JP2013533949A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2013533949A5
JP2013533949A5 JP2013513790A JP2013513790A JP2013533949A5 JP 2013533949 A5 JP2013533949 A5 JP 2013533949A5 JP 2013513790 A JP2013513790 A JP 2013513790A JP 2013513790 A JP2013513790 A JP 2013513790A JP 2013533949 A5 JP2013533949 A5 JP 2013533949A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
tube
liquid
heat exchanger
reactive members
housing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2013513790A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2013533949A (ja
Filing date
Publication date
Priority claimed from US12/796,360 external-priority patent/US20110300050A1/en
Application filed filed Critical
Publication of JP2013533949A publication Critical patent/JP2013533949A/ja
Publication of JP2013533949A5 publication Critical patent/JP2013533949A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Claims (10)

  1. 液体気化用熱交換器であって、
    内側と、外側表面とを有するハウジング;
    ハウジングの内側に配置されている管であって、管が、内側キャビティを有し、及びハウジングの外側表面からそれぞれ外側に離間している入口と出口とを有し、入口が、液体フローを管に導入するために構成されている、管;
    管とハウジングとに熱伝達するように配置されており管を加熱するように構成されている加熱器;
    複数の非反応性部材と、管との間に複数のボイドを規定するような配列で管の内側キャビティ内に配置されている複数の非反応性部材であって、複数の非反応性部材の配列が、液体が複数のボイドを通過して管の入口から管の出口まで進むのを可能にする、複数の非反応性部材;
    を含み、及び
    液体を少なくとも部分的に気化させるように、複数の非反応性部材と、中空管とが、液体が複数のボイドを通過している時に熱を液体に伝達する、熱交換器。
  2. 管が、ハウジングの内側において螺旋状配列で配置されている、請求項1に記載の熱交換器。
  3. 複数の非反応性部材が、球状に形成されている、請求項1に記載の熱交換器。
  4. 複数の非反応性部材のそれぞれが、金属を含み、且つ、当該複数の非反応性部材のそれぞれが、管の直径の半分よりも小さいこと、及び、管の直径の25%未満であることの少なくとも一方を満たす直径を有する、請求項1に記載の熱交換器。
  5. ハウジングの内側に配置されており管を少なくとも部分的に囲んでいる熱伝達媒体を更に含む、請求項1に記載の熱交換器。
  6. 複数の非反応性部材が、全体で管の容積の少なくとも30パーセントの容積を有する、請求項に記載の熱交換器。
  7. 加熱器が、ハウジングの外側表面及びハウジングの内側表面の一方に隣接して置かれている、請求項に記載の熱交換器。
  8. 前記金属が、ステンレス鋼及びチタンの少なくとも一方を含む、請求項に記載の熱交換器。
  9. ハウジングの内側に配置されている第2管であって、第2管に第2液体フローを導入するために構成されている第2入口と、第2出口とを有し、及び第2内側キャビティを有する、第2管;及び
    第2管の第2内側キャビティで配列して配置されている第2の複数の非反応性部材であって、第2の複数の非反応性部材と第2管との間に第2の複数のボイドが配置されており、第2の複数の非反応性部材の配列が、第2液体フローが第2の複数のボイドを通過して第2管の第2入口から第2出口まで進むのを可能にしており、及び液体を少なくとも部分的に気化させるように、第2の複数の非反応性部材と、第2管とが、液体が第2の複数のボイドを通過している時に加熱器からの熱を液体に伝達するように構成されている、第2の複数の非反応性部材、
    を更に含む、請求項に記載の熱交換器。
  10. 液体気化方法であって、
    熱交換器内において球状部材を含む管の入口に入る液体フローを開始すること;
    熱交換器内の管を加熱すること;
    液体を管内に通過させることによって液体を気体に気化させることであって、球状部材を熱源によって加熱し、及び液体が、球状部材と管との間に規定されている複数のボイドを通過している時に、球状部材が熱を液体に伝達すること;及び
    気体を熱交換器から除去すること;
    を含む、液体気化方法。
JP2013513790A 2010-06-08 2011-06-02 トリクロロシラン気化システム Pending JP2013533949A (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US12/796,360 2010-06-08
US12/796,360 US20110300050A1 (en) 2010-06-08 2010-06-08 Trichlorosilane Vaporization System
PCT/IB2011/052430 WO2011154879A2 (en) 2010-06-08 2011-06-02 Trichlorosilane vaporization system

