JP2013516770A - ウエハテストカセットシステム - Google Patents
ウエハテストカセットシステム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013516770A JP2013516770A JP2012547244A JP2012547244A JP2013516770A JP 2013516770 A JP2013516770 A JP 2013516770A JP 2012547244 A JP2012547244 A JP 2012547244A JP 2012547244 A JP2012547244 A JP 2012547244A JP 2013516770 A JP2013516770 A JP 2013516770A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base
- probe card
- card assembly
- alignment element
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
- H01L22/30—Structural arrangements specially adapted for testing or measuring during manufacture or treatment, or specially adapted for reliability measurements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/04—Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
- G01R1/0408—Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
- G01R1/0491—Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets for testing integrated circuits on wafers, e.g. wafer-level test cartridge
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/302—Contactless testing
- G01R31/3025—Wireless interface with the DUT
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
Abstract
【解決手段】ウエハカセットシステムは、ベースとプローブカードアセンブリとを備えうる。ベースとプローブカードアセンブリとはそれぞれ、相補的な連結位置合わせ要素を備えうる。位置合わせ要素は、ベースのウエハ受け入れ表面に垂直な方向においてベースとプローブカードアセンブリとの相対移動を許容しつつ、受け入れ表面に平行な方向において相対移動を規制しうる。
【選択図】図1
Description
Claims (23)
- ウエハを保持するためのウエハカセットシステムであって、
基準部と、前記ウエハを受け入れる大きさの受け入れ表面と、複数の第1位置合わせ要素と、を有するベースと、
基板と、前記基板の表面上に配置され前記ウエハの端子と接するよう配列された複数のプローブと、前記第1位置合わせ要素に対応する複数の第2位置合わせ要素と、を有するプローブカードアセンブリと、を備え、
前記第1位置合わせ要素と前記第2位置合わせ要素は、前記受け入れ表面に略垂直な方向での前記ベース及び前記プローブカードアセンブリの相対移動を許容しつつ、前記受け入れ表面に略平行な方向での前記ベース及び前記プローブカードアセンブリの相対移動を規制する、連結可能な相補形状を有する、
システム。 - 前記第1位置合わせ要素と前記第2位置合わせ要素が、2度の並進及び3度の回転で規制され、第3度の並進における並進を可能にする、前記ベースと前記プローブカードアセンブリとの所定の相対位置を規定するよう連結可能である、
請求項1に記載のシステム。 - 前記ベースと前記プローブカードアセンブリとの間の空間をシールするよう配置される真空シールをさらに備える、
請求項1に記載のシステム。 - 前記ベースと前記プローブカードアセンブリのうちの1つが、前記ベースと前記プローブカードアセンブリとの互いの方向への相対移動の制限を規定するよう配置される圧縮留め具を有する、
請求項1に記載のシステム。 - 前記圧縮留め具は、調整可能な高さを有する、
請求項4に記載のシステム。 - 前記第1位置合わせ要素と前記第2位置合わせ要素のうちの一方が凸部を有し、前記第1位置合わせ要素と前記第2位置合わせ要素のうちの他方がサーモセントリックスロットを有する、
請求項1に記載のシステム。 - 前記第1位置合わせ要素と前記第2位置合わせ要素が、運動誘導機構と直列にキネマティックカップリングを有する、
請求項1に記載のシステム。 - 前記運動誘導機構が屈曲部を有する、
請求項7に記載のシステム。 - 前記第1位置合わせ要素と前記第2位置合わせ要素のうちの一方が凸部を有し、前記第1位置合わせ要素と前記第2位置合わせ要素のうちの他方が屈曲部を有する、
請求項1に記載のシステム。 - 前記ベースと前記プローブカードアセンブリとを共にロック可能なように配置されるラッチ機構をさらに備える、
請求項1に記載のシステム。 - 前記第1位置合わせ要素と前記第2位置合わせ要素により、前記端子に対する前記プローブの拭き取り動作を提供する、
請求項1に記載のシステム。 - ウエハ上に配置される端子との電気接触を提供する方法であって、
ベースの受け入れ表面上であって、前記ベースに配置される基準部に対して所定の位置に前記ウエハを配置する工程と、
プローブカードアセンブリに前記ベースを結合する工程であって、前記プローブカードアセンブリは、その基板上に配置される複数のプローブを有し、前記ベース上に配置される複数の第1位置合わせ要素が前記プローブカードアセンブリ上に配置される対応する複数の第2位置合わせ要素と連結して、前記受け入れ表面に平行な方向での前記受け入れ表面と前記プローブカードアセンブリとの相対位置を規制する、工程と、
