JP2014016247A - 波長可変単色光光源 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】波長を紫外域から赤外域検出器の範囲内で任意に選択できる波長可変単色光光源において、単色光光源の照射面における出力強度の測定には光路上の光の一部をビームスプリッタで分岐し、その分岐した光を検出器でモニタする。この検出器として紫外および可視域に感度を持つ検出器とする。選択された(所定)光が赤外光の場合は、この検出器が所定波長の高次光を検出するのでモニタすることができる。
【選択図】 図1
Description
高次光透過フィルタ14を透過した光に対しての検出器13の出力と照射面Aまたはファイバ出力光10の出力強度値との比率は出力光強度を変化させても一定であり、前記検出器13の出力を測定すれば、その測定値から照射面Aまたはファイバ出力光10の出力を測定端末において演算して表示できる。
2 分光部
3 回折格子
4 出射レンズ系
5 ビームスプリッタ
6 出力レンズ系
7 出力マスク
8 出力フィルタ
9 光ファイバ
10 ファイバ出力光
11 検出器レンズ系
12 検出器スリット
13 検出器
14 高次光透過フィルタ
15 制御部
104 検出器フィルタ
A 照射面
Claims (2)
- 光源の発する光を回折格子を用いて赤外域の所定波長の光に単色化する分光部と、前記分光部から出力される赤外域の所定波長の光を2方向に分離するビームスプリッタと、その一方向の光を出力光とするレンズ系と他方向の光をレンズ系を通して検出することで前記出力光の光強度をモニタするための検出器を有する波長可変単色光光源において、前記検出器を紫外および可視域に感度を持つ検出器のみで構成したことを特徴とする波長可変単色光光源。
- 前記検出器の前面に、前記所定波長の2次高次光を透過し、それより波長の長い光を遮断するフィルタを備えることを特徴とする請求項1に記載された波長可変単色光光源。
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JP5924166B2 (ja) | 2016-05-25 |
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