JP2013502581A - 微細加工された慣性センサのオフセット検出および補償 - Google Patents
微細加工された慣性センサのオフセット検出および補償 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013502581A JP2013502581A JP2012525613A JP2012525613A JP2013502581A JP 2013502581 A JP2013502581 A JP 2013502581A JP 2012525613 A JP2012525613 A JP 2012525613A JP 2012525613 A JP2012525613 A JP 2012525613A JP 2013502581 A JP2013502581 A JP 2013502581A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- resonator
- accelerometer
- inertial sensor
- error
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 35
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 68
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 45
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims description 14
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 16
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 16
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 11
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 11
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 210000001520 comb Anatomy 0.000 description 6
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 6
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 6
- 238000013461 design Methods 0.000 description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 4
- 230000004044 response Effects 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- MXCPYJZDGPQDRA-UHFFFAOYSA-N dialuminum;2-acetyloxybenzoic acid;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3].CC(=O)OC1=CC=CC=C1C(O)=O MXCPYJZDGPQDRA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 2
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 2
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 2
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 2
- 230000001960 triggered effect Effects 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 230000000670 limiting effect Effects 0.000 description 1
- 230000000116 mitigating effect Effects 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 230000003534 oscillatory effect Effects 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000021715 photosynthesis, light harvesting Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000000275 quality assurance Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/097—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by vibratory elements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5705—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using masses driven in reciprocating rotary motion about an axis
- G01C19/5712—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using masses driven in reciprocating rotary motion about an axis the devices involving a micromechanical structure
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
Description
本願は、共有に係る米国特許出願第12/469,899号(2009年5月21日出願、名称「Mode−Matching Apparatus and Method For Micromachined Inertial Sensors」、代理人事件番号第2550/C21)に関連する。該出願は、その全体が参照により本明細書に引用される。
本発明は、微細加工された慣性センサに関し、より具体的には、微細加工された慣性センサのオフセット誤差の検出および/または低減に関する。
本発明はさらに、例えば、以下を提供する。
(項目1)
