KR100909966B1 - 멀티 프로브 카드 유니트 및 이를 구비한 프로브 검사 장치 - Google Patents

멀티 프로브 카드 유니트 및 이를 구비한 프로브 검사 장치 Download PDF

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Abstract

탐침이 양면에 마련되는 프로브 카드를 포함하며, 프로브 카드의 일면 및 타면에 각각 접근되는 웨이퍼의 패드와 탐침의 접촉에 의하여 복수의 웨이퍼를 동시에 검사할 수 있는 것을 특징으로 하는 멀티 프로브 카드 유니트 및 이를 구비한 프로브 검사 장치가 개시된다.

Description

멀티 프로브 카드 유니트 및 이를 구비한 프로브 검사 장치{Multi probe card unit and probe test device including the same}
도 1은 본 발명의 일 실시예로서 양면에 탐침이 형성된 프로브 카드를 포함하는 멀티 프로브 카드 유니트 및 이를 구비한 프로브 검사 장치를 도시한 측면도이다.
도 2는 본 발명의 다른 실시예로서 서로 반대 방향으로 배치된 복수의 프로브 카드를 포함하는 멀티 프로브 카드 유니트 및 이를 구비한 프로브 검사 장치를 도시한 측면도이다.
도 3은 본 발명의 또 다른 실시예로서 서로 동일 방향으로 배치된 복수의 프로브 카드를 포함하는 멀티 프로브 카드 유니트 및 이를 구비한 프로브 검사 장치를 도시한 측면도이다.
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예로서 수직 배치된 프로브 카드를 포함하는 멀티 프로브 카드 유니트 및 이를 구비한 프로브 검사 장치를 도시한 측면도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100...멀티 프로브 카드 유니트(multi probe card unit)
110...탐침(probe) 120...프로브 카드
121...제1프로브 카드 122...제2프로브 카드
140...ZIF 커넥터(Zero Insertion Force connector)
150...동축 케이블(coaxial cable) 160...포고 핀(pogo pin)
170...에지 커넥터(edge connector) 200...척(chuck)
300...웨이퍼(wafer) 400...프레임(frame)
410...슬롯(slot) 500...프로브 검사 장치
본 발명은 반도체 검사 장비에 관한 것으로, 특히 웨이퍼에 형성된 칩의 양호 또는 불량을 선별하는 이디에스(Electrical die sorting;EDS) 공정에 사용되는 프로브 카드 및 이를 구비한 프로브 검사 장치에 관한 것이다.
반도체 소자의 제조 공정은 크게 패브리케이션(fabrication) 공정, 이디에스(Electrical die sorting;EDS) 공정, 어셈블리(assembly) 공정으로 나눌 수 있다. 패브리케이션 공정은 웨이퍼 상에 특정 패턴을 형성하여 집적 회로를 구성하는 공정이고, 어셈블리 공정은 집적 회로가 구성된 웨이퍼를 단위 칩으로 절단하여 패키징하는 공정이다.
EDS 공정은 웨이퍼를 각 단위 칩으로 절단하기 전에 단위 칩의 전기적 특성을 검사하는 공정이며, 각 칩의 전기적 특성 검사를 웨이퍼 단위로 수행하는 공정이다. EDS 공정을 수행하여 불량 칩을 수리 또는 제거함으로써 어셈블리 및 패키지 검사(package test)에서의 원가를 절감할 수 있다.
EDS 공정시 프로브 검사 장치에 검사 대상인 웨이퍼를 로딩한 후 얼라인(align)하고, 프로브 카드를 이동하여 웨이퍼에 접촉시킴으로써 칩의 정상 동작 여부를 테스트한다. 프로브 카드는 각 칩에 형성된 패드의 배열 폭에 대응되는 매우 가는 크기의 탐침을 인쇄회로기판에 돌출시킨 것이며, 탐침 및 패드의 접촉으로 웨이퍼를 검사한다. 프로브 검사 장치의 검사용 신호는 각 칩의 패드에 접촉된 상기 탐침들을 통하여, 소자 내부의 회로에 전달된다. 따라서, 웨이퍼에 형성된 각 칩들의 패드와 정확히 일치하는 좌표에 탐침이 배치되어야 한다. 프로브 카드의 탐침들은 프로브 검사 장치에 의한 얼라인 과정을 통해 각 패드와 위치 정렬된다.
