KR102325456B1 - Resin composition - Google Patents

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Abstract

[과제] 유전 정접이 낮고 또한 도금 밀착성 및 하지 밀착성이 우수한 절연층을 형성하는, 상용성, 용융 점도가 양호한 수지 조성물 등의 제공.
[해결 수단] (A) 에폭시 수지, (B) 경화제, (C) 비닐기를 갖는 수지, 및 (D) 인덴 쿠마론 수지를 포함하는 수지 조성물로서, (D) 성분의 함유량이, 수지 성분을 100질량%로 한 경우, 5질량% 내지 20질량%인, 수지 조성물.
[Problem] To provide a resin composition with good compatibility and melt viscosity that forms an insulating layer having a low dielectric loss tangent and excellent in plating adhesion and substrate adhesion.
[Solution means] A resin composition containing (A) an epoxy resin, (B) a curing agent, (C) a resin having a vinyl group, and (D) an indene coumarone resin, wherein the content of the component (D) is 100 When it is set as mass %, it is 5 mass % - 20 mass %, The resin composition.

Description

수지 조성물{RESIN COMPOSITION}Resin composition {RESIN COMPOSITION}

본 발명은 수지 조성물에 관한 것이다. 또한, 접착 필름, 프린트 배선판, 및 반도체 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a resin composition. It also relates to an adhesive film, a printed wiring board, and a semiconductor device.

프린트 배선판의 제조 기술로서는, 내층 기판 위에 절연층과 도체층을 교대로 적층하는 빌드업 방식에 의한 제조 방법이 알려져 있다. 절연층은 일반적으로, 수지 조성물을 경화시킴으로써 형성된다. 예를 들면, 특허문헌 1에는, 특정의 에폭시 수지와 경화제를 함유하고, 저유전성, 고내열성의 수지 조성물이 기재되어 있다.As a manufacturing technique of a printed wiring board, the manufacturing method by the buildup system which laminates|stacks an insulating layer and a conductor layer alternately on an inner-layer board|substrate is known. An insulating layer is generally formed by hardening a resin composition. For example, patent document 1 contains a specific epoxy resin and a hardening|curing agent, and describes the resin composition of low dielectricity and high heat resistance.

특허문헌 1: 일본 공개특허공보 특개2015-57465호Patent Document 1: Japanese Patent Laid-Open No. 2015-57465

최근, 전자 기기의 소형화, 고성능화가 진행되고, 다층 프린트 배선판에서는 빌드업층이 복층화되어, 배선의 미세화 및 고밀도화가 요구되고 있다. 배선의 추가적인 미세화 및 고밀도화를 달성하기 위해서는, 유전 정접이 낮고 또한 도금 밀착성 및 하지 밀착성이 우수한 절연층을 형성하는, 상용성, 용융 점도가 양호한 수지 조성물이 필요해지는데, 이들 전부를 충족시키기까지에는 이르지 않은 것이 현재의 상황이다.In recent years, miniaturization and performance enhancement of electronic devices are progressing, and in a multilayer printed wiring board, a buildup layer is multilayered, and miniaturization and high density of wiring are calculated|required. In order to achieve further miniaturization and high density of wiring, a resin composition with good compatibility and melt viscosity that forms an insulating layer with a low dielectric loss tangent and excellent adhesion to plating and adhesion to the substrate is required. What is not is the current situation.

본 발명은, 유전 정접이 낮고 또한 도금 밀착성 및 하지 밀착성이 우수한 절연층을 형성하는, 상용성, 용융 점도가 양호한 수지 조성물을 제공하는 것을 과제로 한다.An object of the present invention is to provide a resin composition with good compatibility and melt viscosity that forms an insulating layer having a low dielectric loss tangent and excellent in plating adhesion and substrate adhesion.

본 발명자들은 상기 과제에 대하여 예의 검토한 결과, 비닐기를 갖는 수지와 소정량의 인덴 쿠마론 수지를 조합하여 사용함으로써 상기 과제를 해결할 수 있음을 발견하여, 본 발명을 완성시키기에 이르렀다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM As a result of earnestly examining the said subject, the present inventors discovered that the said subject could be solved by using in combination the resin which has a vinyl group, and a predetermined amount of indene coumarone resin, and came to complete this invention.

즉, 본 발명은 이하의 내용을 포함한다.That is, the present invention includes the following contents.

[1] (A) 에폭시 수지, (B) 경화제, (C) 비닐기를 갖는 수지, 및 (D) 인덴 쿠마론 수지를 포함하는 수지 조성물로서,[1] A resin composition comprising (A) an epoxy resin, (B) a curing agent, (C) a resin having a vinyl group, and (D) an indene coumarone resin,

(D) 성분의 함유량이, 수지 성분을 100질량%로 한 경우, 5질량% 내지 20질량%인, 수지 조성물.(D) The resin composition whose content of a component is 5 mass % - 20 mass %, when a resin component is 100 mass %.

[2] (C) 성분의 적어도 1종은 방향환을 갖는, [1]에 기재된 수지 조성물.[2] The resin composition according to [1], wherein at least one of the component (C) has an aromatic ring.

[3] (C) 성분의 함유량이, 수지 성분을 100질량%로 한 경우, 5질량% 내지 20질량%인, [1] 또는 [2]에 기재된 수지 조성물.[3] The resin composition according to [1] or [2], wherein the content of the component (C) is 5% by mass to 20% by mass when the resin component is 100% by mass.

[4] (B) 성분의 적어도 1종은 활성 에스테르계 경화제인, [1] 내지 [3] 중 어느 한 항에 기재된 수지 조성물.[4] The resin composition according to any one of [1] to [3], wherein at least one of the component (B) is an active ester curing agent.

[5] 추가로 (E) 무기 충전재를 포함하는, [1] 내지 [4] 중 어느 한 항에 기재된 수지 조성물.[5] The resin composition according to any one of [1] to [4], further comprising (E) an inorganic filler.

[6] (E) 성분의 함유량이, 수지 조성물의 불휘발 성분을 100질량%로 한 경우, 50질량% 이상인, [5]에 기재된 수지 조성물.[6] The resin composition according to [5], wherein the content of the component (E) is 50% by mass or more when the nonvolatile component of the resin composition is 100% by mass.

[7] (D) 성분이, 인덴, 쿠마론, 및 스티렌의 공중합체인, [1] 내지 [6] 중 어느 한 항에 기재된 수지 조성물.[7] The resin composition according to any one of [1] to [6], wherein the component (D) is a copolymer of indene, coumarone, and styrene.

[8] 프린트 배선판의 절연층 형성용인, [1] 내지 [7] 중 어느 한 항에 기재된 수지 조성물.[8] The resin composition according to any one of [1] to [7], which is for forming an insulating layer of a printed wiring board.

[9] 지지체와, 당해 지지체 위에 형성된, [1] 내지 [8] 중 어느 한 항에 기재된 수지 조성물을 포함하는 수지 조성물층을 갖는 접착 필름.[9] An adhesive film having a support and a resin composition layer formed on the support and comprising the resin composition according to any one of [1] to [8].

[10] [1] 내지 [8] 중 어느 한 항에 기재된 수지 조성물의 경화물에 의해 형성된 절연층을 포함하는, 프린트 배선판.[10] A printed wiring board comprising an insulating layer formed of a cured product of the resin composition according to any one of [1] to [8].

[11] [10]에 기재된 프린트 배선판을 구비하는, 반도체 장치.[11] A semiconductor device comprising the printed wiring board according to [10].

본 발명에 의하면, 유전 정접이 낮고 또한 도금 밀착성 및 하지 밀착성이 우수한 절연층을 형성하는, 상용성, 용융 점도가 양호한 수지 조성물을 제공할 수 있다.ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, a resin composition with favorable compatibility and melt viscosity which forms the insulating layer which has a low dielectric loss tangent and is excellent in plating adhesiveness and base|substrate adhesiveness can be provided.

이하, 본 발명의 수지 조성물, 접착 필름, 프린트 배선판, 및 반도체 장치에 대하여 상세히 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the resin composition of this invention, an adhesive film, a printed wiring board, and a semiconductor device are demonstrated in detail.

[수지 조성물][resin composition]

본 발명의 수지 조성물은, (A) 에폭시 수지, (B) 경화제, (C) 비닐기를 갖는 수지, 및 (D) 인덴 쿠마론 수지를 포함하고, (D) 성분의 함유량이, 수지 성분을 100질량%로 한 경우, 5질량% 내지 20질량%이다. 한편, 본 발명에 있어서, 「수지 성분」이란, 수지 조성물을 구성하는 불휘발 성분 중, 후술하는 (E) 무기 충전재를 제외한 성분을 말한다. 이하, 본 발명의 수지 조성물에 포함되는 각 성분에 대해서 상세히 설명한다.The resin composition of the present invention includes (A) an epoxy resin, (B) a curing agent, (C) a resin having a vinyl group, and (D) an indene coumarone resin, and the content of the component (D) is 100 When it is set as mass %, it is 5 mass % - 20 mass %. In addition, in this invention, a "resin component" means the component except the (E) inorganic filler mentioned later among the nonvolatile components which comprise a resin composition. Hereinafter, each component contained in the resin composition of this invention is demonstrated in detail.

<(A) 에폭시 수지><(A) Epoxy resin>

본 발명의 수지 조성물은 (A) 에폭시 수지를 함유한다. 에폭시 수지로서는, 예를 들면, 비크실레놀형 에폭시 수지, 비스페놀 A형 에폭시 수지, 비스페놀 F형 에폭시 수지, 비스페놀 S형 에폭시 수지, 비스페놀 AF형 에폭시 수지, 디사이클로펜타디엔형 에폭시 수지, 트리스페놀형 에폭시 수지, 나프톨 노볼락형 에폭시 수지, 페놀 노볼락형 에폭시 수지, 3급-부틸-카테콜형 에폭시 수지, 나프탈렌형 에폭시 수지, 나프톨형 에폭시 수지, 안트라센형 에폭시 수지, 글리시딜 아민형 에폭시 수지, 글리시딜 에스테르형 에폭시 수지, 크레졸 노볼락형 에폭시 수지, 비페닐형 에폭시 수지, 선형 지방족 에폭시 수지, 부타디엔 구조를 갖는 에폭시 수지, 지환식 에폭시 수지, 복소환식 에폭시 수지, 스피로환 함유 에폭시 수지, 사이클로헥산디메탄올형 에폭시 수지, 나프틸렌 에테르형 에폭시 수지, 트리메틸올형 에폭시 수지, 테트라페닐에탄형 에폭시 수지 등을 들 수 있다. 에폭시 수지는 1종 단독으로 사용하여도 좋고, 2종 이상을 조합하여 사용하여도 좋다. (A) 성분은, 평균 선열 팽창률을 저하시키는 관점에서, 방향족 골격 함유 에폭시 수지가 바람직하고, 비스페놀 A형 에폭시 수지, 비스페놀 F형 에폭시 수지, 나프탈렌형 에폭시 수지, 비페닐형 에폭시 수지, 및 디사이클로펜타디엔형 에폭시 수지로부터 선택되는 1종 이상인 것이 보다 바람직하고, 비페닐형 에폭시 수지가 더욱 바람직하다. 방향족 골격이란, 일반적으로 방향족이라고 정의되는 화학 구조이며, 다환 방향족 및 방향족 복소환도 포함한다.The resin composition of this invention contains (A) an epoxy resin. Examples of the epoxy resin include a bixylenol-type epoxy resin, a bisphenol A-type epoxy resin, a bisphenol F-type epoxy resin, a bisphenol S-type epoxy resin, a bisphenol AF-type epoxy resin, a dicyclopentadiene-type epoxy resin, and a trisphenol-type epoxy resin. Resin, naphthol novolak type epoxy resin, phenol novolak type epoxy resin, tert-butyl-catechol type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, naphthol type epoxy resin, anthracene type epoxy resin, glycidyl amine type epoxy resin, glycidyl Cydyl ester type epoxy resin, cresol novolak type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, linear aliphatic epoxy resin, butadiene structure epoxy resin, alicyclic epoxy resin, heterocyclic epoxy resin, spiro ring-containing epoxy resin, cyclohexane A dimethanol-type epoxy resin, a naphthylene ether-type epoxy resin, a trimethylol-type epoxy resin, a tetraphenylethane-type epoxy resin, etc. are mentioned. An epoxy resin may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type. The component (A) is preferably an aromatic skeleton-containing epoxy resin from the viewpoint of reducing the average coefficient of linear thermal expansion, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, and dicyclo It is more preferable that it is 1 or more types chosen from a pentadiene type epoxy resin, and a biphenyl type epoxy resin is still more preferable. The aromatic skeleton is a chemical structure generally defined as aromatic, and includes polycyclic aromatics and aromatic heterocycles.

에폭시 수지는, 1분자 중에 2개 이상의 에폭시기를 갖는 에폭시 수지를 포함하는 것이 바람직하다. 에폭시 수지의 불휘발 성분을 100질량%로 한 경우에, 적어도 50질량% 이상은 1분자 중에 2개 이상의 에폭시기를 갖는 에폭시 수지인 것이 바람직하다. 그중에서도, 1분자 중에 3개 이상의 에폭시기를 갖고, 온도 20℃에서 고체상의 에폭시 수지(이하 「고체상 에폭시 수지」라고 함)를 포함하는 것이 바람직하다. 에폭시 수지는 고체상 에폭시 수지만을 포함해도 좋고, 1분자 중에 2개 이상의 에폭시기를 갖고, 온도 20℃에서 액상의 에폭시 수지(이하 「액상 에폭시 수지」라고 함)와 고체상 에폭시 수지를 포함해도 좋다. 에폭시 수지로서, 액상 에폭시 수지와 고체상 에폭시 수지를 병용함으로써, 우수한 가요성을 갖는 수지 조성물을 수득할 수 있다. 또한, 수지 조성물의 경화물의 파단 강도도 향상된다.It is preferable that an epoxy resin contains the epoxy resin which has two or more epoxy groups in 1 molecule. When the nonvolatile component of an epoxy resin is 100 mass %, it is preferable that at least 50 mass % or more is an epoxy resin which has two or more epoxy groups in 1 molecule. Among them, it is preferable to have three or more epoxy groups in one molecule and to contain a solid epoxy resin (hereinafter referred to as "solid epoxy resin") at a temperature of 20°C. The epoxy resin may contain only a solid epoxy resin, has two or more epoxy groups in one molecule, and may contain a liquid epoxy resin (hereinafter referred to as "liquid epoxy resin") and a solid epoxy resin at a temperature of 20°C. As the epoxy resin, a resin composition having excellent flexibility can be obtained by using a liquid epoxy resin and a solid epoxy resin together. Moreover, the breaking strength of the hardened|cured material of a resin composition also improves.

액상 에폭시 수지로서는, 비스페놀 A형 에폭시 수지, 비스페놀 F형 에폭시 수지, 비스페놀 AF형 에폭시 수지, 나프탈렌형 에폭시 수지, 글리시딜 에스테르형 에폭시 수지, 글리시딜 아민형 에폭시 수지, 페놀 노볼락형 에폭시 수지, 에스테르 골격을 갖는 지환식 에폭시 수지, 사이클로헥산디메탄올형 에폭시 수지, 글리시딜 아민형 에폭시 수지, 및 부타디엔 구조를 갖는 에폭시 수지가 바람직하고, 글리시딜 아민형 에폭시 수지, 비스페놀 A형 에폭시 수지, 비스페놀 F형 에폭시 수지, 비스페놀 AF형 에폭시 수지 및 나프탈렌형 에폭시 수지가 보다 바람직하다. 액상 에폭시 수지의 구체예로서는, DIC(주) 제조의 「HP4032」, 「HP4032D」, 「HP4032SS」 (나프탈렌형 에폭시 수지), 미츠비시 카가쿠(주) 제조의 「828US」, 「jER828EL」, 「825」, 「에피코트 828EL」(비스페놀 A형 에폭시 수지), 「jER807」, 「1750」(비스페놀 F형 에폭시 수지), 「jER152」(페놀 노볼락형 에폭시 수지), 「630」, 「630LSD」(글리시딜 아민형 에폭시 수지), 신닛테츠 스미킨 카가쿠(주) 제조의 「ZX1059」(비스페놀 A형 에폭시 수지와 비스페놀 F형 에폭시 수지의 혼합품), 나가세 켐텍스(주) 제조의 「EX-721」(글리시딜 에스테르형 에폭시 수지), (주)다이셀 제조의 「셀록사이드 2021P」(에스테르 골격을 갖는 지환식 에폭시 수지), 「PB-3600」(부타디엔 구조를 갖는 에폭시 수지), 신닛테츠 카가쿠(주) 제조의 「ZX1658」, 「ZX1658GS」(액상 1,4-글리시딜사이클로헥산), 미츠비시 카가쿠(주) 제조의 「630LSD」(글리시딜 아민형 에폭시 수지) 등을 들 수 있다. 이것들은 1종 단독으로 사용하여도 좋고, 2종 이상을 조합하여 사용하여도 좋다.Examples of the liquid epoxy resin include bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol AF type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, glycidyl ester type epoxy resin, glycidyl amine type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin , an alicyclic epoxy resin having an ester skeleton, a cyclohexanedimethanol type epoxy resin, a glycidyl amine type epoxy resin, and an epoxy resin having a butadiene structure are preferable, and a glycidyl amine type epoxy resin, a bisphenol A type epoxy resin , a bisphenol F-type epoxy resin, a bisphenol AF-type epoxy resin, and a naphthalene-type epoxy resin are more preferable. Specific examples of the liquid epoxy resin include "HP4032", "HP4032D", "HP4032SS" (naphthalene-type epoxy resin) manufactured by DIC Corporation, "828US", "jER828EL", and "825" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation. , "Epicoat 828EL" (bisphenol A type epoxy resin), "jER807", "1750" (bisphenol F type epoxy resin), "jER152" (phenol novolac type epoxy resin), "630", "630LSD" (Gly Cydyl amine type epoxy resin), "ZX1059" (mixed product of bisphenol A type epoxy resin and bisphenol F type epoxy resin) manufactured by Shin-Nitetsu Sumikin Chemical Co., Ltd., "EX-" manufactured by Nagase Chemtex Co., Ltd. 721" (glycidyl ester-type epoxy resin), "Celoxide 2021P" (alicyclic epoxy resin having an ester skeleton) manufactured by Daicel Co., Ltd., "PB-3600" (epoxy resin having a butadiene structure), shinnit "ZX1658", "ZX1658GS" (liquid 1,4-glycidylcyclohexane) manufactured by Tetsu Chemical Co., Ltd., "630LSD" manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd. (glycidyl amine type epoxy resin), etc. can be heard These may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.

고체상 에폭시 수지로서는, 나프탈렌형 4관능 에폭시 수지, 크레졸 노볼락형 에폭시 수지, 디사이클로펜타디엔형 에폭시 수지, 트리스페놀형 에폭시 수지, 나프톨형 에폭시 수지, 비페닐형 에폭시 수지, 나프틸렌에테르형 에폭시 수지, 안트라센형 에폭시 수지, 비스페놀 A형 에폭시 수지, 테트라페닐에탄형 에폭시 수지가 바람직하고, 나프탈렌형 4관능 에폭시 수지, 나프톨형 에폭시 수지, 및 비페닐형 에폭시 수지가 보다 바람직하다. 고체상 에폭시 수지의 구체예로서는, DIC(주) 제조의 「HP4032H」(나프탈렌형 에폭시 수지), 「HP-4700」, 「HP-4710」(나프탈렌형 4관능 에폭시 수지), 「N-690」(크레졸 노볼락형 에폭시 수지), 「N-695」(크레졸 노볼락형 에폭시 수지), 「HP-7200」(디사이클로펜타디엔형 에폭시 수지), 「HP-7200HH」, 「HP-7200H」, 「EXA-7311」, 「EXA-7311-G3」, 「EXA-7311-G4」, 「EXA-7311-G4S」, 「HP6000」(나프틸렌에테르형 에폭시 수지), 니혼 카야쿠(주) 제조의 「EPPN-502H」(트리스페놀형 에폭시 수지), 「NC7000L」(나프톨 노볼락형 에폭시 수지), 「NC3000H」, 「NC3000」, 「NC3000L」, 「NC3100」(비페닐형 에폭시 수지), 신닛테츠 스미킨 카가쿠(주) 제조의 「ESN475V」(나프탈렌형 에폭시 수지), 「ESN485」(나프톨 노볼락형 에폭시 수지), 미츠비시 카가쿠(주) 제조의 「YX4000H」, 「YX4000」, 「YL6121」(비페닐형 에폭시 수지), 「YX4000HK」(비크실레놀형 에폭시 수지), 「YX8800」(안트라센형 에폭시 수지), 오사카 가스 케미컬(주) 제조의 「PG-100」, 「CG-500」, 미츠비시 카가쿠(주) 제조의 「YL7760」(비스페놀 AF형 에폭시 수지), 「YL7800」(플루오렌형 에폭시 수지), 미츠비시 카가쿠(주) 제조의 「jER1010」(고체상 비스페놀 A형 에폭시 수지), 「jER1031S」(테트라페닐에탄형 에폭시 수지) 등을 들 수 있다. 이것들은 1종 단독으로 사용하여도 좋고, 2종 이상을 조합하여 사용하여도 좋다.Examples of the solid-state epoxy resin include a naphthalene-type tetrafunctional epoxy resin, a cresol novolak-type epoxy resin, a dicyclopentadiene-type epoxy resin, a trisphenol-type epoxy resin, a naphthol-type epoxy resin, a biphenyl-type epoxy resin, and a naphthylene ether-type epoxy resin. , anthracene-type epoxy resins, bisphenol A-type epoxy resins, and tetraphenylethane-type epoxy resins are preferable, and naphthalene-type tetrafunctional epoxy resins, naphthol-type epoxy resins, and biphenyl-type epoxy resins are more preferable. As a specific example of a solid-state epoxy resin, "HP4032H" (naphthalene type epoxy resin) manufactured by DIC Corporation, "HP-4700", "HP-4710" (naphthalene type tetrafunctional epoxy resin), "N-690" (cresol) Novolac type epoxy resin), "N-695" (cresol novolak type epoxy resin), "HP-7200" (dicyclopentadiene type epoxy resin), "HP-7200HH", "HP-7200H", "EXA" -7311", "EXA-7311-G3", "EXA-7311-G4", "EXA-7311-G4S", "HP6000" (naphthylene ether type epoxy resin), "EPPN" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. -502H" (trisphenol-type epoxy resin), "NC7000L" (naphthol novolac-type epoxy resin), "NC3000H", "NC3000", "NC3000L", "NC3100" (biphenyl-type epoxy resin), New Nittetsu Sumikin "ESN475V" (naphthalene-type epoxy resin), "ESN485" (naphthol novolac-type epoxy resin) manufactured by Kagaku Co., Ltd., "YX4000H", "YX4000", and "YL6121" by Mitsubishi Chemical Co., Ltd. (non phenyl type epoxy resin), "YX4000HK" (bixylenol type epoxy resin), "YX8800" (anthracene type epoxy resin), Osaka Gas Chemical Co., Ltd. "PG-100", "CG-500", Mitsubishi Chemical "YL7760" (bisphenol AF type epoxy resin), "YL7800" (fluorene type epoxy resin) manufactured by Co., Ltd., "jER1010" manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd. (solid bisphenol A type epoxy resin), "jER1031S" (tetraphenylethane type epoxy resin) etc. are mentioned. These may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.