共振器および加速度計を有する慣性センサにおいて、該共振器に印加される駆動信号に関連する少なくとも1つの誤差源を検出する方法であって、
変調した駆動信号を該共振器に提供することと、
該少なくとも1つの誤差源を検出するために、該変調した駆動信号によって誘発される加速度計信号を感知することと
を含む、方法。
(項目2)
前記変調した駆動信号を前記共振器に提供することは、振幅変調、周波数変調、オン/オフキーイング、およびスペクトラム拡散変調のうちの1つを使用して、駆動信号を変調することを含む、項目1に記載の方法。
(項目3)
前記変調した駆動信号によって誘発される加速度計信号を検出することは、前記駆動信号を変調するために使用される変調信号に基づいて、加速度計信号を復調することを含む、項目1に記載の方法。
(項目4)
前記少なくとも1つの誤差源によって導入される誤差を実質的に相殺するために、少なくとも1つの補償信号を提供することをさらに含む、項目1に記載の方法。
(項目5)
前記少なくとも1つの誤差源は、同相オフセット誤差を含む、項目1に記載の方法。
(項目6)
前記同相オフセット誤差を実質的に相殺するために、補償信号を一組の同相補償電極に提供することをさらに含む、項目5に記載の方法。
(項目7)
前記少なくとも1つの誤差源は、前記駆動信号の前記加速度計への電子パススルーを含む、項目1に記載の方法。
(項目8)
前記パススルーを実質的に相殺するために、補償信号を前記加速度計に提供することをさらに含む、項目7に記載の方法。
(項目9)
前記共振器は、単一の共振周波数で共振するように連結された複数のシャトルを含む、項目1に記載の方法。
(項目10)
前記加速度計は、x軸センサ、y軸センサ、およびz軸センサのうちの少なくとも1つを含む、項目1に記載の方法。
(項目11)
慣性センサであって、
共振器と、
加速度計と、
変調した駆動信号を該共振器に提供するように構成された共振器ドライバと、
該共振器に印加された該駆動信号に関連する少なくとも1つの誤差源を検出するために、該変調した駆動信号によって誘発される加速度計信号を感知するように構成されたオフセット検出器と
を備えている、慣性センサ。
(項目12)
前記共振器ドライバは、振幅変調、周波数変調、オン/オフキーイング、およびスペクトラム拡散変調のうちの1つを使用して、前記駆動信号を変調するように構成されている、項目11に記載の慣性センサ。
(項目13)
前記オフセット検出器は、前記変調した駆動信号によって誘発される加速度計信号を検出するために、前記駆動信号を変調するために使用される変調信号に基づいて、加速度計信号を復調するように構成されている、項目11に記載の慣性センサ。
(項目14)
前記少なくとも1つの誤差源によって導入される誤差を実質的に相殺するために、少なくとも1つの補償信号を提供するように構成されたサーボをさらに備えている、項目11に記載の慣性センサ。
(項目15)
前記少なくとも1つの誤差源は、同相オフセット誤差を含む、項目11に記載の慣性センサ。
(項目16)
前記同相オフセット誤差を実質的に相殺するために、補償信号を一組の同相補償電極に提供するように構成されたサーボをさらに備えている、項目15に記載の慣性センサ。
(項目17)
前記少なくとも1つの誤差源は、前記駆動信号の前記加速度計への電子パススルーを含む、項目11に記載の慣性センサ。
(項目18)
前記パススルーを実質的に相殺するために、補償信号を前記加速度計に提供するように構成されたサーボをさらに備えている、項目17に記載の慣性センサ。
(項目19)
前記共振器は、単一の共振周波数で共振するように連結された複数のシャトルを含む、項目11に記載の慣性センサ。
(項目20)
前記加速度計は、x軸センサ、y軸センサ、およびz軸センサのうちの少なくとも1つを含む、項目11に記載の慣性センサ。
(項目21)
共振器および加速度計を含む慣性センサの該共振器に印加される駆動信号に関連する少なくとも1つの誤差源を検出するためのコントローラであって、
変調した駆動信号を該共振器に提供するように構成された共振器ドライバと、
該共振器に印加された該駆動信号に関連する少なくとも1つの誤差源を検出するために、該変調した駆動信号によって誘発される加速度計信号を感知するように構成されたオフセット検出器と
を備えている、コントローラ。
(項目22)
前記少なくとも1つの誤差源によって導入される誤差を実質的に相殺するために、少なくとも1つの補償信号を前記慣性センサに提供するように構成されたサーボをさらに備えている、項目21に記載のコントローラ。
(項目23)
共振器および加速度計を有し、該共振器が下側の基板によって支持された慣性センサにおいて、該共振器の空気力学に関連する少なくとも1つの誤差源を検出する方法であって、
該共振器の共振を引き起こすために、駆動信号を提供することと、
該共振器と該下側の基板との間の距離を変調するために、変調した試験信号を提供することと、
該少なくとも1つの誤差源を検出するために、該変調した試験信号によって誘発される加速度計信号を感知することと
を含む、方法。
(項目24)
前記変調した試験信号を提供することは、振幅変調、周波数変調、オン/オフキーイング、およびスペクトラム拡散変調のうちの1つを使用して、駆動信号を変調することを含む、項目23に記載の方法。
(項目25)
前記変調した試験信号は、一組の直交補償電極、一組の同相補償電極、および別個の組の試験電極のうちの少なくとも1つに印加される、項目23に記載の方法。
(項目26)
前記変調した試験信号によって誘発される加速度計信号を検出することは、前記試験信号を変調するために使用される変調信号に基づいて、加速度計信号を復調することを含む、項目23に記載の方法。
(項目27)
前記少なくとも1つの誤差源によって導入される誤差を実質的に相殺するために、少なくとも1つの補償信号を提供することをさらに含む、項目23に記載の方法。
(項目28)
慣性センサであって、
基板によって支持された共振器と、
加速度計と、
該共振器の共振を引き起こすために、駆動信号を該共振器に提供するように構成された共振器ドライバと、
該共振器と該基板との間の距離を変調するために、変調した試験信号を提供するように構成された試験信号発生器と、
該共振器の空気力学に関連する少なくとも1つの誤差源を検出するために、該変調した試験信号によって誘発される加速度計信号を感知するように構成された検出器と
を備えている、慣性センサ。
(項目29)
前記試験信号発生器は、振幅変調、周波数変調、オン/オフキーイング、およびスペクトラム拡散変調のうちの1つを使用して、前記試験信号を変調するように構成されている、項目28に記載の慣性センサ。
(項目30)
前記変調した試験信号は、一組の直交補償電極、一組の同相補償電極、および別個の組の試験電極のうちの少なくとも1つに印加される、項目28に記載の慣性センサ。
(項目31)
前記検出器は、前記試験信号を変調するために使用される変調信号に基づいて、加速度計信号を復調するように構成されている、項目28に記載の慣性センサ。
