitagawa Seiki Co., Ltd.).

次いで、回路基板上に形成された絶縁層に穴開け加工を行ってビアホール、スルーホールを形成する。穴あけ加工は、例えば、ドリル、レーザー、プラズマ等の公知の方法により、また必要によりこれらの方法を組み合わせて行うことができるが、炭酸ガスレーザー、YAGレーザー等のレーザーによる穴あけ加工が最も一般的な方法である。穴あけ加工前に支持体を剥離しなかった場合は、ここで剥離することになる。   Next, the insulating layer formed on the circuit board is perforated to form via holes and through holes. The drilling process can be carried out, for example, by a known method such as a drill, a laser, a plasma, or a combination of these methods, if necessary, but the drilling process by a laser such as a carbon dioxide gas laser or a YAG laser is the most common. Is the way. If the support has not been peeled off before drilling, it is peeled off here.

次いで、絶縁層表面に粗化処理を行う。乾式の粗化処理の場合はプラズマ処理等が挙げられ、湿式の粗化処理の場合は膨潤液による膨潤処理、酸化剤による粗化処理及び中和液による中和処理をこの順に行う方法が挙げられる。湿式の粗化処理の方が、絶縁層表面に凸凹のアンカーを形成しながら、ビアホール内のスミアを除去することができる点で好ましい。膨潤液による膨潤処理は、絶縁層を50〜80℃で5〜20分間(好ましくは55〜70℃で8〜15分間)、膨潤液に浸漬させることで行われる。膨潤液としてはアルカリ溶液、界面活性剤溶液等が挙げられ、好ましくはアルカリ溶液であり、該アルカリ溶液としては、例えば、水酸化ナトリウム溶液、水酸化カリウム溶液等が挙げられる。市販されている膨潤液としては、例えば、アトテックジャパン(株)製のスウェリング・ディップ・セキュリガンスP(Swelling Dip Securiganth P)、スウェリング・ディップ・セキュリガンスSBU(Swelling Dip Securiganth SBU)等を挙げることができる。酸化剤による粗化処理は、絶縁層を60〜80℃で10〜30分間(好ましくは70〜80℃で15〜25分間)、酸化剤溶液に浸漬させることで行われる。酸化剤としては、例えば、水酸化ナトリウムの水溶液に過マンガン酸カリウムや過マンガン酸ナトリウムを溶解したアルカリ性過マンガン酸溶液、重クロム酸塩、オゾン、過酸化水素/硫酸、硝酸等を挙げることができる。また、アルカリ性過マンガン酸溶液における過マンガン酸塩の濃度は5〜10重量%とするのが好ましい。市販されている酸化剤としては、例えば、アトテックジャパン(株)製のコンセントレート・コンパクト CP、ドージングソリューション セキュリガンスP等のアルカリ性過マンガン酸溶液が挙げられる。中和液による中和処理は、30〜50℃で3〜10分間(好ましくは35〜45℃で3〜8分間)、中和液に浸漬させることで行われる。中和液としては、酸性の水溶液が好ましく、市販品としては、アトテックジャパン(株)製のリダクションソリューシン・セキュリガントPが挙げられる。   Then, the surface of the insulating layer is roughened. In the case of dry-type roughening treatment, plasma treatment and the like can be mentioned. In the case of wet-type roughening treatment, a method of performing swelling treatment with a swelling liquid, roughening treatment with an oxidizing agent and neutralization treatment with a neutralizing liquid in this order can be given. Be done. The wet roughening treatment is preferable because the smear in the via hole can be removed while forming the uneven anchor on the surface of the insulating layer. The swelling treatment with the swelling liquid is performed by immersing the insulating layer in the swelling liquid at 50 to 80 ° C. for 5 to 20 minutes (preferably 55 to 70 ° C. for 8 to 15 minutes). Examples of the swelling solution include an alkaline solution and a surfactant solution, preferably an alkaline solution. Examples of the alkaline solution include a sodium hydroxide solution and a potassium hydroxide solution. Examples of commercially available swelling liquids include Swelling Dip Securiganth P, Swelling Dip Securiganth SBU, manufactured by Atotech Japan Co., Ltd. be able to. The roughening treatment with an oxidizing agent is performed by immersing the insulating layer in an oxidizing agent solution at 60 to 80 ° C for 10 to 30 minutes (preferably 70 to 80 ° C for 15 to 25 minutes). Examples of the oxidizing agent include alkaline permanganate solution obtained by dissolving potassium permanganate or sodium permanganate in an aqueous solution of sodium hydroxide, dichromate, ozone, hydrogen peroxide / sulfuric acid, nitric acid and the like. it can. The concentration of permanganate in the alkaline permanganate solution is preferably 5 to 10% by weight. Examples of commercially available oxidizing agents include alkaline permanganate solutions such as Concentrate Compact CP and Dosing Solution Securigans P manufactured by Atotech Japan Co., Ltd. The neutralization treatment with the neutralizing solution is carried out by immersing in the neutralizing solution at 30 to 50 ° C for 3 to 10 minutes (preferably at 35 to 45 ° C for 3 to 8 minutes). As the neutralizing solution, an acidic aqueous solution is preferable, and as a commercially available product, reduction solution solution Securigant P manufactured by Atotech Japan Co., Ltd. may be mentioned.