에폭시 수지로서, 액상 에폭시 수지와 고체상 에폭시 수지를 병용할 경우, 그것들의 양비(액상 에폭시 수지:고체상 에폭시 수지)는 질량비로, 1:0.1 내지 1:15의 범위가 바람직하다. 액상 에폭시 수지와 고체상 에폭시 수지의 양비를 이러한 범위로 함으로써, ⅰ) 접착 필름의 형태로 사용할 경우에 적당한 점착성을 형성할 수 있고, ⅱ) 접착 필름의 형태로 사용할 경우에 충분한 가요성을 얻을 수 있고, 취급성이 향상되며, ⅲ) 충분한 파단 강도를 갖는 경화물을 수득할 수 있는 등의 효과를 얻을 수 있다. 상기 ⅰ) 내지 ⅲ)의 효과의 관점에서, 액상 에폭시 수지와 고체상 에폭시 수지의 양비(액상 에폭시 수지:고체상 에폭시 수지)는, 질량비로, 1:0.5 내지 1:10의 범위가 보다 바람직하고, 1:1 내지 1:8의 범위가 더욱 바람직하다.As an epoxy resin, when using a liquid epoxy resin and a solid epoxy resin together, those ratios (liquid epoxy resin:solid epoxy resin) are mass ratio, and the range of 1:0.1 - 1:15 is preferable. By setting the ratio of the liquid epoxy resin and the solid epoxy resin to this range, i) when used in the form of an adhesive film, adequate adhesion can be formed, and ii) when used in the form of an adhesive film, sufficient flexibility can be obtained, , handling is improved, and iii) a cured product having sufficient breaking strength can be obtained. From the viewpoint of the effects of i) to iii), the amount ratio of the liquid epoxy resin and the solid epoxy resin (liquid epoxy resin:solid epoxy resin) is, in terms of mass ratio, more preferably in the range of 1:0.5 to 1:10, 1 The range of :1 to 1:8 is more preferred.

수지 조성물 중의 에폭시 수지의 함유량은, 양호한 기계 강도, 절연 신뢰성을 나타내는 절연층을 수득하는 관점에서, 수지 성분을 100질량%로 한 경우, 바람직하게는 5질량% 이상, 보다 바람직하게는 10질량% 이상, 더욱 바람직하게는 20질량% 이상이다. 에폭시 수지의 함유량의 상한은, 본 발명의 효과가 나타나는 한에서 특별히 한정되지 않지만, 바람직하게는 60질량% 이하, 보다 바람직하게는 50질량% 이하, 더욱 바람직하게는 40질량% 이하이다.The content of the epoxy resin in the resin composition is preferably 5% by mass or more, more preferably 10% by mass or more, when the resin component is 100% by mass from the viewpoint of obtaining an insulating layer exhibiting good mechanical strength and insulation reliability. More preferably, it is 20 mass % or more. Although the upper limit of content of an epoxy resin is not specifically limited as long as the effect of this invention appears, Preferably it is 60 mass % or less, More preferably, it is 50 mass % or less, More preferably, it is 40 mass % or less.

에폭시 수지의 에폭시 당량은, 바람직하게는 50 내지 5000, 보다 바람직하게는 50 내지 3000, 더욱 바람직하게는 80 내지 2000, 보다 더 바람직하게는 110 내지 1000이다. 이 범위가 됨으로써, 경화물의 가교 밀도가 충분해져 표면 거칠기가 작은 절연층을 형성할 수 있다. 한편, 에폭시 당량은, JIS K7236에 따라서 측정할 수 있고, 1당량의 에폭시기를 포함하는 수지의 질량이다.The epoxy equivalent of an epoxy resin becomes like this. Preferably it is 50-5000, More preferably, it is 50-3000, More preferably, it is 80-2000, More preferably, it is 110-1000. By being in this range, the crosslinking density of hardened|cured material becomes enough, and the insulating layer with small surface roughness can be formed. In addition, an epoxy equivalent can be measured according to JISK7236, and is the mass of resin containing 1 equivalent of an epoxy group.

에폭시 수지의 중량 평균 분자량은, 바람직하게는 100 내지 5000, 보다 바람직하게는 250 내지 3000, 더욱 바람직하게는 400 내지 1500이다. 여기에서, 에폭시 수지의 중량 평균 분자량은, 겔 침투 크로마토그래피(GPC)법에 의해 측정되는 폴리스티렌 환산의 중량 평균 분자량이다.The weight average molecular weight of an epoxy resin becomes like this. Preferably it is 100-5000, More preferably, it is 250-3000, More preferably, it is 400-1500. Here, the weight average molecular weight of an epoxy resin is the weight average molecular weight of polystyrene conversion measured by the gel permeation chromatography (GPC) method.

<(B) 경화제><(B) curing agent>

본 발명의 수지 조성물은 (B) 경화제를 함유한다. 경화제로서는, 에폭시 수지를 경화하는 기능을 갖는 한 특별히 한정되지 않고, 예를 들면, 페놀계 경화제, 나프톨계 경화제, 활성 에스테르계 경화제, 벤조옥사진계 경화제, 시아네이트 에스테르계 경화제, 및 카보디이미드계 경화제 등을 들 수 있다. 경화제는 1종 단독으로 사용하여도 좋고, 또는 2종 이상을 병용하여도 좋다. (B) 성분은, 페놀계 경화제, 나프톨계 경화제, 활성 에스테르계 경화제, 카보디이미드계 경화제 및 시아네이트 에스테르계 경화제로부터 선택되는 1종 이상인 것이 바람직하고, 활성 에스테르계 경화제인 것이 바람직하다.The resin composition of this invention contains (B) hardening|curing agent. The curing agent is not particularly limited as long as it has a function of curing the epoxy resin, and for example, a phenol-based curing agent, a naphthol-based curing agent, an active ester-based curing agent, a benzoxazine-based curing agent, a cyanate ester-based curing agent, and a carbodiimide-based curing agent. A hardening|curing agent etc. are mentioned. A hardening|curing agent may be used individually by 1 type, or may use 2 or more types together. The component (B) is preferably at least one selected from a phenol-based curing agent, a naphthol-based curing agent, an active ester-based curing agent, a carbodiimide-based curing agent, and a cyanate ester-based curing agent, and is preferably an active ester-based curing agent.

페놀계 경화제 및 나프톨계 경화제로서는, 내열성 및 내수성의 관점에서, 노볼락 구조를 갖는 페놀계 경화제, 또는 노볼락 구조를 갖는 나프톨계 경화제가 바람직하다. 또한, 도체층과의 밀착성의 관점에서, 함질소 페놀계 경화제가 바람직하고, 트리아진 골격 함유 페놀계 경화제가 보다 바람직하다. 그중에서도, 내열성, 내수성, 및 도체층과의 밀착성을 고도로 만족시키는 관점에서, 트리아진 골격 함유 페놀 노볼락 경화제가 바람직하다.As the phenol-based curing agent and the naphthol-based curing agent, from the viewpoint of heat resistance and water resistance, a phenol-based curing agent having a novolak structure or a naphthol-based curing agent having a novolak structure is preferable. Moreover, from a viewpoint of adhesiveness with a conductor layer, a nitrogen-containing phenolic hardening|curing agent is preferable, and a triazine skeleton containing phenolic hardening|curing agent is more preferable. Among them, a triazine skeleton-containing phenol novolac curing agent is preferable from the viewpoint of highly satisfying heat resistance, water resistance, and adhesion to the conductor layer.

페놀계 경화제 및 나프톨계 경화제의 구체예로서는, 예를 들면, 메이와 카세이(주) 제조의 「MEH-7700」, 「MEH-7810」, 「MEH-7851」, 「MEH-7851H」, 니혼 카야쿠(주) 제조의 「NHN」, 「CBN」, 「GPH」, 신닛테츠 스미킨(주) 제조의 「SN170」, 「SN180」, 「SN190」, 「SN475」, 「SN485」, 「SN495」, 「SN375」, 「SN395」, DIC(주) 제조의 「TD-2090」, 「LA-7052」, 「LA-7054」, 「LA-1356」, 「LA-3018-50P」, 「EXB-9500」 등을 들 수 있다.As a specific example of a phenol type hardening|curing agent and a naphthol type hardening|curing agent, For example, Meiwa Kasei Co., Ltd. product "MEH-7700", "MEH-7810", "MEH-7851", "MEH-7851H", Nippon Kayaku "NHN", "CBN", "GPH" manufactured by KK, "SN170", "SN180", "SN190", "SN475", "SN485", "SN495", manufactured by Shin-Nittetsu Sumikin Co., Ltd. "SN375", "SN395", "TD-2090", "LA-7052", "LA-7054", "LA-1356", "LA-3018-50P", "EXB-9500" manufactured by DIC Corporation ' and the like.

도체층과의 밀착성이 우수한 절연층을 수득하는 관점에서, 활성 에스테르계 경화제가 바람직하다. 활성 에스테르계 경화제로서는, 특별히 제한은 없지만, 일반적으로 페놀 에스테르류, 티오페놀 에스테르류, N-하이드록시아민 에스테르류, 복소환 하이드록시 화합물의 에스테르류 등의, 반응 활성이 높은 에스테르기를 1분자 중에 2개 이상 갖는 화합물이 바람직하게 사용된다. 당해 활성 에스테르계 경화제는, 카복실산 화합물 및/또는 티오카복실산 화합물과 하이드록시 화합물 및/또는 티올 화합물과의 축합 반응에 의해 수득되는 것이 바람직하다. 특히 내열성 향상의 관점에서, 카복실산 화합물과 하이드록시 화합물로부터 수득되는 활성 에스테르계 경화제가 바람직하고, 카복실산 화합물과 페놀 화합물 및/또는 나프톨 화합물로부터 수득되는 활성 에스테르계 경화제가 보다 바람직하다. 카복실산 화합물로서는, 예를 들면, 벤조산, 아세트산, 석신산, 말레산, 이타콘산, 프탈산, 이소프탈산, 테레프탈산, 피로멜리트산 등을 들 수 있다. 페놀 화합물 또는 나프톨 화합물로서는, 예를 들면, 하이드로퀴논, 레조르신, 비스페놀 A, 비스페놀 F, 비스페놀 S, 페놀프탈린, 메틸화 비스페놀 A, 메틸화 비스페놀 F, 메틸화 비스페놀 S, 페놀, o-크레졸, m-크레졸, p-크레졸, 카테콜, α-나프톨, β-나프톨, 1,5-디하이드록시나프탈렌, 1,6-디하이드록시나프탈렌, 2,6-디하이드록시나프탈렌, 디하이드록시벤조페논, 트리하이드록시벤조페논, 테트라하이드록시벤조페논, 플로로글루신, 벤젠트리올, 디사이클로펜타디엔형 디페놀 화합물, 페놀 노볼락 등을 들 수 있다. 여기에서, 「디사이클로펜타디엔형 디페놀 화합물」이란, 디사이클로펜타디엔 1분자에 페놀 2분자가 축합하여 수득되는 디페놀 화합물을 말한다.From a viewpoint of obtaining an insulating layer excellent in adhesiveness with a conductor layer, an active ester type hardening|curing agent is preferable. Although there is no restriction|limiting in particular as an active ester type hardening|curing agent, Generally, ester groups with high reaction activity, such as phenol esters, thiophenol esters, N-hydroxyamine esters, and heterocyclic hydroxy compound esters, are contained in 1 molecule. A compound having two or more is preferably used. It is preferable that the said active ester type hardening|curing agent is obtained by the condensation reaction of a carboxylic acid compound and/or a thiocarboxylic acid compound, and a hydroxy compound and/or a thiol compound. In particular, from the viewpoint of improving heat resistance, an active ester curing agent obtained from a carboxylic acid compound and a hydroxy compound is preferable, and an active ester curing agent obtained from a carboxylic acid compound, a phenol compound and/or a naphthol compound is more preferable. Examples of the carboxylic acid compound include benzoic acid, acetic acid, succinic acid, maleic acid, itaconic acid, phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, and pyromellitic acid. Examples of the phenol compound or naphthol compound include hydroquinone, resorcin, bisphenol A, bisphenol F, bisphenol S, phenolphthaline, methylated bisphenol A, methylated bisphenol F, methylated bisphenol S, phenol, o-cresol, m- Cresol, p-cresol, catechol, α-naphthol, β-naphthol, 1,5-dihydroxynaphthalene, 1,6-dihydroxynaphthalene, 2,6-dihydroxynaphthalene, dihydroxybenzophenone, trihydroxybenzophenone, tetrahydroxybenzophenone, phloroglucin, benzenetriol, dicyclopentadiene type diphenol compound, phenol novolac, etc. are mentioned. Here, the "dicyclopentadiene-type diphenol compound" refers to a diphenol compound obtained by condensing two molecules of phenol to one molecule of dicyclopentadiene.

구체적으로는, 디사이클로펜타디엔형 디페놀 구조를 포함하는 활성 에스테르 화합물, 나프탈렌 구조를 포함하는 활성 에스테르 화합물, 페놀 노볼락의 아세틸화물을 포함하는 활성 에스테르 화합물, 페놀 노볼락의 벤조일화물을 포함하는 활성 에스테르 화합물이 바람직하고, 그중에서도 나프탈렌 구조를 포함하는 활성 에스테르 화합물, 디사이클로펜타디엔형 디페놀 구조를 포함하는 활성 에스테르 화합물이 보다 바람직하다. 「디사이클로펜타디엔형 디페놀 구조」란, 페닐렌-디사이클로펜틸렌-페닐렌으로 이루어진 2가의 구조 단위를 나타낸다.Specifically, an active ester compound containing a dicyclopentadiene type diphenol structure, an active ester compound containing a naphthalene structure, an active ester compound containing an acetylated product of phenol novolac, and a benzoyl product of phenol novolac. An active ester compound is preferable, and among these, the active ester compound containing a naphthalene structure and the active ester compound containing a dicyclopentadiene type diphenol structure are more preferable. The "dicyclopentadiene type diphenol structure" represents a divalent structural unit consisting of phenylene-dicyclopentylene-phenylene.

활성 에스테르계 경화제의 시판품으로서는, 디사이클로펜타디엔형 디페놀 구조를 포함하는 활성 에스테르 화합물로서, 「EXB9451」, 「EXB9460」, 「EXB9460S」, 「HPC-8000-65T」, 「HPC-8000H-65TM」, 「EXB-8000L-65TM」(DIC(주) 제조), 나프탈렌 구조를 포함하는 활성 에스테르 화합물로서 「EXB9416-70BK」(DIC(주) 제조), 페놀 노볼락의 아세틸화물을 포함하는 활성 에스테르 화합물로서 「DC808」 (미츠비시 카가쿠(주) 제조), 페놀 노볼락의 벤조일화물을 포함하는 활성 에스테르 화합물로서 「YLH1026」(미츠비시 카가쿠(주) 제조), 페놀 노볼락의 아세틸화물인 활성 에스테르계 경화제로서 「DC808」(미츠비시 카가쿠(주) 제조), 페놀 노볼락의 벤조일화물인 활성 에스테르계 경화제로서 「YLH1026」(미츠비시 카가쿠(주) 제조), 「YLH1030」(미츠비시 카가쿠(주) 제조), 「YLH1048」(미츠비시 카가쿠(주) 제조) 등을 들 수 있다.Commercially available active ester curing agents are active ester compounds containing a dicyclopentadiene-type diphenol structure, such as "EXB9451", "EXB9460", "EXB9460S", "HPC-8000-65T", "HPC-8000H-65TM" ', "EXB-8000L-65TM" (manufactured by DIC Corporation), "EXB9416-70BK" (manufactured by DIC Corporation) as an active ester compound containing a naphthalene structure, an active ester containing an acetylated product of phenol novolac "DC808" (manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd.) as a compound, "YLH1026" (manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd.) as an active ester compound containing a benzoyl product of phenol novolac, an active ester that is an acetylated product of phenol novolac “DC808” (manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd.) as a curing agent, “YLH1026” (manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd.) and “YLH1030” (Mitsubishi Chemical Co., Ltd.) as an active ester curing agent that is a benzoyl product of phenol novolac. ), "YLH1048" (manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd.), and the like.

벤조옥사진계 경화제의 구체예로서는, 쇼와 코분시(주) 제조의 「HFB2006M」, 시쿠코 카세이 코교(주) 제조의 「P-d」, 「F-a」를 들 수 있다.As a specific example of a benzoxazine type hardening|curing agent, "HFB2006M" by Showa Kobunshi Co., Ltd., "P-d" by Shikuko Kasei Kogyo Co., Ltd. product, and "F-a" are mentioned.

시아네이트 에스테르계 경화제로서는, 예를 들면, 비스페놀 A 디시아네이트, 폴리페놀시아네이트, 올리고(3-메틸렌-1,5-페닐렌시아네이트), 4,4'-메틸렌비스(2,6-디메틸페닐시아네이트), 4,4'-에틸리덴디페닐디시아네이트, 헥사플루오로비스페놀 A 디시아네이트, 2,2-비스(4-시아네이트)페닐프로판, 1,1-비스(4-시아네이트페닐메탄), 비스(4-시아네이트-3,5-디메틸페닐)메탄, 1,3-비스(4-시아네이트페닐-1-(메틸에틸리덴))벤젠, 비스(4-시아네이트페닐)티오에테르, 및 비스(4-시아네이트페닐)에테르 등의 2관능 시아네이트 수지, 페놀 노볼락 및 크레졸 노볼락 등으로부터 유도되는 다관능 시아네이트 수지, 이들 시아네이트 수지가 일부 트리아진화한 프레폴리머 등을 들 수 있다. 시아네이트 에스테르계 경화제의 구체예로서는, 론자 재팬(주) 제조의 「PT30」 및 「PT60」(둘 다 페놀 노볼락형 다관능 시아네이트 에스테르 수지), 「BA230」, 「BA230S75」(비스페놀 A 디시아네이트의 일부 또는 전부가 트리아진화되어 3량체가 된 프레폴리머) 등을 들 수 있다.Examples of the cyanate ester curing agent include bisphenol A dicyanate, polyphenol cyanate, oligo (3-methylene-1,5-phenylene cyanate), 4,4'-methylenebis (2,6- Dimethylphenyl cyanate), 4,4'-ethylidenediphenyldicyanate, hexafluorobisphenol A dicyanate, 2,2-bis(4-cyanate)phenylpropane, 1,1-bis(4- cyanatephenylmethane), bis(4-cyanate-3,5-dimethylphenyl)methane, 1,3-bis(4-cyanatephenyl-1-(methylethylidene))benzene, bis(4-cya Bifunctional cyanate resins such as natephenyl)thioether and bis(4-cyanatephenyl)ether, polyfunctional cyanate resins derived from phenol novolac and cresol novolac, etc., in which these cyanate resins are partially triazined A prepolymer etc. are mentioned. As a specific example of a cyanate ester type hardening|curing agent, "PT30" and "PT60" (both phenol novolak-type polyfunctional cyanate ester resin) manufactured by Ronza Japan Co., Ltd., "BA230", "BA230S75" (bisphenol A dicia) and a prepolymer in which a part or all of the nate was triazined and became a trimer) and the like.

카보디이미드계 경화제의 구체예로서는, 닛신보 케미컬(주) 제조의 「V-03」, 「V-07」 등을 들 수 있다.As a specific example of a carbodiimide type hardening|curing agent, "V-03", "V-07" by Nisshinbo Chemical Co., Ltd., etc. are mentioned.

에폭시 수지와 경화제의 양비는, [에폭시 수지의 에폭시기의 합계수]:[경화제의 반응기의 합계수]의 비율로, 1:0.1 내지 1:10의 범위가 바람직하고, 1:0.5 내지 1:5가 보다 바람직하고, 1:1 내지 1:3이 더욱 바람직하다. 여기에서, 경화제의 반응기란, 활성 수산기, 활성 에스테르기 등이며, 경화제의 종류에 따라 다르다. 또한, 에폭시 수지의 에폭시기의 합계수란, 각 에폭시 수지의 고형분 질량을 에폭시 당량으로 나눈 값을 모든 에폭시 수지에 대하여 합계한 값이며, 경화제의 반응기의 합계수란, 각 경화제의 고형분 질량을 반응기 당량으로 나눈 값을 모든 경화제에 대하여 합계한 값이다. 에폭시 수지와 경화제의 양비를 이러한 범위로 함으로써, 수지 조성물의 경화물의 내열성이 보다 향상된다.The amount ratio of the epoxy resin and the curing agent is a ratio of [the total number of epoxy groups in the epoxy resin]: [the total number of reactive groups in the curing agent], preferably in the range of 1:0.1 to 1:10, and 1:0.5 to 1:5 is more preferable, and 1:1 to 1:3 are still more preferable. Here, a reactive group of a hardening|curing agent is an active hydroxyl group, an active ester group, etc., and differs with the kind of hardening|curing agent. In addition, the total number of epoxy groups of the epoxy resin is a value obtained by dividing the solid content mass of each epoxy resin by the epoxy equivalent for all epoxy resins, and the total number of reactive groups of the curing agent is the solid content mass of each curing agent equal to the reactor equivalent. It is a value obtained by dividing the value by the sum of all curing agents. By making the ratio of an epoxy resin and a hardening|curing agent into such a range, the heat resistance of the hardened|cured material of a resin composition improves more.

수지 조성물 중의 경화제의 함유량은 특별히 한정되지 않지만, 수지 성분을 100질량%로 한 경우, 바람직하게는 60질량% 이하, 보다 바람직하게는 55질량% 이하, 더욱 바람직하게는 50질량% 이하이다. 또한, 하한은 특별히 제한은 없지만 바람직하게는 30질량% 이상, 보다 바람직하게는 35질량% 이상, 더욱 바람직하게는 40질량% 이상이다.Although content of the hardening|curing agent in a resin composition is not specifically limited, When the resin component is 100 mass %, Preferably it is 60 mass % or less, More preferably, it is 55 mass % or less, More preferably, it is 50 mass % or less. Moreover, although there is no restriction|limiting in particular as for a minimum, Preferably it is 30 mass % or more, More preferably, it is 35 mass % or more, More preferably, it is 40 mass % or more.