(項目32)
前記少なくとも1つの誤差源によって導入される誤差を実質的に相殺するために、少なくとも1つの補償信号を提供するように構成されたサーボをさらに備えている、項目28に記載の慣性センサ。
(項目33)
慣性センサの共振器の空気力学に関連する少なくとも1つの誤差源を検出するためのコントローラであって、該慣性センサは、該共振器と加速度計とを含み、該共振器は、基板によって支持され、
該コントローラは、
該共振器の共振を引き起こすために、駆動信号を該共振器に提供するように構成された共振器ドライバと、
該共振器と下側の該基板との間の距離を変調するために、変調した試験信号を提供するように構成された試験信号発生器と、
該共振器の空気力学に関連する少なくとも1つの誤差源を検出するために、該変調した試験信号によって誘発される加速度計信号を感知するように構成された検出器と
を備えている、コントローラ。
(項目34)
前記少なくとも1つの誤差源によって導入される誤差を実質的に相殺するために、少なくとも1つの補償信号を前記慣性センサに提供するように構成されたサーボをさらに備えている、項目33に記載のコントローラ。
Claims (34)
- 共振器および加速度計を有する慣性センサにおいて、該共振器に印加される駆動信号に関連する少なくとも1つの誤差源を検出する方法であって、
変調した駆動信号を該共振器に提供することと、
該少なくとも1つの誤差源を検出するために、該変調した駆動信号によって誘発される加速度計信号を感知することと
を含む、方法。 - 前記変調した駆動信号を前記共振器に提供することは、振幅変調、周波数変調、オン/オフキーイング、およびスペクトラム拡散変調のうちの1つを使用して、駆動信号を変調することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記変調した駆動信号によって誘発される加速度計信号を検出することは、前記駆動信号を変調するために使用される変調信号に基づいて、加速度計信号を復調することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの誤差源によって導入される誤差を実質的に相殺するために、少なくとも1つの補償信号を提供することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの誤差源は、同相オフセット誤差を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記同相オフセット誤差を実質的に相殺するために、補償信号を一組の同相補償電極に提供することをさらに含む、請求項5に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの誤差源は、前記駆動信号の前記加速度計への電子パススルーを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記パススルーを実質的に相殺するために、補償信号を前記加速度計に提供することをさらに含む、請求項7に記載の方法。
- 前記共振器は、単一の共振周波数で共振するように連結された複数のシャトルを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記加速度計は、x軸センサ、y軸センサ、およびz軸センサのうちの少なくとも1つを含む、請求項1に記載の方法。
- 慣性センサであって、
共振器と、
加速度計と、
変調した駆動信号を該共振器に提供するように構成された共振器ドライバと、
該共振器に印加された該駆動信号に関連する少なくとも1つの誤差源を検出するために、該変調した駆動信号によって誘発される加速度計信号を感知するように構成されたオフセット検出器と
を備えている、慣性センサ。 - 前記共振器ドライバは、振幅変調、周波数変調、オン/オフキーイング、およびスペクトラム拡散変調のうちの1つを使用して、前記駆動信号を変調するように構成されている、請求項11に記載の慣性センサ。
- 前記オフセット検出器は、前記変調した駆動信号によって誘発される加速度計信号を検出するために、前記駆動信号を変調するために使用される変調信号に基づいて、加速度計信号を復調するように構成されている、請求項11に記載の慣性センサ。
- 前記少なくとも1つの誤差源によって導入される誤差を実質的に相殺するために、少なくとも1つの補償信号を提供するように構成されたサーボをさらに備えている、請求項11に記載の慣性センサ。
- 前記少なくとも1つの誤差源は、同相オフセット誤差を含む、請求項11に記載の慣性センサ。
- 前記同相オフセット誤差を実質的に相殺するために、補償信号を一組の同相補償電極に提供するように構成されたサーボをさらに備えている、請求項15に記載の慣性センサ。
- 前記少なくとも1つの誤差源は、前記駆動信号の前記加速度計への電子パススルーを含む、請求項11に記載の慣性センサ。
- 前記パススルーを実質的に相殺するために、補償信号を前記加速度計に提供するように構成されたサーボをさらに備えている、請求項17に記載の慣性センサ。
- 前記共振器は、単一の共振周波数で共振するように連結された複数のシャトルを含む、請求項11に記載の慣性センサ。
- 前記加速度計は、x軸センサ、y軸センサ、およびz軸センサのうちの少なくとも1つを含む、請求項11に記載の慣性センサ。
- 共振器および加速度計を含む慣性センサの該共振器に印加される駆動信号に関連する少なくとも1つの誤差源を検出するためのコントローラであって、
変調した駆動信号を該共振器に提供するように構成された共振器ドライバと、
該共振器に印加された該駆動信号に関連する少なくとも1つの誤差源を検出するために、該変調した駆動信号によって誘発される加速度計信号を感知するように構成されたオフセット検出器と
を備えている、コントローラ。 - 前記少なくとも1つの誤差源によって導入される誤差を実質的に相殺するために、少なくとも1つの補償信号を前記慣性センサに提供するように構成されたサーボをさらに備えている、請求項21に記載のコントローラ。
- 共振器および加速度計を有し、該共振器が下側の基板によって支持された慣性センサにおいて、該共振器の空気力学に関連する少なくとも1つの誤差源を検出する方法であって、
該共振器の共振を引き起こすために、駆動信号を提供することと、
該共振器と該下側の基板との間の距離を変調するために、変調した試験信号を提供することと、
該少なくとも1つの誤差源を検出するために、該変調した試験信号によって誘発される加速度計信号を感知することと
を含む、方法。 - 前記変調した試験信号を提供することは、振幅変調、周波数変調、オン/オフキーイング、およびスペクトラム拡散変調のうちの1つを使用して、駆動信号を変調することを含む、請求項23に記載の方法。
- 前記変調した試験信号は、一組の直交補償電極、一組の同相補償電極、および別個の組の試験電極のうちの少なくとも1つに印加される、請求項23に記載の方法。