次いで、乾式メッキ又は湿式メッキにより絶縁層上に導体層を形成する。乾式メッキとしては、蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング等の公知の方法を使用することができる。湿式メッキとしては、無電解メッキと電解メッキとを組み合わせて導体層を形成する方法、導体層とは逆パターンのメッキレジストを形成し、無電解メッキのみで導体層を形成する方法、等が挙げられる。その後のパターン形成の方法として、例えば、当業者に公知のサブトラクティブ法、セミアディティブ法などを用いることができ、上述の一連の工程を複数回繰り返すことで、ビルドアップ層を多段に積層した多層プリント配線板となる。本発明においては、低粗度、高ピール及び低誘電正接であるため、多層プリント配線板のビルドアップ層として好適に使用することができる。   Next, a conductor layer is formed on the insulating layer by dry plating or wet plating. As the dry plating, known methods such as vapor deposition, sputtering and ion plating can be used. Examples of the wet plating include a method of forming a conductor layer by combining electroless plating and electrolytic plating, a method of forming a plating resist having a pattern opposite to that of the conductor layer, and forming a conductor layer only by electroless plating. Be done. As a method for pattern formation thereafter, for example, a subtractive method, a semi-additive method or the like known to those skilled in the art can be used, and by repeating the above-mentioned series of steps a plurality of times, a multi-layered buildup layer is laminated. It becomes a printed wiring board. In the present invention, since it has low roughness, high peel and low dielectric loss tangent, it can be suitably used as a build-up layer of a multilayer printed wiring board.

<半導体装置>
本発明の多層プリント配線板を用いることで半導体装置を製造することができる。本発明の多層プリント配線板の導通箇所に、半導体チップを実装することにより半導体装置を製造することができる。「導通箇所」とは、「多層プリント配線板における電気信号を伝える箇所」であって、その場所は表面であっても、埋め込まれた箇所であってもいずれでも構わない。また、半導体チップは半導体を材料とする電気回路素子であれば特に限定されない。
<Semiconductor device>
A semiconductor device can be manufactured by using the multilayer printed wiring board of the present invention. A semiconductor device can be manufactured by mounting a semiconductor chip on a conductive portion of the multilayer printed wiring board of the present invention. The "conducting place" is a "place for transmitting an electric signal in the multilayer printed wiring board", and the place may be a surface or an embedded place. The semiconductor chip is not particularly limited as long as it is an electric circuit element made of a semiconductor.

本発明の半導体装置を製造する際の半導体チップの実装方法は、半導体チップが有効に機能しさえすれば、特に限定されないが、具体的には、ワイヤボンディング実装方法、フリップチップ実装方法、バンプなしビルドアップ層(BBUL)による実装方法、異方性導電フィルム(ACF)による実装方法、非導電性フィルム(NCF)による実装方法、などが挙げられる。   The semiconductor chip mounting method for manufacturing the semiconductor device of the present invention is not particularly limited as long as the semiconductor chip functions effectively. Specifically, the wire bonding mounting method, the flip chip mounting method, and the bumpless method are used. Examples thereof include a mounting method using a build-up layer (BBUL), a mounting method using an anisotropic conductive film (ACF), and a mounting method using a non-conductive film (NCF).

以下、本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。なお、「部」は質量部を意味する。   Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples. In addition, "part" means a mass part.

<測定方法・評価方法>
まずは各種測定方法・評価方法について説明する。
<Measurement method / Evaluation method>
First, various measuring methods and evaluation methods will be described.

<算術平均粗さ(Ra値)二乗平均平方根粗さ(Rq値)及びピール強度測定用サンプルの調製>
(1)内層回路基板の下地処理
内層回路を形成したガラス布基材エポキシ樹脂両面銅張積層板(銅箔の厚さ18μm、基板厚み0.3mm、松下電工(株)製R5715ES)の両面をメック(株)製CZ8100にて1μmエッチングして銅表面の粗化処理をおこなった。
<Preparation of Samples for Arithmetic Mean Roughness (Ra Value) Root Mean Square Roughness (Rq Value) and Peel Strength Measurement>
(1) Undercoating of inner layer circuit board Both sides of the glass cloth base material epoxy resin double-sided copper clad laminate (copper foil thickness 18 μm, substrate thickness 0.3 mm, R5715ES manufactured by Matsushita Electric Works, Ltd.) on which the inner layer circuit is formed A copper surface was roughened by etching with CZ8100 manufactured by MEC Co., Ltd. by 1 μm.

(2)接着フィルムのラミネート
実施例及び比較例で作成した接着フィルムを、バッチ式真空加圧ラミネーターMVLP-500(名機(株)製商品名)を用いて、内層回路基板の両面にラミネートした。ラミネートは、30秒間減圧して気圧を13hPa以下とし、その後30秒間、100℃、圧力0.74MPaで圧着することにより行った。
(2) Lamination of Adhesive Film The adhesive films prepared in Examples and Comparative Examples were laminated on both surfaces of the inner layer circuit board using a batch type vacuum pressure laminator MVLP-500 (trade name, manufactured by Meiki Co., Ltd.). .. Lamination was performed by decompressing for 30 seconds so that the atmospheric pressure was 13 hPa or less, and then performing pressure bonding for 30 seconds at 100 ° C. and a pressure of 0.74 MPa.

(3)樹脂組成物の硬化
ラミネートされた接着フィルムを200℃、60分の硬化条件で樹脂組成物を硬化して絶縁層を形成し、その後PETフィルムを剥離した。
(3) Curing of resin composition The laminated adhesive film was cured by curing the resin composition under a curing condition of 200 ° C for 60 minutes to form an insulating layer, and then the PET film was peeled off.

(4)粗化処理
絶縁層を形成した内層回路基板を、膨潤液である、アトテックジャパン(株)のジエチレングリコールモノブチルエーテル含有のスエリングディップ・セキュリガントPに60℃で10分間浸漬し、次に粗化液として、アトテックジャパン(株)のコンセントレート・コンパクトP(KMnO4:60g/L、NaOH:40g/Lの水溶液)に80℃で20分間浸漬、最後に中和液として、アトテックジャパン(株)のリダクションショリューシン・セキュリガントPに40℃で5分間浸漬した。80℃で30分乾燥後、この粗化処理後の絶縁層表面について、算術平均粗さ(Ra値)、二乗平均平方根粗さ(Rq値)の測定を行った。
(4) Roughening treatment The inner layer circuit board having the insulating layer formed thereon was immersed in a swelling solution, Swelling Dip Securigant P containing diethylene glycol monobutyl ether of Atotech Japan Co., Ltd. at 60 ° C. for 10 minutes, and then roughened. As a solution, Atotech Japan Co., Ltd. Concentrate Compact P (KMnO4: 60 g / L, aqueous solution of NaOH: 40 g / L) is immersed at 80 ° C. for 20 minutes, and finally as a neutralizing solution, Atotech Japan Co., Ltd. It was immersed for 5 minutes at 40 ° C. in the reduction SHORYUSIN SECURIGANT P. After drying at 80 ° C. for 30 minutes, arithmetic mean roughness (Ra value) and root mean square roughness (Rq value) of the roughened insulating layer surface were measured.