<(C) 비닐기를 갖는 수지><(C) Resin having a vinyl group>

본 발명의 수지 조성물은 (C) 비닐기를 갖는 수지를 함유한다. (C) 성분과 후술하는 (D) 성분을 조합하여 포함함으로써 유전 정접이 낮고 또한 도금 밀착성 및 하지 밀착성이 우수한 절연층을 형성하는, 상용성, 용융 점도가 양호한 수지 조성물을 수득할 수 있다. (C) 성분은 1종 단독으로 사용하여도 좋고, 2종 이상 사용하여도 좋다.The resin composition of this invention contains resin which has (C) vinyl group. By including the component (C) in combination with the component (D) described later, a resin composition with good compatibility and melt viscosity that forms an insulating layer having a low dielectric loss tangent and excellent plating adhesion and substrate adhesion can be obtained. (C) A component may be used individually by 1 type, and may be used 2 or more types.

(C) 성분은, 비닐기를 갖고 있으면 특별히 한정되지 않지만, 방향환을 갖는 것이 바람직하고, 그중에서도, 보존 안정성의 관점에서 하기 화학식 1로 표시되는 수지인 것이 바람직하다.(C) Although it will not specifically limit if component has a vinyl group, It is preferable to have an aromatic ring, Especially, it is preferable that it is resin represented by following formula (1) from a viewpoint of storage stability.

Figure 112017029183689-pat00001
Figure 112017029183689-pat00001

(상기 화학식 1에서, R1 내지 R6은 각각 독립적으로 수소 원자, 탄소 원자수 1 내지 4의 알킬기를 나타내고, A는, 하기 화학식 2 또는 하기 화학식 3으로 표시되는 기를 나타낸다)(In Formula 1, R 1 to R 6 each independently represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and A represents a group represented by Formula 2 or Formula 3 below)

Figure 112017029183689-pat00002
Figure 112017029183689-pat00002

(상기 화학식 2에서, E는 하기 화학식 E-1, E-2 또는 E-3을 나타낸다)(In Formula 2, E represents the following Formula E-1, E-2 or E-3)

Figure 112017029183689-pat00003
Figure 112017029183689-pat00003

(상기 화학식 3에서, R7 내지 R14는 각각 독립적으로 수소 원자, 탄소 원자수 6 이하의 알킬기 또는 페닐기를 나타내고, E는 하기 화학식 E-1, E-2 또는 E-3을 나타낸다. a, b는, 적어도 한쪽이 0이 아닌 0 내지 100의 정수를 나타낸다)(In Formula 3, R 7 to R 14 each independently represents a hydrogen atom, an alkyl group having 6 or less carbon atoms, or a phenyl group, and E represents the following Formula E-1, E-2 or E-3. a, b represents an integer from 0 to 100 in which at least one is not 0)

[화학식 4]
[화학식 E-1]
[ Formula 4 ]
[Formula E-1]

Figure 112017029183689-pat00004
Figure 112017029183689-pat00004

[화학식 E-2][Formula E-2]

Figure 112017029183689-pat00005
Figure 112017029183689-pat00005

[화학식 E-3][Formula E-3]

Figure 112017029183689-pat00006
Figure 112017029183689-pat00006

(상기 화학식 E-1 내지 E-3에서, R15 내지 R34는 각각 독립적으로 수소 원자, 탄소 원자수 6 이하의 알킬기, 또는 페닐기를 나타낸다. G는, 탄소 원자수 20 이하의 직쇄상, 분기상 또는 환상의 2가의 탄화수소기를 나타낸다)(In the formulas E-1 to E-3, R 15 to R 34 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group having 6 or less carbon atoms, or a phenyl group. G is a straight chain having 20 or less carbon atoms, minute represents a gaseous or cyclic divalent hydrocarbon group)

화학식 1에서, R1 내지 R6은 각각 독립적으로 수소 원자, 탄소 원자수 1 내지 4의 알킬기를 나타내고, 수소 원자인 것이 바람직하다. 탄소 원자수 1 내지 4의 알킬기로서는, 메틸기, 에틸기, n-프로필기, 이소프로필기, n-부틸기, s-부틸기, t-부틸기 등을 들 수 있다.In Formula 1, R 1 to R 6 each independently represent a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and preferably a hydrogen atom. A methyl group, an ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, s-butyl group, t-butyl group etc. are mentioned as a C1-C4 alkyl group.

화학식 3 중의 R7 내지 R14, 및 화학식 E-1 내지 E-3 중의 R15 내지 R34는, 각각 독립적으로 수소 원자, 탄소 원자수 6 이하의 알킬기 또는 페닐기를 나타낸다. 탄소 원자수 6 이하의 알킬기로서는, 메틸기, 에틸기, n-프로필기, 이소프로필기, n-부틸기, s-부틸기, t-부틸기, 펜틸기, 헥실기 등을 들 수 있다. R7 내지 R14로서는, 수소 원자, 메틸기가 바람직하다. R 7 to R 14 in the formula (3) and R 15 to R 34 in the formulas (E-1 to E-3) each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group having 6 or less carbon atoms, or a phenyl group. Examples of the alkyl group having 6 or less carbon atoms include a methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, s-butyl group, t-butyl group, pentyl group, and hexyl group. As R 7 to R 14 , a hydrogen atom or a methyl group is preferable.

a, b는, 적어도 한쪽이 0이 아닌 0 내지 100의 정수를 나타낸다. a, b는, 적어도 한쪽이 0이 아니란 조건부로, 0 내지 50의 정수가 바람직하고, 0 내지 10의 정수가 보다 바람직하다.a and b represent the integer of 0-100 in which at least one is not 0. The condition that at least one of a and b is not 0, the integer of 0-50 is preferable and the integer of 0-10 is more preferable.

G는, 탄소 원자수 20 이하의 직쇄상, 분기상 또는 환상의 2가의 탄화수소기를 나타낸다. 2가의 탄화수소기로서는 탄소 원자수 1 내지 20의 알킬렌기, 탄소 원자수 2 내지 20의 알케닐렌기, 또는 탄소 원자수 2 내지 20의 알키닐렌기를 들 수 있다. 탄소 원자수 1 내지 20의 알킬렌기로서는, 메틸렌기, 에틸렌기, 프로필렌기, 부틸렌기 등을 들 수 있다. 탄소 원자수 2 내지 20의 알케닐렌기로서는, 비닐렌기, 프로페닐렌기, 부테닐렌기 등을 들 수 있다. 탄소 원자수 2 내지 20의 알키닐렌기로서는 에티닐렌기, 프로피닐렌기, 부티닐렌기 등을 들 수 있다.G represents a C20 or less linear, branched or cyclic divalent hydrocarbon group. Examples of the divalent hydrocarbon group include an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms, an alkenylene group having 2 to 20 carbon atoms, or an alkynylene group having 2 to 20 carbon atoms. Examples of the alkylene group having 1 to 20 carbon atoms include a methylene group, an ethylene group, a propylene group, and a butylene group. Examples of the alkenylene group having 2 to 20 carbon atoms include a vinylene group, a propenylene group, and a butenylene group. Examples of the alkynylene group having 2 to 20 carbon atoms include an ethynylene group, a propynylene group, and a butynylene group.

비닐기를 갖는 수지에서의 비닐기는 치환기를 갖고 있어도 좋다. 또한, 상기 알킬기, 페닐기, 및 2가의 탄화수소기도 치환기를 갖고 있어도 좋다.The vinyl group in resin which has a vinyl group may have a substituent. Moreover, the said alkyl group, a phenyl group, and a divalent hydrocarbon group may also have a substituent.

치환기로서는 특별히 제한은 없고, 예를 들면, 할로겐 원자, -OH, -O-C1 -6 알킬기, -N(C1 -6 알킬기)2, C1 -6 알킬기, C6 -10 아릴기, -NH2, -CN, -C(O)O-C1 -6 알킬기, -COOH, -C(O)H, -NO2 등을 들 수 있다.The substituent is not particularly limited, for example, a halogen atom, -OH, -OC 1 -6 alkyl, -N (C 1 -6 alkyl) 2, C 1 -6 alkyl, C 6 -10 aryl groups, -NH 2, -CN, it can be given a -C (O) OC 1 -6 alkyl, -COOH, -C (O) H , -NO 2 or the like.

여기에서, 「Cp -q」(p 및 q는 양의 정수이며, p<q를 충족시킨다)란 용어는, 이 용어의 직후에 기재된 유기기의 탄소 원자수가 p 내지 q인 것을 나타낸다. 예를 들면, 「C1 -6 알킬기」란 표현은, 탄소 원자수 1 내지 6의 알킬기를 나타낸다.Here, the term "C p -q " (p and q are positive integers and satisfy p < q) indicates that the number of carbon atoms in the organic group described immediately after this term is p to q. For example, "C 1 -6 alkyl group" is the representation, an alkyl group of 1 to 6 carbon atoms.

상술한 치환기는 추가로 치환기(이하, 「2차 치환기」라고 하는 경우가 있음)를 갖고 있어도 좋다. 2차 치환기로서는, 특별히 기재가 없는 한, 상술한 치환기와 같은 것을 사용해도 좋다.The above-described substituent may further have a substituent (hereinafter, sometimes referred to as a "secondary substituent"). As the secondary substituent, the same substituents as described above may be used unless otherwise specified.

이하, (C) 성분의 구체예를 예시하지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것이 아니다.Hereinafter, although the specific example of (C)component is illustrated, this invention is not limited to this.

Figure 112017029183689-pat00007
Figure 112017029183689-pat00007

(상기 화학식 5에서, R1 내지 R6, E, a, b는, 화학식 1 또는 화학식 3의 부호의 것과 같고, 바람직한 범위도 동일하다)(In the formula (5), R 1 to R 6 , E, a, and b are the same as those of the symbols of the formula (1) or the formula (3), and their preferred ranges are also the same)

Figure 112017029183689-pat00008
Figure 112017029183689-pat00008

(C) 성분으로서는, 시판품을 사용해도 좋고, 시판품의 구체예로서는, 미츠비시 가스 카가쿠(주) 제조의 「OPE-2St 2200(수평균 분자량 2200)」, 「OPE-2St 1200(수평균 분자량 2200)」 (스티렌 변성 폴리페닐렌 에테르 수지), 미츠비시 카가쿠(주) 제조의 「YL7776(수평균 분자량 331)」, (비크실레놀디알릴에테르 수지) 등을 들 수 있다.(C) As a component, you may use a commercial item, As a specific example of a commercial item, "OPE-2St 2200 (number average molecular weight 2200)" manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd., "OPE-2St 1200 (number average molecular weight 2200)" " (Styrene-modified polyphenylene ether resin), Mitsubishi Chemical Co., Ltd. "YL7776 (number average molecular weight 331)", (bixylenol diallyl ether resin), etc. are mentioned.

(C) 성분의 수평균 분자량은, 수지 바니시 건조시의 휘발 방지, 수지 조성물의 용융 점도가 지나치게 상승하는 것을 방지한다는 관점에서, 100 내지 10000의 범위인 것이 바람직하고, 200 내지 3000의 범위인 것이 보다 바람직하다. 또한 본 발명에서의 수평균 분자량은, 겔 침투 크로마토그래피(GPC)법(폴리스티렌 환산)으로 측정된다. GPC법에 의한 수평균 분자량은, 구체적으로는, 측정 장치로서 (주) 시마즈 세사쿠쇼 제조 LC-9A/RID-6A를, 컬럼으로서 쇼와 덴코(주) 제조 Shodex K-800P/K-804L/K-804L을, 이동상으로서 클로로포름 등을 사용하고, 컬럼 온도 40℃에서 측정하고, 표준 폴리스티렌의 검량선을 사용하여 산출할 수 있다.(C) The number average molecular weight of the component is preferably in the range of 100 to 10000, and in the range of 200 to 3000, from the viewpoint of preventing volatilization during drying of the resin varnish and preventing the melt viscosity of the resin composition from rising too much. more preferably. In addition, the number average molecular weight in this invention is measured by the gel permeation chromatography (GPC) method (polystyrene conversion). Specifically, the number average molecular weight by GPC method is LC-9A/RID-6A manufactured by Shimadzu Corporation as a measuring device, and Shodex K-800P/K-804L manufactured by Showa Denko Co., Ltd. as a column as a column. /K-804L can be calculated using chloroform or the like as a mobile phase, measured at a column temperature of 40°C, and using a standard polystyrene calibration curve.

(C) 성분의 상세는, 일본 공개특허공보 특개2014-34580호의 단락 0010 내지 0022의 기재를 참작할 수 있고, 이 내용은 본 명세서에 포함된다.(C) The detail of component can consider description of Paragraph 0010 of Unexamined-Japanese-Patent No. 2014-34580 - 0022, and this content is integrated in this specification.

(C) 성분의 함유량은, 상용성이 양호한 수지 조성물을 수득하는 관점에서, 수지 성분을 100질량%로 한 경우, 바람직하게는 30질량% 이하, 보다 바람직하게는 25질량% 이하, 더욱 바람직하게는 20질량% 이하, 또는 15질량% 이하이다. (C) 성분의 함유량의 하한은, 후술하는 (D) 성분과의 조합에 있어서 소기의 효과를 달성하는 관점에서, 수지 성분을 100질량%로 한 경우, 바람직하게는 1질량% 이상, 보다 바람직하게는 3질량% 이상, 더욱 바람직하게는 5질량% 이상이다.(C) The content of the component is preferably 30 mass% or less, more preferably 25 mass% or less, still more preferably when the resin component is 100 mass% from the viewpoint of obtaining a resin composition with good compatibility. is 20 mass % or less, or 15 mass % or less. The lower limit of the content of the component (C) is preferably 1% by mass or more, more preferably 1% by mass or more, when the resin component is 100% by mass from the viewpoint of achieving the desired effect in combination with the component (D) described later. Preferably it is 3 mass % or more, More preferably, it is 5 mass % or more.

<(D) 인덴 쿠마론 수지><(D) Indene Coumarone Resin>

본 발명의 수지 조성물은 소정량의 (D) 인덴 쿠마론 수지를 함유한다. 소정량의 (D) 성분을 포함함으로써 상용성이 개선되고, 물성 밸런스가 양호한 수지 조성물을 수득할 수 있다. (D) 성분에 포함되는 쿠마론 골격은 극성이 높은 에폭시 수지나 경화제와의 상용성이 좋고, 또한 인덴 골격 및 쿠마론 골격은 극성이 낮은 비닐 수지와의 상용성이 좋다. 그 때문에, 극성이 높은 수지와 낮은 수지 간에서 상용화제로서 작용하여, 수지 조성물 전체의 상용성이 개선된다고 생각된다.The resin composition of the present invention contains a predetermined amount of (D) indene coumarone resin. By including a predetermined amount of component (D), compatibility is improved and a resin composition having a good balance of physical properties can be obtained. (D) The coumarone skeleton contained in the component has good compatibility with epoxy resins and curing agents with high polarity, and the indene skeleton and coumarone skeleton have good compatibility with vinyl resins with low polarity. Therefore, it acts as a compatibilizer between high polarity resin and low polarity resin, and it is thought that the compatibility of the whole resin composition is improved.

(D) 성분으로서는, 예를 들면, 인덴 및 쿠마론의 공중합체, 인덴, 쿠마론 및 스티렌의 공중합체 등을 들 수 있다.(D) As a component, the copolymer of indene and coumarone, the copolymer of indene, coumarone, and styrene, etc. are mentioned, for example.

인덴 쿠마론 수지 중의 쿠마론 성분의 함유 비율은, 바람직하게는 5몰% 이상, 보다 바람직하게는 8몰% 이상, 더욱 바람직하게는 10몰% 이상이다. 상한은 바람직하게는 40몰% 이하, 보다 바람직하게는 35몰% 이하, 더욱 바람직하게는 30몰% 이하이다.The content of the coumarone component in the indene coumarone resin is preferably 5 mol% or more, more preferably 8 mol% or more, and still more preferably 10 mol% or more. The upper limit is preferably 40 mol% or less, more preferably 35 mol% or less, and still more preferably 30 mol% or less.

인덴 쿠마론 수지 중의 인덴 성분의 함유 비율은, 바람직하게는 30몰% 이상, 보다 바람직하게는 35몰% 이상, 더욱 바람직하게는 40몰% 이상이다. 상한은 바람직하게는 80몰% 이하, 보다 바람직하게는 75몰% 이하, 더욱 바람직하게는 70몰% 이하이다.The content of the indene component in the indene coumarone resin is preferably 30 mol% or more, more preferably 35 mol% or more, and still more preferably 40 mol% or more. The upper limit is preferably 80 mol% or less, more preferably 75 mol% or less, and still more preferably 70 mol% or less.

인덴 쿠마론 수지가 인덴, 쿠마론 및 스티렌의 공중합체인 경우, 스티렌 성분의 함유 비율은, 바람직하게는 20몰% 이상, 보다 바람직하게는 25몰% 이상, 더욱 바람직하게는 30몰% 이상이다. 상한은 바람직하게는 70몰% 이하, 보다 바람직하게는 65몰% 이하, 더욱 바람직하게는 60몰% 이하이다.When the indene coumarone resin is a copolymer of indene, coumarone and styrene, the content of the styrene component is preferably 20 mol% or more, more preferably 25 mol% or more, still more preferably 30 mol% or more. The upper limit is preferably 70 mol% or less, more preferably 65 mol% or less, and still more preferably 60 mol% or less.

인덴 쿠마론 수지의 구체예로서는, 닛토 카가쿠(주) 제조의 「H-100」, 「V-120S」, 「V-120」 등을 들 수 있다.As a specific example of indene coumarone resin, "H-100", "V-120S", "V-120" by Nitto Chemical Co., Ltd. product, etc. are mentioned.

(D) 성분의 함유량은, 상용성이 양호한 수지 조성물을 수득하는 관점에서, 수지 성분을 100질량%로 한 경우, 5질량% 이상이며, 바람직하게는 8질량% 이상, 보다 바람직하게는 10질량% 이상이다. (D) 성분의 함유량의 상한은, 용융 점도가 양호한 수지 조성물을 수득하는 관점, 하지 밀착성이 우수한 절연층을 수득하는 관점에서, 20질량% 이하이며, 바람직하게는 18질량% 이하, 보다 바람직하게는 16질량% 이하 또는 15질량% 이하이다.(D) Content of component is 5 mass % or more when a resin component is 100 mass % from a viewpoint of obtaining a compatible resin composition, Preferably it is 8 mass % or more, More preferably, it is 10 mass %. % or more (D) The upper limit of the content of the component is 20% by mass or less, preferably 18% by mass or less, more preferably from the viewpoint of obtaining a resin composition having a good melt viscosity, and from the viewpoint of obtaining an insulating layer excellent in adhesion to the substrate. is 16% by mass or less or 15% by mass or less.

<(E) 무기 충전재><(E) Inorganic filler>

본 발명의 수지 조성물은 추가로 (E) 무기 충전재를 함유하고 있어도 좋다. 무기 충전재의 재료는 특히 한정되지 않지만, 예를 들면, 실리카, 알루미나, 유리, 코디에라이트, 실리콘 산화물, 황산 바륨, 탄산 바륨, 탈크, 클레이, 운모분, 산화 아연, 하이드로탈사이트, 베마이트, 수산화알루미늄, 수산화마그네슘, 탄산칼슘, 탄산마그네슘, 산화마그네슘, 질화붕소, 질화알루미늄, 질화망간, 붕산알루미늄, 탄산스트론튬, 티탄산스트론튬, 티탄산칼슘, 티탄산마그네슘, 티탄산비스무트, 산화티탄, 산화지르코늄, 티탄산바륨, 티탄산지르콘산바륨, 지르콘산바륨, 지르콘산칼슘, 인산지르코늄, 및 인산텅스텐산지르코늄 등을 들 수 있다. 이것들 중에서도 실리카가 특히 적합하다. 또한 실리카로서는 구형 실리카가 바람직하다. 무기 충전재는 1종 단독으로 사용하여도 좋고, 2종 이상을 조합하여 사용하여도 좋다.The resin composition of this invention may contain the (E) inorganic filler further. Although the material of the inorganic filler is not particularly limited, for example, silica, alumina, glass, cordierite, silicon oxide, barium sulfate, barium carbonate, talc, clay, mica powder, zinc oxide, hydrotalcite, boehmite, Aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, calcium carbonate, magnesium carbonate, magnesium oxide, boron nitride, aluminum nitride, manganese nitride, aluminum borate, strontium carbonate, strontium titanate, calcium titanate, magnesium titanate, bismuth titanate, titanium oxide, zirconium oxide, barium titanate , barium zirconate titanate, barium zirconate, calcium zirconate, zirconium phosphate, and zirconium tungsten phosphate. Among these, silica is particularly suitable. Moreover, as a silica, spherical silica is preferable. An inorganic filler may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.

무기 충전재의 평균 입자 직경은 회로 매립성을 향상시키고, 표면 조도가 낮은 절연층을 수득하는 관점에서, 바람직하게는 5㎛ 이하, 보다 바람직하게는 2.5㎛ 이하, 더욱 바람직하게는 2㎛ 이하, 보다 바람직하게는 1.5㎛ 이하이다. 당해 평균 입자 직경의 하한은 특별히 한정되지 않지만, 바람직하게는 0.01㎛ 이상, 보다 바람직하게는 0.05㎛ 이상, 더욱 바람직하게는 0.1㎛ 이상, 0.5㎛ 이상, 또는 1㎛ 이상이다. 이러한 평균 입자 직경을 갖는 무기 충전재의 시판품으로서는, 예를 들면, 신닛테츠 스미킨 머티리얼즈(주) 제조 「SP60-05」, 「SP507-05」, (주)아도마텍스 제조 「YC100C」, 「YA050C」, 「YA050C-MJE」, 「YA010C」, 덴카(주) 제조 「UFP-30」, (주)토쿠야마 제조 「실필 NSS-3N」, 「실필 NSS-4N」, 「실필 NSS-5N」, (주)아도마텍스 제조 「SC2500SQ」, 「SO-C4」, 「SO-C2」, 「SO-C1」 등을 들 수 있다.The average particle diameter of the inorganic filler is preferably 5 µm or less, more preferably 2.5 µm or less, still more preferably 2 µm or less, from the viewpoint of improving circuit embedding properties and obtaining an insulating layer with low surface roughness. Preferably it is 1.5 micrometers or less. Although the lower limit of the said average particle diameter is not specifically limited, Preferably it is 0.01 micrometer or more, More preferably, it is 0.05 micrometer or more, More preferably, it is 0.1 micrometer or more, 0.5 micrometer or more, or 1 micrometer or more. As a commercial item of the inorganic filler which has such an average particle diameter, For example, Shin-Nitetsu Sumikin Materials Co., Ltd. product "SP60-05", "SP507-05", Adomatex Co., Ltd. product "YC100C", " YA050C", "YA050C-MJE", "YA010C", Denka Co., Ltd. "UFP-30", Tokuyama Co., Ltd. "Silver NSS-3N", "Silver NSS-4N", "Silver NSS-5N" , "SC2500SQ" manufactured by Adomatex Co., Ltd., "SO-C4", "SO-C2", "SO-C1", etc. are mentioned.