- 前記変調した試験信号によって誘発される加速度計信号を検出することは、前記試験信号を変調するために使用される変調信号に基づいて、加速度計信号を復調することを含む、請求項23に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの誤差源によって導入される誤差を実質的に相殺するために、少なくとも1つの補償信号を提供することをさらに含む、請求項23に記載の方法。
- 慣性センサであって、
基板によって支持された共振器と、
加速度計と、
該共振器の共振を引き起こすために、駆動信号を該共振器に提供するように構成された共振器ドライバと、
該共振器と該基板との間の距離を変調するために、変調した試験信号を提供するように構成された試験信号発生器と、
該共振器の空気力学に関連する少なくとも1つの誤差源を検出するために、該変調した試験信号によって誘発される加速度計信号を感知するように構成された検出器と
を備えている、慣性センサ。 - 前記試験信号発生器は、振幅変調、周波数変調、オン/オフキーイング、およびスペクトラム拡散変調のうちの1つを使用して、前記試験信号を変調するように構成されている、請求項28に記載の慣性センサ。
- 前記変調した試験信号は、一組の直交補償電極、一組の同相補償電極、および別個の組の試験電極のうちの少なくとも1つに印加される、請求項28に記載の慣性センサ。
- 前記検出器は、前記試験信号を変調するために使用される変調信号に基づいて、加速度計信号を復調するように構成されている、請求項28に記載の慣性センサ。
- 前記少なくとも1つの誤差源によって導入される誤差を実質的に相殺するために、少なくとも1つの補償信号を提供するように構成されたサーボをさらに備えている、請求項28に記載の慣性センサ。
- 慣性センサの共振器の空気力学に関連する少なくとも1つの誤差源を検出するためのコントローラであって、該慣性センサは、該共振器と加速度計とを含み、該共振器は、基板によって支持され、
該コントローラは、
該共振器の共振を引き起こすために、駆動信号を該共振器に提供するように構成された共振器ドライバと、
該共振器と下側の該基板との間の距離を変調するために、変調した試験信号を提供するように構成された試験信号発生器と、
該共振器の空気力学に関連する少なくとも1つの誤差源を検出するために、該変調した試験信号によって誘発される加速度計信号を感知するように構成された検出器と
を備えている、コントローラ。 - 前記少なくとも1つの誤差源によって導入される誤差を実質的に相殺するために、少なくとも1つの補償信号を前記慣性センサに提供するように構成されたサーボをさらに備えている、請求項33に記載のコントローラ。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US12/545,334 | 2009-08-21 | ||
US12/545,334 US8783103B2 (en) | 2009-08-21 | 2009-08-21 | Offset detection and compensation for micromachined inertial sensors |
PCT/US2010/045037 WO2011022256A2 (en) | 2009-08-21 | 2010-08-10 | Offset detection and compensation for micromachined inertial sensors |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015153812A Division JP2015194507A (ja) | 2009-08-21 | 2015-08-04 | 微細加工された慣性センサのオフセット検出および補償 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013502581A true JP2013502581A (ja) | 2013-01-24 |
JP5836947B2 JP5836947B2 (ja) | 2015-12-24 |
Family
ID=43604220
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012525613A Active JP5836947B2 (ja) | 2009-08-21 | 2010-08-10 | 微細加工された慣性センサのオフセット検出および補償 |
JP2015153812A Withdrawn JP2015194507A (ja) | 2009-08-21 | 2015-08-04 | 微細加工された慣性センサのオフセット検出および補償 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015153812A Withdrawn JP2015194507A (ja) | 2009-08-21 | 2015-08-04 | 微細加工された慣性センサのオフセット検出および補償 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8783103B2 (ja) |
EP (1) | EP2467675B1 (ja) |
JP (2) | JP5836947B2 (ja) |
WO (1) | WO2011022256A2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014174175A (ja) * | 2013-03-11 | 2014-09-22 | Analog Devices Technology | スペクトラム拡散mems自己試験システムおよび方法 |
JP2014174167A (ja) * | 2013-03-08 | 2014-09-22 | Freescale Semiconductor Inc | ジャイロスコープをモニタリングするためのシステムおよび方法 |
JP2018520348A (ja) * | 2015-06-11 | 2018-07-26 | ジョージア テック リサーチ コーポレイション | 直交同調ための傾斜電極を有するmems慣性測定装置 |
Families Citing this family (33)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8151641B2 (en) * | 2009-05-21 | 2012-04-10 | Analog Devices, Inc. | Mode-matching apparatus and method for micromachined inertial sensors |
US8783103B2 (en) | 2009-08-21 | 2014-07-22 | Analog Devices, Inc. | Offset detection and compensation for micromachined inertial sensors |