(5)セミアディティブ工法によるメッキ
絶縁層表面に回路を形成するために、内層回路基板を、PdCl を含む無電解メッキ用溶液に40℃で5分間浸漬し、次に無電解銅メッキ液に25℃で20分間浸漬した。150℃にて30分間加熱してアニール処理を行った後に、エッチングレジストを形成し、エッチングによるパターン形成の後に、硫酸銅電解メッキを行い、25μmの厚さで導体層を形成した。次に、アニール処理を180℃にて30分間行った。この回路基板についてメッキ導体層の引き剥がし強さ(ピール強度)の測定を行った。
(5) Plating by semi-additive method In order to form a circuit on the surface of the insulating layer, the inner layer circuit board is immersed in a solution for electroless plating containing PdCl 2 at 40 ° C. for 5 minutes, and then an electroless copper plating solution. It was immersed at 25 ° C. for 20 minutes. After heating at 150 ° C. for 30 minutes to perform an annealing treatment, an etching resist was formed, and after forming a pattern by etching, copper sulfate electrolytic plating was performed to form a conductor layer with a thickness of 25 μm. Next, annealing treatment was performed at 180 ° C. for 30 minutes. The peeling strength (peel strength) of the plated conductor layer was measured for this circuit board.

<粗化処理後の算術平均粗さ(Ra値)、二乗平均平方根粗さ(Rq値)の測定>
非接触型表面粗さ計(ビーコインスツルメンツ社製WYKO NT3300)を用いて、VSIコンタクトモード、50倍レンズにより測定範囲を121μm×92μmとして得られる数値によりRa値を求めた。そして、10点の平均値を求めることにより測定値とした。
<Measurement of arithmetic mean roughness (Ra value) and root mean square roughness (Rq value) after roughening treatment>
Using a non-contact type surface roughness meter (WYKO NT3300 manufactured by Becoin Instruments Co., Ltd.), Ra value was determined by a numerical value obtained by setting the measurement range to 121 μm × 92 μm with a 50 × lens in VSI contact mode. Then, an average value of 10 points was obtained to obtain a measured value.

<メッキ導体層の引き剥がし強さ(ピール強度)の測定>
回路基板の導体層に、幅10mm、長さ100mmの切込みをいれ、この一端を剥がしてつかみ具(株式会社ティー・エス・イー、オートコム型試験機 AC−50CSL)で掴み、室温中にて、50mm/分の速度で垂直方向に35mmを引き剥がした時の荷重(kgf/cm)を測定した。
<Measurement of peeling strength (peel strength) of plated conductor layer>
Make a notch with a width of 10 mm and a length of 100 mm in the conductor layer of the circuit board, peel off one end, grasp with a grasping tool (TSE Co., Ltd., Autocom type tester AC-50CSL), and at room temperature. The load (kgf / cm) was measured when 35 mm was peeled off in the vertical direction at a speed of 50 mm / min.

<誘電正接の測定>
実施例及び比較例において得られた樹脂ワニスを、離型処理されたPETフィルム(リンテック(株)製、「PET501010」)上に、乾燥後の樹脂組成物層の厚みが40μmとなるようにダイコーターにて均一に塗布し、80〜110℃(平均95℃)で6分間乾燥した。その後、窒素雰囲気下にて200℃で90分間熱処理し、支持体から剥離することで硬化物フィルムを得た。該硬化物フィルムを長さ80mm、幅2mmに切り出し評価サンプルとした。この評価サンプルについてアジレントテクノロジーズ(Agilent Technologies)社製HP8362B装置を用い空洞共振摂動法により測定周波数5.8GHz、測定温度23℃にて誘電正接を測定した。2本の試験片について測定を行い、平均値を算出した。
<Measurement of dielectric loss tangent>
The resin varnishes obtained in Examples and Comparative Examples were coated on a release-treated PET film (“PET501010” manufactured by Lintec Co., Ltd.) so that the resin composition layer after drying had a thickness of 40 μm. It was evenly coated with a coater and dried at 80 to 110 ° C. (average 95 ° C.) for 6 minutes. Then, it was heat-treated at 200 ° C. for 90 minutes in a nitrogen atmosphere and peeled from the support to obtain a cured product film. The cured film was cut into a length of 80 mm and a width of 2 mm to give an evaluation sample. The dielectric loss tangent of this evaluation sample was measured at a measurement frequency of 5.8 GHz and a measurement temperature of 23 ° C. by a cavity resonance perturbation method using an HP 8362B apparatus manufactured by Agilent Technologies. The measurement was performed on two test pieces, and the average value was calculated.

