JP2013523595A - 結晶半導体材料の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【選択図】なし
Description
本発明による方法のとくに好ましい実施形態の一つでは、液体半導体材料が溶融物に供給される。半導体材料の単結晶、とくにシリコン単結晶が上記溶融物から引き上げられる。また、そのような処理手順は、チョクラルスキー法として、またはルツボ引上法として、または溶融引上法として知られている。通常、このケースでは、結晶化されるべき物質は、その融点よりもちょうど上の温度でルツボの中で保持される。成長させるべき物質の小さな単結晶が、種子結晶として上記溶融物の中へ浸漬される。そして、その単結晶は、プロセスにおいて溶融物との接触が中断されることなく、回転させながら、ゆっくりと上方へ実質的に引き上げられる。このケースでは、凝固する材料は、種子結晶の構造を獲得し、大きな単結晶へ成長する。
さらなる特定の好ましい実施形態では、工程(2)からの液体半導体材料は、方向性凝固を受ける。方向性凝固を実施するための好適な予備工程について、たとえば、独国出願公開第10 2006 027 273号明細書および独国出願公開29 33 164号明細書を参照する。その後、液体半導体材料を溶融ルツボに移動させ、たとえば、溶融ルツボは加熱ゾーンからゆっくりと下げられる。一般に、不純物は、上記のように作製された半導体ブロックの最後に凝固する部分に集まる。この部分は、機械的に分離することができる。適切であれば、本方法の初期の段階で作製プロセスに、この部分を再び導入することができる。
本発明による方法における第3の特定の好ましい実施形態では、工程(2)からの液体半導体材料は、連続鋳造法で処理される。
本発明の方法の第4の特定の好ましい実施形態では、液体半導体材料は、加熱ゾーンに配置される溶融物に供給される。溶融物の下端に凝固の先頭が形成されるように下降させることによっておよび/または加熱ゾーンを上昇させることによって、上記溶融物は冷却される。凝固の先頭にしたがって半導体材料は結晶化する。
Claims (5)
- 半導体材料の粒子を固体から液状および/またはガス状に転化するのに、および/または、半導体材料の前駆物質化合物を熱分解するのに十分に高い温度を有するガス流に、前記半導体材料の粒子および/または前記半導体材料の前記前駆物質化合物を供給する工程と、
液体半導体材料を前記ガス流から濃縮および/または分離する工程と、
単結晶構造または多結晶構造の特性の形成を伴った固定状態に前記液体半導体材料を転化する工程とを含む、結晶半導体材料、とくに結晶シリコンを製造する方法。 - 溶融物に前記液体半導体材料が供給され、前記半導体材料の単結晶が前記溶融物から引き上げられることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記液体半導体材料は方向性凝固を受けることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記液体半導体材料は連続鋳造法で処理されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 加熱ゾーンに配置された溶融物に前記液体半導体材料が供給され、
前記溶融物は、その下端で凝固の先頭が形成されるように、それを下降させることによって、および/または前記加熱ゾーンを上昇させることによって冷却され、前記凝固の先頭にしたがって前記半導体材料は単結晶構造に結晶化することを特徴とする請求項1に記載の方法。
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