US8134393B1 (en) * | 2010-09-29 | 2012-03-13 | Motorola Solutions, Inc. | Method and apparatus for correcting phase offset errors in a communication device |
KR20130071081A (ko) * | 2011-12-20 | 2013-06-28 | 삼성전기주식회사 | 자이로센서 위상오차 보정회로, 자이로센서 시스템 및 자이로센서 위상오차 보정방법 |
US9027403B2 (en) * | 2012-04-04 | 2015-05-12 | Analog Devices, Inc. | Wide G range accelerometer |
US9212908B2 (en) | 2012-04-26 | 2015-12-15 | Analog Devices, Inc. | MEMS gyroscopes with reduced errors |
US9310202B2 (en) | 2012-07-09 | 2016-04-12 | Freescale Semiconductor, Inc. | Angular rate sensor with quadrature error compensation |
CN103162679B (zh) * | 2013-03-06 | 2015-07-22 | 莫冰 | 一种基于乘法消除微机械陀螺同相误差系统及方法 |
US9476711B2 (en) | 2013-06-24 | 2016-10-25 | Freescale Semiconductor, Inc. | Angular rate sensor with quadrature error compensation |
CN103869098B (zh) * | 2014-04-16 | 2016-02-10 | 东南大学 | 一种硅微谐振式加速度计电路控制系统 |
EP3034997B1 (en) * | 2014-12-18 | 2020-12-16 | RISE Research Institutes of Sweden AB | Mems gyro |
EP3234503B1 (en) | 2014-12-18 | 2020-12-02 | RISE Research Institutes of Sweden AB | A quadrature compensation method for mems gyroscopes and a gyroscope sensor |
FI20146153A (fi) * | 2014-12-29 | 2016-06-30 | Murata Manufacturing Co | Mikromekaaninen gyroskooppirakenne |
US9869552B2 (en) * | 2015-03-20 | 2018-01-16 | Analog Devices, Inc. | Gyroscope that compensates for fluctuations in sensitivity |
US9419597B1 (en) | 2015-06-15 | 2016-08-16 | Analog Devices Global | Power-efficient chopping scheme for offset error correction in MEMS gyroscopes |
CN105424979B (zh) * | 2015-11-23 | 2018-09-18 | 东南大学 | 一种单芯片双轴集成硅微谐振式加速度计闭环驱动控制和频率检测电路 |
US10088315B2 (en) * | 2015-12-10 | 2018-10-02 | Invensense, Inc. | Two frequency gyroscope compensation system and method |
US10365104B2 (en) * | 2016-05-11 | 2019-07-30 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Digital controller for a MEMS gyroscope |
IT201600098502A1 (it) * | 2016-09-30 | 2018-03-30 | St Microelectronics Srl | Giroscopio mems avente elevata stabilita' nei confronti delle variazioni di temperatura e di umidita' |
US10247600B2 (en) | 2016-11-10 | 2019-04-02 | Analog Devices, Inc. | Mode-matching of MEMS resonators |
US10852136B2 (en) | 2017-08-30 | 2020-12-01 | Analog Devices, Inc. | Frequency mismatch detection method for mode matching in gyroscopes |
US11112269B2 (en) | 2018-07-09 | 2021-09-07 | Analog Devices, Inc. | Methods and systems for self-testing MEMS inertial sensors |
EP3671116B1 (en) | 2018-12-19 | 2021-11-17 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Synchronized multi-axis gyroscope |
JP6849042B2 (ja) | 2018-12-19 | 2021-03-24 | 株式会社村田製作所 | 振動に強い多軸ジャイロスコープ |
RU191511U1 (ru) * | 2019-05-17 | 2019-08-08 | Пазушко Павел Михайлович | Устройство для измерения параметров вибрации |
EP3786581B1 (en) | 2019-08-29 | 2023-06-07 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Offset-cancelling capacitive mems gyroscope |
CN111208317B (zh) * | 2020-02-26 | 2021-07-02 | 深迪半导体(绍兴)有限公司 | Mems惯性传感器及应用方法和电子设备 |