<ポリブタジエン樹脂Aの調整>
反応容器にG−3000(2官能性ヒドロキシル基末端ポリブタジエン、数平均分子量=5047(GPC法)、ヒドロキシル基当量=1798g/eq.、固形分100w%:日本曹達(株)製)50gと、イプゾール150(芳香族炭化水素系混合溶媒:出光石油化学(株)製)23.5g、ジブチル錫ジラウレート0.005gを混合し均一に溶解させた。均一になったところで50℃に昇温し、更に撹拌しながら、トルエン−2,4−ジイソシアネート(イソシアネート基当量=87.08g/eq.)4.8gを添加し約3時間反応を行った。次いで、この反応物を室温まで冷却してから、これにベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物(酸無水物当量=161.1g/eq.)8.96gと、トリエチレンジアミン0.07gと、エチルジグリコールアセテート(ダイセル化学工業(株)社製)40.4gを添加し、攪拌しながら130℃まで昇温し、約4時間反応を行った。FT−IRより2250cm−1のNCOピークの消失の確認を行った。NCOピーク消失の確認をもって反応の終点とみなし、反応物を室温まで降温してから100メッシュの濾布で濾過してブタジエン骨格と酸無水物基とポリイミド骨格を有するポリブタジエン樹脂(ポリブタジエン樹脂A)を得た。
該ポリブタジエン樹脂Aの性状:
粘度=7.5Pa・s(25℃、E型粘度計)
酸価=16.9mgKOH/g
固形分=50wt%
数平均分子量=13723
ポリブタジエン構造部分の含有率=50/(50+4.8+8.96)*100
=78.4質量%
<Preparation of polybutadiene resin A>
50 g of G-3000 (bifunctional hydroxyl group-terminated polybutadiene, number average molecular weight = 5047 (GPC method), hydroxyl group equivalent = 1798 g / eq., Solid content 100 w%: manufactured by Nippon Soda Co., Ltd.) in a reaction vessel, and Ipsol 23.5 g of 150 (aromatic hydrocarbon-based mixed solvent: manufactured by Idemitsu Petrochemical Co., Ltd.) and 0.005 g of dibutyltin dilaurate were mixed and uniformly dissolved. When the temperature became uniform, the temperature was raised to 50 ° C., and 4.8 g of toluene-2,4-diisocyanate (isocyanate group equivalent = 87.08 g / eq.) Was added with stirring, and the reaction was carried out for about 3 hours. Then, this reaction product was cooled to room temperature, and then 8.96 g of benzophenonetetracarboxylic dianhydride (acid anhydride equivalent = 161.1 g / eq.), 0.07 g of triethylenediamine, and ethyldiglycol were added. 40.4 g of acetate (manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.) was added, the temperature was raised to 130 ° C. with stirring, and the reaction was carried out for about 4 hours. The disappearance of the NCO peak at 2250 cm -1 was confirmed by FT-IR. Upon confirmation of the disappearance of the NCO peak, the reaction was considered to be the end point of the reaction, and the reaction product was cooled to room temperature and filtered with a 100-mesh filter cloth to obtain a polybutadiene resin (polybutadiene resin A) having a butadiene skeleton, an acid anhydride group, and a polyimide skeleton. Obtained.
Properties of the polybutadiene resin A:
Viscosity = 7.5 Pa · s (25 ° C, E-type viscometer)
Acid value = 16.9 mg KOH / g
Solid content = 50 wt%
Number average molecular weight = 13723
Content of polybutadiene structure = 50 / (50 + 4.8 + 8.96) * 100
= 78.4 mass%

<実施例1>
(樹脂ワニスの調整)
スチレン変性ポリフェニレンエーテル樹脂(三菱瓦斯化学(株)製「OPE−2St(数平均分子量1200)」)48部、ビキシレノールジアリルエーテル樹脂(三菱化学(株)製「YL7776(数平均分子量331)」)24部、ビフェニル型エポキシ樹脂(日本化薬(株)製「NC3000L」)18部、活性エステル型硬化剤(DIC(株)製「EXB9416−70BK」、固形分70質量%のメチルイソブチルケトン溶液)26部、ポリブタジエン樹脂A20部、ソルベントナフサ30部、トルエン25部の混合溶液を撹拌しながら加熱溶解させた。混合溶液を室温まで冷却後、硬化促進剤(四国化成(株)製「1B2PZ」の40質量%MEK溶液)3部、重合開始剤(日油(株)製「パーヘキシン25B」)4.8部、ゴム粒子(ガンツ化成(株)製、スタフィロイドAC3816N)1.58部、スチリルシラン系カップリング剤(信越化学工業(株)製、「KBM1403」)で表面処理された球形シリカ(平均粒径0.5μm、(株)アドマテックス製「SOC2」)158部を混合し、高速回転ミキサーで均一に分散して、樹脂ワニスを作製した。
<Example 1>
(Adjustment of resin varnish)
48 parts of styrene-modified polyphenylene ether resin ("OPE-2St (number average molecular weight 1200)" manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Inc.), bixylenol diallyl ether resin ("YL7776 (number average molecular weight 331)" manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd.) 24 parts, biphenyl type epoxy resin (Nippon Kayaku Co., Ltd. "NC3000L") 18 parts, active ester type curing agent (DIC Co., Ltd. "EXB9416-70BK", solid content 70 mass% methyl isobutyl ketone solution) A mixed solution of 26 parts, 20 parts of polybutadiene resin A, 30 parts of solvent naphtha, and 25 parts of toluene was heated and dissolved while stirring. After cooling the mixed solution to room temperature, 3 parts of a curing accelerator (40% by mass MEK solution of "1B2PZ" manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd.) and 4.8 parts of a polymerization initiator ("Perhexin 25B" manufactured by NOF CORPORATION) , Spherical particles (average particle size) surface-treated with 1.58 parts of rubber particles (Ganzu Kasei Co., Ltd., Staphyloid AC3816N), styrylsilane coupling agent (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., "KBM1403") A resin varnish was prepared by mixing 158 parts of 0.5 μm and “SOC2” manufactured by Admatechs Co., Ltd. and uniformly dispersing them with a high-speed rotary mixer.

(接着フィルムの作製)
次に、上記の樹脂ワニスを、離型処理されたPETフィルム(リンテック(株)製、「PET501010」)上に、乾燥後の樹脂組成物層の厚みが40μmとなるようにダイコーターにて均一に塗布し、80〜110℃(平均95℃)で6分間乾燥し、接着フィルムを作製した。
(Preparation of adhesive film)
Next, the above resin varnish was uniformly applied onto a release-treated PET film (“PET501010” manufactured by Lintec Co., Ltd.) with a die coater so that the thickness of the resin composition layer after drying was 40 μm. And was dried at 80 to 110 ° C. (average 95 ° C.) for 6 minutes to prepare an adhesive film.