前記第1位置合わせ要素と前記第2位置合わせ要素とにより規制されながら前記受け入れ表面に垂直な方向に前記プローブアセンブリに対して前記ベースを移動させ、前記プローブを前記端子の対応するものと接触させて、仮の圧力に基づく電気接続を形成する工程と、を含む、
方法。 - 前記移動工程は、前記プローブアセンブリに対する前記ベースの回転を規制し、第1の方向及び第2の方向における前記プローブアセンブリに対する前記ベースの並進を規制し、第3の方向における前記ベースの並進を許可する、
請求項12に記載の方法。 - 前記移動工程は、
前記プローブと前記端子の前記対応するものとの間の接触力を生むようオーバートラベルを行う工程と、
前記端子の前記対応するものを横切って前記プローブがこする動作を発生させる工程と、を含む、
請求項12に記載の方法。 - 前記結合工程は、前記プローブカードアセンブリと前記ベースのうちの一方に配置される凸部を前記プローブカードアセンブリと前記ベースのうちの他方に配置される対応する凹部に挿入する工程を含む、
請求項12に記載の方法。 - 前記ベースと前記プローブカードアセンブリとの間の領域に真空を作成する工程をさらに含む、
請求項12に記載の方法。 - 前記結合工程の前に、前記ベースと前記ウエハとの温度を変更する工程をさらに含む、
請求項12に記載の方法。 - 前記ベースと前記ウエハの温度を第1の温度に変更する工程をさらに含み、前記プローブカードアセンブリは第2の温度であって、前記第1の温度での前記ウエハの熱歪みは前記第2の温度での前記プローブカードアセンブリの熱歪みと整合する、
請求項12に記載の方法。 - 前記移動工程が所定のオーバートラベルを生むように、前記ウエハの公称高さに応じて、前記ベースと前記プローブカードアセンブリのうちの一方に配置される圧縮留め具の高さを調整する工程をさらに含む、
請求項12に記載の方法。 - 複数のウエハを同時にテストする方法であって、
複数のプローブカードアセンブリを備えるテスタユニットを得る工程であって、各プローブカードアセンブリは、複数のプローブと複数の第1要素とを有し、前記プローブカードアセンブリはテストサブシステムと電気的に接続する、工程と、
前記テスタユニット内に複数のウエハを充填する工程と、
前記テストサブシステムを用いて前記複数のウエハをテストする工程と、を含み、
前記複数のウエハをそれぞれ充填する工程は、
複数のベースのうちの対応するものの水平表面上であって、前記対応するベースに配置される基準部に対して所定の位置に前記ウエハを配置する工程であって、前記対応するベースは複数の第2位置合わせ要素を有する、工程と、
前記対応するベースを前記対応するプローブカードアセンブリの近くの位置に移動させ、前記対応するベースの前記第2位置合わせ要素を前記対応するプローブカードアセンブリの前記第1位置合わせ要素に連結させる工程と、
前記対応するプローブカードアセンブリに対して前記対応するベースを垂直方向に並進させつつ、前記第1位置合わせ要素と前記第2位置合わせ要素とにより水平方向に規制されながら前記対応するプローブカードアセンブリの前記プローブと前記ウエハの前記端子との間の仮の圧力に基づく電気接続を形成する工程と、を含む、
方法。 - 前記充填工程は、前記配置工程の後であって前記移動工程の前に、前記対応するベースと前記ウエハとの温度を変更する工程をさらに含む、
請求項20に記載の方法。 - 前記充填工程は、前記対応するベースと前記対応するプローブカードアセンブリとの間の領域に真空を作成する工程をさらに含む、
請求項20に記載の方法。 - 前記テスト工程は、前記複数のウエハに関する通電テストを行うことを含む、
請求項20に記載の方法。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US29182409P | 2009-12-31 | 2009-12-31 | |
US61/291,824 | 2009-12-31 | ||
US12/979,200 US8872532B2 (en) | 2009-12-31 | 2010-12-27 | Wafer test cassette system |
US12/979,200 | 2010-12-27 | ||
PCT/US2010/062260 WO2011082183A2 (en) | 2009-12-31 | 2010-12-28 | Wafer test cassette system |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013516770A true JP2013516770A (ja) | 2013-05-13 |
JP2013516770A5 JP2013516770A5 (ja) | 2014-02-20 |
JP5735003B2 JP5735003B2 (ja) | 2015-06-17 |
Family
ID=44186720
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012547244A Expired - Fee Related JP5735003B2 (ja) | 2009-12-31 | 2010-12-28 | ウエハテストカセットシステム |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8872532B2 (ja) |
JP (1) | JP5735003B2 (ja) |
KR (1) | KR101699838B1 (ja) |
SG (1) | SG181991A1 (ja) |
TW (1) | TWI518338B (ja) |
WO (1) | WO2011082183A2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014192285A (ja) * | 2013-03-27 | 2014-10-06 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置 |
JP2016503502A (ja) * | 2012-11-20 | 2016-02-04 | フォームファクター, インコーポレイテッド | フレキシブル薄膜に埋め込まれたカーボンナノチューブプローブを有する接触器装置及びこれを製造するプロセス |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101583000B1 (ko) * | 2009-03-09 | 2016-01-19 | 삼성전자주식회사 | 반도체 디바이스 테스트 장치 및 방법 |