US12012327B2 (en) | 2020-03-12 | 2024-06-18 | Honeywell International Inc. | Methods for vibration immunity to suppress bias errors in sensor devices |
DE102020203571A1 (de) * | 2020-03-19 | 2021-09-23 | Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Drehratensensor und Verfahren zum Betreiben eines Drehratensensors |
US11125580B1 (en) * | 2020-05-14 | 2021-09-21 | Invensense, Inc. | MEMS sensor modulation and multiplexing |
DE102020206919A1 (de) * | 2020-06-03 | 2021-12-09 | Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Sensorsystem, Verfahren zum Betreiben eines Sensorsystems |
DE102020211467A1 (de) | 2020-09-11 | 2022-03-17 | Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Schaltung für ein MEMS-Gyroskop sowie ein Verfahren zum Betreiben einer entsprechenden Schaltung |
JP7362684B2 (ja) * | 2021-02-25 | 2023-10-17 | 株式会社東芝 | センサ及び電子装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10103960A (ja) * | 1996-09-25 | 1998-04-24 | Murata Mfg Co Ltd | 角速度検出装置 |
JP2006514749A (ja) * | 2003-04-14 | 2006-05-11 | リテフ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | コリオリの角速度計におけるゼロ点エラーの決定方法 |
JP2006525514A (ja) * | 2003-04-28 | 2006-11-09 | アナログ ディバイス インコーポレイテッド | 1軸の加速度検知及び2軸の角速度検知を与える微細加工マルチセンサ |
JP2007139642A (ja) * | 2005-11-21 | 2007-06-07 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | 振動ジャイロ |
JP2007205975A (ja) * | 2006-02-03 | 2007-08-16 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | 振動ジャイロ |
Family Cites Families (38)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2309853A (en) * | 1941-04-10 | 1943-02-02 | Sperry Gyroscope Co Inc | Rate and attitude indicating instrument |
US2513340A (en) * | 1945-10-17 | 1950-07-04 | Sperry Corp | Angular velocity responsive apparatus |
US4267478A (en) * | 1978-11-17 | 1981-05-12 | The Singer Company | Pathlength controller for a ring laser gyroscope |
US4755057A (en) * | 1984-10-02 | 1988-07-05 | Litton Systems, Inc. | Path length control method for ring laser gyroscope |
US4884446A (en) * | 1987-03-12 | 1989-12-05 | Ljung Per B | Solid state vibrating gyro |
DE8900990U1 (de) * | 1989-01-28 | 1989-10-26 | Forschungszentrum Jülich GmbH, 52428 Jülich | Schaltungsvorrichtung mit dividierendem Analogdigitalwandler |
US5025346A (en) * | 1989-02-17 | 1991-06-18 | Regents Of The University Of California | Laterally driven resonant microstructures |
DE4032559C2 (de) * | 1990-10-13 | 2000-11-23 | Bosch Gmbh Robert | Drehratensensor und Verfahren zur Herstellung |
US5205171A (en) * | 1991-01-11 | 1993-04-27 | Northrop Corporation | Miniature silicon accelerometer and method |
US5359893A (en) * | 1991-12-19 | 1994-11-01 | Motorola, Inc. | Multi-axes gyroscope |
US5349855A (en) * | 1992-04-07 | 1994-09-27 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Comb drive micromechanical tuning fork gyro |
US5656778A (en) * | 1995-04-24 | 1997-08-12 | Kearfott Guidance And Navigation Corporation | Micromachined acceleration and coriolis sensor |
US5635640A (en) * | 1995-06-06 | 1997-06-03 | Analog Devices, Inc. | Micromachined device with rotationally vibrated masses |