<実施例2>
スチレン変性ポリフェニレンエーテル樹脂(三菱瓦斯化学(株)製「OPE−2St(数平均分子量1200)」)48部、ビキシレノールジアリルエーテル樹脂(三菱化学(株)製「YL7776(数平均分子量331)」)24部、ビフェニル型エポキシ樹脂(日本化薬(株)製「NC3000L」)36部、活性エステル型硬化剤(DIC(株)製「EXB9416−70BK」、固形分70質量%のメチルイソブチルケトン溶液)52部、ポリブタジエン樹脂A75部、ソルベントナフサ35部、トルエン50部の混合溶液を撹拌しながら加熱溶解させた。混合溶液を室温まで冷却後、硬化促進剤(四国化成(株)製「1B2PZ」の40質量%MEK溶液)4.7部、重合開始剤(日油(株)製「パーヘキシン25B」)7.5部、ゴム粒子(ガンツ化成(株)製、スタフィロイドAC3816N)2.42部、スチリルシラン系カップリング剤(信越化学工業(株)製、「KBM1403」)で表面処理された球形シリカ(平均粒径0.5μm、(株)アドマテックス製「SOC2」)242部を混合し、高速回転ミキサーで均一に分散して、樹脂ワニスを作製した。その後、実施例1と同様にして接着フィルムを作製した。
<Example 2>
Styrene-modified polyphenylene ether resin ("OPE-2St (number average molecular weight 1200)" manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Inc.) 48 parts, bixylenol diallyl ether resin ("YL7776 (number average molecular weight 331)" manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd.) 24 parts, biphenyl type epoxy resin (Nippon Kayaku Co., Ltd. "NC3000L") 36 parts, active ester type curing agent (DIC Co., Ltd. "EXB9416-70BK", solid content 70 mass% methyl isobutyl ketone solution) A mixed solution of 52 parts, polybutadiene resin A 75 parts, solvent naphtha 35 parts, and toluene 50 parts was heated and dissolved with stirring. After cooling the mixed solution to room temperature, 4.7 parts of a curing accelerator (40% by mass MEK solution of "1B2PZ" manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd.) and a polymerization initiator ("Perhexin 25B" manufactured by NOF CORPORATION) 7. 5 parts, 2.42 parts of staphyloid AC3816N, rubber particles (manufactured by Ganz Kasei Co., Ltd.), spherical silica surface treated with a styrylsilane coupling agent (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., "KBM1403") (average) A resin varnish was prepared by mixing 242 parts of a particle size of 0.5 μm and “SOC2” manufactured by Admatechs Co., Ltd. and uniformly dispersing them with a high-speed rotary mixer. Then, an adhesive film was prepared in the same manner as in Example 1.

<実施例3>
スチレン変性ポリフェニレンエーテル樹脂(三菱瓦斯化学(株)製「OPE−2St(数平均分子量1200)」)48部、ビキシレノールジアリルエーテル樹脂(三菱化学(株)製「YL7776(数平均分子量331)」)24部、ビフェニル型エポキシ樹脂(日本化薬(株)製「NC3000L」)18部、活性エステル型硬化剤(DIC(株)製「HPC8000−65T」、固形分65質量%のトルエン溶液)23部、ポリブタジエン樹脂A20部、ソルベントナフサ30部、トルエン25部の混合溶液を撹拌しながら加熱溶解させた。混合溶液を室温まで冷却後、硬化促進剤(四国化成(株)製「1B2PZ」の40質量%MEK溶液)3部、重合開始剤(日油(株)製「パーヘキシン25B」)4.7部、ゴム粒子(ガンツ化成(株)製、スタフィロイドAC3816N)1.54部、スチリルシラン系カップリング剤(信越化学工業(株)製、「KBM1403」)で表面処理された球形シリカ(平均粒径0.5μm、(株)アドマテックス製「SOC2」)154部を混合し、高速回転ミキサーで均一に分散して、樹脂ワニスを作製した。その後、実施例1と同様にして接着フィルムを作製した。
<Example 3>
Styrene-modified polyphenylene ether resin ("OPE-2St (number average molecular weight 1200)" manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Inc.) 48 parts, bixylenol diallyl ether resin ("YL7776 (number average molecular weight 331)" manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd.) 24 parts, biphenyl type epoxy resin (Nippon Kayaku Co., Ltd. "NC3000L") 18 parts, active ester type curing agent (DIC Co., Ltd. "HPC8000-65T", solid content 65 mass% toluene solution) 23 parts A mixed solution of 20 parts of polybutadiene resin A, 30 parts of solvent naphtha, and 25 parts of toluene was heated and dissolved with stirring. After cooling the mixed solution to room temperature, 3 parts of a curing accelerator (40% by mass MEK solution of "1B2PZ" manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd.) and 4.7 parts of a polymerization initiator ("Perhexin 25B" manufactured by NOF CORPORATION) , Spherical particles (average particle size) surface-treated with rubber particles (Ganzu Kasei Co., Ltd., Staphyloid AC3816N) 1.54 parts, styrylsilane coupling agent (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., "KBM1403") A resin varnish was prepared by mixing 154 parts of 0.5 μm and “SOC2” manufactured by Admatechs Co., Ltd. and uniformly dispersing them with a high-speed rotary mixer. Then, an adhesive film was prepared in the same manner as in Example 1.