본 발명의 기술적 과제는, 웨이퍼를 1장 단위로 검사하던 종래의 한계를 극복하고, 여러 장의 웨이퍼를 동시에 검사하여 EDS 공정의 검사 용량을 획기적으로 증대시킬 수 있는 멀티 프로브 카드 유니트 및 이를 구비한 프로브 검사 장치를 제공하는 것이다.
상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 멀티 프로브 카드 유니트는, 탐침이 양면에 마련되는 프로브 카드를 포함하며, 상기 프로브 카드의 일면 및 타면에 각각 접근되는 웨이퍼의 패드와 상기 탐침의 접촉에 의하여 복수의 웨이퍼를 동시에 검사할 수 있는 것을 특징으로 한다. 여기서, 상기 프로브 카드는 수평 또는 수직으로 배치될 수 있다.
한편, 본 발명의 멀티 프로브 카드 유니트는, 웨이퍼 상에 형성된 각 칩의 패드에 접촉되는 탐침을 구비하는 제1프로브 카드 및 제2프로브 카드; 상기 복수의 프로브 카드를 전기적으로 연결하는 연결부; 를 포함하며, 상기 제1프로브 카드 및 제2프로브 카드에 대하여 상기 웨이퍼가 각각 대면됨으로써 복수의 웨이퍼를 동시에 검사할 수 있다.
일 실시예로서, 상기 제1프로브 카드 및 제2프로브 카드는 상기 탐침이 서로 반대 방향으로 돌출되도록 배치되며, 상기 복수의 웨이퍼는 서로 반대 방향으로 상기 제1프로브 카드 및 제2프로브 카드에 접근된다. 그리고, 상기 멀티 프로브 카드 유니트는, 상기 웨이퍼가 상기 제1프로브 카드 및 제2프로브 카드에 작용하는 접촉력을 조절하도록 상기 제1프로브 카드 및 제2프로브 카드 사이에 마련되는 접촉력 조절부; 를 더 포함하는 것이 바람직하다. 상기 접촉력 조절부는 탄성체일 수 있다.
일 실시예로서, 상기 제1프로브 카드 및 제2프로브 카드는 상기 탐침이 서로 동일 방향으로 돌출되도록 배치되며, 상기 복수의 웨이퍼는 서로 동일 방향으로 상기 제1프로브 카드 및 제2프로브 카드에 접근된다.
일 실시예로서, 상기 연결부는, ZIF 커넥터, 동축 케이블, 포고 핀, 에지 커넥터 중 적어도 어느 하나이다.
일 실시예로서, 상기 제1프로브 카드 및 제2프로브 카드는 수직 또는 수평으로 배치된다.
한편, 본 발명의 프로브 검사 장치는, 탐침이 양면에 형성된 프로브 카드를 포함하는 멀티 프로브 카드 유니트를 적어도 하나 이상 구비하며, 상기 프로브 카 드의 일면 및 타면에 각각 접근되는 웨이퍼의 패드와 상기 탐침의 접촉에 의하여 복수의 웨이퍼를 동시에 검사할 수 있는 것을 특징으로 한다.
한편, 본 발명의 프로브 검사 장치는, 웨이퍼 상에 형성된 각 칩의 패드에 접촉되는 탐침을 구비하는 제1프로브 카드 및 제2프로브 카드; 상기 복수의 프로브 카드를 전기적으로 연결하는 연결부; 를 구비하는 멀티 프로브 카드 유니트를 적어도 하나 이상 포함하며, 상기 제1회로기판의 탐침은 제1방향을 향하여 돌출되고 상기 제2프로브 카드의 탐침은 상기 제1방향의 역방향인 제2방향을 향하여 돌출되며, 하나의 웨이퍼가 상기 제2방향을 향하여 이동되면서 상기 제1회로기판의 탐침에 접촉되고 또 다른 웨이퍼가 상기 제1방향을 향하여 이동되면서 상기 제2회로기판의 탐침에 접촉됨으로써, 복수의 웨이퍼를 동시에 검사할 수 있다. 여기서, 상기 멀티 프로브 카드 유니트는, 상기 웨이퍼가 상기 제1프로브 카드 및 제2프로브 카드에 작용하는 접촉력을 조절하도록 상기 제1프로브 카드 및 제2프로브 카드 사이에 마련되는 접촉력 조절부; 를 더 구비하는 것이 바람직하다.
