JP2014027009A - 発光素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】発光素子1は、n型半導体層20とp型半導体層30との間に半導体発光層10を備え、n型半導体層20上またはp型半導体層30上に形成され、n型半導体層20およびp型半導体層30よりも小さい誘電率を有する透明誘電体からなる透明誘電体層40と、当該透明誘電体層40と同じ透明誘電体からなり、半導体発光層10で発生した光の導波路となる複数の誘電体柱状部41,42と、を備え、複数の誘電体柱状部41,42は、透明誘電体層40上に環状に配置され、それぞれ同じ高さを有する少なくとも1本の誘電体柱状部41から構成される第1柱群と、当該第1柱群を構成する誘電体柱状部41とは高さが異なり、かつ、それぞれ同じ高さを有する少なくとも1本の誘電体柱状部42から構成される第2柱群と、からなることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
本発明の実施形態に係る発光素子1の構造について、図1〜図3を参照しながら説明する。発光素子(光線指向型発光素子)1は、電圧を印加することで自発光する半導体素子である。発光素子1は、例えばLEDのように概ね平坦な表面を有する固体発光素子が挙げられる。発光素子1は、図1に示すように、半導体発光層10と、n型半導体層20と、p型半導体層30と、透明誘電体層40と、が積層された構造を有している。
θ2+β=θ2+2πδH/λ0 ・・・式(2)
以下、発光素子1の動作について、図1を参照(適宜図3も参照)しながら説明する。発光素子1は、図示しない電極を介して半導体発光層10に電流が供給されると、半導体発光層10において、n型半導体層20およびp型半導体層30から注入される電子および正孔の再結合によって生成されるエネルギーが光として放出される。このように半導体発光層10で生成された光は透明誘電体層40上の誘電体柱状部41,42を伝播し、それぞれの放射面41a,42a(図3参照)から外部へと放射される。
以下、本発明の実施形態に係る発光素子1の製造方法の一例について、図4および図5を参照しながら説明する。なお、以下の説明では、図1に示す発光素子1を2次元状に複数並べ、かつ、p電極およびn電極を設けた発光素子1の素子群の製造方法について説明する。
第1の実験例では、FDTD(Finite-Difference Time-Domain)法によるシミュレーションによって、発光素子1の誘電体柱状部41,42による光線の形成と、当該光線の方位角θ1制御について評価を行った。本実験例では、実施例および比較例の発光素子を用意し、それぞれGaNにInを添加した縦6000nm×横6000nmのサイズのLEDを用いた。
実施例の発光素子1は、図6(a)に示すように、p型半導体層30上に透明誘電体層40を積層し、透明誘電体層40上に6本の誘電体柱状部41,42を一体的に形成した。なお、図6(a)は、発光素子1の断面図であるため、誘電体柱状部41,42はここでは2本のみ図示している。また、発光素子1は、図6(a)に示すように、p型半導体層30の厚さを130nmとし、透明誘電体層40の厚さを275nmとすることで、半導体発光層10の上面が誘電体柱状部41,42の底面から、外部波長λ0に相当する405nmの深さに位置するように構成した。
比較例の発光素子101は、図6(b)に示すように、p型半導体層30上に6本の半導体柱状部31,32を形成した。なお、図6(b)は、発光素子101の断面図であるため、半導体柱状部31,32はここでは2本のみ図示している。また、発光素子101は、図6(b)に示すように、p型半導体層30の厚さを外部波長λ0に相当する405nmとした。
第2の実験例では、n型半導体層20上またはp型半導体層30上に媒質X(すなわち透明誘電体層40、導波柱41および制御柱42)を積層した場合における発光素子1の透過率T’10とn型半導体層20上またはp型半導体層30上に媒質Xを積層しない場合における透過率T10との比(T’10/T10)と、媒質Xの屈折率nとの関係について確認した。なお、以下の説明では、T’10/T10のことを「透過率比T’10/T10」として説明する。
10 半導体発光層
20 n型半導体層
30,30A p型半導体層
31 半導体柱状部(導波柱)
32 半導体柱状部(制御柱)
40 透明誘電体層
41 誘電体柱状部(導波柱)
42 誘電体柱状部(制御柱)
41a,42a 放射面
50 基板(ピン電極アレイ付基板)
60 樹脂
71 p電極
72 n電極
80 発光素子層
90 バッファ層
100 サファイア基板
BD 基板
DSP IP立体ディスプレイ
Claims (5)
- n型半導体層とp型半導体層との間に半導体発光層を備える発光素子であって、
前記n型半導体層上または前記p型半導体層上に形成され、前記n型半導体層および前記p型半導体層よりも小さい誘電率を有する透明誘電体からなる透明誘電体層と、
前記透明誘電体層上に形成され、当該透明誘電体層と同じ透明誘電体からなり、前記半導体発光層で発生した光の導波路となる複数の誘電体柱状部と、を備え、
前記複数の誘電体柱状部は、前記透明誘電体層上に環状に配置されるとともに、それぞれ同じ高さを有する少なくとも1本の前記誘電体柱状部から構成される第1柱群と、当該第1柱群を構成する前記誘電体柱状部とは高さが異なり、かつ、それぞれ同じ高さを有する少なくとも1本の前記誘電体柱状部から構成される第2柱群と、からなることを特徴とする発光素子。 - 前記複数の誘電体柱状部は、前記透明誘電体層上に3〜6本まとめて環状に配置され、
前記第2柱群は、前記複数の誘電体柱状部の総数の半数以下の前記誘電体柱状部から構成されていることを特徴とする請求項1に記載の発光素子。 - 前記複数の誘電体柱状部は、前記透明誘電体層上に6本まとめて環状に配置され、
前記第1柱群および前記第2柱群は、それぞれ3本の前記誘電体柱状部から構成されていることを特徴とする請求項1に記載の発光素子。 - 前記複数の誘電体柱状部は、前記透明誘電体層上において、それぞれの柱の中心軸が同じ円周上に等間隔で位置するように、環状に配置されたことを特徴とする請求項2または請求項3に記載の発光素子。
- 前記第1柱群を構成する前記誘電体柱状部と前記第2柱群を構成する前記誘電体柱状部との高さの差は、当該誘電体柱状部の内部を伝播する光の波長以下であることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の発光素子。
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