<比較例1>
スチレン変性ポリフェニレンエーテル樹脂(三菱瓦斯化学(株)製「OPE−2St(数平均分子量1200)」)48部、ビキシレノールジアリルエーテル樹脂(三菱化学(株)製「YL7776(数平均分子量331)」)24部、ポリブタジエン樹脂A37部、ソルベントナフサ30部、トルエン40部の混合溶液を撹拌しながら加熱溶解させた。混合溶液を室温まで冷却後、重合開始剤(日油(株)製「パーヘキシン25B」)3.7部、ゴム粒子(ガンツ化成(株)製、スタフィロイドAC3816N)1.2部、スチリルシラン系カップリング剤(信越化学工業(株)製、「KBM1403」)で表面処理された球形シリカ(平均粒径0.5μm、(株)アドマテックス製「SOC2」)120部を混合し、高速回転ミキサーで均一に分散して、樹脂ワニスを作製した。その後、実施例1と同様にして接着フィルムを作製した。
<Comparative Example 1>
48 parts of styrene-modified polyphenylene ether resin ("OPE-2St (number average molecular weight 1200)" manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Inc.), bixylenol diallyl ether resin ("YL7776 (number average molecular weight 331)" manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd.) A mixed solution of 24 parts, 37 parts of polybutadiene resin A, 30 parts of solvent naphtha, and 40 parts of toluene was heated and dissolved while stirring. After cooling the mixed solution to room temperature, 3.7 parts of a polymerization initiator (“Perhexin 25B” manufactured by NOF Corporation), 1.2 parts of rubber particles (Staffloid AC3816N manufactured by Gantz Kasei Co., Ltd.), a styrylsilane system. 120 parts of spherical silica (average particle size 0.5 μm, “SOC2” manufactured by Admatechs Co., Ltd.) surface-treated with a coupling agent (“KBM1403” manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) is mixed, and a high-speed rotating mixer is mixed. Was evenly dispersed to prepare a resin varnish. Then, an adhesive film was prepared in the same manner as in Example 1.

<比較例2>
スチレン変性ポリフェニレンエーテル樹脂(三菱瓦斯化学(株)製「OPE−2St(数平均分子量1200)」)48部、ビキシレノールジアリルエーテル樹脂(三菱化学(株)製「YL7776(数平均分子量331)」)24部、ビフェニル型エポキシ樹脂(日本化薬(株)製「NC3000L」)18部、活性エステル型硬化剤(DIC(株)製「EXB9416−70BK」、固形分70質量%のメチルイソブチルケトン溶液)26部、ソルベントナフサ30部、トルエン15部の混合溶液を撹拌しながら加熱溶解させた。混合溶液を室温まで冷却後、硬化促進剤(四国化成(株)製「1B2PZ」の40質量%MEK溶液)2.8部、重合開始剤(日油(株)製「パーヘキシン25B」)4.5部、ゴム粒子(ガンツ化成(株)製、スタフィロイドAC3816N)1.44部、スチリルシラン系カップリング剤(信越化学工業(株)製、「KBM1403」)で表面処理された球形シリカ(平均粒径0.5μm、(株)アドマテックス製「SOC2」)144部を混合し、高速回転ミキサーで均一に分散して、樹脂ワニスを作製した。その後、実施例1と同様にして接着フィルムを作製した。
<Comparative example 2>
48 parts of styrene-modified polyphenylene ether resin ("OPE-2St (number average molecular weight 1200)" manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Inc.), bixylenol diallyl ether resin ("YL7776 (number average molecular weight 331)" manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd.) 24 parts, biphenyl type epoxy resin (Nippon Kayaku Co., Ltd. "NC3000L") 18 parts, active ester type curing agent (DIC Co., Ltd. "EXB9416-70BK", solid content 70 mass% methyl isobutyl ketone solution) A mixed solution of 26 parts, 30 parts of solvent naphtha and 15 parts of toluene was heated and dissolved with stirring. After cooling the mixed solution to room temperature, 2.8 parts of a curing accelerator (40% by mass MEK solution of "1B2PZ" manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd.) and a polymerization initiator ("Perhexin 25B" manufactured by NOF CORPORATION) 4. Spherical silica (average) surface-treated with 5 parts, rubber particles (Ganzu Kasei Co., Ltd., Staphyloid AC3816N) 1.44 parts, styrylsilane coupling agent (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., "KBM1403") A resin varnish was prepared by mixing 144 parts of a particle size of 0.5 μm and “SOC2” manufactured by Admatechs Co., Ltd. and uniformly dispersing them with a high-speed rotary mixer. Then, an adhesive film was prepared in the same manner as in Example 1.

<比較例3>
スチレン変性ポリフェニレンエーテル樹脂(三菱瓦斯化学(株)製「OPE−2St(数平均分子量1200)」)48部、ビキシレノールジアリルエーテル樹脂(三菱化学(株)製「YL7776(数平均分子量331)」)24部、ビフェニル型エポキシ樹脂(日本化薬(株)製「NC3000L」)18部、活性エステル型硬化剤(DIC(株)製「EXB9416−70BK」、固形分70質量%のメチルイソブチルケトン溶液)26部、フェノキシ樹脂(三菱化学(株)製「YL7553BH30」、固形分30質量%のMEK溶液)34部、ソルベントナフサ30部、トルエン25部、メチルエチルケトン10部の混合溶液を撹拌しながら加熱溶解させた。混合溶液を室温まで冷却後、硬化促進剤(四国化成(株)製「1B2PZ」の40質量%MEK溶液)3部、重合開始剤(日油(株)製「パーヘキシン25B」)4.9部、ゴム粒子(ガンツ化成(株)製、スタフィロイドAC3816N)1.58部、スチリルシラン系カップリング剤(信越化学工業(株)製、「KBM1403」)で表面処理された球形シリカ(平均粒径0.5μm、(株)アドマテックス製「SOC2」)158部を混合し、高速回転ミキサーで均一に分散して、樹脂ワニスを作製した。その後、実施例1と同様にして接着フィルムを作製した。
<Comparative example 3>
48 parts of styrene-modified polyphenylene ether resin ("OPE-2St (number average molecular weight 1200)" manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Inc.), bixylenol diallyl ether resin ("YL7776 (number average molecular weight 331)" manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd.) 24 parts, biphenyl type epoxy resin (Nippon Kayaku Co., Ltd. "NC3000L") 18 parts, active ester type curing agent (DIC Co., Ltd. "EXB9416-70BK", solid content 70 mass% methyl isobutyl ketone solution) A mixed solution of 26 parts, phenoxy resin (“YL7553BH30” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, MEK solution having a solid content of 30% by mass), 30 parts solvent naphtha, 25 parts toluene, and 10 parts methyl ethyl ketone was heated and dissolved with stirring. It was After cooling the mixed solution to room temperature, 3 parts of a curing accelerator (40% by mass MEK solution of "1B2PZ" manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd.) and 4.9 parts of a polymerization initiator ("Perhexin 25B" manufactured by NOF CORPORATION) , Spherical particles (average particle size) surface-treated with 1.58 parts of rubber particles (Ganzu Kasei Co., Ltd., Staphyloid AC3816N), styrylsilane coupling agent (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., "KBM1403") A resin varnish was prepared by mixing 158 parts of 0.5 μm and “SOC2” manufactured by Admatechs Co., Ltd. and uniformly dispersing them with a high-speed rotary mixer. Then, an adhesive film was prepared in the same manner as in Example 1.