한편, 본 발명의 프로브 검사 장치는, 웨이퍼 상에 형성된 각 칩의 패드에 접촉되는 탐침을 구비하는 제1프로브 카드 및 제2프로브 카드; 상기 복수의 프로브 카드를 전기적으로 연결하는 연결부; 를 구비하는 멀티 프로브 카드 유니트를 적어도 하나 이상 포함하며, 상기 제1회로기판 및 제2회로기판의 탐침은 제1방향을 향하여 돌출되고, 하나의 웨이퍼가 상기 제1방향의 역방향인 제2방향을 향하여 이동되면서 상기 제1회로기판의 탐침에 접촉되며 또 다른 웨이퍼 역시 상기 제2방향을 향하여 이동되면서 상기 제2회로기판의 탐침에 접촉됨으로써, 복수의 웨이퍼를 동 시에 검사할 수 있다.
일 실시예로서, 상기 연결부는, ZIF 커넥터, 동축 케이블, 포고 핀, 에지 커넥터 중 적어도 어느 하나이다.
일 실시예로서, 상기 제1프로브 카드 및 제2프로브 카드는 수직 또는 수평으로 배치된다.
이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예는 첨부도면에 도시된 바에 국한되지 않고, 동일한 발명의 범주내에서 다양하게 변형될 수 있음을 밝혀둔다.
만약 프로브 카드의 한쪽 면에만 탐침이 장착되는 경우, 프로브 카드가 한 장의 웨이퍼와 대면되므로 한 번 이동시에 한 장의 웨이퍼만 검사할 수 있는 제한이 따른다. 이러한 검사 용량 제한을 극복하고 다량의 웨이퍼를 동시에 검사할 수 있는 본 발명의 멀티 프로브 카드 유니트 및 프로브 검사 장치가 여기에 개시된다. 본 발명의 멀티 프로브 카드 유니트는 종래와 달리 1장 또는 2장 이상의 웨이퍼를 동시에 검사할 수 있다. 이러한 멀티 프로브 카드 유니트를 구비한 프로브 검사 장치를 이용하면 동시에 검사 가능한 웨이퍼 매수를 4장, 6장 등 얼마든지 증가시킬 수 있다.
도 1 내지 도 4는 프로브 카드 및 탐침의 형태나 배치 방법에 따라서 분류되는 본 발명의 다양한 실시예를 도시한다. 도시된 바에 의하면 프레임(400)에 멀티 프로브 카드 유니트(100)가 2개만 설치되었지만 이는 설명의 편의를 위한 것일 뿐 프로브 검사 장치(500)에 마련되는 멀티 프로브 카드 유니트(100)의 개수는 제한되 지 않는다. 프로브 검사 장치(500)는 멀티 프로브 카드 유니트(100), 멀티 프로브 카드 유니트(100)가 끼워지는 슬롯(410)을 구비한 프레임(400), 웨이퍼(300)를 이송시키는 척(200)을 포함할 수 있다. 적어도 하나 이상의 멀티 프로브 카드 유니트(100)는 프로브 검사 장치(500)의 프레임(400)에 형성된 슬롯(410)에 장착된다. 멀티 프로브 카드 유니트(100)는 슬롯(410)에 끼워짐으로써 소정 위치에 고정되고 척(200)에 놓여진 웨이퍼(300)의 이동에 의하여 탐침(110) 및 패드(미도시)가 접촉된다. 도시하지는 않았지만, 웨이퍼가 소정 위치에 고정되고 멀티 프로브 카드 유니트가 이동되며 탐침 및 패드가 접촉되는 실시예도 가능하다.
도 1은 본 발명의 일 실시예로서 양면에 탐침이 형성된 프로브 카드를 포함하는 멀티 프로브 카드 유니트 및 이를 구비한 프로브 검사 장치를 도시한 측면도이다. 웨이퍼(300)는 EDS 검사 공정을 위하여 웨이퍼 이송 로봇(미도시)에 실려져 프로브 검사 장치(500)로 운반된다. 웨이퍼 이송 로봇에서 꺼내어져 프로브 검사 장치(500)에 투입된 웨이퍼(300)는 척(200)에 로딩되어 소정의 위치로 승강된다.
도 1의 실시예에 의하면 본 발명의 멀티 프로브 카드 유니트는, 일면 및 타면을 갖고, 프로브 검사 장치(500)와 연결되는 프로브 카드(120) 및 웨이퍼의 패드와 접촉되도록 상기 프로브 카드(120)의 일면 및 타면에 각각 마련되는 탐침(110)을 포함하여 이루어지는 구성이다.
