JP2014026101A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2014026101A5
JP2014026101A5 JP2012166048A JP2012166048A JP2014026101A5 JP 2014026101 A5 JP2014026101 A5 JP 2014026101A5 JP 2012166048 A JP2012166048 A JP 2012166048A JP 2012166048 A JP2012166048 A JP 2012166048A JP 2014026101 A5 JP2014026101 A5 JP 2014026101A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
outer peripheral
peripheral surface
auxiliary
surface roughness
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2012166048A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2014026101A (ja
JP5941365B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2012166048A priority Critical patent/JP5941365B2/ja
Priority claimed from JP2012166048A external-priority patent/JP5941365B2/ja
Publication of JP2014026101A publication Critical patent/JP2014026101A/ja
Publication of JP2014026101A5 publication Critical patent/JP2014026101A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5941365B2 publication Critical patent/JP5941365B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2012166048A 2012-07-26 2012-07-26 電子写真感光体の製造方法 Expired - Fee Related JP5941365B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012166048A JP5941365B2 (ja) 2012-07-26 2012-07-26 電子写真感光体の製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012166048A JP5941365B2 (ja) 2012-07-26 2012-07-26 電子写真感光体の製造方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2014026101A JP2014026101A (ja) 2014-02-06
JP2014026101A5 true JP2014026101A5 (zh) 2015-09-10
JP5941365B2 JP5941365B2 (ja) 2016-06-29

Family

ID=50199791

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012166048A Expired - Fee Related JP5941365B2 (ja) 2012-07-26 2012-07-26 電子写真感光体の製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5941365B2 (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6352581B1 (ja) * 2016-12-28 2018-07-04 京セラ株式会社 電子写真感光体および画像形成装置
JP7028730B2 (ja) * 2018-06-27 2022-03-02 京セラ株式会社 堆積膜形成装置および堆積膜形成方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2720448B2 (ja) * 1988-03-04 1998-03-04 富士ゼロックス株式会社 電子写真感光体の製造方法
JP3483494B2 (ja) * 1998-03-31 2004-01-06 キヤノン株式会社 真空処理装置および真空処理方法、並びに該方法によって作成される電子写真感光体
JP4095205B2 (ja) * 1998-06-18 2008-06-04 キヤノン株式会社 堆積膜形成方法
JP2007078761A (ja) * 2005-09-12 2007-03-29 Canon Inc 電子写真感光体の製造方法
JP5554918B2 (ja) * 2008-12-02 2014-07-23 キヤノン株式会社 光受容部材の製造方法
JP2011095502A (ja) * 2009-10-29 2011-05-12 Canon Inc 電子写真感光体の製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN203481190U (zh) 喷头电极、喷头电极组件以及导热和导电的衬垫组
US11417562B2 (en) Substrate supporting apparatus
JP2012104847A5 (zh)
KR102642769B1 (ko) 정전 척 장치 및 정전 척 장치의 제조 방법
JP2012033574A (ja) サセプタおよび半導体製造装置
CN103069542A (zh) 延长寿命的沉积环
TWI632592B (zh) 爲使沉積留存增加而用於表面微結構的幾何形狀及模式
JP2009529442A5 (zh)
JP2014160819A5 (zh)
JP2009033178A5 (zh)
JP6250704B2 (ja) 基板プロセスチャンバのためのフィン付きシャッターディスク
TWI419227B (zh) 電漿處理裝置
US10287685B2 (en) Susceptor
JP2014026101A5 (zh)
JP2014175535A (ja) 静電チャック装置
JP2011146506A5 (zh)
JP2010157494A5 (zh)
JP5981402B2 (ja) サセプタ
JP2011077171A (ja) 気相成長装置
CN103996643A (zh) 立柱式陶瓷环定位用销
JP2019533309A (ja) 熱接触が制御された加熱装置
JP4495687B2 (ja) 静電チャック
JP5524782B2 (ja) ヒータユニット、及び半導体ウエハ製造方法
JP2016074561A (ja) 焼成治具および焼成方法
JP6219794B2 (ja) サセプタ