무기 충전재의 평균 입자 직경은 미(Mie) 산란 이론에 기초하는 레이저 회절·산란법에 의해 측정할 수 있다. 구체적으로는 레이저 회절 산란식 입도 분포 측정 장치에 의해, 무기 충전재의 입도 분포를 체적 기준으로 작성하고, 그 메디안 직경을 평균 입자 직경으로 함으로써 측정할 수 있다. 측정 샘플은, 무기 충전재를 초음파에 의해 수중에 분산시킨 것을 바람직하게 사용할 수 있다. 레이저 회절 산란식 입도 분포 측정 장치로서는, (주)호리바 세사쿠쇼 제조 「LA-500」 등을 사용할 수 있다. The average particle diameter of the inorganic filler can be measured by a laser diffraction/scattering method based on the Mie scattering theory. Specifically, it can measure by creating the particle size distribution of an inorganic filler on a volume basis with a laser diffraction scattering type particle size distribution analyzer, and making the median diameter into an average particle diameter. As a measurement sample, what disperse|distributed the inorganic filler in water by ultrasonic wave can be used preferably. As a laser diffraction scattering type particle size distribution analyzer, "LA-500" manufactured by Horiba Corporation, etc. can be used.

무기 충전재는, 내습성 및 분산성을 높이는 관점에서, 아미노실란계 커플링제, 에폭시실란계 커플링제, 머캅토실란계 커플링제, 알콕시실란 화합물, 오르가노실라잔 화합물, 티타네이트계 커플링제 등의 1종 이상의 표면 처리제로 처리되어 있는 것이 바람직하다. 표면 처리제의 시판품으로서는, 예를 들면, 신에츠 카가쿠 코교(주) 제조 「KBM403」(3-글리시독시프로필트리메톡시실란), 신에츠 카가쿠 코교(주) 제조 「KBM803」(3-머캅토프로필트리메톡시실란), 신에츠 카가쿠 코교(주) 제조 「KBE903」(3-아미노프로필트리에톡시실란), 신에츠 카가쿠 코교(주) 제조 「KBM573」(N-페닐-3-아미노프로필트리메톡시실란), 신에츠 카가쿠 코교(주) 제조 「SZ-31」(헥사메틸디실라잔), 신에츠 카가쿠 코교(주) 제조 「KBM-103」(페닐트리메톡시실란), 신에츠 카가쿠 코교(주) 제조 「KBM-4803」(장쇄 에폭시형 실란 커플링제) 등을 들 수 있다. From the viewpoint of improving moisture resistance and dispersibility, the inorganic filler is one such as an aminosilane-based coupling agent, an epoxysilane-based coupling agent, a mercaptosilane-based coupling agent, an alkoxysilane compound, an organosilazane compound, and a titanate-based coupling agent. It is preferable that it is treated with more than one kind of surface treatment agent. As a commercial item of a surface treatment agent, for example, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "KBM403" (3-glycidoxypropyl trimethoxysilane), Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. product "KBM803" (3-mercapto) Propyltrimethoxysilane), Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "KBE903" (3-aminopropyltriethoxysilane), Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "KBM573" (N-phenyl-3-aminopropyltri methoxysilane), Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "SZ-31" (hexamethyldisilazane), Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "KBM-103" (phenyltrimethoxysilane), Shin-Etsu Chemical Kogyo Co., Ltd. product "KBM-4803" (long-chain epoxy type silane coupling agent) etc. are mentioned.

표면 처리제에 의한 표면 처리의 정도는, 무기 충전재의 단위 표면적당 카본량에 의해 평가할 수 있다. 무기 충전재의 단위 표면적당 카본량은, 무기 충전재의 분산성 향상의 관점에서, 0.02mg/㎡ 이상이 바람직하고, 0.1mg/㎡ 이상이 보다 바람직하고, 0.2mg/㎡ 이상이 더욱 바람직하다. 한편, 수지 바니시의 용융 점도나 시트 형태에서의 용융 점도의 상승을 방지하는 관점에서, 1mg/㎡ 이하가 바람직하고, 0.8mg/㎡ 이하가 보다 바람직하고, 0.5mg/㎡ 이하가 더욱 바람직하다.The grade of the surface treatment by a surface treating agent can be evaluated by the amount of carbon per unit surface area of an inorganic filler. From the viewpoint of improving the dispersibility of the inorganic filler, the amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler is preferably 0.02 mg/m 2 or more, more preferably 0.1 mg/m 2 or more, and still more preferably 0.2 mg/m 2 or more. On the other hand, from the viewpoint of preventing an increase in the melt viscosity of the resin varnish or the melt viscosity in the sheet form, 1 mg/m 2 or less is preferable, 0.8 mg/m 2 or less is more preferable, and 0.5 mg/m 2 or less is still more preferable.

무기 충전재의 단위 표면적당 카본량은, 표면 처리 후의 무기 충전재를 용제(예를 들면, 메틸에틸케톤(MEK))에 의해 세정 처리한 후에 측정할 수 있다. 구체적으로는, 용제로서 충분한 양의 MEK를 표면 처리제로 표면 처리된 무기 충전재에 첨가하여, 25℃에서 5분간 초음파 세정한다. 상청액을 제거하고, 고형분을 건조시킨 후, 카본 분석계를 사용하여 무기 충전재의 단위 표면적당 카본량을 측정할 수 있다. 카본 분석계로서는, (주)호리바 세사쿠쇼 제조 「EMIA-320V」 등을 사용할 수 있다.The amount of carbon per unit surface area of an inorganic filler can be measured, after washing-processing the inorganic filler after surface treatment with a solvent (for example, methyl ethyl ketone (MEK)). Specifically, MEK in a sufficient amount as a solvent is added to the inorganic filler surface-treated with a surface treatment agent, followed by ultrasonic cleaning at 25°C for 5 minutes. After removing the supernatant and drying the solid content, the amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler can be measured using a carbon analyzer. As a carbon analyzer, "EMIA-320V" manufactured by Horiba Corporation, etc. can be used.

수지 조성물 중의 무기 충전재의 함유량은, 열 팽창율이 낮은 절연층을 수득하는 관점에서, 수지 조성물 중의 불휘발 성분을 100질량%로 했을 때, 바람직하게는 50질량% 이상, 보다 바람직하게는 55질량% 이상, 더욱 바람직하게는 60질량% 이상, 또는 65질량% 이상이다. 상한은, 절연층의 기계 강도, 특히 신장의 관점에서, 바람직하게는 95질량% 이하, 보다 바람직하게는 90질량% 이하, 더욱 바람직하게는 85질량% 이하, 또는 80질량% 이하이다.When content of the inorganic filler in a resin composition makes the nonvolatile component in a resin composition 100 mass % from a viewpoint of obtaining an insulating layer with a low coefficient of thermal expansion, Preferably it is 50 mass % or more, More preferably, it is 55 mass %. or more, more preferably 60 mass % or more, or 65 mass % or more. The upper limit is preferably 95% by mass or less, more preferably 90% by mass or less, still more preferably 85% by mass or less, or 80% by mass or less from the viewpoint of mechanical strength, particularly elongation, of the insulating layer.

<(F) 경화 촉진제><(F) curing accelerator>

본 발명의 수지 조성물은 (F) 경화 촉진제를 함유하고 있어도 좋다. 경화 촉진제로서는, 예를 들면, 인계 경화 촉진제, 아민계 경화 촉진제, 이미다졸계 경화 촉진제, 구아니딘계 경화 촉진제, 금속계 경화 촉진제, 유기 과산화물계 경화 촉진제 등을 들 수 있고, 인계 경화 촉진제, 아민계 경화 촉진제, 이미다졸계 경화 촉진제, 금속계 경화 촉진제가 바람직하고, 아민계 경화 촉진제, 이미다졸계 경화 촉진제, 금속계 경화 촉진제가 보다 바람직하다. 경화 촉진제는 1종 단독으로 사용하여도 좋고, 2종 이상을 조합하여 사용하여도 좋다.The resin composition of this invention may contain the (F) hardening accelerator. Examples of the curing accelerator include phosphorus-based curing accelerators, amine-based curing accelerators, imidazole-based curing accelerators, guanidine-based curing accelerators, metal-based curing accelerators, organic peroxide curing accelerators, and the like, phosphorus-based curing accelerators and amine-based curing accelerators. An accelerator, an imidazole type hardening accelerator, and a metal type hardening accelerator are preferable, and an amine type hardening accelerator, an imidazole type hardening accelerator, and a metal type hardening accelerator are more preferable. A hardening accelerator may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.

인계 경화 촉진제로서는, 예를 들면, 트리페닐포스핀, 포스포늄보레이트 화합물, 테트라페닐포스포늄테트라페닐보레이트, n-부틸포스포늄테트라페닐보레이트, 테트라부틸포스포늄데칸산염, (4-메틸페닐)트리페닐포스포늄티오시아네이트, 테트라페닐포스포늄티오시아네이트, 부틸트리페닐포스포늄티오시아네이트 등을 들 수 있고, 트리페닐포스핀, 테트라부틸포스포늄데칸산염이 바람직하다.Examples of the phosphorus-based curing accelerator include triphenylphosphine, phosphonium borate compound, tetraphenylphosphonium tetraphenylborate, n-butylphosphonium tetraphenylborate, tetrabutylphosphoniumdecanoate, (4-methylphenyl)triphenyl Phosphonium thiocyanate, tetraphenyl phosphonium thiocyanate, butyl triphenyl phosphonium thiocyanate, etc. are mentioned, Triphenyl phosphine and tetrabutyl phosphonium decanoate are preferable.

아민계 경화 촉진제로서는, 예를 들면, 트리에틸아민, 트리부틸아민 등의 트리알킬아민, 4-디메틸아미노피리딘, 벤질디메틸아민, 2,4,6-트리스(디메틸아미노메틸)페놀, 1,8-디아자비사이클로(5,4,0)-운데센 등을 들 수 있고, 4-디메틸아미노피리딘, 1,8-디아자비사이클로(5,4,0)-운데센이 바람직하다.Examples of the amine curing accelerator include trialkylamines such as triethylamine and tributylamine, 4-dimethylaminopyridine, benzyldimethylamine, 2,4,6-tris(dimethylaminomethyl)phenol, 1,8 -diazabicyclo(5,4,0)-undecene etc. are mentioned, 4-dimethylaminopyridine and 1,8- diazabicyclo(5,4,0)- undecene are preferable.

이미다졸계 경화 촉진제로서는, 예를 들면, 2-메틸이미다졸, 2-운데실이미다졸, 2-헵타데실이미다졸, 1,2-디메틸이미다졸, 2-에틸-4-메틸이미다졸, 1,2-디메틸이미다졸, 2-에틸-4-메틸이미다졸, 2-페닐이미다졸, 2-페닐-4-메틸이미다졸, 1-벤질-2-메틸이미다졸, 1-벤질-2-페닐이미다졸, 1-시아노에틸-2-메틸이미다졸, 1-시아노에틸-2-운데실이미다졸, 1-시아노에틸-2-에틸-4-메틸이미다졸, 1-시아노에틸-2-페닐이미다졸, 1-시아노에틸-2-운데실이미다졸륨트리멜리테이트, 1-시아노에틸-2-페닐이미다졸륨트리멜리테이트, 2,4-디아미노-6-[2'-메틸이미다졸릴-(1')]-에틸-s-트리아진, 2,4-디아미노-6-[2'-운데실이미다졸릴-(1')]-에틸-s-트리아진, 2,4-디아미노-6-[2'-에틸-4'-메틸이미다졸릴-(1')]-에틸-s-트리아진, 2,4-디아미노-6-[2'-메틸이미다졸릴-(1')]-에틸-s-트리아진 이소시아눌산 부가물, 2-페닐이미다졸 이소시아눌산 부가물, 2-페닐-4,5-디하이드록시메틸이미다졸, 2-페닐-4-메틸-5-하이드록시메틸이미다졸, 2,3-디하이드로-1H-피롤로[1,2-a]벤즈이미다졸, 1-도데실-2-메틸-3-벤질이미다졸륨클로라이드, 2-메틸이미다졸린, 2-페닐이미다졸린 등의 이미다졸 화합물 및 이미다졸 화합물과 에폭시 수지의 어덕트체를 들 수 있고, 2-에틸-4-메틸이미다졸, 1-벤질-2-페닐이미다졸이 바람직하다.Examples of the imidazole-based curing accelerator include 2-methylimidazole, 2-undecylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, and 2-ethyl-4-methyl. Imidazole, 1,2-dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 1-benzyl-2-methyl Midazole, 1-benzyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl -4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazolium trimellitate, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazolium Trimellitate, 2,4-diamino-6-[2'-methylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-[2'-undecyl Imidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-[2'-ethyl-4'-methylimidazolyl-(1')]-ethyl-s- Triazine, 2,4-diamino-6-[2'-methylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine isocyanuric acid adduct, 2-phenylimidazole isocyanuric acid adduct , 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole, 2-phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole, 2,3-dihydro-1H-pyrrolo[1,2- a] imidazole compounds such as benzimidazole, 1-dodecyl-2-methyl-3-benzylimidazolium chloride, 2-methylimidazoline, and 2-phenylimidazoline, and mixtures of imidazole compounds and epoxy resins A duct body is mentioned, 2-ethyl- 4-methylimidazole and 1-benzyl- 2-phenylimidazole are preferable.

이미다졸계 경화 촉진제로서는, 시판품을 사용하여도 좋고, 예를 들면, 미츠비시 카가쿠(주) 제조의 「P200-H50」 등을 들 수 있다.As an imidazole-type hardening accelerator, you may use a commercial item, for example, Mitsubishi Chemical Co., Ltd. product "P200-H50" etc. are mentioned.

구아니딘계 경화 촉진제로서는, 예를 들면, 디시안디아미드, 1-메틸구아니딘, 1-에틸구아니딘, 1-사이클로헥실구아니딘, 1-페닐구아니딘, 1-(o-톨릴)구아니딘, 디메틸구아니딘, 디페닐구아니딘, 트리메틸구아니딘, 테트라메틸구아니딘, 펜타메틸구아니딘, 1,5,7-트리아자비사이클로[4.4.0]데카-5-엔, 7-메틸-1,5,7-트리아자비사이클로[4.4.0]데카-5-엔, 1-메틸비구아니드, 1-에틸비구아니드, 1-n-부틸비구아니드, 1-n-옥타데실비구아니드, 1,1-디메틸비구아니드, 1,1-디에틸비구아니드, 1-사이클로헥실비구아니드, 1-알릴비구아니드, 1-페닐비구아니드, 1-(o-톨릴)비구아니드 등을 들 수 있고, 디시안디아미드, 1,5,7-트리아자비사이클로[4.4.0]데카-5-엔이 바람직하다.Examples of the guanidine-based curing accelerator include dicyandiamide, 1-methylguanidine, 1-ethylguanidine, 1-cyclohexylguanidine, 1-phenylguanidine, 1-(o-tolyl)guanidine, dimethylguanidine, and diphenylguanidine. , trimethylguanidine, tetramethylguanidine, pentamethylguanidine, 1,5,7-triazabicyclo[4.4.0]deca-5-ene, 7-methyl-1,5,7-triazabicyclo[4.4.0] Deca-5-ene, 1-methylbiguanide, 1-ethylbiguanide, 1-n-butylbiguanide, 1-n-octadecylbiguanide, 1,1-dimethylbiguanide, 1, 1-diethylbiguanide, 1-cyclohexylbiguanide, 1-allylbiguanide, 1-phenylbiguanide, 1-(o-tolyl)biguanide, etc. are mentioned, dicyandiamide, 1,5,7-triazabicyclo[4.4.0]deca-5-ene is preferred.

금속계 경화 촉진제로서는, 예를 들면, 코발트, 구리, 아연, 철, 니켈, 망간, 주석 등의 금속의, 유기 금속 착체 또는 유기 금속염을 들 수 있다. 유기 금속 착체의 구체예로서는, 코발트(Ⅱ)아세틸아세토네이트, 코발트(Ⅲ)아세틸아세토네이트 등의 유기 코발트 착체, 구리(Ⅱ)아세틸아세토네이트 등의 유기 구리 착체, 아연(Ⅱ)아세틸아세토네이트 등의 유기 아연 착체, 철(Ⅲ)아세틸아세토네이트 등의 유기 철 착체, 니켈(Ⅱ)아세틸아세토네이트 등의 유기 니켈 착체, 망간(Ⅱ)아세틸아세토네이트 등의 유기 망간 착체 등을 들 수 있다. 유기 금속염으로서는, 예를 들면, 옥틸산아연, 옥틸산주석, 나프텐산아연, 나프텐산코발트, 스테아르산주석, 스테아르산아연 등을 들 수 있다.Examples of the metal-based curing accelerator include organometallic complexes or organometallic salts of metals such as cobalt, copper, zinc, iron, nickel, manganese and tin. Specific examples of the organometallic complex include organocobalt complexes such as cobalt(II)acetylacetonate and cobalt(III)acetylacetonate, organocopper complexes such as copper(II)acetylacetonate, zinc(II)acetylacetonate, and the like. organic zinc complexes, organic iron complexes such as iron (III) acetylacetonate, organic nickel complexes such as nickel (II) acetylacetonate, and organic manganese complexes such as manganese (II) acetylacetonate. Examples of the organic metal salt include zinc octylate, tin octylate, zinc naphthenate, cobalt naphthenate, tin stearate, and zinc stearate.

유기 과산화물계 경화 촉진제로서는, 예를 들면, 디쿠밀퍼옥사이드, 사이클로헥산온퍼옥사이드, 3급-부틸퍼옥시벤조에이트, 메틸에틸케톤퍼옥사이드, 디쿠밀퍼옥사이드, 3급-부틸쿠밀퍼옥사이드, 디-3급-부틸퍼옥사이드, 디이소프로필벤젠하이드로퍼옥사이드, 쿠멘하이드로퍼옥사이드, 3급-부틸하이드로퍼옥사이드 등을 들 수 있다. 유기 과산화물계 경화 촉진제로서는, 시판품을 사용하여도 좋고, 예를 들면, 니치유사 제조의 「퍼쿠밀 D」 등을 들 수 있다.Examples of the organic peroxide curing accelerator include dicumyl peroxide, cyclohexanone peroxide, tert-butyl peroxybenzoate, methyl ethyl ketone peroxide, dicumyl peroxide, tert-butylcumyl peroxide, di-3 tert-butyl peroxide, diisopropylbenzene hydroperoxide, cumene hydroperoxide, tert-butyl hydroperoxide, and the like. As an organic peroxide type|system|group hardening accelerator, you may use a commercial item, for example, "Percumyl D" by Nichiyo Corporation etc. is mentioned.

수지 조성물 중의 경화 촉진제의 함유량은 특별히 한정되지 않지만, 수지 성분을 100질량%로 한 경우, 0.01질량% 내지 3질량%가 바람직하다.Although content of the hardening accelerator in a resin composition is not specifically limited, When a resin component is 100 mass %, 0.01 mass % - 3 mass % are preferable.

<(G) 열가소성 수지><(G) Thermoplastic resin>

본 발명의 수지 조성물은 (G) 열가소성 수지를 함유하고 있어도 좋다. 열가소성 수지로서는, 예를 들면, 페녹시 수지, 폴리비닐 아세탈 수지, 폴리올레핀 수지, 폴리부타디엔 수지, 폴리이미드 수지, 폴리아미드이미드 수지, 폴리에테르이미드 수지, 폴리설폰 수지, 폴리에테르설폰 수지, 폴리카보네이트 수지, 폴리에테르에테르케톤 수지, 폴리에스테르 수지를 들 수 있고, 페녹시 수지가 바람직하다. 열가소성 수지는 1종 단독으로 사용하여도 좋고, 또는 2종 이상을 조합하여 사용하여도 좋다.The resin composition of this invention may contain the (G) thermoplastic resin. As the thermoplastic resin, for example, phenoxy resin, polyvinyl acetal resin, polyolefin resin, polybutadiene resin, polyimide resin, polyamideimide resin, polyetherimide resin, polysulfone resin, polyethersulfone resin, polycarbonate resin , polyether ether ketone resin and polyester resin are mentioned, and phenoxy resin is preferable. A thermoplastic resin may be used individually by 1 type, or may be used in combination of 2 or more type.

열가소성 수지의 폴리스티렌 환산의 중량 평균 분자량은 8,000 내지 70,000의 범위가 바람직하고, 10,000 내지 60,000의 범위가 보다 바람직하고, 20,000 내지 60,000의 범위가 더욱 바람직하다. 열가소성 수지의 폴리스티렌 환산의 중량 평균 분자량은 겔 침투 크로마토그래피(GPC)법으로 측정된다. 구체적으로는, 열가소성 수지의 폴리스티렌 환산의 중량 평균 분자량은, 측정 장치로서 (주)시마즈 세사쿠쇼 제조 LC-9A/RID-6A를, 컬럼으로서 쇼와 덴코(주) 제조 Shodex K-800P/K-804L/K-804L을, 이동상으로서 클로로포름 등을 사용하고, 컬럼 온도를 40℃에서 측정하고, 표준 폴리스티렌의 검량선을 사용하여 산출할 수 있다.The range of 8,000-70,000 is preferable, as for the weight average molecular weight of polystyrene conversion of a thermoplastic resin, the range of 10,000-60,000 is more preferable, The range of 20,000-60,000 is still more preferable. The weight average molecular weight in terms of polystyrene of the thermoplastic resin is measured by a gel permeation chromatography (GPC) method. Specifically, the weight average molecular weight in terms of polystyrene of the thermoplastic resin is LC-9A/RID-6A manufactured by Shimadzu Corporation as a measuring device, and Shodex K-800P/K manufactured by Showa Denko Co., Ltd. as a column as a column. -804L/K-804L can be calculated by using chloroform or the like as a mobile phase, measuring the column temperature at 40°C, and using a standard polystyrene calibration curve.

