JP2013534049A - 加熱環状チャック - Google Patents
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Abstract
Description
本願は、米国特許出願61/352,665“加熱環状チャック”(出願日:2010年6月8日)および米国特許出願61/352,554“高温におけるクランプ機能を有する加熱静電チャック”(出願日:2010年6月8日)の優先権および利益を主張し、これらの出願のすべての内容は、参照されることにより本願に組み入れられる。
Claims (20)
- 第1の加工物および第2の加工物の位置を選択的に維持するクランプ装置であって、
クランプ面を備えるとともに、上記第2の加工物の直径よりも大きい上記第1の加工物の直径に関連付けられた直径を有しており、上記クランプ面に上記第1の加工物の外周部を選択的に静電気によって固定するように構成された、中心部を実質的に囲む静電クランプ板環状部と、
ヒーターを備えるとともに、上記第2の加工物の直径に関連付けられた直径を有する、非静電気的な中心部と、
上記第2の加工物を実質的に保持するように構成され、上記静電クランプ板環状部に応じた直径を有する加工物担持部とを備え、上記静電クランプ板環状部は、該静電クランプ板環状部の上記クランプ面に、上記加工物担持部を選択的に固定するように構成されており、上記非静電気的な中心部に関する上記第2の加工物の位置を選択的に維持するクランプ装置。 - 上記静電クランプ板環状部は、上記第1の加工物の上記外周部に関連付けられた1つ以上の電極を備え、上記1つ以上の電極に供給される電圧によって、上記クランプ面に、少なくとも上記第1の加工物を静電気によって選択的に付着させる動作が可能である請求項1に記載のクランプ装置。
- 上記1つ以上の電極に供給される電圧によって、上記クランプ面に、上記加工物担持部を静電気によって選択的に付着させる動作が可能である請求項2に記載のクランプ装置。
- 1つ以上の補助クランプ部材をさらに備え、該補助クランプ部材は、上記第1の加工物および上記加工物担持部のうちの1つ以上における、少なくとも一部分を上記クランプ面に固定する請求項1に記載のクランプ装置。
- 上記第1の加工物および上記第2の加工物の1つ以上は、珪素、炭化珪素、ゲルマニウムおよびヒ化ガリウムのうちの1つ以上を含む請求項1に記載のクランプ装置。
- 上記加工物担持部は、酸化アルミニウム、炭化珪素、二酸化珪素のうちの1つ以上を含む請求項1に記載のクランプ装置。
- 上記ヒーターは、上記非静電気的な中心部に関連付けられた、加熱ランプおよび抵抗性ヒーターのうちの1つ以上を備える請求項1に記載のクランプ装置。
- 上記加工物担持部に上記第2の加工物が保持されているとき、上記ヒーターは、少なくとも上記第2の加工物の面の下側に位置する請求項1に記載のクランプ装置。
- 上記静電クランプ板環状部と上記非静電気的な中心部との間に位置するシールドをさらに備え、該シールドは、上記静電クランプ板環状部と上記非静電気的な中心部との間に断熱層を形成する請求項1に記載のクランプ装置。
- 上記加工物担持部は、上記第2の加工物を選択的に抑える1つ以上の保持装置をさらに備える請求項1に記載のクランプ装置。
- 上記加工物担持部は、該加工物担持部に関する固定された回転位置に上記第2の加工物を選択的に維持するように構成された、平面およびピンのうちの1つ以上を備える請求項1に記載のクランプ装置。
- 上記第1の加工物および上記第2の加工物のうちの1つ以上は、珪素、炭化珪素、ゲルマニウムおよびヒ化ガリウムのうちの1つ以上を含む請求項1に記載のクランプ装置。
- 上記静電クランプ板環状部は、該静電クランプ板環状部の上記クランプ面に、上記加工物担持部を静電気によって選択的に固定するようにさらに構成されており、上記非静電気的な中心部に関する上記第2の加工物の位置を選択的に維持する請求項1に記載のクランプ装置。
- 不定寸法の加工物のクランプ方法であって、
第2の寸法より大きい第1の寸法の第1の加工物と、上記第2の寸法の第2の加工物とを供給し、
上記第2の加工物を選択的に保持する、上記第1の寸法と近似した第3の寸法を持つ加工物担持部を供給し、
上記第2の加工物を上記加工物担持部に設置し、
非静電気的な中心部を実質的に囲む静電クランプ環状部を備えたクランプ装置のクランプ面に、上記第1の加工物および上記加工物担持部のうちの1つを設置し、
上記静電クランプ環状部に対して型締力を選択的に供給して、上記クランプ面に、第1の加工物および加工物担持部のそれぞれを選択的に固定するクランプ方法。 - 上記第2の加工物を保持している上記加工物担持部が上記クランプ面に固定されたとき、上記クランプ装置の上記中心部を加熱することをさらに含む請求項14に記載の方法。
- 上記中心部の加熱は、上記第2の加工物に関連付けられた、加熱ランプアッセンブリーおよび抵抗性ヒーターアッセンブリーのうちの1つ以上にエネルギーを与えることを含む請求項15に記載の方法。
- 上記第1の加工物が上記クランプ面に固定されたとき、上記静電クランプ環状部を冷却することをさらに含む請求項14に記載の方法。
- 1つ以上の所定の状態に基づいて、上記第1の加工物、上記第2の加工物および上記加工物担持部のうちの1つ以上に、補助的な機械式の型締力を選択的に供給することをさらに含む請求項14に記載の方法。
- 上記1つ以上の所定の状態には、上記第1の加工物、上記第2の加工物および上記静電チャックのうちの1つ以上の所定温度が含まれる請求項18に記載の方法。
- 上記静電クランプに対する型締力の選択的な供給は、上記静電クランプ環状部に対してクランプ電圧の選択的に供給することを含み、上記クランプ面に、上記第1の加工物および上記加工物担持部のそれぞれを静電気によって選択的に固定する請求項14に記載の方法。
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