척(200)에 놓여져 이동되는 웨이퍼(300)가 프로브 카드(120)에 근접되면 웨이퍼(300) 상의 패드 및 멀티 프로브 카드 유니트(100)의 탐침(110)이 접촉되면서 통전 검사가 이루어진다.
도시된 예에 의하면 프로브 카드(120)의 상면에 형성된 탐침(110)은 프로브 카드(120)의 상면으로부터 접근되는 웨이퍼(300)의 패드와 소정의 접촉력(F)으로 접촉되며, 프로브 카드(120)의 배면에 형성된 탐침(110)은 프로브 카드(120)의 배 면으로부터 접근되는 또 다른 웨이퍼(300)의 패드와 소정의 접촉력(F)으로 접촉된다.
프로브 검사 장치(500)가 제공한 웨이퍼 검사 신호는 프로브 카드(120)로 전달되며, 상기 검사 신호는 탐침(110)을 통하여 웨이퍼(300) 상의 패드로 전달되고, 칩을 구성하는 내부 회로가 상기 검사 신호를 추종하며 정상 작동하는지 여부가 검사된다. 도시하지는 않았지만, 신호 전달 수단이 더 마련됨으로써 웨이퍼 검사용 전기 신호를 프로브 검사 장치로부터 프로브 카드 및 탐침까지 전달할 수 있다.
도 2는 본 발명의 다른 실시예로서 서로 반대 방향으로 배치된 복수의 프로브 카드(120)를 포함하는 멀티 프로브 카드 유니트(100) 및 이를 구비한 프로브 검사 장치(500)를 도시한 측면도이다. 도 3은 본 발명의 또 다른 실시예로서 서로 동일 방향으로 배치된 복수의 프로브 카드(120)를 포함하는 멀티 프로브 카드 유니트(100) 및 이를 구비한 프로브 검사 장치(500)를 도시한 측면도이다. 도 1에 도시된 실시예와 달리 도 2 및 도 3에 도시된 실시예는 탐침(110)을 각각 구비한 복수의 프로브 카드(120)를 연결부에 의하여 전기적으로 연결한 멀티 프로브 카드 유니트(100) 및 프로브 검사 장치(500)이다.
도 2 및 도 3에 도시된 실시예에서, 하나의 멀티 프로브 카드 유니트(100)는 제1프로브 카드(121) 및 제2프로브 카드(122)를 포함하여 적어도 2장 이상의 프로브 카드를 구비한다. 도 2와 같이 각 탐침(110)이 서로 반대 방향으로 돌출되도록 제1프로브 카드(121) 및 제2프로브 카드(122)가 배치되거나, 도 3과 같이 탐침(110)이 서로 동일한 방향으로 돌출되도록 제1프로브 카드(121) 및 제2프로브 카 드(122)가 배치될 수 있다. 도 2의 실시예에서는 멀티 프로브 카드 유니트(100)를 사이에 두고 복수의 웨이퍼(300)가 서로 반대 방향을 따라 접근되며, 도 3의 실시예에서는 제1프로브 카드(121)에 대한 웨이퍼(300)의 접근 방향과 제2프로브 카드(122)에 대한 웨이퍼(300)의 접근 방향이 서로 동일하다.
예를 들어, 프로브 검사 장치(500)의 상측 방향을 제1방향으로 정의하고 프로브 검사 장치(500)의 하측 방향을 제2방향으로 정의하면, 이들은 서로 역방향이 되는 것이 바람직하다. 도 2에서는 제1프로브 카드(121)의 탐침(110)이 제1방향을 향하여 돌출되고 웨이퍼(300)가 제2방향을 향하여 접근되며, 제2프로브 카드(122)의 탐침(110)이 제2방향을 향하여 돌출되고 웨이퍼(300)가 제1방향을 향하여 접근된다.
한편, 제1방향 및 제2방향은 이와 달리 정의될 수 있는데, 예를 들어 프로브 검사 장치(500)의 하측 방향을 제1방향으로 정의하고 프로브 검사 장치(500)의 상측 방향을 제2방향으로 정의하면, 도 3에서는 제1프로브 카드(121) 및 제2프로브 카드(122)의 탐침(110)이 서로 동일한 제1방향을 향하여 돌출되고 제2방향을 향하여 이동되는 각각의 웨이퍼(300)가 제1프로브 카드(121) 및 제2프로브 카드(122)에 접근된다.