페녹시 수지로서는, 예를 들면, 비스페놀 A 골격, 비스페놀 F 골격, 비스페놀 S 골격, 비스페놀아세토페논 골격, 노볼락 골격, 비페닐 골격, 플루오렌 골격, 디사이클로펜타디엔 골격, 노보넨 골격, 나프탈렌 골격, 안트라센 골격, 아다만탄 골격, 테르펜 골격, 및 트리메틸사이클로헥산 골격으로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 1종 이상의 골격을 갖는 페녹시 수지를 들 수 있다. 페녹시 수지의 말단은, 페놀성 수산기, 에폭시기 등의 어느 관능기라도 좋다. 페녹시 수지는 1종 단독으로 사용하여도 좋고, 2종 이상을 조합하여 사용하여도 좋다. 페녹시 수지의 구체예로서는, 미츠비시 카가쿠(주) 제조의 「1256」 및 「4250」(모두 비스페놀 A 골격 함유 페녹시 수지), 「YX8100」(비스페놀 S 골격 함유 페녹시 수지), 및 「YX6954」 (비스페놀아세토페논 골격 함유 페녹시 수지)를 들 수 있고, 그 밖에도, 신닛테츠 스미킨 카가쿠(주) 제조의 「FX280」 및 「FX293」, 미츠비시 카가쿠(주) 제조의 「YX6954BH30」, 「YX7553」, 「YX7553BH30」, 「YL7769BH30」, 「YL6794」, 「YL7213」, 「YL7290」, 「YL7891BH30」 및 「YL7482」 등을 들 수 있다.Examples of the phenoxy resin include bisphenol A skeleton, bisphenol F skeleton, bisphenol S skeleton, bisphenolacetophenone skeleton, novolak skeleton, biphenyl skeleton, fluorene skeleton, dicyclopentadiene skeleton, norbornene skeleton, naphthalene skeleton , an anthracene skeleton, an adamantane skeleton, a terpene skeleton, and a phenoxy resin having at least one skeleton selected from the group consisting of trimethylcyclohexane skeleton. Any functional group, such as a phenolic hydroxyl group and an epoxy group, may be sufficient as the terminal of a phenoxy resin. A phenoxy resin may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type. As a specific example of a phenoxy resin, Mitsubishi Chemical Co., Ltd. product "1256" and "4250" (both bisphenol A skeleton containing phenoxy resin), "YX8100" (bisphenol S skeleton containing phenoxy resin), and "YX6954" (Bisphenolacetophenone skeleton-containing phenoxy resin) is mentioned, In addition, "FX280" and "FX293" by Shin-Nippon Sumikin Chemical Co., Ltd., "YX6954BH30" by Mitsubishi Chemical Co., Ltd., " YX7553", "YX7553BH30", "YL7769BH30", "YL6794", "YL7213", "YL7290", "YL7891BH30", "YL7482", etc. are mentioned.

폴리비닐 아세탈 수지로서는, 예를 들면, 폴리비닐 포르말 수지, 폴리비닐 부티랄 수지를 들 수 있고, 폴리비닐 부티랄 수지가 바람직하다. 폴리비닐 아세탈 수지의 구체예로서는, 예를 들면, 덴키 카가쿠 코교(주) 제조의 「전화 부티랄 4000-2」, 「전화 부티랄 5000-A」, 「전화 부티랄 6000-C」, 「전화 부티랄 6000-EP」, 세키스이 카가쿠 코교(주) 제조의 에스렉 BH 시리즈, BX 시리즈(예를 들면, BX-5Z), KS 시리즈(예를 들면, KS-1), BL 시리즈, BM 시리즈 등을 들 수 있다.As polyvinyl acetal resin, polyvinyl formal resin and polyvinyl butyral resin are mentioned, for example, Polyvinyl butyral resin is preferable. As a specific example of polyvinyl acetal resin, "Telephone Butyral 4000-2", "Telephone Butyral 5000-A", "Telephone Butyral 6000-C", "Telephone Butyral 4000-2" manufactured by Denki Chemical Co., Ltd. as a specific example of polyvinyl acetal resin, for example Butyral 6000-EP", Sekisui Kagaku Kogyo Co., Ltd. S-Rec BH series, BX series (such as BX-5Z), KS series (such as KS-1), BL series, BM series and the like.

폴리이미드 수지의 구체예로서는, 신닛폰 리카(주) 제조의 「리카코트 SN20」 및 「리카코트 PN20」을 들 수 있다. 폴리이미드 수지의 구체예로서는 또한, 2관능성 하이드록실기 말단 폴리부타디엔, 디이소시아네이트 화합물 및 4염기산 무수물을 반응시켜서 수득되는 선형 폴리이미드(일본 공개특허공보 특개2006-37083호 기재의 폴리이미드), 폴리실록산 골격 함유 폴리이미드(일본 공개특허공보 특개2002-12667호 및 일본 공개특허공보 특개2000-319386호 등에 기재된 폴리이미드) 등의 변성 폴리이미드를 들 수 있다.As a specific example of polyimide resin, "Ricacoat SN20" and "Ricacoat PN20" by New Nippon Rica Co., Ltd. are mentioned. As a specific example of the polyimide resin, furthermore, a linear polyimide obtained by reacting a difunctional hydroxyl-terminated polybutadiene, a diisocyanate compound, and a tetrabasic acid anhydride (a polyimide described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-37083); Modified polyimides, such as polysiloxane skeleton containing polyimide (the polyimide described in Unexamined-Japanese-Patent No. 2002-12667, Unexamined-Japanese-Patent No. 2000-319386, etc.) are mentioned.

폴리아미드이미드 수지의 구체예로서는, 토요 보세키(주) 제조의 「바이로막스 HR11NN」 및 「바이로막스 HR16NN」을 들 수 있다. 폴리아미드이미드 수지의 구체예로서는 또한, 히타치 카세이 코교(주) 제조의 「KS9100」, 「KS9300」(폴리실록산 골격 함유 폴리아미드이미드) 등의 변성 폴리아미드이미드를 들 수 있다.As a specific example of polyamideimide resin, Toyo Boseki Co., Ltd. product "Viromax HR11NN" and "Viromax HR16NN" are mentioned. Specific examples of the polyamideimide resin include modified polyamideimides such as "KS9100" and "KS9300" (polyamideimide containing polysiloxane skeleton) manufactured by Hitachi Kasei Kogyo Co., Ltd.

폴리에테르설폰 수지의 구체예로서는, 쓰미토모 카가쿠(주) 제조의 「PES5003P」 등을 들 수 있다.As a specific example of polyether sulfone resin, the Tsumitomo Chemical Co., Ltd. product "PES5003P" etc. are mentioned.

폴리설폰 수지의 구체예로서는, 솔베이 어드밴스드 폴리머즈(주) 제조의 폴리설폰 「P1700」, 「P3500」 등을 들 수 있다.As a specific example of polysulfone resin, Solvay Advanced Polymers Co., Ltd. product polysulfone "P1700", "P3500", etc. are mentioned.

그중에서도, 열가소성 수지로서는, 페녹시 수지, 폴리비닐 아세탈 수지가 바람직하다. 따라서 적합한 일 실시형태에 있어서, 열가소성 수지는, 페녹시 수지 및 폴리비닐 아세탈 수지로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 1종 이상을 포함한다.Especially, as a thermoplastic resin, a phenoxy resin and polyvinyl acetal resin are preferable. Therefore, in one suitable embodiment, the thermoplastic resin includes at least one selected from the group consisting of a phenoxy resin and a polyvinyl acetal resin.

본 발명의 수지 조성물이 열가소성 수지를 함유할 경우, 열가소성 수지의 함유량은, 수지 성분을 100질량%로 한 경우, 바람직하게는 0.5질량% 내지 15질량%, 보다 바람직하게는 0.6질량% 내지 12질량%, 더욱 바람직하게는 0.7질량% 내지 10질량%이다.When the resin composition of this invention contains a thermoplastic resin, when content of a thermoplastic resin makes a resin component 100 mass %, Preferably it is 0.5 mass % - 15 mass %, More preferably, it is 0.6 mass % - 12 mass % %, more preferably 0.7 mass % to 10 mass %.

<(H) 난연제><(H) Flame Retardant>

본 발명의 수지 조성물은 (H) 난연제를 함유하고 있어도 좋다. 난연제로서는, 예를 들면, 유기 인계 난연제, 유기계 질소 함유 인 화합물, 질소 화합물, 실리콘계 난연제, 금속 수산화물 등을 들 수 있다. 난연제는 1종 단독으로 사용하여도 좋고, 또는 2종 이상을 병용하여도 좋다.The resin composition of this invention may contain the (H) flame retardant. Examples of the flame retardant include an organic phosphorus flame retardant, an organic nitrogen-containing phosphorus compound, a nitrogen compound, a silicone flame retardant, and a metal hydroxide. A flame retardant may be used individually by 1 type, or may use 2 or more types together.

난연제로서는 시판품을 사용하여도 좋고, 예를 들면, 산코(주) 제조의 「HCA-HQ」, 다이하치 카가쿠 코교(주) 제조의 「PX-200」 등을 들 수 있다.A commercial item may be used as a flame retardant, For example, "HCA-HQ" by Sanko Co., Ltd. product, "PX-200" by Daihachi Chemical Industry Co., Ltd., etc. are mentioned.

본 발명의 수지 조성물이 난연제를 함유하는 경우, 난연제의 함유량은 특별히 한정되지 않지만, 수지 성분을 100질량%로 한 경우, 바람직하게는 0.5질량% 내지 20질량%, 보다 바람직하게는 0.5질량% 내지 15질량%, 더욱 바람직하게는 0.5질량% 내지 10질량%가 더욱 바람직하다.When the resin composition of the present invention contains a flame retardant, the content of the flame retardant is not particularly limited, but when the resin component is 100% by mass, preferably 0.5% by mass to 20% by mass, more preferably 0.5% by mass to 15 mass %, More preferably, 0.5 mass % - 10 mass % are still more preferable.

<(I) 유기 충전재><(I) organic filler>

본 발명의 수지 조성물은 (I) 유기 충전재를 함유하고 있어도 좋다. 유기 충전재로서는, 프린트 배선판의 절연층을 형성할 때에 사용할 수 있는 임의의 유기 충전재를 사용해도 좋고, 예를 들면, 고무 입자, 폴리아미드 미립자, 실리콘 입자 등을 들 수 있다.The resin composition of this invention may contain the (I) organic filler. As an organic filler, you may use arbitrary organic fillers which can be used when forming the insulating layer of a printed wiring board, For example, a rubber particle, polyamide microparticles|fine-particles, a silicone particle, etc. are mentioned.

고무 입자로서는 시판품을 사용하여도 좋고, 예를 들면, 다우 케미컬 닛폰(주) 제조의 「EXL2655」, 아이카 코교(주) 제조의 「AC3816N」 등을 들 수 있다.A commercial item may be used as a rubber particle, for example, "EXL2655" by Dow Chemical Nippon Co., Ltd., "AC3816N" by Aika Kogyo Co., Ltd., etc. are mentioned.

본 발명의 수지 조성물이 유기 충전재를 함유하는 경우, 유기 충전재의 함유량은, 수지 성분을 100질량%로 한 경우, 바람직하게는 0.1질량% 내지 20질량%, 보다 바람직하게는 0.2질량% 내지 10질량%, 더욱 바람직하게는 0.3질량% 내지 5질량%, 또는 0.5질량% 내지 3질량%이다.When the resin composition of this invention contains an organic filler, when content of an organic filler makes a resin component 100 mass %, Preferably it is 0.1 mass % - 20 mass %, More preferably, 0.2 mass % - 10 mass % %, more preferably 0.3 mass % to 5 mass %, or 0.5 mass % to 3 mass %.

<(J) 기타 첨가제><(J) Other additives>

본 발명의 수지 조성물은, 또한 필요에 따라 기타 첨가제를 포함하고 있어도 좋고, 이러한 기타 첨가제로서는, 예를 들면, 유기 구리 화합물, 유기 아연 화합물 및 유기 코발트 화합물 등의 유기 금속 화합물, 및 증점제, 소포제, 레벨링제, 밀착성 부여제, 및 착색제 등의 수지 첨가제 등을 들 수 있다.The resin composition of the present invention may further contain other additives as necessary. Examples of such other additives include organometallic compounds such as organocopper compounds, organozinc compounds and organocobalt compounds, thickeners, antifoaming agents, Resin additives, such as a leveling agent, an adhesion-imparting agent, and a coloring agent, etc. are mentioned.

본 발명의 수지 조성물은, 유전 정접이 낮고 또한 도금 밀착성 및 하지 밀착성이 우수한 절연층을 형성할 수 있고, 또한, 상용성, 용융 점도도 양호하다. 따라서 본 발명의 수지 조성물은, 프린트 배선판의 절연층을 형성하기 위한 수지 조성물(프린트 배선판의 절연층용 수지 조성물)로서 적합하게 사용할 수 있고, 프린트 배선판의 층간 절연층을 형성하기 위한 수지 조성물(프린트 배선판의 층간 절연층용 수지 조성물)로서 보다 적합하게 사용할 수 있다. 또한, 본 발명의 수지 조성물은, 부품 매립성이 양호한 절연층을 형성하므로, 프린트 배선판이 부품 내장 회로판인 경우에도 적합하게 사용할 수 있다.The resin composition of this invention has a low dielectric loss tangent, and can form the insulating layer excellent in plating adhesiveness and base|substrate adhesiveness, and compatibility and melt viscosity are also favorable. Therefore, the resin composition of this invention can be used suitably as a resin composition for forming the insulating layer of a printed wiring board (resin composition for insulating layers of a printed wiring board), The resin composition for forming the interlayer insulating layer of a printed wiring board (printed wiring board) of the resin composition for an interlayer insulating layer) can be used more suitably. Moreover, since the resin composition of this invention forms an insulating layer with good component embedding property, when a printed wiring board is a component built-in circuit board, it can be used suitably.

[접착 필름][Adhesive Film]

본 발명의 접착 필름은, 지지체와, 당해 지지체 위에 형성된, 본 발명의 수지 조성물을 포함하는 수지 조성물층을 갖는다.The adhesive film of this invention has a support body and the resin composition layer formed on the said support body and containing the resin composition of this invention.

수지 조성물층의 두께는, 바람직하게는 900㎛ 이하, 보다 바람직하게는 800㎛ 이하, 더욱 바람직하게는 700㎛ 이하, 보다 더 바람직하게는 600㎛ 이하이다. 특히 본 발명은 도금 침투 깊이를 작게 억제할 수 있기 때문에, 30㎛ 이하가 바람직하고, 20㎛ 이하가 보다 바람직하고, 10㎛ 이하가 더욱 바람직하다. 수지 조성물층의 두께의 하한은 특별히 한정되지 않지만, 통상 1㎛ 이상, 1.5㎛ 이상, 2㎛ 이상 등으로 할 수 있다.The thickness of a resin composition layer becomes like this. Preferably it is 900 micrometers or less, More preferably, it is 800 micrometers or less, More preferably, it is 700 micrometers or less, More preferably, it is 600 micrometers or less. Since especially this invention can suppress the plating penetration depth small, 30 micrometers or less are preferable, 20 micrometers or less are more preferable, and 10 micrometers or less are still more preferable. Although the lower limit of the thickness of a resin composition layer is not specifically limited, Usually, it can be 1 micrometer or more, 1.5 micrometers or more, 2 micrometers or more.

지지체로서는, 예를 들면, 플라스틱 재료로 이루어진 필름, 금속박, 이형지를 들 수 있고, 플라스틱 재료로 이루어진 필름, 금속박이 바람직하다.As a support body, the film which consists of a plastic material, metal foil, and a release paper are mentioned, for example, The film which consists of a plastic material, and metal foil are preferable.

지지체로서 플라스틱 재료로 이루어진 필름을 사용하는 경우, 플라스틱 재료로서는, 예를 들면, 폴리에틸렌 테레프탈레이트(이하 「PET」라고 약칭하는 경우가 있음), 폴리에틸렌 나프탈레이트(이하 「PEN」이라고 약칭하는 경우가 있음) 등의 폴리에스테르, 폴리카보네이트(이하 「PC」라고 약칭하는 경우가 있음), 폴리메틸 메타크릴레이트(PMMA) 등의 아크릴, 환상 폴리올레핀, 트리아세틸 셀룰로스(TAC), 폴리에테르 설파이드(PES), 폴리에테르 케톤, 폴리이미드 등을 들 수 있다. 그 중에서도, 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 폴리에틸렌 나프탈레이트가 바람직하고, 저렴한 폴리에틸렌 테레프탈레이트가 특히 바람직하다.When a film made of a plastic material is used as the support, the plastic material is, for example, polyethylene terephthalate (hereinafter sometimes abbreviated as “PET”), polyethylene naphthalate (hereinafter sometimes abbreviated as “PEN”). ), polyester such as polycarbonate (hereinafter sometimes abbreviated as "PC"), acrylic such as polymethyl methacrylate (PMMA), cyclic polyolefin, triacetyl cellulose (TAC), polyether sulfide (PES), Polyether ketone, polyimide, etc. are mentioned. Among them, polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate are preferable, and inexpensive polyethylene terephthalate is particularly preferable.

지지체로서 금속박을 사용하는 경우, 금속박으로서는, 예를 들면, 구리박, 알루미늄박 등을 들 수 있고, 구리박이 바람직하다. 구리박으로서는, 구리의 단금속으로 이루어진 박을 사용하여도 좋고, 구리와 다른 금속(예를 들면, 주석, 크로뮴, 은, 마그네슘, 니켈, 지르코늄, 규소, 티탄 등)과의 합금으로 이루어진 박을 사용하여도 좋다.When using metal foil as a support body, as metal foil, copper foil, aluminum foil, etc. are mentioned, for example, Copper foil is preferable. As the copper foil, a foil made of a single metal of copper may be used, or a foil made of an alloy of copper and another metal (eg, tin, chromium, silver, magnesium, nickel, zirconium, silicon, titanium, etc.) may be used.

지지체는, 수지 조성물층과 접합하는 면에 매트 처리, 코로나 처리, 대전방지 처리를 실시하여도 좋다.The support may be subjected to mat treatment, corona treatment, or antistatic treatment on the surface to be joined to the resin composition layer.

또한, 지지체로서는, 수지 조성물층과 접합하는 면에 이형층을 갖는 이형층 부착 지지체를 사용하여도 좋다. 이형층 부착 지지체의 이형층에 사용하는 이형제로서는, 예를 들면, 알키드 수지, 폴리올레핀 수지, 우레탄 수지, 및 실리콘 수지로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 1종 이상의 이형제를 들 수 있다. 이형층 부착 지지체는 시판품을 사용하여도 좋고, 예를 들면, 알키드 수지계 이형제를 주성분으로 하는 이형층을 갖는 PET 필름인, 린텍(주) 제조의 「SK-1」, 「AL-5」, 「AL-7」, 토레(주) 제조 「루미러 T6AM」 등을 들 수 있다.Moreover, as a support body, you may use the support body with a mold release layer which has a mold release layer in the surface to join with a resin composition layer. As a mold release agent used for the mold release layer of a support body with a mold release layer, 1 or more types of mold release agents are mentioned from the group which consists of an alkyd resin, a polyolefin resin, a urethane resin, and a silicone resin, for example. A commercial item may be used for the support body with a release layer, For example, Lintec Co., Ltd. product which is a PET film which has a release layer which has an alkyd resin type release agent as a main component, "SK-1", "AL-5", " AL-7", Toray Co., Ltd. product "Lumirer T6AM", etc. are mentioned.

지지체의 두께로서는 특별히 한정되지 않지만, 5㎛ 내지 75㎛의 범위가 바람직하고, 10㎛ 내지 60㎛의 범위가 보다 바람직하다. 또한, 이형층 부착 지지체를 사용할 경우, 이형층 부착 지지체 전체의 두께가 상기 범위인 것이 바람직하다.Although it does not specifically limit as thickness of a support body, The range of 5 micrometers - 75 micrometers is preferable, and the range of 10 micrometers - 60 micrometers is more preferable. Moreover, when using a support body with a mold release layer, it is preferable that the thickness of the whole support body with a mold release layer is the said range.

접착 필름은, 예를 들면, 유기 용제에 수지 조성물을 용해한 수지 바니시를 조제하고, 이 수지 바니시를, 다이 코터 등을 사용하여 지지체 위에 도포하고, 또한 건조시켜서 수지 조성물층을 형성시킴으로써 제조할 수 있다.The adhesive film can be produced by, for example, preparing a resin varnish in which a resin composition is dissolved in an organic solvent, applying this resin varnish to a support using a die coater, etc., and drying it to form a resin composition layer. .

유기 용제로서는, 예를 들면, 아세톤, 메틸에틸케톤(MEK) 및 사이클로헥산온 등의 케톤류, 아세트산에틸, 아세트산부틸, 셀로솔브아세테이트, 프로필렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트 및 카르비톨아세테이트 등의 아세트산 에스테르류, 셀로솔브 및 부틸카르비톨 등의 카르비톨류, 톨루엔 및 크실렌 등의 방향족 탄화수소류, 디메틸포름아미드, 디메틸아세트아미드(DMAc) 및 N-메틸피롤리돈 등의 아미드계 용매 등을 들 수 있다. 유기 용제는 1종 단독으로 사용하여도 좋고, 또는 2종 이상을 조합하여 사용하여도 좋다.Examples of the organic solvent include ketones such as acetone, methyl ethyl ketone (MEK) and cyclohexanone; acetate esters such as ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate and carbitol acetate; carbitols such as cellosolve and butylcarbitol; aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene; and amide solvents such as dimethylformamide, dimethylacetamide (DMAc) and N-methylpyrrolidone. The organic solvent may be used individually by 1 type, or may be used in combination of 2 or more type.

건조는, 가열, 열풍 분사 등의 공지의 방법으로 실시해도 좋다. 건조 조건은 특별히 한정되지 않지만, 수지 조성물층 중의 유기 용제의 함유량이 10질량% 이하, 바람직하게는 5질량% 이하가 되도록 건조시킨다. 수지 바니시 중의 유기 용제의 비점에 따라서도 다르지만, 예를 들면, 30질량% 내지 60질량%의 유기 용제를 포함하는 수지 바니시를 사용하는 경우, 50℃ 내지 150℃에서 3분간 내지 10분간 건조시킴으로써, 수지 조성물층을 형성할 수 있다.You may perform drying by well-known methods, such as a heating and hot air spraying. Although drying conditions are not specifically limited, Content of the organic solvent in a resin composition layer is 10 mass % or less, Preferably it is made to dry so that it may become 5 mass % or less. Depending on the boiling point of the organic solvent in the resin varnish, for example, when using a resin varnish containing 30% by mass to 60% by mass of an organic solvent, drying at 50°C to 150°C for 3 minutes to 10 minutes, A resin composition layer can be formed.