WO2012125606A2 (en) | 2011-03-16 | 2012-09-20 | Formfactor, Inc. | Wireless probe card verification system and method |
DE102013215633B4 (de) | 2012-08-13 | 2023-07-06 | GM Global Technology Operations, LLC (n.d. Ges. d. Staates Delaware) | Ausrichtungssystem |
US9335347B2 (en) * | 2012-09-10 | 2016-05-10 | Advantest Corporation | Method and apparatus for massively parallel multi-wafer test |
JP6099347B2 (ja) * | 2012-10-03 | 2017-03-22 | 東京エレクトロン株式会社 | ウエハ取り付け方法及びウエハ検査装置 |
JP6209376B2 (ja) * | 2013-07-08 | 2017-10-04 | 株式会社日本マイクロニクス | 電気的接続装置 |
TWI521212B (zh) * | 2014-03-10 | 2016-02-11 | A method and a method of assembling a vertical probe device, and a vertical probe device | |
US10153187B2 (en) * | 2014-11-11 | 2018-12-11 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for transferring a substrate |
KR102396428B1 (ko) * | 2014-11-11 | 2022-05-11 | 삼성전자주식회사 | 반도체 테스트 장치 및 방법 |
US10241149B2 (en) * | 2015-09-24 | 2019-03-26 | The United States Of America, As Represented By The Secretary Of Commerce | Massively parallel wafer-level reliability system and process for massively parallel wafer-level reliability testing |
US10527649B2 (en) | 2017-07-14 | 2020-01-07 | International Business Machines Corporation | Probe card alignment |
US10345136B2 (en) | 2017-07-14 | 2019-07-09 | International Business Machines Corporation | Adjustable load transmitter |
US10634717B2 (en) * | 2017-09-29 | 2020-04-28 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Testing apparatus and testing method |
TWI677690B (zh) * | 2018-08-28 | 2019-11-21 | 創意電子股份有限公司 | 漩渦式探針、探針測試裝置、探針卡系統及多晶片模組之失效分析方法 |
CN114072682A (zh) * | 2019-03-20 | 2022-02-18 | 塞莱敦体系股份有限公司 | 便携式探针卡组件 |
JP7274350B2 (ja) * | 2019-05-28 | 2023-05-16 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送システム、検査システム及び検査方法 |
KR102322949B1 (ko) * | 2019-12-04 | 2021-11-09 | 한국생산기술연구원 | 멀티프로버 시스템용 얼라이너 및 이를 구비하는 멀티프로버 시스템 |
KR102294402B1 (ko) * | 2019-12-04 | 2021-08-31 | 한국생산기술연구원 | 멀티프로버 시스템용 얼라이너 및 이를 구비하는 멀티프로버 시스템 |
KR102319920B1 (ko) * | 2019-12-04 | 2021-11-01 | 한국생산기술연구원 | 멀티프로버 시스템용 얼라이너 및 이를 구비하는 멀티프로버 시스템 |
KR102250702B1 (ko) * | 2019-12-04 | 2021-05-11 | 한국생산기술연구원 | 멀티프로버 시스템용 얼라이너 및 이를 구비하는 멀티프로버 시스템 |
DE112021007343T5 (de) * | 2021-03-23 | 2024-05-02 | Kioxia Corporation | Speichersystem |
KR102648394B1 (ko) * | 2023-11-15 | 2024-03-18 | 주식회사 유니테스트 | 웨이퍼 검사용 프로브 카드 홀더 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001203244A (ja) * | 2000-01-19 | 2001-07-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体集積回路の検査方法、半導体集積回路の検査装置及びアライメント装置 |
JP2003504890A (ja) * | 1999-07-14 | 2003-02-04 | エイアー テスト システムズ | ウェハ・レベル・バーンイン及びテスト用カートリッジ及び方法 |
