JP2013520797A - 伝送線のためのシールド構造体 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図2
Description
当業者であれば、本発明の前述の及び他の目的並びに利点は、以下の詳細な説明に照らして理解できるはずである。
Claims (20)
- 集積回路上の第1の金属化層に形成された第1の櫛状構造体及び第2の櫛状構造体であって、各櫛状構造体は複数の歯を備え、各櫛状構造体の前記歯は他方の櫛状構造体に向かって延びている第1の櫛状構造体及び第2の櫛状構造体と、
前記第1の櫛状構造体から上方に延びる複数の第1の導電性ビアと、
前記第2の櫛状構造体から上方に延びる複数の第2の導電性ビアと、
前記第1の金属化層の上方の第2の金属化層に配置される第1の平面構造体及び第2の平面構造体と、
前記第1の平面構造体から前記複数の第1の導電性ビアに向かって下方に延びる複数の第3の導電性ビアと、
前記第2の平面構造体から前記複数の第2の導電性ビアに向かって下方に延びる複数の第4の導電性ビアと、
を備え、
前記第1の櫛状構造体及び前記第2の櫛状構造体、前記第1の平面構造体及び前記第2の平面構造体、並びに前記第1の導電性ビア、前記第2の導電性ビア、前記第3の導電性ビア、及び前記第4の導電性ビアは全て実質的に同じ電位であるシールド構造体。 - 各櫛状構造体の歯は、他方の櫛状構造体の歯の間に延びる、請求項1に記載のシールド構造体。
- 前記複数の第1のビアの導電性ビアは、前記複数の第3のビアの導電性ビアの間に延びる、請求項1に記載のシールド構造体。
- 前記第1の平面構造体と前記第2の平面構造体との間の前記第1の金属化層に配置された第1の信号線を更に備える、請求項1に記載のシールド構造体。
- 前記第1の平面構造体と前記第2の平面構造体との間の前記第2の金属化層に配置された第1の信号線及び第2の信号線を更に備える、請求項1に記載のシールド構造体。
- 前記平面構造体の少なくとも1つは櫛状構造体である、請求項1に記載のシールド構造体。
- 前記第1の平面構造体及び前記第2の平面構造体は、第3の櫛状構造体及び第4の櫛状構造体であり、各櫛状構造体は複数の歯を備え、前記第3の櫛状構造体の歯及び前記第4の櫛状構造体の歯は、互いに向って延びている、請求項1に記載のシールド構造体。
- 少なくとも1つの信号線が、前記第1の金属化層と前記第2の金属化層との間の第3の金属化層に配置される、請求項7に記載のシールド構造体。
- 第1信号線が、前記第1の金属化層と前記第2の金属化層との間の第3の金属化層に配置され、第2の信号線が、前記第1の金属化層と前記第2の金属化層との間の第4の金属化層に配置される、請求項7に記載のシールド構造体。
- 集積回路上の第1の金属化層に形成された第1及び第2のアレイの導電要素であって、前記第1のアレイの導電要素は互いに連結されて前記第2のアレイの導電要素の間に延び、前記第2のアレイの導電要素は互いに連結されている、第1及び第2のアレイの導電要素と、
前記第1のアレイから上方に延びる複数の第1の導電性ビアと、
前記第2のアレイから上方に延びる複数の第2の導電性ビアと、
前記第1の金属化層の上方の第2の金属化層に配置される第1の平面構造体及び第2の平面構造体と、
前記第1の平面構造体から前記複数の第1の導電性ビアに向かって下方に延びる複数の第3の導電性ビアと、
前記第2の平面構造体から前記複数の第2の導電性ビアに向かって下方に延びる複数の第4の導電性ビアと、
を備え、
前記第1のアレイ及び前記第2のアレイ、前記第1の平面構造体及び前記第2の平面構造体、並びに前記第1の導電性ビア、前記第2の導電性ビア、前記第3の導電性ビア、及び第4の導電性ビアは全て実質的に同じ電位であるシールド構造体。 - 前記複数の第1のビアの導電性ビアは、前記複数の第2のビアの導電性ビアの間に延びる、請求項10に記載のシールド構造体。
- 前記第1の平面構造体と前記第2の平面構造体との間の前記第2の金属化層に配置された第1の信号線を更に備える、請求項10に記載のシールド構造体。
- 前記第1の平面構造体と前記第2の平面構造体との間の前記第2の金属化層に配置された第1の信号線及び第2の信号線を更に備える、請求項10に記載のシールド構造体。
- 前記第1及び第2の平面構造体は、前記第2の金属化層に形成された第3及び第4のアレイの導電要素であり、前記第3のアレイの導電要素は互いに連結されて前記第4のアレイの導電要素の間に延び、前記第4のアレイの導電要素は互いに連結される、請求項10に記載のシールド構造体。
- 少なくとも1つの信号線が、前記第1の金属化層と前記第2の金属化層との間の前記第3の金属化層に配置される、請求項14に記載のシールド構造体。
- 第1の信号線が、前記第1の金属化層と前記第2の金属化層との間の第3金属化層に配置され、第2の信号線が、前記第1の金属化層と前記第2の金属化層との間の第4の金属化層に配置される、請求項14に記載のシールド構造体。
- 集積回路上の第1の金属化層に形成される第1及び第2のアレイの導電要素であって、前記第1のアレイの導電要素は互いに連結されて前記第2のアレイの導電要素の間に延び、前記第2のアレイの導電要素は互いに連結される、第1及び第2のアレイの導電要素と、
前記第1の金属化層の上方の第2の金属化層に形成される第3及び第4のアレイの導電要素であって、前記第3のアレイの導電要素は互いに連結されて前記第4のアレイの導電要素の間に延び、前記第4のアレイの該導電要素は互いに連結される、第3及び第4のアレイの導電要素と、
前記第1の金属化層と前記第2の金属化層との間の第3の金属化層に配置される少なくとも1つの信号線と、
を備え、
前記第1のアレイ、前記第2のアレイ、前記第3のアレイ、及び前記第4のアレイの導電要素は、全て実質的に同じ電位であるシールド構造体。 - 前記導電要素の少なくとも1つのアレイの導電要素は、櫛状構造体で互いに連結される、請求項17に記載のシールド構造体。
- 前記第1の金属化層と前記第2の金属化層との間の第4の金属化層に配置される第2の信号線を更に備える、請求項17に記載のシールド構造体。
- 前記第3の金属化内に配置される第2の信号線を更に備える、請求項17に記載のシールド構造体。
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