접착 필름에 있어서, 수지 조성물층의 지지체와 접합하고 있지 않은 면(즉, 지지체와는 반대측의 면)에는, 지지체에 준한 보호 필름을 추가로 적층할 수 있다. 보호 필름의 두께는, 특별히 한정되는 것은 아니지만, 예를 들면, 1㎛ 내지 40㎛이다. 보호 필름을 적층함으로써, 수지 조성물층의 표면으로의 먼지 등의 부착이나 흠집을 방지할 수 있다. 접착 필름은, 롤 형상으로 권취하여 보존하는 것이 가능하다. 접착 필름이 보호 필름을 갖는 경우, 보호 필름을 벗김으로써 사용 가능해진다.An adhesive film WHEREIN: On the surface which is not joined to the support body of a resin composition layer (that is, the surface on the opposite side to a support body), the protective film according to a support body can be laminated|stacked further. Although the thickness of a protective film is not specifically limited, For example, they are 1 micrometer - 40 micrometers. By laminating|stacking a protective film, adhesion of dust, etc. to the surface of a resin composition layer, and a flaw can be prevented. The adhesive film can be wound and stored in roll shape. When an adhesive film has a protective film, it becomes usable by peeling off a protective film.

접착 필름에서의 수지 조성물층(또는 수지 조성물)의 최저 용융 점도는, 수지 조성물층이 얇더라도 두께를 안정적으로 유지한다는 관점에서, 1000poise 이상이 바람직하고, 1500poise 이상이 보다 바람직하고, 2000poise 이상이 더욱 바람직하다. 최저 용융 점도의 상한은, 양호한 회로 매립성을 얻는 관점에서, 바람직하게는 12000poise 이하, 보다 바람직하게는 10000poise 이하, 더욱 바람직하게는 8000poise 이하, 5000poise 이하이다.The minimum melt viscosity of the resin composition layer (or resin composition) in the adhesive film is preferably 1000 poise or more, more preferably 1500 poise or more, and further desirable. The upper limit of the minimum melt viscosity is preferably 12000 poise or less, more preferably 10000 poise or less, still more preferably 8000 poise or less and 5000 poise or less from the viewpoint of obtaining good circuit embedding properties.

수지 조성물층의 최저 용융 점도란, 수지 조성물층의 수지가 용융했을 때에 수지 조성물층이 나타내는 최저의 점도를 말한다. 상세하게는, 일정한 승온 속도로 수지 조성물층을 가열해서 수지를 용융시키면, 초기의 단계는 용융 점도가 온도상승과 함께 저하되고, 그 후, 어느 정도를 넘으면 온도 상승과 함께 용융 점도가 상승한다. 최저 용융 점도란, 이러한 극소점의 용융 점도를 말한다. 수지 조성물층의 최저 용융 점도는, 동적 점탄성법에 의해 측정할 수 있고, 예를 들면, 후술하는 <수지 조성물층의 최저 용융 점도의 측정>에 기재된 방법에 따라서 측정할 수 있다.The minimum melt viscosity of a resin composition layer means the minimum viscosity which a resin composition layer shows when resin of a resin composition layer melts. Specifically, when the resin composition layer is heated at a constant temperature increase rate to melt the resin, in the initial stage, the melt viscosity decreases with the temperature rise, and then, when it exceeds a certain level, the melt viscosity rises with the temperature rise. The minimum melt viscosity means the melt viscosity of such a minimum point. The minimum melt viscosity of the resin composition layer can be measured by a dynamic viscoelasticity method, for example, according to the method described in <Measurement of the minimum melt viscosity of a resin composition layer> mentioned later.

본 발명의 접착 필름에서의 수지 조성물층(또는 수지 조성물)은, 우수한 상용성을 나타낸다. 즉, 본 발명의 접착 필름에서의 수지 조성물층(또는 수지 조성물)은 50㎛ 이상의 조립(粗粒)이 석출되지 않는다. 상용성은, 후술하는 <상용성의 평가>에 기재된 방법에 따라서 측정할 수 있다.The resin composition layer (or resin composition) in the adhesive film of this invention shows the outstanding compatibility. That is, the resin composition layer (or resin composition) in the adhesive film of this invention does not precipitate 50 micrometers or more of granules. Compatibility can be measured according to the method as described in <Evaluation of compatibility> mentioned later.

본 발명의 접착 필름(또는 수지 조성물)을 사용하여 형성된 절연층은, 낮은 유전 정접을 나타낸다. 고주파에서의 발열 방지, 신호 지연 및 신호 노이즈의 저감의 관점에서, 유전 정접은 0.010 이하가 바람직하고, 0.009 이하가 보다 바람직하고, 0.008 이하, 0.007 이하, 0.006 이하, 또는 0.005 이하가 더욱 바람직하다. 유전 정접의 하한은 낮을수록 바람직하지만, 통상 0.001 이상 등으로 할 수 있다. 유전 정접은, 후술하는 <유전 정접의 평가>에 기재된 방법에 따라서 측정할 수 있다.The insulating layer formed using the adhesive film (or resin composition) of this invention shows a low dielectric loss tangent. From the viewpoint of preventing heat generation at high frequencies, reducing signal delay and signal noise, the dielectric loss tangent is preferably 0.010 or less, more preferably 0.009 or less, and still more preferably 0.008 or less, 0.007 or less, 0.006 or less, or 0.005 or less. Although the lower limit of the dielectric loss tangent is so preferable that it is low, it can be normally set as 0.001 or more, etc. The dielectric loss tangent can be measured according to the method described in <Evaluation of dielectric loss tangent> described later.

본 발명의 접착 필름(또는 수지 조성물)을 사용하여 형성된 절연층은 양호한 도금 밀착성을 나타낸다. 즉 양호한 도금 필(peel) 강도를 나타내는 절연층을 형성한다. 도금 필 강도는, 바람직하게는 1.5kgf/cm 이하, 보다 바람직하게는 1kgf/cm 이하, 더욱 바람직하게는 0.5kgf/cm 이하이다. 상한은 0.1kgf/cm 이상 등으로 할 수 있다. 도금 필 강도의 평가는, 후술하는 [도금 밀착성의 측정]에 기재된 방법에 따라서 측정할 수 있다.The insulating layer formed using the adhesive film (or resin composition) of this invention shows good plating adhesiveness. That is, an insulating layer exhibiting good plating peel strength is formed. Plating peeling strength becomes like this. Preferably it is 1.5 kgf/cm or less, More preferably, it is 1 kgf/cm or less, More preferably, it is 0.5 kgf/cm or less. The upper limit can be 0.1 kgf/cm or more. Evaluation of plating peeling strength can be measured according to the method as described in [Measurement of plating adhesiveness] mentioned later.

본 발명의 접착 필름(또는 수지 조성물)을 사용하여 형성된 절연층은 양호한 하지 밀착성을 나타낸다. 즉 양호한 하지 필 강도를 나타내는 절연층을 형성한다. 하지 필 강도는, 바람직하게는 1.5kgf/cm 이하, 보다 바람직하게는 1kgf/cm 이하, 더욱 바람직하게는 0.5kgf/cm 이하이다. 상한은 0.1kgf/cm 이상 등으로 할 수 있다. 하지 밀착성의 평가는, 후술하는 [하지 밀착성의 측정]에 기재된 방법에 따라서 측정할 수 있다.An insulating layer formed using the adhesive film (or resin composition) of the present invention exhibits good adhesion to the underlying substrate. That is, the insulating layer which shows favorable base peeling strength is formed. Base peeling strength becomes like this. Preferably it is 1.5 kgf/cm or less, More preferably, it is 1 kgf/cm or less, More preferably, it is 0.5 kgf/cm or less. The upper limit can be 0.1 kgf/cm or more. The evaluation of the adhesion to the substrate can be measured according to the method described in [Measurement of the adhesion to the substrate] described later.

본 발명의 수지 조성물을 사용하여 프리프레그를 형성해도 좋다. 시트상 섬유 기재에 본 발명의 수지 조성물을 함침시켜서 프리프레그를 형성할 수 있다. 따라서, 일 실시형태에 있어서, 본 발명의 프리프레그는, 시트상 섬유 기재와, 당해 시트상 섬유 기재에 함침된 본 발명의 수지 조성물을 포함한다.You may form a prepreg using the resin composition of this invention. A prepreg can be formed by impregnating the resin composition of this invention in a sheet-like fiber base material. Therefore, in one embodiment, the prepreg of this invention contains the sheet-like fiber base material and the resin composition of this invention impregnated in the said sheet-like fiber base material.

프리프레그에 사용하는 시트상 섬유 기재는 특별히 한정되지 않고, 글래스 클로스(glass cloth), 아라미드 부직포, 액정 폴리머 부직포 등의 프리프레그용 기재로서 상용되어 있는 것을 사용할 수 있다. 프린트 배선판의 박형화의 관점에서, 시트상 섬유 기재의 두께는 바람직하게는 900㎛ 이하이고, 보다 바람직하게는 800㎛ 이하, 더욱 바람직하게는 700㎛ 이하, 보다 더 바람직하게는 600㎛ 이하이다. 특히 본 발명은 도금 침투 깊이를 작게 억제할 수 있기 때문에, 30㎛ 이하가 바람직하고, 20㎛ 이하가 보다 바람직하고, 10㎛ 이하가 더욱 바람직하다. 시트상 섬유 기재의 두께의 하한은 특별히 한정되지 않지만, 통상 1㎛ 이상, 1.5㎛ 이상, 2㎛ 이상 등으로 할 수 있다.The sheet-like fiber base material used for the prepreg is not particularly limited, and those commonly used as the base material for prepregs, such as glass cloth, aramid nonwoven fabric, and liquid crystal polymer nonwoven fabric, can be used. From a viewpoint of thickness reduction of a printed wiring board, Preferably the thickness of a sheet-like fiber base material is 900 micrometers or less, More preferably, it is 800 micrometers or less, More preferably, it is 700 micrometers or less, More preferably, it is 600 micrometers or less. Since especially this invention can suppress the plating penetration depth small, 30 micrometers or less are preferable, 20 micrometers or less are more preferable, and 10 micrometers or less are still more preferable. Although the lower limit of the thickness of a sheet-like fiber base material is not specifically limited, Usually, it can be 1 micrometer or more, 1.5 micrometers or more, 2 micrometers or more.

프리프레그는, 핫멜트법, 솔벤트법 등의 공지의 방법에 의해 제조할 수 있다.A prepreg can be manufactured by well-known methods, such as a hot melt method and a solvent method.

프리프레그의 두께는, 상술한 접착 필름에서의 수지 조성물층과 같은 범위로 할 수 있다.The thickness of a prepreg can be made into the range similar to the resin composition layer in the adhesive film mentioned above.

[프린트 배선판][Printed wiring board]

본 발명의 프린트 배선판은, 본 발명의 수지 조성물의 경화물에 의해 형성된 절연층을 포함한다.The printed wiring board of this invention contains the insulating layer formed with the hardened|cured material of the resin composition of this invention.

상세하게는, 본 발명의 프린트 배선판은, 상술한 접착 필름을 사용하고, 하기 (Ⅰ) 및 (Ⅱ)의 공정을 포함하는 방법에 의해 제조할 수 있다.In detail, the printed wiring board of this invention can be manufactured by the method including the process of following (I) and (II) using the adhesive film mentioned above.

(Ⅰ) 내층 기판 위에, 접착 필름을, 당해 접착 필름의 수지 조성물층이 내층기판과 접합하도록 적층하는 공정(I) A step of laminating an adhesive film on an inner-layer substrate so that the resin composition layer of the adhesive film is bonded to the inner-layer substrate

(Ⅱ) 수지 조성물층을 열경화하여 절연층을 형성하는 공정(II) Step of thermosetting the resin composition layer to form an insulating layer

공정 (Ⅰ)에서 사용하는 「내층 기판」이란, 주로, 유리 에폭시 기판, 금속 기판, 폴리에스테르 기판, 폴리이미드기판, BT 레진 기판, 열경화형 폴리페닐렌 에테르 기판 등의 기판, 또는 당해 기판의 한 면 또는 양면에 패턴 가공된 도체층 (회로)이 형성된 회로 기판을 말한다. 또한 프린트 배선판을 제조할 때에, 추가로 절연층 및/또는 도체층이 형성되어야 할 중간 제조물의 내층 회로 기판도 본 발명에서 말하는 「내층 기판」에 포함된다. 프린트 배선판이 부품 내장 회로판인 경우, 부품을 내장한 내층 기판을 사용하면 좋다.The "inner layer substrate" used in step (I) is mainly a substrate such as a glass epoxy substrate, a metal substrate, a polyester substrate, a polyimide substrate, a BT resin substrate, a thermosetting polyphenylene ether substrate, or one of the substrates It refers to a circuit board in which a patterned conductor layer (circuit) is formed on one side or both sides. Moreover, when manufacturing a printed wiring board, the inner-layer circuit board of the intermediate|middle manufacture on which an insulating layer and/or a conductor layer should further be formed is also included in the "inner-layer board|substrate" referred to in this invention. When the printed wiring board is a circuit board with built-in components, an inner-layer board with built-in components may be used.

내층 기판과 접착 필름의 적층은, 예를 들면, 지지체측부터 접착 필름을 내층 기판에 가열 압착함으로써 행할 수 있다. 접착 필름을 내층 기판에 가열 압착하는 부재(이하, 「가열 압착 부재」라고도 함)로서는, 예를 들면, 가열된 금속판(SUS 경판 등) 또는 금속 롤(SUS 롤) 등을 들 수 있다. 또한, 가열 압착 부재를 접착 필름에 직접 프레스하는 것이 아니라, 내층 기판의 표면 요철에 접착 필름이 충분히 추종하도록, 내열 고무 등의 탄성재를 개재하여 프레스하는 것이 바람직하다.Lamination of the inner layer substrate and the adhesive film can be performed, for example, by thermocompression bonding the adhesive film to the inner layer substrate from the support side. As a member (hereinafter also referred to as "thermal compression member") which heat-compresses an adhesive film to an inner-layer board|substrate, a heated metal plate (SUS hard plate etc.) or a metal roll (SUS roll) etc. are mentioned, for example. In addition, it is preferable not to press the thermocompression-bonding member directly to the adhesive film, but to press through an elastic material, such as a heat-resistant rubber, so that an adhesive film may fully follow the surface unevenness|corrugation of an inner-layer board|substrate.

내층 기판과 접착 필름의 적층은, 진공 라미네이트법에 의해 실시해도 좋다. 진공 라미네이트법에 있어서, 가열 압착 온도는, 바람직하게는 60℃ 내지 160℃, 보다 바람직하게는 80℃ 내지 140℃의 범위이며, 가열 압착 압력은, 바람직하게는 0.098MPa 내지 1.77MPa, 보다 바람직하게는 0.29MPa 내지 1.47MPa의 범위이고, 가열 압착 시간은, 바람직하게는 20초간 내지 400초간, 보다 바람직하게는 30초간 내지 300초간의 범위이다. 적층은, 바람직하게는 압력 26.7hPa 이하의 감압 조건 하에서 실시한다.You may perform lamination|stacking of an inner-layer board|substrate and an adhesive film by the vacuum lamination method. In the vacuum lamination method, the thermocompression compression temperature is preferably in the range of 60°C to 160°C, more preferably 80°C to 140°C, and the thermocompression compression pressure is preferably 0.098 MPa to 1.77 MPa, more preferably is in the range of 0.29 MPa to 1.47 MPa, and the heat compression time is preferably in the range of 20 seconds to 400 seconds, more preferably in the range of 30 seconds to 300 seconds. Lamination|stacking is preferably performed under reduced pressure conditions of pressure 26.7 hPa or less.

적층은, 시판의 진공 라미네이터에 의해 행할 수 있다. 시판의 진공 라미네이트로서는, 예를 들면, (주)메이키 세사쿠쇼 제조의 진공 가압식 라미네이터, 닛코 머티리얼즈(주) 제조의 베큠 어플리케이터 등을 들 수 있다.Lamination can be performed with a commercially available vacuum laminator. As a commercially available vacuum lamination, the vacuum pressurization laminator by the Meiki Sesakusho Co., Ltd. product, the vacuum applicator by the Nikko Materials Co., Ltd. product, etc. are mentioned, for example.

적층 후에, 상압 하(대기압 하), 예를 들면, 가열 압착 부재를 지지체측부터 프레스함으로써, 적층된 접착 필름의 평활화 처리를 행하여도 좋다. 평활화 처리의 프레스 조건은, 상기 적층의 가열 압착 조건과 동일한 조건으로 할 수 있다. 평활화 처리는, 시판의 라미네이터에 의해 행할 수 있다. 한편, 적층과 평활화 처리는, 상기의 시판의 진공 라미네이터를 사용하여 연속적으로 행하여도 좋다.After lamination, a smoothing treatment of the laminated adhesive film may be performed under normal pressure (under atmospheric pressure), for example, by pressing the thermocompression-bonding member from the support side. The press conditions of the smoothing process can be made into the same conditions as the thermocompression-bonding conditions of the said lamination|stacking. A smoothing process can be performed with a commercially available laminator. In addition, you may perform lamination|stacking and a smoothing process continuously using said commercially available vacuum laminator.

지지체는 공정 (Ⅰ)과 공정 (Ⅱ) 사이에 제거해도 좋고, 공정 (Ⅱ) 후에 제거해도 좋다.The support may be removed between the steps (I) and (II), or may be removed after the step (II).

공정 (Ⅱ)에 있어서, 수지 조성물층을 열경화하여 절연층을 형성한다.In step (II), the resin composition layer is thermosetted to form an insulating layer.

수지 조성물층의 열경화 조건은 특별히 한정되지 않고, 프린트 배선판의 절연층을 형성할 때에 통상 채용되는 조건을 사용해도 좋다.The thermosetting conditions of a resin composition layer are not specifically limited, When forming the insulating layer of a printed wiring board, you may use the conditions normally employ|adopted.

예를 들면, 수지 조성물층의 열경화 조건은, 수지 조성물의 종류 등에 따라서도 다르지만, 경화 온도는 120℃ 내지 240℃의 범위(바람직하게는 150℃ 내지 220℃의 범위, 보다 바람직하게는 170℃ 내지 200℃의 범위), 경화 시간은 5분간 내지 120분간의 범위(바람직하게는 10분간 내지 100분간, 보다 바람직하게는 15분간 내지 90분간)로 할 수 있다. For example, the thermosetting conditions of the resin composition layer vary depending on the type of resin composition, etc., but the curing temperature is in the range of 120°C to 240°C (preferably in the range of 150°C to 220°C, more preferably 170°C). to 200°C), and the curing time can be in the range of 5 minutes to 120 minutes (preferably 10 minutes to 100 minutes, more preferably 15 minutes to 90 minutes).

수지 조성물층을 열경화시키기 전에, 수지 조성물층을 경화 온도보다도 낮은 온도에서 예비 가열하여도 좋다. 예를 들면, 수지 조성물층을 열경화시키기에 앞서, 50℃ 이상 120℃ 미만(바람직하게는 60℃ 이상 110℃ 이하, 보다 바람직하게는 70℃ 이상 100℃ 이하)의 온도에서, 수지 조성물층을 5분간 이상(바람직하게는 5분간 내지 150분간, 보다 바람직하게는 15분간 내지 120분간) 예비 가열하여도 좋다.Before thermosetting the resin composition layer, the resin composition layer may be preheated at a temperature lower than the curing temperature. For example, prior to thermosetting the resin composition layer, at a temperature of 50 ° C or more and less than 120 ° C (preferably 60 ° C or more and 110 ° C or less, more preferably 70 ° C or more and 100 ° C or less), the resin composition layer is You may preheat for 5 minutes or more (preferably 5 minutes - 150 minutes, More preferably, 15 minutes - 120 minutes).

프린트 배선판을 제조할 때에는, (Ⅲ) 절연층에 천공하는 공정, (Ⅳ) 절연층을 조화 처리하는 공정, 및 (V) 도체층을 형성하는 공정 중 적어도 어느 하나를 추가로 실시해도 좋다. 이들 공정 (Ⅲ) 내지 (V)는, 프린트 배선판의 제조에 사용되는, 당업자에게 공지의 각종 방법에 따라서 실시해도 좋다. 또한, 지지체를 공정 (Ⅱ) 후에 제거할 경우, 당해 지지체의 제거는, 공정 (Ⅱ)와 공정 (Ⅲ) 사이, 공정 (Ⅲ)과 공정(Ⅳ) 사이, 또는 공정 (Ⅳ)과 공정(V) 사이에 실시해도 좋다.When manufacturing a printed wiring board, you may further implement at least any one of (III) the process of drilling in an insulating layer, (IV) the process of roughening an insulating layer, and (V) the process of forming a conductor layer. You may implement these processes (III) - (V) according to various methods well-known to those skilled in the art used for manufacture of a printed wiring board. In addition, when the support is removed after the step (II), the removal of the support is performed between the steps (II) and (III), between the steps (III) and (IV), or between the steps (IV) and the step (V). ) may be performed between

다른 실시형태에 있어서, 본 발명의 프린트 배선판은, 상술한 프리프레그를 사용하여 제조할 수 있다. 제조 방법은 기본적으로 접착 필름을 사용하는 경우와 동일하다.In another embodiment, the printed wiring board of this invention can be manufactured using the prepreg mentioned above. The manufacturing method is basically the same as in the case of using an adhesive film.

공정 (Ⅲ)은, 절연층에 천공하는 공정이며, 이로써 절연층에 비아홀, 스루홀 등의 홀을 형성할 수 있다. 공정 (Ⅲ)은, 절연층의 형성에 사용한 수지 조성물의 조성 등에 따라, 예를 들면, 드릴, 레이저, 플라즈마 등을 사용하여 실시해도 좋다. 홀의 치수나 형상은, 프린트 배선판의 디자인에 따라서 적절히 결정해도 좋다.Step (III) is a step of drilling holes in the insulating layer, whereby holes such as via holes and through holes can be formed in the insulating layer. Step (III) may be performed using, for example, a drill, laser, plasma, or the like, depending on the composition of the resin composition used for forming the insulating layer and the like. You may determine the dimension and shape of a hole suitably according to the design of a printed wiring board.