JP2005049254A (ja) * | 2003-07-30 | 2005-02-24 | Tokyo Electron Ltd | 検査装置 |
JP2010527515A (ja) * | 2007-05-15 | 2010-08-12 | ロナルド・シー・シューバート | ウェーハプローブ試験および検査システム |
Family Cites Families (40)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7511520B2 (en) * | 1990-08-29 | 2009-03-31 | Micron Technology, Inc. | Universal wafer carrier for wafer level die burn-in |
US5254939A (en) * | 1992-03-20 | 1993-10-19 | Xandex, Inc. | Probe card system |
US5570032A (en) * | 1993-08-17 | 1996-10-29 | Micron Technology, Inc. | Wafer scale burn-in apparatus and process |
US5644245A (en) * | 1993-11-24 | 1997-07-01 | Tokyo Electron Limited | Probe apparatus for inspecting electrical characteristics of a microelectronic element |
US5982182A (en) * | 1994-09-01 | 1999-11-09 | Chiu; Michael A. | Interface apparatus for automatic test equipment with positioning modules incorporating kinematic surfaces |
JP2929948B2 (ja) * | 1994-09-20 | 1999-08-03 | 三菱電機株式会社 | プローブ式テストハンドラー及びそれを用いたicのテスト方法 |
US5656943A (en) * | 1995-10-30 | 1997-08-12 | Motorola, Inc. | Apparatus for forming a test stack for semiconductor wafer probing and method for using the same |
US6166552A (en) * | 1996-06-10 | 2000-12-26 | Motorola Inc. | Method and apparatus for testing a semiconductor wafer |
US6040700A (en) * | 1997-09-15 | 2000-03-21 | Credence Systems Corporation | Semiconductor tester system including test head supported by wafer prober frame |
JP3456877B2 (ja) | 1997-10-20 | 2003-10-14 | 松下電器産業株式会社 | ウェハカセット |
US6111421A (en) * | 1997-10-20 | 2000-08-29 | Tokyo Electron Limited | Probe method and apparatus for inspecting an object |
JP3467394B2 (ja) * | 1997-10-31 | 2003-11-17 | 松下電器産業株式会社 | バーンイン用ウェハカセット及びプローブカードの製造方法 |
JP3535728B2 (ja) | 1998-02-23 | 2004-06-07 | 松下電器産業株式会社 | 半導体集積回路の検査装置 |
US6627483B2 (en) | 1998-12-04 | 2003-09-30 | Formfactor, Inc. | Method for mounting an electronic component |
US7382142B2 (en) * | 2000-05-23 | 2008-06-03 | Nanonexus, Inc. | High density interconnect system having rapid fabrication cycle |
US6413113B2 (en) * | 1999-07-14 | 2002-07-02 | Aehr Test Systems | Kinematic coupling |
US6377062B1 (en) | 2000-03-17 | 2002-04-23 | Credence Systems Corporation | Floating interface for integrated circuit test head |
US7053646B2 (en) * | 2000-09-15 | 2006-05-30 | Orsillo James F | Apparatus and method for use in testing a semiconductor wafer |
US7396236B2 (en) * | 2001-03-16 | 2008-07-08 | Formfactor, Inc. | Wafer level interposer |
JP3924714B2 (ja) * | 2001-12-27 | 2007-06-06 | 東京エレクトロン株式会社 | ウエハカセット |
US6756800B2 (en) * | 2002-04-16 | 2004-06-29 | Teradyne, Inc. | Semiconductor test system with easily changed interface unit |
US7202682B2 (en) * | 2002-12-20 | 2007-04-10 | Formfactor, Inc. | Composite motion probing |