US5992233A (en) * | 1996-05-31 | 1999-11-30 | The Regents Of The University Of California | Micromachined Z-axis vibratory rate gyroscope |
DE19653020A1 (de) * | 1996-12-19 | 1998-06-25 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zur Ermittlung einer Drehrate |
US5939633A (en) * | 1997-06-18 | 1999-08-17 | Analog Devices, Inc. | Apparatus and method for multi-axis capacitive sensing |
US6032531A (en) * | 1997-08-04 | 2000-03-07 | Kearfott Guidance & Navigation Corporation | Micromachined acceleration and coriolis sensor |
US6122961A (en) * | 1997-09-02 | 2000-09-26 | Analog Devices, Inc. | Micromachined gyros |
DE19845185B4 (de) * | 1998-10-01 | 2005-05-04 | Eads Deutschland Gmbh | Sensor mit Resonanzstruktur sowie Vorrichtung und Verfahren zum Selbsttest eines derartigen Sensors |
DE19910415B4 (de) * | 1999-03-10 | 2010-12-09 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Abstimmen eines ersten Oszillators mit einem zweiten Oszillator |
US7051590B1 (en) * | 1999-06-15 | 2006-05-30 | Analog Devices Imi, Inc. | Structure for attenuation or cancellation of quadrature error |
DE19939998A1 (de) * | 1999-08-24 | 2001-03-01 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zur Vorspannungserzeugung für einen schwingenden Drehratensensor |
DE69932516T2 (de) * | 1999-09-10 | 2007-02-15 | Stmicroelectronics S.R.L., Agrate Brianza | Integrierter Halbleiter-Inertialsensor mit Mikroantrieb zur Kalibration |
AU2003209031A1 (en) * | 2002-02-06 | 2003-09-02 | Analog Devices, Inc. | Micromachined gyroscope |
US6854315B2 (en) * | 2002-04-22 | 2005-02-15 | Northrop Grumman Corporation | Quadrature compensation technique for vibrating gyroscopes |
DE60311281T2 (de) * | 2002-07-19 | 2007-11-15 | Analog Devices Inc., Norwood | Verringerung des offsets eines beschleunigungsaufnehmers |
FR2849183B1 (fr) * | 2002-12-20 | 2005-03-11 | Thales Sa | Gyrometre vibrant avec asservissement de la frequence de detection sur la frequence d'excitation |
US6892575B2 (en) * | 2003-10-20 | 2005-05-17 | Invensense Inc. | X-Y axis dual-mass tuning fork gyroscope with vertically integrated electronics and wafer-scale hermetic packaging |
US7795723B2 (en) * | 2004-02-05 | 2010-09-14 | Analog Devices, Inc. | Capped sensor |
US7640803B1 (en) * | 2004-05-26 | 2010-01-05 | Siimpel Corporation | Micro-electromechanical system inertial sensor |
DE102004026972B4 (de) * | 2004-06-02 | 2015-03-12 | Robert Bosch Gmbh | Drehratensensor mit Frequenznachführung |
DE102004058183A1 (de) * | 2004-12-02 | 2006-06-08 | Robert Bosch Gmbh | Messfühler mit Selbsttest |
US7421897B2 (en) * | 2005-04-14 | 2008-09-09 | Analog Devices, Inc. | Cross-quad and vertically coupled inertial sensors |
FR2894661B1 (fr) * | 2005-12-13 | 2008-01-18 | Thales Sa | Gyrometre vibrant equilibre par un dispositif electrostatique |
US8151641B2 (en) * | 2009-05-21 | 2012-04-10 | Analog Devices, Inc. | Mode-matching apparatus and method for micromachined inertial sensors |