척(200)에 올려져 이동되는 웨이퍼(300)는 제1프로브 카드(121) 및 제2프로브 카드(122) 각각에 대하여 소정의 접촉력(F)으로 접촉된다. 도 2의 실시예에서는 접촉력(F)이 서로 다른 방향으로 작용하므로 상기 접촉력(F)에 의하여 제1프로브 카드(121) 및 제2프로브 카드(122)가 변형 또는 파손될 수 있다. 이를 억제하기 위 하여 접촉력 조절부가 마련되는 것이 바람직하다. 접촉력 조절부는 제1프로브 카드(121) 및 제2프로브 카드(122) 사이에 배치되며 탄성체(elastic material) 또는 점탄성체(visco-elastic material)일 수 있다. 접촉력 조절부의 다른 실시예로서, 작용력을 능동적으로 조절할 수 있도록, 공압 실린더, 유압 실린더 및 솔레노이드 등도 가능하다.
제1프로브 카드(121) 및 제2프로브 카드(122)를 전기적으로 연결하는 연결부는 ZIF 커넥터(140), 동축 케이블(150), 포고 핀(160), 에지 커넥터(170) 중 적어도 어느 하나일 수 있다. 도 2 및 도 3에는 ZIF 커넥터(140), 동축 케이블(150), 포고 핀(160), 에지 커넥터(170)이 모두 연결되는 것으로 도시되었지만 이들 중 적어도 어느 하나만 채용하거나 이들 외에 다른 타입의 커넥터를 구비할 수 있다.
반도체 테스트 장치에서 프로브 카드 사이의 신뢰성 있는 접속이 요구된다. 금속 대 금속의 접촉 부위에 높은 접촉력이 작용하는 종래의 접속 방법은 접점에 형성된 금속 도금의 손상을 가져오고 수명 저하 요인이 될 수 있다. 이러한 문제를 개선하고자 두 개의 커넥터(141, 142) 사이의 접촉력이 실질적으로 제로(zero)가 되는 ZIF 커넥터(140)가 채용될 수 있다. 동축 케이블(150)은 케이블을 타고 유도되는 전기적 노이즈 제거에 효과적이다. 포고 핀(160)은 에어(air), 유체 또는 탄성체로 내부가 채워지는 몸통(162), 및 상기 몸통 내부에서 이동하며 접점을 서로 연결하는 접촉 핀(161)을 구비한다. 포고 핀(160)은 접촉 핀에 작용하는 탄성력 또는 점탄성력에 의하여 두 접점을 연결하며, 접촉 핀(161)이 마모되어도 일정한 접촉력을 확보할 수 있으며, 장시간의 사용 수명을 갖고, 종래의 커넥터에서 염려되 는 금속 대 금속 접촉 부위의 마모를 줄일 수 있다. 에지 커넥터(170)는 프로브 카드(120)의 가장자리에 마련되는 것으로서 프로브 카드(120)의 이격 거리에 상관없이 설치될 수 있으며, 두 개의 프로브 카드(121,122)에 각각 연결되는 연결선(171) 및 이들 연결선(171)이 접속되는 접속부(172)를 구비한다.
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예로서 수직 배치한 프로브 카드(120)를 포함하는 멀티 프로브 카드 유니트(100) 및 이를 구비한 프로브 검사 장치(500)를 도시한 측면도이다. 멀티 프로브 카드 유니트(100) 또는 프로브 카드(120)가 수평 방향을 따라 연장되고 척(200)의 이동 방향이 수직 방향으로 도시된 도 1의 실시예에서, 멀티 프로브 카드 유니트(100) 또는 프로브 카드(120)의 배치 방향을 수직으로 바꾸면 도 4의 실시예가 된다. 도 4에서 멀티 프로브 카드 유니트(100) 또는 프로브 카드(120)는 수직 방향으로 연장되고 척(200)의 이동 방향이 수평 방향이 된다. 도시되지 않은 실시예로서, 도 2 또는 도 3과 같이 멀티 프로브 카드 유니트(100) 또는 프로브 카드(120)가 수평 방향으로 연장되는 프로브 검사 장치(500)에 있어서, 멀티 프로브 카드 유니트(100) 또는 프로브 카드(120)가 수직 방향으로 연장되도록 배치하는 변형도 가능하다.
상술한 바와 같이 본 발명의 멀티 프로브 카드 유니트 및 이를 구비한 프로브 검사 장치는 웨이퍼를 1장 단위로 검사하던 종래의 한계를 극복하고 복수의 웨이퍼를 동시에 검사할 수 있으므로, 프로브 카드 설치 공간 절약과 EDS공정의 검사 용량 증가를 이룰 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 아래의 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.