공정 (Ⅳ)은 절연층을 조화 처리하는 공정이다. 조화 처리의 수순, 조건은 특별히 한정되지 않고, 프린트 배선판의 절연층을 형성할 때에 통상 사용되는 공지의 수순, 조건을 채용할 수 있다. 예를 들면, 팽윤액에 의한 팽윤 처리, 산화제에 의한 조화 처리, 중화액에 의한 중화 처리를 이 순으로 실시하여 절연층을 조화 처리할 수 있다. 팽윤액으로서는 특별히 한정되지 않지만, 알칼리 용액, 계면 활성제 용액 등을 들 수 있고, 바람직하게는 알칼리 용액이고, 당해 알칼리 용액으로서는, 수산화나트륨 용액, 수산화칼륨 용액이 보다 바람직하다. 시판되고 있는 팽윤액으로서는, 예를 들면, 아토텍 재팬(주) 제조의 「스웰링·딥·시큐리간스 P」, 「스웰링·딥·시큐리간스 SBU」 등을 들 수 있다. 팽윤액에 의한 팽윤 처리는, 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 30℃ 내지 90℃의 팽윤액에 절연층을 1분간 내지 20분간 침지함으로써 행할 수 있다. 절연층의 수지의 팽윤을 적당한 레벨로 억제하는 관점에서, 40℃ 내지 80℃의 팽윤액에 경화체를 5분간 내지 15분간 침지시키는 것이 바람직하다. 산화제로서는, 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 수산화 나트륨의 수용액에 과망간산칼륨이나 과망간산나트륨을 용해시킨 알칼리성 과망간산 용액을 들 수 있다. 알칼리성 과망간산 용액 등의 산화제에 의한 조화 처리는, 60℃ 내지 80℃로 가열한 산화제 용액에 절연층을 10분간 내지 30분간 침지시켜서 행하는 것이 바람직하다. 또한, 알칼리성 과망간산 용액에서의 과망간산염의 농도는 5질량% 내지 10질량%가 바람직하다. 시판되고 있는 산화제로서는, 예를 들면, 아토텍 재팬(주) 제조의 「콘센트레이트 컴팩트 CP」, 「도징 솔루션·시큐리간스 P」 등의 알칼리성 과망간산 용액을 들 수 있다. 또한, 중화액으로서는 산성의 수용액이 바람직하고, 시판품으로서는, 예를 들면, 아토텍 재팬(주) 제조의 「리덕션 솔루션·시큐리간트 P」를 들 수 있다. 중화액에 의한 처리는, 산화제에 의한 조화 처리가 된 처리면을 30℃ 내지 80℃의 중화액에 5분간 내지 30분간 침지시킴으로써 행할 수 있다. 작업성 등의 점에서, 산화제에 의한 조화 처리가 된 대상물을, 40℃ 내지 70℃의 중화액에 5분간 내지 20분간 침지하는 방법이 바람직하다.Process (IV) is a process of roughening an insulating layer. The procedure and conditions of a roughening process are not specifically limited, When forming the insulating layer of a printed wiring board, the well-known procedure and conditions normally used are employable. For example, the insulating layer can be roughened by performing the swelling process by a swelling liquid, the roughening process by an oxidizing agent, and the neutralization process by a neutralizing liquid in this order. Although it does not specifically limit as a swelling liquid, An alkali solution, surfactant solution, etc. are mentioned, Preferably it is an alkali solution, As said alkali solution, sodium hydroxide solution and potassium hydroxide solution are more preferable. As a commercially available swelling liquid, "Swelling Deep Security P", "Swelling Deep Security SBU" etc. manufactured by Atotech Japan Co., Ltd. are mentioned, for example. Although the swelling process by a swelling liquid is not specifically limited, For example, it can perform by immersing an insulating layer in 30 degreeC - 90 degreeC swelling liquid for 1 minute - 20 minutes. From the viewpoint of suppressing the swelling of the resin of the insulating layer to an appropriate level, it is preferable to immerse the cured body in a swelling solution at 40°C to 80°C for 5 minutes to 15 minutes. Although it does not specifically limit as an oxidizing agent, For example, the alkaline permanganic acid solution which melt|dissolved potassium permanganate and sodium permanganate in the aqueous solution of sodium hydroxide is mentioned. It is preferable to perform the roughening process by oxidizing agents, such as an alkaline permanganic acid solution, by making the insulating layer immerse for 10 minutes - 30 minutes in the oxidizing agent solution heated to 60 degreeC - 80 degreeC. Moreover, as for the density|concentration of the permanganate in an alkaline permanganic acid solution, 5 mass % - 10 mass % are preferable. As a commercially available oxidizing agent, alkaline permanganic acid solutions, such as "Concentrate Compact CP" and "Dosing Solution Securiganth P" by Atotech Japan Co., Ltd., are mentioned, for example. In addition, an acidic aqueous solution is preferable as a neutralizing liquid, and as a commercial item, "Reduction Solution Secure P" manufactured by Atotech Japan Co., Ltd. is mentioned, for example. The treatment with the neutralizing solution can be performed by immersing the treated surface subjected to the roughening treatment with the oxidizing agent in a neutralizing solution at 30°C to 80°C for 5 minutes to 30 minutes. The method of immersing the target object roughened by the oxidizing agent from points, such as workability|operativity, in the neutralization liquid of 40 degreeC - 70 degreeC for 5 minutes - 20 minutes is preferable.

일 실시형태에 있어서, 조화 처리 후의 절연층 표면의 산술 평균 거칠기(Ra)는, 바람직하게는 280nm 이하, 보다 바람직하게는 250nm 이하, 더욱 바람직하게는 200nm 이하, 140nm 이하, 130nm 이하, 120nm 이하, 110nm 이하, 100nm 이하, 95nm 이하, 또는 90nm 이하이다. Ra값의 하한은 특별히 한정되지 않지만, 0.5nm 이상이 바람직하고 1nm 이상이 보다 바람직하다. 절연층 표면의 산술 평균 거칠기(Ra)는 비접촉형 표면 조도계를 사용하여 측정할 수 있다. 비접촉형 표면 조도계의 구체예로서는, 비코 인스트루먼츠사 제조의 「WYKO NT3300」을 들 수 있다.In one embodiment, the arithmetic mean roughness (Ra) of the surface of the insulating layer after roughening is preferably 280 nm or less, more preferably 250 nm or less, still more preferably 200 nm or less, 140 nm or less, 130 nm or less, 120 nm or less, 110 nm or less, 100 nm or less, 95 nm or less, or 90 nm or less. Although the lower limit of Ra value is not specifically limited, 0.5 nm or more is preferable and 1 nm or more is more preferable. The arithmetic mean roughness (Ra) of the surface of the insulating layer can be measured using a non-contact type surface roughness meter. As a specific example of a non-contact type surface roughness meter, "WYKO NT3300" by a Vico Instruments company is mentioned.

공정 (Ⅴ)는 도체층을 형성하는 공정이다.Step (V) is a step of forming a conductor layer.

도체층에 사용하는 도체 재료는 특별히 한정되지 않는다. 적합한 실시형태에서는, 도체층은, 금, 백금, 팔라듐, 은, 구리, 알루미늄, 코발트, 크로뮴, 아연, 니켈, 티탄, 텅스텐, 철, 주석 및 인듐으로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 1종 이상의 금속을 포함한다. 도체층은 단금속층이라도 합금층이라도 좋고, 합금층으로서는, 예를 들면, 상기의 그룹으로부터 선택되는 2종 이상의 금속의 합금(예를 들면, 니켈·크로뮴 합금, 구리·니켈 합금 및 구리·티탄 합금)으로 형성된 층을 들 수 있다. 그중에서도, 도체층 형성의 범용성, 비용, 패터닝의 용이성 등의 관점에서, 크로뮴, 니켈, 티탄, 알루미늄, 아연, 금, 팔라듐, 은 또는 구리의 단금속층, 또는 니켈·크로뮴 합금, 구리·니켈 합금, 구리·티탄 합금의 합금층이 바람직하고, 크로뮴, 니켈, 티탄, 알루미늄, 아연, 금, 팔라듐, 은 또는 구리의 단금속층, 또는 니켈·크로뮴 합금의 합금층이 보다 바람직하고, 구리의 단금속층이 더욱 바람직하다.The conductor material used for a conductor layer is not specifically limited. In a suitable embodiment, the conductor layer comprises at least one metal selected from the group consisting of gold, platinum, palladium, silver, copper, aluminum, cobalt, chromium, zinc, nickel, titanium, tungsten, iron, tin and indium. do. The conductor layer may be a single metal layer or an alloy layer, and the alloy layer is, for example, an alloy of two or more metals selected from the group described above (for example, a nickel/chromium alloy, a copper/nickel alloy, and a copper/titanium alloy). ) can be mentioned. Among them, from the viewpoint of versatility of conductor layer formation, cost, ease of patterning, etc., a single metal layer of chromium, nickel, titanium, aluminum, zinc, gold, palladium, silver or copper, or a nickel-chromium alloy, a copper-nickel alloy, An alloy layer of a copper/titanium alloy is preferable, a single metal layer of chromium, nickel, titanium, aluminum, zinc, gold, palladium, silver, or copper, or an alloy layer of a nickel/chromium alloy is more preferable, and the single metal layer of copper is more preferable more preferably.

도체층은, 단층 구조라도, 다른 종류의 금속 또는 합금으로 이루어진 단금속층 또는 합금층이 2층 이상 적층한 복층 구조라도 좋다. 도체층이 복층 구조인 경우, 절연층과 접하는 층은, 크로뮴, 아연 또는 티탄의 단금속층, 또는 니켈·크로뮴 합금의 합금층인 것이 바람직하다.The conductor layer may have a single layer structure or a multilayer structure in which two or more single metal layers or alloy layers made of different types of metals or alloys are laminated. When the conductor layer has a multilayer structure, the layer in contact with the insulating layer is preferably a single metal layer of chromium, zinc or titanium, or an alloy layer of a nickel-chromium alloy.

도체층의 두께는, 원하는 프린트 배선판의 디자인에 따르지만, 일반적으로 3㎛ 내지 35㎛, 바람직하게는 5㎛ 내지 30㎛이다.Although the thickness of a conductor layer depends on the design of a desired printed wiring board, it is 3 micrometers - 35 micrometers generally, Preferably it is 5 micrometers - 30 micrometers.

일 실시형태에 있어서, 도체층은 도금에 의해 형성해도 좋다. 예를 들면, 세미어디티브법, 풀 어디티브법 등의 종래 공지의 기술에 의해 절연층의 표면에 도금하여, 원하는 배선 패턴을 갖는 도체층을 형성할 수 있다. 이하, 도체층을 세미어디티브법으로 형성하는 예를 나타낸다.In one embodiment, the conductor layer may be formed by plating. For example, a conductor layer having a desired wiring pattern can be formed by plating on the surface of the insulating layer by a conventionally known technique such as a semi-additive method or a full additive method. Hereinafter, an example in which the conductor layer is formed by a semi-additive method is shown.

우선, 절연층의 표면에, 무전해 도금에 의해 도금 시드층을 형성한다. 이어서, 형성된 도금 시드층 위에, 원하는 배선 패턴에 대응하여 도금 시드층의 일부를 노출시키는 마스크 패턴을 형성한다. 노출된 도금 시드층 위에, 전해 도금에 의해 금속층을 형성한 후, 마스크 패턴을 제거한다. 그 후, 불필요한 도금 시드층을 에칭 등에 의해 제거하고, 원하는 배선 패턴을 갖는 도체층을 형성할 수 있다.First, a plating seed layer is formed on the surface of the insulating layer by electroless plating. Then, on the formed plating seed layer, a mask pattern for exposing a portion of the plating seed layer corresponding to a desired wiring pattern is formed. After forming a metal layer by electrolytic plating on the exposed plating seed layer, the mask pattern is removed. Thereafter, the unnecessary plating seed layer is removed by etching or the like, and a conductor layer having a desired wiring pattern can be formed.

[반도체 장치][Semiconductor device]

본 발명의 반도체 장치는 프린트 배선판을 포함한다. 본 발명의 반도체 장치는 본 발명의 프린트 배선판을 사용하여 제조할 수 있다.The semiconductor device of the present invention includes a printed wiring board. The semiconductor device of the present invention can be manufactured using the printed wiring board of the present invention.

반도체 장치로서는, 전기 제품(예를 들면, 컴퓨터, 휴대전화, 디지털 카메라 및 텔레비전 등) 및 탈것(예를 들면, 자동 이륜차, 자동차, 전차, 선박 및 항공기 등) 등에 제공되는 각종 반도체 장치를 들 수 있다.Examples of the semiconductor device include various semiconductor devices provided for electric products (eg, computers, mobile phones, digital cameras, televisions, etc.) and vehicles (eg, motorcycles, automobiles, trams, ships, aircraft, etc.). have.

본 발명의 반도체 장치는, 프린트 배선판의 도통 개소에, 부품(반도체 칩))을 실장함으로써 제조할 수 있다. 「도통 개소」란, 「프린트 배선판에서의 전기 신호를 전달하는 개소」로서, 그 장소는 표면이라도, 매립된 개소라도 어느 곳이라도 상관없다. 또한, 반도체 칩은 반도체를 재료로 하는 전기 회로 소자이면 특별히 한정되지 않는다.The semiconductor device of this invention can be manufactured by mounting a component (semiconductor chip) in the conduction|electrical_connection location of a printed wiring board. A "conduction location" is "a location through which an electric signal is transmitted in a printed wiring board", and the location may be any surface, a buried location, or any place. In addition, a semiconductor chip will not be specifically limited if it is an electric circuit element which uses a semiconductor as a material.

본 발명의 반도체 장치를 제조할 때의 반도체 칩의 실장 방법은, 반도체 칩이 유효하게 기능하기만 하면 특별히 한정되지 않지만, 구체적으로는, 와이어 본딩 실장 방법, 플립칩 실장 방법, 범프리스(bumpless) 빌드업층(BBUL)에 의한 실장 방법, 이방성 도전 필름(ACF)에 의한 실장 방법, 비도전성 필름(NCF)에 의한 실장 방법 등을 들 수 있다. 여기에서, 「범프리스 빌드업층(BBUL)에 의한 실장 방법」이란, 「반도체 칩을 프린트 배선판의 오목부에 직접 매립하여, 반도체 칩과 프린트 배선판 위의 배선을 접속시키는 실장 방법」을 말한다.The semiconductor chip mounting method for manufacturing the semiconductor device of the present invention is not particularly limited as long as the semiconductor chip functions effectively, and specifically, a wire bonding mounting method, a flip chip mounting method, and a bumpless method are used. The mounting method by a build-up layer (BBUL), the mounting method by an anisotropic conductive film (ACF), the mounting method by a nonelectroconductive film (NCF), etc. are mentioned. Here, "a mounting method using a bump-free build-up layer (BBUL)" refers to a "mounting method in which a semiconductor chip is directly embedded in a recess of a printed wiring board to connect the semiconductor chip and wiring on the printed wiring board".

[실시예][Example]

이하, 본 발명을 실시예에 의해 구체적으로 설명하겠지만, 본 발명은 이들 실시예에 한정되는 것은 아니다. 또한, 이하의 기재에서, 「부」 및 「%」는 별도 명시가 없는 한, 각각 「질량부」 및 「질량%」를 의미한다.Hereinafter, the present invention will be specifically described by way of Examples, but the present invention is not limited to these Examples. In the following description, "parts" and "%" mean "parts by mass" and "% by mass", respectively, unless otherwise specified.

[실시예 1][Example 1]

비페닐형 에폭시 수지(에폭시 당량 269, 니혼 카야쿠(주) 제조 「NC3000」) 40부를 솔벤트 나프타 25부에 교반하면서 가열 용해시키고, 그 후 실온으로까지 냉각하였다. 무기 충전재((주) 아도마텍스 제조 「SO-C2」, 평균 입자 직경 0.5㎛, 단위 표면적당의 카본량 0.38mg/㎡) 330부를 혼합하고, 3개 롤로 혼련하여 분산시켰다. 거기에, 활성 에스테르계 경화제 (DIC(주) 제조 「HPC-8000-65T」, 활성기당량 약 223의 불휘발분 65질량%의 톨루엔 용액) 92.3부, 비닐기를 갖는 수지(미츠비시 가스 카가쿠(주) 제조 「OPE-2St 2200」 불휘발분 60질량%의 톨루엔 용액) 25부, 인덴 쿠마론 수지(닛토 카가쿠(주) 제조 「H-100」) 15부, 경화 촉진제로서 4-디메틸아미노피리딘(DMAP)의 5질량%의 MEK 용액 2부를 혼합하고, 회전 믹서로 균일에 분산시켜 수지 바니시 1을 제작하였다.40 parts of biphenyl type epoxy resin (epoxy equivalent 269, Nippon Kayaku Co., Ltd. product "NC3000") was heat-dissolved while stirring 25 parts of solvent naphtha, and it cooled to room temperature after that. 330 parts of inorganic fillers ("SO-C2" manufactured by Adomatex Co., Ltd., average particle diameter of 0.5 µm, carbon amount per unit surface area of 0.38 mg/m 2 ) were mixed, kneaded with three rolls and dispersed. In addition, 92.3 parts of an active ester curing agent (“HPC-8000-65T” manufactured by DIC Co., Ltd., a toluene solution having an active group equivalent of about 223 and a nonvolatile content of 65% by mass), a resin having a vinyl group (Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd.) 25 parts of manufacture "OPE-2St 2200" nonvolatile matter 60 mass % toluene solution), 15 parts of indene coumarone resin ("H-100" manufactured by Nitto Chemical Co., Ltd.), 4-dimethylaminopyridine (DMAP) as a curing accelerator ) of 5 mass % MEK solution 2 parts were mixed, and it was made to disperse|distribute uniformly with a rotary mixer, and the resin varnish 1 was produced.

수지 바니시 1을, 알키드 수지계 이형 처리 부착 폴리에틸렌 테레프탈레이트 필름(린텍(주) 제조 「AL-5」, 두께 38㎛)의 이형면 위에, 건조 후의 수지 조성물층의 두께가 40㎛가 되도록 다이 코터로 균일하게 도포하고, 80 내지 110℃(평균 95℃)에서 5분간 건조하여, 접착 필름 1을 제작하였다.The resin varnish 1 was placed on the release surface of a polyethylene terephthalate film with an alkyd resin release treatment (“AL-5” manufactured by Lintec Co., Ltd., 38 µm in thickness) with a die coater so that the thickness of the resin composition layer after drying was 40 µm. It applied uniformly, and it dried at 80-110 degreeC (average 95 degreeC) for 5 minutes, and the adhesive film 1 was produced.

[실시예 2][Example 2]

실시예 1에 있어서, 비닐기를 갖는 수지(미츠비시 가스 카가쿠(주) 제조 「OPE-2St 2200」 불휘발분 60질량%의 톨루엔 용액)를, 비닐기를 갖는 수지(미츠비시 가스 카가쿠(주) 제조 「OPE-2St 1200」 불휘발분 60질량%의 톨루엔 용액)로 변경하였다. 이상의 사항 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여 수지 바니시 2 및 접착 필름 2를 제작하였다.In Example 1, the resin (Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd. "OPE-2St 2200" toluene solution of 60 mass % of nonvolatile matter) having a vinyl group was mixed with a resin having a vinyl group (manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd. " OPE-2St 1200" toluene solution of 60 mass % of non-volatile matter). Except for the above, in the same manner as in Example 1, a resin varnish 2 and an adhesive film 2 were produced.

[실시예 3][Example 3]

실시예 1에 있어서, 인덴 쿠마론 수지(닛토 카가쿠(주) 제조 「H-100」)를, 인덴 쿠마론 수지(닛토 카가쿠(주) 제조 「V-120S」)로 변경하였다. 이상의 사항 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여 수지 바니시 3 및 접착 필름 3을 제작하였다.In Example 1, indene coumarone resin ("H-100" manufactured by Nitto Chemical Co., Ltd.) was changed to indene coumarone resin ("V-120S" manufactured by Nitto Chemical Co., Ltd.). Except for the above, in the same manner as in Example 1, a resin varnish 3 and an adhesive film 3 were produced.

[실시예 4][Example 4]

실시예 1에 있어서, 인덴 쿠마론 수지(닛토 카가쿠(주) 제조 「H-100」)를, 인덴 쿠마론 수지(닛토 카가쿠(주) 제조 「V-120」)로 변경하였다. 이상의 사항 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여 수지 바니시 4 및 접착 필름 4를 제작하였다.In Example 1, indene coumarone resin ("H-100" manufactured by Nitto Chemical Co., Ltd.) was changed to indene coumarone resin ("V-120" manufactured by Nitto Chemical Co., Ltd.). Except for the above, it carried out similarly to Example 1, and produced the resin varnish 4 and the adhesive film 4.

[실시예 5][Example 5]

실시예 1에 있어서,In Example 1,

(1) 비닐기를 갖는 수지(미츠비시 가스 카가쿠(주) 제조 「OPE-2St 2200」 불휘발분 60질량%의 톨루엔 용액) 25부를, 비닐기를 갖는 수지(미츠비시 가스 카가쿠(주) 제조 「OPE-2St 2200」 불휘발분 60질량%의 톨루엔 용액) 8.3부, 및 비닐기를 갖는 수지(미츠비시 가스 카가쿠(주) 제조 「OPE-2St」 불휘발분 60질량%의 톨루엔 용액) 16.7부로 변경하고,(1) Resin having a vinyl group (Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd. "OPE-2St 2200" toluene solution of 60 mass % of nonvolatile matter) 25 parts of resin having a vinyl group (Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd. "OPE-" 2St 2200" toluene solution with a nonvolatile content of 60% by mass) 8.3 parts, and a resin having a vinyl group ("OPE-2St" manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd., a toluene solution with a nonvolatile content of 60% by mass) 16.7 parts;

(2) 인덴 쿠마론 수지(닛토 카가쿠(주) 제조 「H-100」)의 배합량을 15부에서 8부로 변경하였다.(2) The compounding quantity of indene coumarone resin ("H-100" manufactured by Nitto Chemical Co., Ltd.) was changed from 15 parts to 8 parts.

이상의 사항 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여 수지 바니시 5 및 접착 필름 5를 제작하였다.Except for the above, it carried out similarly to Example 1, and produced the resin varnish 5 and the adhesive film 5.

[실시예 6][Example 6]

실시예 1에 있어서,In Example 1,

(1) 비닐기를 갖는 수지(미츠비시 가스 카가쿠(주) 제조 「OPE-2St 2200」 불휘발분 60질량%의 톨루엔 용액)의 배합량을 25부에서 16.7부로 변경하고,(1) The compounding quantity of the resin (Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd. "OPE-2St 2200" nonvolatile matter 60 mass % toluene solution) having a vinyl group is changed from 25 parts to 16.7 parts,

(2) 인덴 쿠마론 수지(닛토 카가쿠(주) 제조 「H-100」)의 배합량을 15부에서 25부로 변경하였다.(2) The compounding quantity of indene coumarone resin ("H-100" manufactured by Nitto Chemical Co., Ltd.) was changed from 15 parts to 25 parts.

이상의 사항 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여 수지 바니시 6 및 접착 필름 6을 제작하였다.Except for the above, in the same manner as in Example 1, resin varnish 6 and adhesive film 6 were produced.