JP4391744B2 (ja) * | 2002-12-27 | 2009-12-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 移動式プローブカード搬送装置、プローブ装置及びプローブ装置へのプローブカードの搬送方法 |
US6833696B2 (en) * | 2003-03-04 | 2004-12-21 | Xandex, Inc. | Methods and apparatus for creating a high speed connection between a device under test and automatic test equipment |
US7202687B2 (en) | 2004-04-08 | 2007-04-10 | Formfactor, Inc. | Systems and methods for wireless semiconductor device testing |
US7071724B2 (en) * | 2004-06-25 | 2006-07-04 | Infineon Technologies Ag | Wafer probecard interface |
JP2006032593A (ja) * | 2004-07-15 | 2006-02-02 | Renesas Technology Corp | プローブカセット、半導体検査装置および半導体装置の製造方法 |
US7285968B2 (en) * | 2005-04-19 | 2007-10-23 | Formfactor, Inc. | Apparatus and method for managing thermally induced motion of a probe card assembly |
US7274201B2 (en) * | 2005-05-19 | 2007-09-25 | Micron Technology, Inc. | Method and system for stressing semiconductor wafers during burn-in |
US7733106B2 (en) * | 2005-09-19 | 2010-06-08 | Formfactor, Inc. | Apparatus and method of testing singulated dies |
TWI362717B (en) * | 2005-10-18 | 2012-04-21 | Gsi Group Corp | Methods for alignment utilizing an optical reference |
JP2007147537A (ja) * | 2005-11-30 | 2007-06-14 | Tokyo Electron Ltd | プローブカード移載補助装置及び検査設備 |
JP2007165675A (ja) | 2005-12-15 | 2007-06-28 | Ricoh Co Ltd | 半導体検査装置 |
JP2007183193A (ja) | 2006-01-10 | 2007-07-19 | Micronics Japan Co Ltd | プロービング装置 |
JP4744382B2 (ja) | 2006-07-20 | 2011-08-10 | 株式会社東京精密 | プローバ及びプローブ接触方法 |
US7746089B2 (en) * | 2006-09-29 | 2010-06-29 | Formfactor, Inc. | Method and apparatus for indirect planarization |
KR100909966B1 (ko) * | 2007-05-31 | 2009-07-29 | 삼성전자주식회사 | 멀티 프로브 카드 유니트 및 이를 구비한 프로브 검사 장치 |
JP5049694B2 (ja) * | 2007-08-07 | 2012-10-17 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | プローブカード、半導体検査装置および半導体装置の製造方法 |
US8760187B2 (en) | 2008-12-03 | 2014-06-24 | L-3 Communications Corp. | Thermocentric alignment of elements on parts of an apparatus |
US8222912B2 (en) * | 2009-03-12 | 2012-07-17 | Sv Probe Pte. Ltd. | Probe head structure for probe test cards |
-
2010
- 2010-12-27 US US12/979,200 patent/US8872532B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2010-12-28 SG SG2012048518A patent/SG181991A1/en unknown
- 2010-12-28 JP JP2012547244A patent/JP5735003B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2010-12-28 KR KR1020127020110A patent/KR101699838B1/ko active IP Right Grant
- 2010-12-28 WO PCT/US2010/062260 patent/WO2011082183A2/en active Application Filing
- 2010-12-30 TW TW099146886A patent/TWI518338B/zh not_active IP Right Cessation
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003504890A (ja) * | 1999-07-14 | 2003-02-04 | エイアー テスト システムズ | ウェハ・レベル・バーンイン及びテスト用カートリッジ及び方法 |
JP2001203244A (ja) * | 2000-01-19 | 2001-07-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体集積回路の検査方法、半導体集積回路の検査装置及びアライメント装置 |