Claims (15)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 웨이퍼 상에 형성된 각 칩의 패드에 접촉되는 탐침을 구비하는 제1프로브 카드 및 제2프로브 카드;
    상기 제1프로브 카드 및 제2프로브 카드를 전기적으로 연결하는 연결부; 를 포함하며, 상기 제1프로브 카드 및 제2프로브 카드에 대하여 상기 웨이퍼가 각각 대면됨으로써 복수의 웨이퍼를 동시에 검사할 수 있는 것을 특징으로 하는 멀티 프로브 카드 유니트.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제1프로브 카드 및 제2프로브 카드는 상기 탐침이 서로 반대 방향으로 돌출되도록 배치되며, 상기 복수의 웨이퍼는 서로 반대 방향으로 상기 제1프로브 카드 및 제2프로브 카드에 접근되는 것을 특징으로 하는 멀티 프로브 카드 유니트.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 웨이퍼가 상기 제1프로브 카드 및 제2프로브 카드에 작용하는 접촉력을 조절하도록 상기 제1프로브 카드 및 제2프로브 카드 사이에 마련되는 접촉력 조절부; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티 프로브 카드 유니트.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 접촉력 조절부는 탄성체인 것을 특징으로 하는 멀티 프로브 카드 유니트.
  7. 제3항에 있어서,
    상기 제1프로브 카드 및 제2프로브 카드는 상기 탐침이 서로 동일 방향으로 돌출되도록 배치되며, 상기 복수의 웨이퍼는 서로 동일 방향으로 상기 제1프로브 카드 및 제2프로브 카드에 접근되는 것을 특징으로 하는 멀티 프로브 카드 유니트.
  8. 제3항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 연결부는, ZIF 커넥터, 동축 케이블, 포고 핀, 에지 커넥터 중 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 멀티 프로브 카드 유니트.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 제1프로브 카드 및 제2프로브 카드는 수직 또는 수평으로 배치되는 것을 특징으로 하는 멀티 프로브 카드 유니트.
  10. 삭제
  11. 웨이퍼 상에 형성된 각 칩의 패드에 접촉되는 탐침을 구비하는 제1프로브 카드 및 제2프로브 카드;
    상기 제1프로브 카드 및 제2프로브 카드를 전기적으로 연결하는 연결부; 를 포함하는 멀티 프로브 카드 유니트를 적어도 하나 이상 구비하며,
    상기 제1프로브 카드의 탐침은 제1방향을 향하여 돌출되고 상기 제2프로브 카드의 탐침은 상기 제1방향의 역방향인 제2방향을 향하여 돌출되며,
    하나의 웨이퍼가 상기 제2방향을 향하여 이동되면서 제1회로기판의 탐침에 접촉되고 또 다른 웨이퍼가 상기 제1방향으로 이동되면서 제2회로기판의 탐침에 접촉됨으로써, 복수의 웨이퍼를 동시에 검사할 수 있는 것을 특징으로 하는 프로브 검사 장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 멀티 프로브 카드 유니트는,
    상기 웨이퍼가 상기 제1프로브 카드 및 제2프로브 카드에 작용하는 접촉력을 조절하도록 상기 제1프로브 카드 및 제2프로브 카드 사이에 마련되는 접촉력 조절부; 를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 프로브 검사 장치.
  13. 웨이퍼 상에 형성된 각 칩의 패드에 접촉되는 탐침을 구비하는 제1프로브 카드 및 제2프로브 카드;
    상기 제1프로브 카드 및 제2프로브 카드를 전기적으로 연결하는 연결부; 를 구비하는 멀티 프로브 카드 유니트를 적어도 하나 이상 포함하며,
    제1회로기판 및 제2회로기판의 탐침은 제1방향을 향하여 돌출되고,
    하나의 웨이퍼가 상기 제1방향의 역방향인 제2방향을 향하여 이동되면서 상기 제1회로기판의 탐침에 접촉되며 또 다른 웨이퍼 역시 상기 제2방향을 향하여 이동되면서 상기 제2회로기판의 탐침에 접촉됨으로써, 복수의 웨이퍼를 동시에 검사할 수 있는 것을 특징으로 하는 프로브 검사 장치.
  14. 제11항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 연결부는, ZIF 커넥터, 동축 케이블, 포고 핀, 에지 커넥터 중 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 프로브 검사 장치.
  15. 제11항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1프로브 카드 및 제2프로브 카드는 수직 또는 수평으로 배치되는 것을 특징으로 하는 프로브 검사 장치.
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