結果を表1に示す。   The results are shown in Table 1.

Figure 0006694833
Figure 0006694833

表1の結果から、実施例の樹脂組成物は、低算術平均粗さ、低二乗平均平方根粗さでピール強度が十分な値で安定しており、誘電正接も低い。一方、比較例1では算術平均粗さ、二乗平均平方根粗さが大きく、ピール強度も低い。比較例2ではピール強度が低い。比較例3ではピール強度が低く、誘電正接も大きい。   From the results shown in Table 1, the resin compositions of Examples have low arithmetic mean roughness, low root mean square roughness, stable peel strength, and low dielectric loss tangent. On the other hand, in Comparative Example 1, the arithmetic mean roughness and the root mean square roughness are large and the peel strength is low. In Comparative Example 2, the peel strength is low. In Comparative Example 3, the peel strength is low and the dielectric loss tangent is high.

湿式粗化工程において絶縁層表面の算術平均粗さが小さいのみならず、二乗平均平方根粗さも小さく、その上に安定したピール強度を有するメッキ導体層を形成することができ、更に誘電正接も低い樹脂組成物を提供できるようになった。更に該樹脂組成物を用いたシート状積層材料、多層プリント配線板、半導体装置を提供できるようになった。更にこれらを搭載した、コンピューター、携帯電話、デジタルカメラ、テレビ、等の電気製品や、自動二輪車、自動車、電車、船舶、航空機、等の乗物も提供できるようになった。   In the wet roughening step, not only the arithmetic mean roughness of the surface of the insulating layer is small, but also the root mean square roughness is small, and it is possible to form a plated conductor layer having a stable peel strength on it, and the dielectric loss tangent is also low. It has become possible to provide a resin composition. Further, it has become possible to provide a sheet-shaped laminated material, a multilayer printed wiring board and a semiconductor device using the resin composition. Furthermore, it has become possible to provide electric products such as computers, mobile phones, digital cameras, televisions, etc., on which these are mounted, and vehicles such as motorcycles, automobiles, trains, ships, and aircraft.

Claims (21)