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2013533949A JP2013533949A (ja) 2013-08-29
JP2013533949A5 true JP2013533949A5 (ja) 2014-07-10

Family

ID=45064625

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013513790A Pending JP2013533949A (ja) 2010-06-08 2011-06-02 トリクロロシラン気化システム

Country Status (7)

Country Link
US (2) US20110300050A1 (ja)
EP (1) EP2580159A4 (ja)
JP (1) JP2013533949A (ja)
KR (1) KR20130103672A (ja)
CN (1) CN103025656B (ja)
TW (1) TWI512240B (ja)
WO (1) WO2011154879A2 (ja)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102011006116A1 (de) * 2011-03-25 2012-09-27 Evonik Degussa Gmbh Verwendung von Brennern mit Strahlrohr in Reaktoren zur Umsetzung von Chlorsilanen
US20140165928A1 (en) * 2012-12-17 2014-06-19 Conocophillips Company Heat exchange for indirect boiling
JP6114685B2 (ja) * 2013-11-27 2017-04-12 タニコー株式会社 アクアガス発生ユニット
CN109780522B (zh) * 2016-08-31 2020-03-24 青岛科技大学 一种管束间距控制加热均匀性的蒸汽干燥机
CN107356097B (zh) * 2016-08-31 2019-02-22 青岛科技大学 一种智能温度控制的蒸汽干燥机
CN109780526B (zh) * 2016-08-31 2020-06-23 青岛科技大学 一种干燥机管箱加热功率的控制方法
CN113899237A (zh) * 2021-11-10 2022-01-07 哈尔滨工程大学 一种采用中空结构球床的强化换热管
CN113899236A (zh) * 2021-11-10 2022-01-07 哈尔滨工程大学 一种球形颗粒填充的微肋换热管

Family Cites Families (39)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3587730A (en) * 1956-08-30 1971-06-28 Union Carbide Corp Heat exchange system with porous boiling layer
US3336974A (en) * 1965-05-05 1967-08-22 United Aircraft Corp Serpentine tube boiler
US3704748A (en) * 1970-02-11 1972-12-05 Ratheon Co Heat transfer structure
US4171772A (en) * 1972-11-16 1979-10-23 Amana Refrigeration, Inc. Package heat exchanger system for heating and cooling
US4218290A (en) * 1978-05-22 1980-08-19 John R. Phillips Hot bed desalination process
JPS58173387A (ja) * 1982-03-31 1983-10-12 Takashi Miyagawa 熱交換器
KR910003073B1 (ko) * 1983-10-05 1991-05-17 베이퍼 코포레이션 셸 및 튜브형 열전달 장치 및 그 공정
US4737337A (en) * 1985-05-09 1988-04-12 Stone & Webster Engineering Corporation Nuclear reactor having double tube helical coil heat exchanger
JPS6317392A (ja) * 1986-07-09 1988-01-25 Isao Yamamoto 熱交換器
JPH01120071U (ja) * 1988-02-08 1989-08-15
JPH0652747B2 (ja) * 1990-02-05 1994-07-06 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション 断熱装置
JP2663316B2 (ja) * 1991-10-29 1997-10-15 株式会社フジクラ ループ型ヒートパイプの蒸発部の構造
GB9503076D0 (en) * 1995-02-16 1995-04-05 Eaton Williams Group Ltd A steam-raising system
US5711257A (en) * 1996-01-24 1998-01-27 Sundstrand Corporation Sleeved boiler-reactor
US6195504B1 (en) * 1996-11-20 2001-02-27 Ebara Corporation Liquid feed vaporization system and gas injection device
US6580157B2 (en) * 1997-06-10 2003-06-17 Micron Technology, Inc. Assembly and method for modified bus bar with Kapton™ tape or insulative material in LOC packaged part
US6039809A (en) * 1998-01-27 2000-03-21 Mitsubishi Materials Silicon Corporation Method and apparatus for feeding a gas for epitaxial growth
US6430760B2 (en) * 2000-04-11 2002-08-13 David Jessie Johns Fluid heating apparatus and methods for using same
DE10024682C2 (de) * 2000-05-18 2003-02-20 Wieland Werke Ag Wärmeaustauscherrohr zur Verdampfung mit unterschiedlichen Porengrößen
JP4567849B2 (ja) * 2000-07-26 2010-10-20 三菱化工機株式会社 廃熱を利用した液化ガス気化システム及び廃熱供給方法
DE10061682A1 (de) * 2000-12-11 2002-07-04 Solarworld Ag Verfahren zur Herstellung von Reinstsilicium
JP4621379B2 (ja) * 2001-05-15 2011-01-26 大陽日酸株式会社 蒸発器
JP2003021477A (ja) * 2001-07-10 2003-01-24 Toshiba Corp 熱交換器およびその製造方法
JP3523634B2 (ja) * 2001-11-19 2004-04-26 核燃料サイクル開発機構 中間熱交換器組込型蒸気発生器
JP2003347289A (ja) * 2002-05-24 2003-12-05 Stec Inc 気化器
KR100481008B1 (ko) * 2002-06-03 2005-04-07 주성엔지니어링(주) 화학기상증착공정용 기체 가열장치 및 이를 이용한반도체소자 제조방법
JP2004138217A (ja) * 2002-10-21 2004-05-13 Toyota Industries Corp 水素貯蔵タンク
US20090202957A1 (en) * 2004-09-27 2009-08-13 Nobukazu Ikeda Gas heating method, and gas-heating piping member
JP2006300234A (ja) * 2005-04-21 2006-11-02 Fujikin Inc 配管部材
CN101084409B (zh) * 2004-10-07 2011-03-23 布鲁克斯自动化有限公司 用于制冷过程的高效热交换器
US7013843B1 (en) * 2005-02-28 2006-03-21 Slant/Fin Corporation Downdraft boiler with turbulators
US7243618B2 (en) * 2005-10-13 2007-07-17 Gurevich Arkadiy M Steam generator with hybrid circulation
US20080078534A1 (en) * 2006-10-02 2008-04-03 General Electric Company Heat exchanger tube with enhanced heat transfer co-efficient and related method
KR100825825B1 (ko) * 2006-12-13 2008-04-28 한경희 순간 가열식 스팀보일러
US20110214624A1 (en) * 2007-09-28 2011-09-08 Steamex Group Ab Method and device for producing a gaseous medium comprising steam
JP5316290B2 (ja) * 2008-08-05 2013-10-16 三菱マテリアル株式会社 トリクロロシラン製造装置及び製造方法
JP5633160B2 (ja) * 2009-03-11 2014-12-03 三菱マテリアル株式会社 トリクロロシランの製造装置
US8757509B2 (en) * 2009-03-27 2014-06-24 Honeywell International Inc. Boiler control methods
US8298490B2 (en) * 2009-11-06 2012-10-30 Gtat Corporation Systems and methods of producing trichlorosilane

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2013533949A5 (ja)
JP2016102605A5 (ja)
EP2828587B1 (en) Dual purpose heat exchanger
RU2014130036A (ru) Змеевиковый теплообменник
TWI512240B (zh) 三氯矽烷汽化系統
US20140053791A1 (en) Downfired High Efficiency Gas-Fired Water Heater
TW201730495A (zh) 藉套合多層管及管路外圍對外熱傳之三溫能體熱交換裝置
JP2016500433A5 (ja)
WO2016065844A1 (zh) 蒸汽发生器
JP2012503166A5 (ja)
TWI456135B (zh) 儲氫加熱冷卻系統
CN201706911U (zh) 一种热水器用平板式换热器
CN105396309A (zh) 新型再沸器
TWM413835U (en) Heating device for electric water heater
CN204469683U (zh) 一种微量汽化的汽化器
CN103976651A (zh) 带防爆体的高传热分系数石英加热管
CN101696825B (zh) 热泵热水机用水箱
KR20140134067A (ko) 나선형 열교환기
CN207163275U (zh) 一种换热均匀的套管式换热器
RU2558485C1 (ru) Теплообменник
CN205351772U (zh) 300方电加热水浴式加热器
TH112845A (th) เตาเผาทำให้แตกตัวสำหรับการผลิตเอทิลีน
TWM419894U (en) Water storage tank with circulated heating structure
JP2016034835A5 (ja)
RU2018131158A (ru) Водонагреватель, труба выпуска газообразных продуктов сгорания для водонагревателя и способ нагревания текучей среды