[비교예 1][Comparative Example 1]

실시예 1에 있어서,In Example 1,

(1) 비닐기를 갖는 수지(미츠비시 가스 카가쿠(주) 제조 「OPE-2St 2200」 불휘발분 60질량%의 톨루엔 용액)의 배합량을 25부에서 50부로 변경하고,(1) changing the compounding quantity of resin (Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd. "OPE-2St 2200" toluene solution of 60 mass % non-volatile matter) having a vinyl group from 25 parts to 50 parts,

(2) 인덴 쿠마론 수지(닛토 카가쿠(주) 제조 「H-100」)의 배합량을 15부에서 2부로 변경하였다.(2) The compounding quantity of indene coumarone resin ("H-100" manufactured by Nitto Chemical Co., Ltd.) was changed from 15 parts to 2 parts.

이상의 사항 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여 수지 바니시 7 및 접착 필름 7을 제작하였다.Except for the above, it carried out similarly to Example 1, and produced the resin varnish 7 and the adhesive film 7.

[비교예 2][Comparative Example 2]

실시예 1에 있어서,In Example 1,

(1) 비닐기를 갖는 수지(미츠비시 가스 카가쿠(주) 제조 「OPE-2St 2200」 불휘발분 60질량%의 톨루엔 용액)의 배합량을 25부에서 8.3부로 변경하고,(1) The compounding quantity of resin (Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd. "OPE-2St 2200" nonvolatile matter 60 mass % toluene solution) having a vinyl group is changed from 25 parts to 8.3 parts,

(2) 인덴 쿠마론 수지(닛토 카가쿠(주) 제조 「H-100」)의 배합량을 15부에서 34부로 변경하였다.(2) The compounding quantity of indene coumarone resin ("H-100" manufactured by Nitto Chemical Co., Ltd.) was changed from 15 parts to 34 parts.

이상의 사항 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여 수지 바니시 8 및 접착 필름 8을 제작하였다.Except for the above, it carried out similarly to Example 1, and produced the resin varnish 8 and the adhesive film 8.

[평가][evaluation]

<유전 정접의 평가><Evaluation of genetic loss tangent>

실시예 및 비교예에서 제작한 접착 필름을 190℃에서 90분간 열경화시켜, 지지체를 박리함으로써 시트상의 경화물을 수득하였다. 그 경화물을 길이 80mm, 폭 2mm로 잘라내어 평가 샘플로 하였다. 이 평가 샘플에 대하여 애질런트 테크놀로지스(Agilent Technologies)사 제조 HP8362B 장치를 사용하여 공동 공진 섭동법에 의해 측정 주파수 5.8GHz, 측정 온도 23℃에서 유전 정접을 측정하였다.The adhesive films produced in Examples and Comparative Examples were thermosetted at 190°C for 90 minutes, and the support was peeled to obtain a sheet-like cured product. The hardened|cured material was cut out to 80 mm in length and 2 mm in width, and it was set as the evaluation sample. With respect to this evaluation sample, the dielectric loss tangent was measured at a measurement frequency of 5.8 GHz and a measurement temperature of 23°C by the cavity resonance perturbation method using an HP8362B device manufactured by Agilent Technologies.

<수지 조성물층의 최저 용융 점도의 측정><Measurement of Minimum Melt Viscosity of Resin Composition Layer>

실시예 및 비교예에서 제작한 접착 필름의 수지 조성물층에 대하여, 동적 점탄성 측정 장치((주)U·B·M 제조 「Rheosol-G3000」)를 사용하여 용융 점도를 측정하였다. 시료 수지 조성물 1g에 대하여, 직경 18mm의 패럴렐 플레이트(parallel plate)를 사용하고, 개시 온도 60℃에서 200℃까지 승온 속도 5℃/분으로 승온하고, 측정 간격 온도 2.5℃, 진동수 1Hz, 변형 1deg의 측정 조건으로 동적 점탄성률을 측정하여, 최저 용융 점도(포이즈)를 산출하였다.About the resin composition layer of the adhesive film produced by the Example and the comparative example, melt viscosity was measured using the dynamic viscoelasticity measuring apparatus ("Rheosol-G3000" manufactured by U.B.M Co., Ltd.). With respect to 1 g of the sample resin composition, using a parallel plate having a diameter of 18 mm, the temperature was increased from the starting temperature of 60°C to 200°C at a heating rate of 5°C/min, the measurement interval temperature was 2.5°C, the frequency was 1Hz, and the strain was 1deg. The dynamic viscoelastic modulus was measured as measurement conditions, and the minimum melt viscosity (poise) was computed.

<상용성의 평가><Evaluation of compatibility>

실시예 및 비교예에서 제작한 접착 필름의 수지 조성물층 측을 현미경(하이록스(주) 제조 「DIGITAL MICROSCOPE KH-8700」)을 사용하여 관찰하고, 조립(粗粒)의 유무를 확인하여, 이하의 기준으로 평가하였다.The resin composition layer side of the adhesive films produced in Examples and Comparative Examples was observed using a microscope (“DIGITAL MICROSCOPE KH-8700” manufactured by Hyrox Co., Ltd.), and the presence or absence of granulation was checked, and the following was evaluated on the basis of

-상용성의 판정 기준--Criteria for compatibility-

○: 접착 필름의 수지 조성물층에 50㎛ 이상의 조립이 석출되어 있지 않다.(circle): 50 micrometers or more of granules did not precipitate in the resin composition layer of an adhesive film.

×: 접착 필름의 수지 조성물층에 50㎛ 이상의 조립이 석출되어 있다.x: 50 micrometers or more of granules are deposited in the resin composition layer of an adhesive film.

[도금 밀착성의 측정][Measurement of plating adhesion]

<평가 기판의 조제><Preparation of evaluation substrate>

(1) 내층 회로 기판의 하지 처리(1) Underlying treatment of inner-layer circuit board

내층 회로를 형성한 유리포 기재 에폭시 수지 양면 동장 적층판(구리박의 두께 18㎛, 기판의 두께 0.4mm, 파나소닉(주) 제조 「R1515A」)의 양면을, 맥크(주) 제조 「CZ8101」에 침지하고 1㎛ 에칭하여 구리 표면의 조화 처리를 행하였다.Both sides of a glass cloth base epoxy resin double-sided copper clad laminate (copper foil thickness 18 µm, substrate thickness 0.4 mm, Panasonic Co., Ltd. "R1515A") on which an inner-layer circuit was formed was immersed in "CZ8101" manufactured by Mack Co., Ltd. and 1 µm etched to roughen the copper surface.

(2) 접착 필름의 라미네이트 처리(2) Lamination of the adhesive film

실시예 및 비교예에서 제작한 접착 필름을, 배치식 진공 가압 라미네이터(메이키(주) 제조 「MVLP-500」)를 사용하여, 수지 조성물층이 내층 회로 기판과 접합하도록, 내층 회로 기판의 양면에 라미네이트 처리하였다. 라미네이트 처리는, 30초간 감압하여 기압을 13hPa 이하로 한 후, 100℃, 압력 0.74MPa로 30초간 압착함으로써 행하였다.The adhesive films produced in Examples and Comparative Examples were laminated using a batch-type vacuum pressure laminator (“MVLP-500” manufactured by Makey Co., Ltd.), so that the resin composition layer was bonded to the inner circuit board on both sides of the inner circuit board. laminated to After the lamination process was pressure-reduced for 30 second and air pressure was 13 hPa or less, it was performed by crimping|bonding at 100 degreeC and pressure 0.74 MPa for 30 second.

(3) 수지 조성물층의 경화(3) Hardening of the resin composition layer

라미네이트 처리된 접착 필름으로부터 지지체인 PET 필름을 박리하였다. 이어서, 80℃에서 30분간 예비 가열한 후, 170℃에서 30분간 수지 조성물층을 열경화하여, 내층 회로 기판의 양면 위에 경화물(절연층)을 형성하였다.The PET film as a support was peeled off from the laminated adhesive film. Then, after preheating at 80°C for 30 minutes, the resin composition layer was thermosetted at 170°C for 30 minutes to form a cured product (insulating layer) on both surfaces of the inner circuit board.

(4) 경화물의 조화 처리(4) roughening treatment of cured product

양면 위에 경화물이 형성된 내층 회로 기판을, 팽윤액(아토텍 재팬(주) 제조 「스웰링 딥·시큐리간트 P」, 디에틸렌글리콜 모노부틸에테르 함유의 수산화나트륨 수용액)에 60℃에서 10분간 침지하고, 이어서 조화액(아토텍 재팬(주) 제조 「콘센트레이트·컴팩트 P」, 과망간산 칼륨 농도 약 6질량%、수산화나트륨 농도 약 4질량%의 수용액)에 80℃에서 20분간 침지하고, 마지막으로 중화액(아토텍 재팬(주) 제조 「리덕션 솔루션·시큐리간트 P」, 황산 하이드록실아민 수용액)에 40℃에서 5분간 침지하였다. 이어서, 80℃에서 30분간 건조시켰다.An inner circuit board having a cured product formed on both sides is immersed in a swelling solution (Atotech Japan Co., Ltd. “Swelling Deep Secure P”, an aqueous sodium hydroxide solution containing diethylene glycol monobutyl ether) at 60° C. for 10 minutes. Then, it is immersed in the roughening solution (Atotech Japan Co., Ltd. "Concentrate Compact P", an aqueous solution having a potassium permanganate concentration of about 6% by mass and sodium hydroxide concentration of about 4% by mass) at 80° C. for 20 minutes, and finally It was immersed in the neutralization liquid (Atotech Japan Co., Ltd. product "reduction solution Securigant P", hydroxylamine sulfate aqueous solution) at 40 degreeC for 5 minutes. Then, it dried at 80 degreeC for 30 minutes.

(5) 도체층의 형성(5) Formation of conductor layer

세미어디티브법에 따라서, 경화물의 조화면에 도체층을 형성하였다. According to the semiadditive method, a conductor layer was formed on the roughened surface of the cured product.

즉, 조화 처리 후의 기판을, PdCl2를 포함하는 무전해 도금액에 40℃에서 5분간 침지한 후, 무전해 구리 도금액에 25℃에서 20분간 침지하였다. 이어서, 150℃에서 30분간 가열하여 어닐 처리를 행한 후, 에칭 레지스트를 형성하고, 에칭에 의해 패턴 형성하였다. 그 후, 황산구리 전해 도금을 행하여, 두께 30㎛의 도체층을 형성하였다. 어닐 처리를 200℃에서 60분간 행하여, 평가 기판을 수득하였다.That is, the substrate after the roughening treatment, the electroless containing PdCl 2 was dipped and then immersed for 5 minutes at 40 ℃ in the plating solution, electroless copper plating solution for 20 minutes at 25 ℃. Then, after heating at 150 degreeC for 30 minute(s) and performing annealing process, the etching resist was formed and it pattern-formed by etching. Then, copper sulfate electroplating was performed, and the 30-micrometer-thick conductor layer was formed. The annealing treatment was performed at 200 degreeC for 60 minutes, and the evaluation board|substrate was obtained.

<경화물 표면과 도체층과의 필 강도(도금 밀착성)의 측정><Measurement of Peel Strength (Plating Adhesiveness) Between the Surface of the Cured Product and the Conductor Layer>

평가 기판의 도체층에, 폭 10mm, 길이 100mm의 부분을 절개하고, 이 일단을 벗겨서 집기도구로 집고, 실온(25℃) 중에서, 50mm/분의 속도로 수직 방향으로 35mm를 박리했을 때의 하중(kgf/cm)을 측정하여, 필 강도를 구하였다. 측정에는, 인장 시험기((주)TSE 제조의 오토컴형 시험기 「AC-50C-SL」)를 사용하였다.A load when a portion of 10 mm in width and 100 mm in length is cut in the conductor layer of the evaluation substrate, this end is peeled off and picked up with a clamp, and 35 mm is peeled off in the vertical direction at a rate of 50 mm/min at room temperature (25° C.) (kgf/cm) was measured and the peel strength was calculated|required. A tensile tester (Autocom type tester "AC-50C-SL" manufactured by TSE Corporation) was used for the measurement.

[하지 밀착성의 측정][Measurement of lower extremity adhesion]

(1) 구리박의 하지 처리(1) Base treatment of copper foil

미츠이 킨조쿠코잔(주) 제조 3EC-III(전계 구리박, 35㎛)의 광택면을 맥크(주) 제조 맥크 엣치 본드 CZ-8101에 침지하여 구리 표면에 조화 처리(Ra 값=1㎛)를 행하여, 방청 처리(CL8300)를 실시하였다. 이 구리박을 CZ 구리박이라고 한다. 추가로, 130℃의 오븐에서 30분간 가열 처리하였다.The glossy surface of Mitsui Kinzokukozan Co., Ltd. 3EC-III (electric field copper foil, 35 μm) was immersed in MACETCH Bond CZ-8101 manufactured by MAC Co., Ltd., and roughening treatment (Ra value = 1 μm) was applied to the copper surface. Thus, a rust prevention treatment (CL8300) was performed. This copper foil is called CZ copper foil. Furthermore, it heat-processed in 130 degreeC oven for 30 minutes.

(2) 구리박의 라미네이트와 절연층 형성(2) Lamination of copper foil and formation of an insulating layer

상기 [도금 밀착성의 측정]의 「(2) 접착 필름의 라미네이트 처리」와 동일한 조작을 행하여, 지지체인 PET 필름을 박리한 기판을 준비하였다. 그 수지 조성물층 위에, 3EC-III의 CZ 구리박의 처리면을, 상기 [도금 밀착성의 측정]의 「(2) 접착 필름의 라미네이트 처리」와 동일한 조건으로 라미네이트하였다. 그리고, 190℃, 90분의 경화 조건으로 수지 조성물층을 경화하여 절연층을 형성함으로써, 샘플을 제작하였다.The same operation as "(2) Lamination of adhesive film" of the said [Measurement of plating adhesion] was performed, and the board|substrate which peeled the PET film which is a support body was prepared. On the resin composition layer, the treated surface of CZ copper foil of 3EC-III was laminated under the same conditions as in "(2) Lamination of adhesive film" in the above [Measurement of plating adhesion]. And the sample was produced by hardening|curing the resin composition layer on 190 degreeC, hardening conditions for 90 minutes, and forming an insulating layer.

(3) 구리박 박리 강도(하지 밀착성)의 측정(3) Measurement of copper foil peel strength (substrate adhesiveness)

제작한 샘플을 150×30mm의 소편(小片)으로 절단하였다. 소편의 구리박 부분에, 폭 10mm, 길이 100mm의 부분의 절개를, 커터를 이용해서 넣고, 구리박의 일단을 벗겨서 집기 도구((주)티에스이 제조, 오토컴형 시험기, AC-50C-SL)로 집고, 인스트론 만능 시험기를 이용하여, 실온 중에서, 50mm/분의 속도로 수직 방향으로 35mm를 박리하였을 때의 하중을 JIS C6481에 준거하여 측정하고, 「하지 밀착성」이라고 했다.The produced sample was cut into 150 x 30 mm small pieces. In the copper foil part of the small piece, an incision with a width of 10 mm and a length of 100 mm was inserted using a cutter, and one end of the copper foil was peeled off with a household tool (manufactured by TSE Co., Ltd., Autocom-type testing machine, AC-50C-SL). Using an Instron universal testing machine, the load at the time of peeling 35 mm in the vertical direction at a speed of 50 mm/min at room temperature was measured in accordance with JIS C6481, and was referred to as "substrate adhesiveness".

Figure 112017029183689-pat00009
Figure 112017029183689-pat00009

표 중, (A) 성분의 함유량, (B) 성분의 함유량, (C) 성분의 함유량, 및 (D) 성분의 함유량은, 수지 성분을 100질량%로 한 경우의 함유량을 나타낸다.In a table|surface, content of (A) component, content of (B) component, content of (C)component, and content of (D)component shows content at the time of making a resin component 100 mass %.

표로부터, (D) 성분을 소정량 함유하고, (C) 성분을 함유하는 실시예 1 내지6은, 상용성이 높고, 유전 정접 및 용융 점도가 우수하고, 또한 도금 밀착성 및 하지 밀착성도 우수한 것을 알 수 있다.From the table, it can be seen that Examples 1 to 6 containing component (D) in a predetermined amount and containing component (C) have high compatibility, excellent dielectric loss tangent and melt viscosity, and excellent plating adhesion and substrate adhesion. Able to know.

한편, (D) 성분의 함유량이 많은 비교예 2는, 최저 용융 점도가 낮아져, 하지 밀착성이 실시예 1 내지 6과 비교하여 떨어지는 것을 알 수 있다.On the other hand, as for the comparative example 2 with much content of (D)component, the minimum melt viscosity becomes low, and it turns out that base|substrate adhesiveness is inferior compared with Examples 1-6.

또한, (D) 성분의 함유량이 적은 비교예 1은, 상용성이 나빠서 접착 필름에 결정이 석출되어 버려, 최저 용융 점도를 측정할 수 없었다. 또한, 상용성이 나빠서 절연층을 형성할 수 없었고, 유전 정접, 도금 밀착성, 및 하지 밀착성을 측정할 수 없었다.Moreover, in the comparative example 1 with little content of (D)component, compatibility was bad, the crystal|crystallization precipitated on the adhesive film, and the minimum melt viscosity could not be measured. Further, the compatibility was poor, and the insulating layer could not be formed, and the dielectric loss tangent, plating adhesion, and substrate adhesion could not be measured.

Claims (11)

(A) 에폭시 수지, (B) 경화제, (C) 비닐기를 갖는 수지, 및 (D) 인덴 쿠마론 수지를 포함하는 수지 조성물로서,
(C) 성분의 함유량이, 수지 성분을 100질량%로 한 경우, 5질량% 내지 20질량%이고,
(D) 성분의 함유량이, 수지 성분을 100질량%로 한 경우, 5질량% 내지 20질량%이고,
(C) 성분은 하기 화학식 1로 표시되는 수지인, 수지 조성물.
[화학식 1]
Figure 112021103371721-pat00010

(상기 화학식 1에서, R1 내지 R6은 각각 독립적으로 수소 원자, 또는 탄소 원자수 1 내지 4의 알킬기를 나타내고, A는 하기 화학식 2 또는 하기 화학식 3으로 표시되는 기를 나타낸다.)
[화학식 2]
Figure 112021103371721-pat00011

(상기 화학식 2에서, E는 하기 화학식 E-1, E-2 또는 E-3을 나타낸다.)
[화학식 3]
Figure 112021103371721-pat00012

(상기 화학식 3에서, R7 내지 R14는 각각 독립적으로 수소 원자, 탄소 원자수 6 이하의 알킬기 또는 페닐기를 나타내고, E는 하기 화학식 E-1, E-2 또는 E-3을 나타내며, a, b는 적어도 한쪽이 0이 아닌 0 내지 100의 정수를 나타낸다.)
[화학식 4]
[화학식 E-1]
Figure 112021103371721-pat00013

[화학식 E-2]
Figure 112021103371721-pat00014

[화학식 E-3]
Figure 112021103371721-pat00015

(상기 화학식 E-1 내지 E-3에서, R15 내지 R34는 각각 독립적으로 수소 원자, 탄소 원자수 6 이하의 알킬기, 또는 페닐기를 나타내며, G는 탄소 원자수 20 이하의 직쇄상, 분기상 또는 환상의 2가의 탄화수소기를 나타낸다.)
A resin composition comprising (A) an epoxy resin, (B) a curing agent, (C) a resin having a vinyl group, and (D) an indene coumarone resin,
(C) When content of a component makes a resin component 100 mass %, it is 5 mass % - 20 mass %,
(D) When content of a component makes a resin component 100 mass %, it is 5 mass % - 20 mass %,
(C) The component is a resin represented by the following formula (1), the resin composition.
[ Formula 1 ]
Figure 112021103371721-pat00010

(In Formula 1, R 1 to R 6 each independently represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and A represents a group represented by Formula 2 or Formula 3 below.)
[ Formula 2 ]
Figure 112021103371721-pat00011

(In Formula 2, E represents Formula E-1, E-2, or E-3 below.)
[ Formula 3 ]
Figure 112021103371721-pat00012

(In Formula 3, R 7 To R 14 Each independently represents a hydrogen atom, an alkyl group having 6 or less carbon atoms, or a phenyl group, E represents the following Formula E-1, E-2 or E-3, a, b represents an integer from 0 to 100 in which at least one of them is not 0.)
[ Formula 4 ]
[Formula E-1]
Figure 112021103371721-pat00013

[Formula E-2]
Figure 112021103371721-pat00014

[Formula E-3]
Figure 112021103371721-pat00015

(In Formulas E-1 to E-3, R 15 to R 34 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group having 6 or less carbon atoms, or a phenyl group, and G is a straight chain or branched carbon atom having 20 or less carbon atoms. or a cyclic divalent hydrocarbon group.)
제1항에 있어서, (C) 성분의 적어도 1종은 방향환을 갖는, 수지 조성물.The resin composition according to claim 1, wherein at least one of component (C) has an aromatic ring. 제1항에 있어서, (B) 성분의 적어도 1종은 활성 에스테르계 경화제인, 수지 조성물.The resin composition according to claim 1, wherein at least one of component (B) is an active ester curing agent. 제1항에 있어서, 추가로 (E) 무기 충전재를 포함하는, 수지 조성물.The resin composition according to claim 1, further comprising (E) an inorganic filler. 제4항에 있어서, (E) 성분의 함유량이, 수지 조성물의 불휘발 성분을 100질량%로 한 경우, 50질량% 이상인, 수지 조성물.The resin composition of Claim 4 whose content of (E) component is 50 mass % or more, when the non-volatile component of a resin composition is 100 mass %. 제1항에 있어서, (D) 성분이, 인덴, 쿠마론 및 스티렌의 공중합체인, 수지 조성물.The resin composition according to claim 1, wherein the component (D) is a copolymer of indene, coumarone and styrene. 제1항에 있어서, 프린트 배선판의 절연층 형성용인, 수지 조성물.The resin composition according to claim 1, which is for forming an insulating layer of a printed wiring board. 지지체와, 당해 지지체 위에 형성된, 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 기재된 수지 조성물을 포함하는 수지 조성물층을 갖는 접착 필름.An adhesive film having a support and a resin composition layer formed on the support and comprising the resin composition according to any one of claims 1 to 7. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 기재된 수지 조성물의 경화물에 의해 형성된 절연층을 포함하는, 프린트 배선판.The printed wiring board containing the insulating layer formed with the hardened|cured material of the resin composition in any one of Claims 1-7. 제9항에 기재된 프린트 배선판을 구비하는, 반도체 장치.A semiconductor device comprising the printed wiring board according to claim 9 . 삭제delete
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