(A)ラジカル重合性化合物、(B)エポキシ樹脂、(C)硬化剤及び(D)粗化成分を含有し、
前記(A)ラジカル重合性化合物が、スチリル基、アリル基、アクリル基、及びメタクリル基から選択される1種以上を有し、
前記(C)硬化剤が、活性エステル型硬化剤及び/又はシアネートエステル型硬化剤を含有し、
前記(D)粗化成分が、数平均分子量が300〜30000であり、または、反応性基を有する、ポリブタジエン樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂から選択される1種以上を含有することを特徴とするメッキ導体層を形成するための樹脂組成物。
Contains (A) a radically polymerizable compound, (B) an epoxy resin, (C) a curing agent and (D) a roughening component,
Wherein the radically polymerizable compound (A) having a styryl group, an allyl group, an acrylic group, and one or more selected from a methacrylic group,
The (C) curing agent contains an active ester type curing agent and / or a cyanate ester type curing agent,
The (D) roughening component is selected from polybutadiene resin, polyamide resin, polyamideimide resin, polyimide resin, polycarbonate resin, polyester resin, polyurethane resin having a number average molecular weight of 300 to 30,000 or having a reactive group. A resin composition for forming a plated conductor layer, which comprises one or more of the following:
前記(A)ラジカル重合性化合物の数平均分子量が、100〜10000の範囲であることを特徴とする請求項1に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to claim 1, wherein the number-average molecular weight of the radically polymerizable compound (A) is in the range of 100 to 10,000. 樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、前記(A)ラジカル重合性化合物の含有量が、5〜40質量%であることを特徴とする請求項1又は2に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to claim 1 or 2, wherein the content of the radically polymerizable compound (A) is 5 to 40% by mass, when the nonvolatile component in the resin composition is 100% by mass. object. 前記(B)エポキシ樹脂が、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂及びアントラセン型エポキシ樹脂より選択される1種以上であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   The (B) epoxy resin is a bisphenol A type epoxy resin, a bisphenol F type epoxy resin, a naphthol type epoxy resin, a naphthalene type epoxy resin, a biphenyl type epoxy resin, a naphthylene ether type epoxy resin, a glycidyl ester type epoxy resin and an anthracene type. It is 1 or more types selected from an epoxy resin, The resin composition of any one of Claims 1-3 characterized by the above-mentioned. 樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、前記(B)エポキシ樹脂の含有量が、1〜30質量%であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   The content of the (B) epoxy resin is 1 to 30% by mass when the nonvolatile component in the resin composition is 100% by mass, and the content of the epoxy resin is 1 to 30% by mass. Resin composition. 前記(C)硬化剤が、活性エステル型硬化剤を含有することを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to any one of claims 1 to 5, wherein the (C) curing agent contains an active ester type curing agent. 樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、前記(C)硬化剤の含有量が、1〜30質量%であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   Content of the said (C) hardening | curing agent is 1-30 mass%, when the non-volatile component in a resin composition is 100 mass%, The any one of Claims 1-6 characterized by the above-mentioned. Resin composition. 前記(D)粗化成分が、数平均分子量が300〜30000のポリブタジエン樹脂を含有することを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to any one of claims 1 to 7, wherein the roughening component (D) contains a polybutadiene resin having a number average molecular weight of 300 to 30,000. 前記(D)粗化成分が、ブタジエン骨格と、反応性基とを有するポリブタジエン樹脂を含有し、
前記反応性基が、カルボン酸基、酸無水物基、水酸基及びエポキシ基から選択されることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の樹脂組成物。
The (D) roughening component contains a polybutadiene resin having a butadiene skeleton and a reactive group,
The resin composition according to any one of claims 1 to 8, wherein the reactive group is selected from a carboxylic acid group, an acid anhydride group, a hydroxyl group, and an epoxy group.
樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、前記(D)粗化成分の含有量が、0.5〜20質量%であることを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   The content of the (D) roughening component is 0.5 to 20 mass% when the non-volatile component in the resin composition is 100 mass%, any one of claims 1 to 9 characterized in that The resin composition according to item. (E)無機充填材を含有することを特徴とする請求項1〜10のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   (E) The inorganic filler is contained, The resin composition of any one of Claims 1-10 characterized by the above-mentioned. 前記(E)無機充填材がスチリルシラン系カップリング剤で表面処理されていることを特徴とする請求項11に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to claim 11, wherein the inorganic filler (E) is surface-treated with a styrylsilane-based coupling agent. 樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、前記(E)無機充填材の含有量が、40〜85質量%であることを特徴とする請求項11又は12に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to claim 11 or 12, wherein the content of the inorganic filler (E) is 40 to 85 mass% when the nonvolatile component in the resin composition is 100 mass%. .. 樹脂組成物を硬化して絶縁層を形成し、その絶縁層表面を粗化処理した後の算術平均粗さが10〜300nmであり、二乗平均平方根粗さが15〜450nmであることを特徴とする請求項1〜13のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   The resin composition is cured to form an insulating layer, and the surface of the insulating layer is roughened to have an arithmetic mean roughness of 10 to 300 nm and a root mean square roughness of 15 to 450 nm. The resin composition according to any one of claims 1 to 13. 樹脂組成物を硬化して絶縁層を形成し、その絶縁層表面を粗化処理し、メッキして得られる導体層と絶縁層とのピール強度が0.3〜1.2kgf/cm(2.94〜11.8N/cm)であることを特徴とする請求項1〜14のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   The resin composition is cured to form an insulating layer, the surface of the insulating layer is roughened, and the peel strength between the conductor layer and the insulating layer obtained by plating is 0.3 to 1.2 kgf / cm (2. 94 to 11.8 N / cm), The resin composition according to claim 1. 樹脂組成物の硬化物の誘電正接が0.003以下であることを特徴とする請求項1〜15のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to any one of claims 1 to 15, wherein the cured product of the resin composition has a dielectric loss tangent of 0.003 or less. 多層プリント配線板の絶縁層用樹脂組成物であることを特徴とする請求項1〜16のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   It is a resin composition for insulating layers of a multilayer printed wiring board, The resin composition of any one of Claims 1-16 characterized by the above-mentioned. 多層プリント配線板のビルドアップ層用樹脂組成物であることを特徴とする請求項1〜17のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   It is a resin composition for buildup layers of a multilayer printed wiring board, The resin composition of any one of Claims 1-17 characterized by the above-mentioned. 請求項1〜18のいずれか1項に記載の樹脂組成物を含有することを特徴とするシート状積層材料。   A sheet-shaped laminated material comprising the resin composition according to any one of claims 1 to 18. 請求項19に記載のシート状積層材料を用いることを特徴とする多層プリント配線板。   A multilayer printed wiring board using the sheet-shaped laminated material according to claim 19. 請求項20に記載の多層プリント配線板を用いることを特徴とする半導体装置。   A semiconductor device using the multilayer printed wiring board according to claim 20.
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6801608B2 (en) * 2017-08-21 2020-12-16 味の素株式会社 Resin composition
JP7114987B2 (en) * 2018-03-29 2022-08-09 Dic株式会社 Curable composition and cured product thereof
CN112457632A (en) * 2020-11-18 2021-03-09 广州凯协科技有限公司 SiO with high dielectric property2-montmorillonite synergistically modified epoxy resin and preparation method thereof
JPWO2022202347A1 (en) * 2021-03-24 2022-09-29
WO2022202346A1 (en) * 2021-03-24 2022-09-29 パナソニックIpマネジメント株式会社 Resin composition, prepreg, resin-coated film, resin-coated metal foil, metal-clad laminate, and wiring board

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4058672B2 (en) * 2002-02-28 2008-03-12 大日本インキ化学工業株式会社 Epoxy resin composition and cured product thereof
US7595362B2 (en) * 2004-01-30 2009-09-29 Nippon Steel Chemical Co., Ltd. Curable resin composition
JP5050764B2 (en) * 2007-04-09 2012-10-17 日立化成工業株式会社 Insulating resin composition
JP2009040919A (en) * 2007-08-09 2009-02-26 Sekisui Chem Co Ltd Thermosetting resin composition, resin film using the same, laminate and prepreg
JP2009091450A (en) * 2007-10-09 2009-04-30 Sumitomo Bakelite Co Ltd Resin composition, prepreg and laminate
JP5439841B2 (en) * 2009-02-16 2014-03-12 日立化成株式会社 Adhesive composition, adhesive sheet, and semiconductor device
TWI565750B (en) * 2009-02-20 2017-01-11 Ajinomoto Kk Resin composition
JP5589292B2 (en) * 2009-03-27 2014-09-17 日立化成株式会社 Thermosetting insulating resin composition, and insulating film with support, prepreg, laminate and multilayer printed wiring board using the same
JP5569270B2 (en) * 2010-09-06 2014-08-13 住友ベークライト株式会社 Prepreg, metal-clad laminate, printed wiring board, and semiconductor device

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