JP2005049254A (ja) * | 2003-07-30 | 2005-02-24 | Tokyo Electron Ltd | 検査装置 |
JP2010527515A (ja) * | 2007-05-15 | 2010-08-12 | ロナルド・シー・シューバート | ウェーハプローブ試験および検査システム |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016503502A (ja) * | 2012-11-20 | 2016-02-04 | フォームファクター, インコーポレイテッド | フレキシブル薄膜に埋め込まれたカーボンナノチューブプローブを有する接触器装置及びこれを製造するプロセス |
JP2014192285A (ja) * | 2013-03-27 | 2014-10-06 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101699838B1 (ko) | 2017-01-25 |
TWI518338B (zh) | 2016-01-21 |
US8872532B2 (en) | 2014-10-28 |
US20110156735A1 (en) | 2011-06-30 |
JP5735003B2 (ja) | 2015-06-17 |
WO2011082183A3 (en) | 2011-11-17 |
TW201135253A (en) | 2011-10-16 |
KR20120104405A (ko) | 2012-09-20 |
SG181991A1 (en) | 2012-08-30 |
WO2011082183A2 (en) | 2011-07-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5735003B2 (ja) | ウエハテストカセットシステム | |
TWI550276B (zh) | 探針卡總成、用以與探針卡總成一起使用的加強件、及測試裝置 | |
US8760187B2 (en) | Thermocentric alignment of elements on parts of an apparatus | |
US7812626B2 (en) | High density interconnect system for IC packages and interconnect assemblies | |
US7579848B2 (en) | High density interconnect system for IC packages and interconnect assemblies | |
US7511521B2 (en) | Assembly for electrically connecting a test component to a testing machine for testing electrical circuits on the test component | |
US8427186B2 (en) | Probe element having a substantially zero stiffness and applications thereof | |
US7372286B2 (en) | Modular probe card | |
US7843202B2 (en) | Apparatus for testing devices | |
TWI458983B (zh) | 用於與測試裝置使用之加強件以及探針卡總成 | |
US20080048698A1 (en) | Probe Card | |
KR100915179B1 (ko) | 프로브 카드 | |
US8278956B2 (en) | Probecard system and method | |
KR20090075717A (ko) | 간접 평탄화를 위한 방법 및 장치 | |
US20110128029A1 (en) | Stiffener assembly for use with testing devices | |
WO2004008163A2 (en) | Assembly for connecting a test device to an object to be tested | |
US20080100323A1 (en) | Low cost, high pin count, wafer sort automated test equipment (ate) device under test (dut) interface for testing electronic devices in high parallelism | |
US9128122B2 (en) | Stiffener plate for a probecard and method |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131225 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20131225 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140620 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140624 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20140924 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20141001 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150324 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150415 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5735003 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |