JP2013528320A5 - - Google Patents

Claims (21)

1. 基板の検査又は処理のためのシステム用に適合された基板支持ユニットであって、
   基板を支持するように適合され、グランドに対して電気的に浮いている少なくとも１つの基板キャリア構造を含む支持台と、基板キャリア構造をグランドと電気的に接続するように適合され、基板を基板キャリア構造からアンロードした後に基板キャリア構造をグランドと電気的に接続するように構成されるスイッチングユニットとを含む基板支持ユニット。
2. ベースユニットを更に含み、基板キャリア構造はベースユニットから電気的に絶縁されている請求項１記載の基板支持ユニット。
3. 基板キャリア構造は、導電性材料から構成される請求項１記載の基板支持ユニット。
4. 基板キャリア構造をグランドと電気的に接続するように適合されたスイッチングユニットを更に含む請求項１記載の基板支持ユニット。
5. スイッチングユニットは、基板キャリア構造に電気的に接続するための少なくとも１つの第１端子と、グランドに電気的に接続するための少なくとも１つの第２端子と、スイッチングユニットを制御するための制御信号を受信するように適合された少なくとも１つの制御端子を含む請求項１記載の基板支持ユニット。
6. 支持台は、少なくとも１つの方向に基板キャリア構造を移動するように適合された少なくとも１つの可動ステージを含み、可動ステージは、基板キャリア構造から電気的に絶縁されている請求項１記載の基板支持ユニット。
7. 可動ステージは少なくとも２つのセグメントを含み、各セグメントは、共通の支持面を一体で形成するそれぞれの基板キャリア構造を備える請求項６記載の基板支持ユニット。
8. 支持台は、少なくとも１つの方向に基板キャリア構造を移動するように適合された少なくとも１つの可動ステージを含み、可動ステージは、グランドに対して電気的に浮いている請求項１記載の基板支持ユニット。
9. 可動ステージは少なくとも２つのセグメントを含み、各セグメントは、共通の支持面を一体で形成するそれぞれの基板キャリア構造を備える請求項８記載の基板支持ユニット。
10. 基板キャリア構造をグランドから電気的に絶縁するための絶縁構造を更に含む請求項１記載の基板支持ユニット。
11. 基板の検査又は処理のためのシステム用に適合された基板支持ユニットであって、
    基板を支持するように適合された少なくとも１つの基板キャリア構造を含む支持台であって、基板キャリア構造は電気的に浮いている支持台を含み、支持台は基板キャリア構造を少なくとも１つの方向に移動させるように適合された少なくとも１つの可動ステージを含み、可動ステージは基板キャリア構造から電気的に絶縁されている基板支持ユニット。
12. 可動ステージは少なくとも２つのセグメントを含み、各セグメントは、共通の支持面を一体で形成するそれぞれの基板キャリア構造を備える請求項１１記載の基板支持ユニット。
13. ベースユニットを更に含み、基板キャリア構造はベースユニットから電気的に絶縁されている請求項１１記載の基板支持ユニット。
14. 基板キャリア構造は、導電性材料から構成される請求項１１記載の基板支持ユニット。
15. 基板の検査又は処理のためのシステム用に適合された基板支持ユニットであって、
    基板を支持するように適合された少なくとも１つの基板キャリア構造を含む支持台であって、基板キャリア構造は電気的に浮いている支持台を含み、支持台は基板キャリア構造を少なくとも１つの方向に移動させるように適合された少なくとも１つの可動ステージを含み、可動ステージはグランドに対して電気的に浮いている基板支持ユニット。
16. 可動ステージは少なくとも２つのセグメントを含み、各セグメントは、共通の支持面を一体で形成するそれぞれの基板キャリア構造を備える請求項１５記載の基板支持ユニット。
17. ベースユニットを更に含み、基板キャリア構造はベースユニットから電気的に絶縁されている請求項１５記載の基板支持ユニット。
18. 基板キャリア構造は、導電性材料から構成される請求項１５記載の基板支持ユニット。
19. ベースユニットを更に含み、基板キャリア構造はベースユニットから電気的に絶縁されている請求項５記載の基板支持ユニット。
20. 基板キャリア構造は、導電性材料から構成される請求項５記載の基板支持ユニット。
21. 基板キャリア構造をグランドから電気的に絶縁するための絶縁構造を更に含む請求項５記載の基板支持ユニット。