JP2014001925A5 - - Google Patents

Description

上記課題に鑑み、第１の反射面と第２の反射面とを有する測定物を測定する本発明の測定装置は以下の構成を有する。前記測定物へ電磁波を集束するための集束部と、前記測定物からの電磁波を検出するための検出部と、前記測定物と前記集束部による集束位置との相対的な位置を調整して、前記第１の反射面と前記第２の反射面とを測定領域に配置するための調整部と、を備える。ここで、前記測定領域は、複数の異なる前記相対的な位置の情報と、前記複数の異なる相対的な位置のそれぞれで前記検出部が検出した検出結果を用いて取得された時間波形における前記第１の反射面からの第１の電磁波と前記第２の反射面からの第２の電磁波との時間間隔に関する情報と、を用いて決定される領域である。

また、上記課題に鑑み、電磁波の伝播経路に沿って第１の反射面と第２の反射面とを有する測定物を測定する本発明の測定方法は、前記測定物と前記電磁波の前記測定物への集束位置との相対的な位置を調整して、前記第１の反射面と前記第２の反射面とを測定領域に配置するステップを有する。ここで、前記測定領域は、複数の異なる前記相対的な位置の情報と、前記複数の異なる相対的な位置のそれぞれで検出された検出結果を用いて取得された時間波形における前記第１の反射面からの第１の電磁波と前記第２の反射面からの第２の電磁波との時間間隔に関する情報と、を用いて決定される領域である。

Claims (14)

1. 第１の反射面と第２の反射面とを有する測定物を測定する装置であって、
   前記測定物へ電磁波を集束するための集束部と、
   前記測定物からの電磁波を検出するための検出部と、
   前記測定物と前記集束部による集束位置との相対的な位置を調整して、前記第１の反射面と前記第２の反射面とを測定領域に配置するための調整部と、を備え、
   前記測定領域は、複数の異なる前記相対的な位置の情報と、前記複数の異なる相対的な位置のそれぞれで前記検出部が検出した検出結果を用いて取得された時間波形における前記第１の反射面からの第１の電磁波と前記第２の反射面からの第２の電磁波との時間間隔に関する情報と、を用いて決定される領域であることを特徴とする測定装置。
2. 前記測定領域に関する情報を予め記憶するための記憶部、
   又は、
   前記測定領域を定めるための領域指定部を有することを特徴とする請求項１に記載の測定装置。
3. 前記複数の異なる相対的な位置は、前記時間間隔に関する情報が一定値を示す所と対応する相対的な位置から前記時間間隔に関する情報が一定値から大きくなる所と対応する相対的な位置の範囲内にあることを特徴とする請求項１又は２に記載の測定装置。
4. 前記測定物と前記集束部による集束位置との相対的な位置を調整するために、前記集束部が集束する電磁波の伝搬方向と交差する面方向に前記相対的な位置を調整する面方向位置調整部をさらに有することを特徴とする請求項１から３の何れか１項に記載の測定装置。
5. 前記測定物に対する前記集束部が集束する電磁波の入射角度を調整するために、前記測定物と前記集束部との相対的な角度を調整する入射角度調整部をさらに有することを特徴とする請求項１から４の何れか１項に記載の測定装置。
6. 前記電磁波が前記測定物に入射する面に対し、測定面形成部材が前記測定物に密着して配置されていることを特徴とする請求項１から５の何れか１項に記載の測定装置。
7. 前記電磁波はテラヘルツ波パルスであることを特徴とする請求項１から６の何れか１項に記載の測定装置。
8. 前記測定領域は、前記集束する電磁波の平行伝搬領域に収まることを特徴とする請求項１から７の何れか１項に記載の測定装置。
9. 請求項１から８の何れか１項に記載の測定装置と、
   前記集束部が集束する電磁波の伝搬方向と交差する面方向に前記相対的な位置を調整する面方向位置調整部による前記相対的な位置と前記前記検出部による検出結果を用いて得られた前記時間間隔に関する情報を対応させることで前記測定物の画像を構成する画像構成部と、
   を有することを特徴とするトモグラフィ装置。
10. 第１の反射面と第２の反射面とを有する測定物を測定する方法であって、
    前記測定物と前記電磁波の前記測定物への集束位置との相対的な位置を調整して、前記第１の反射面と前記第２の反射面とを測定領域に配置するステップを有し、
    前記測定領域は、複数の異なる前記相対的な位置の情報と、前記複数の異なる相対的な位置のそれぞれで検出された検出結果を用いて取得された時間波形における前記第１の反射面からの第１の電磁波と前記第２の反射面からの第２の電磁波との時間間隔に関する情報と、を用いて決定される領域であることを特徴とする測定方法。
11. 前記測定物からの電磁波を検出するステップと、
    前記測定物と前記電磁波の前記測定物への集束位置との相対的な位置を移動するステップと、
    前記検出ステップで検出された検出結果を用いて取得された時間波形における前記時間間隔に関する情報を取得するステップと、
    前記移動ステップによる各相対的な位置において取得された前記時間間隔に関する情報と対応する前記相対的な位置の情報とを複数記憶するステップと、
    前記記憶ステップで記憶された複数の情報を参照して、前記測定領域を決定するステップと、
    を有することを特徴とする請求項１０に記載の測定方法。
12. 前記移動ステップにおいて、前記相対的な位置を、前記第１の反射面と第２の反射面が前記集束する電磁波の集光過程領域から平行伝搬領域に至る範囲で移動させることを特徴とする請求項１１に記載の測定方法。
13. 前記測定領域に関する情報を予めデータベースとして記憶するステップと、
    前記データベースの情報を参照して前記測定領域を決定するステップと、
    を有することを特徴とする請求項１０に記載の測定方法。
14. 請求項１０から１３の何れか１項に記載の測定方法を用いるトモグラフィ方法であって、
    前記調整される相対的な位置とそこで取得される電磁波の前記時間間隔に関する情報とを対応させて前記測定物の像を取得するステップ、
    を有することを特徴とするトモグラフィ方法。