US8266961B2 (en) * | 2009-08-04 | 2012-09-18 | Analog Devices, Inc. | Inertial sensors with reduced sensitivity to quadrature errors and micromachining inaccuracies |
US8783103B2 (en) | 2009-08-21 | 2014-07-22 | Analog Devices, Inc. | Offset detection and compensation for micromachined inertial sensors |
US8701459B2 (en) * | 2009-10-20 | 2014-04-22 | Analog Devices, Inc. | Apparatus and method for calibrating MEMS inertial sensors |
-
2009
- 2009-08-21 US US12/545,334 patent/US8783103B2/en active Active
-
2010
- 2010-08-10 WO PCT/US2010/045037 patent/WO2011022256A2/en active Application Filing
- 2010-08-10 EP EP10747345.6A patent/EP2467675B1/en active Active
- 2010-08-10 JP JP2012525613A patent/JP5836947B2/ja active Active
-
2013
- 2013-02-22 US US13/774,129 patent/US8677801B1/en active Active
-
2015
- 2015-08-04 JP JP2015153812A patent/JP2015194507A/ja not_active Withdrawn
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10103960A (ja) * | 1996-09-25 | 1998-04-24 | Murata Mfg Co Ltd | 角速度検出装置 |
JP2006514749A (ja) * | 2003-04-14 | 2006-05-11 | リテフ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | コリオリの角速度計におけるゼロ点エラーの決定方法 |
JP2006525514A (ja) * | 2003-04-28 | 2006-11-09 | アナログ ディバイス インコーポレイテッド | 1軸の加速度検知及び2軸の角速度検知を与える微細加工マルチセンサ |
JP2007139642A (ja) * | 2005-11-21 | 2007-06-07 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | 振動ジャイロ |
JP2007205975A (ja) * | 2006-02-03 | 2007-08-16 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | 振動ジャイロ |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014174167A (ja) * | 2013-03-08 | 2014-09-22 | Freescale Semiconductor Inc | ジャイロスコープをモニタリングするためのシステムおよび方法 |
JP2014174175A (ja) * | 2013-03-11 | 2014-09-22 | Analog Devices Technology | スペクトラム拡散mems自己試験システムおよび方法 |
KR101592091B1 (ko) | 2013-03-11 | 2016-02-05 | 아날로그 디바이시즈 글로벌 | 확산 스펙트럼 mems 자체 테스트 시스템 및 방법 |
JP2018520348A (ja) * | 2015-06-11 | 2018-07-26 | ジョージア テック リサーチ コーポレイション | 直交同調ための傾斜電極を有するmems慣性測定装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8677801B1 (en) | 2014-03-25 |
WO2011022256A2 (en) | 2011-02-24 |
JP5836947B2 (ja) | 2015-12-24 |
EP2467675A2 (en) | 2012-06-27 |
EP2467675B1 (en) | 2016-12-07 |
US20140060186A1 (en) | 2014-03-06 |
US20110041609A1 (en) | 2011-02-24 |
WO2011022256A3 (en) | 2011-05-19 |
US8783103B2 (en) | 2014-07-22 |
JP2015194507A (ja) | 2015-11-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5836947B2 (ja) | 微細加工された慣性センサのオフセット検出および補償 | |
US8616055B2 (en) | Mode-matching apparatus and method for micromachined inertial sensors | |
JP6190866B2 (ja) | 直角位相低減バネを有するmemsジャイロ | |
US9683844B2 (en) | Extension-mode angular velocity sensor | |
US8794068B2 (en) | Non-degenerate mode MEMS gyroscope | |
US6860151B2 (en) | Methods and systems for controlling movement within MEMS structures | |
US7444869B2 (en) | Force rebalancing and parametric amplification of MEMS inertial sensors | |
KR101178692B1 (ko) | 코리올리 자이로스코프 | |
EP3205978B1 (en) | Inertial sensors | |
US9869552B2 (en) | Gyroscope that compensates for fluctuations in sensitivity | |
JP2008008884A (ja) | 時間で変動する電圧を使用したmems慣性センサのフォース・リバランシング | |
JP2016507731A (ja) | マイクロメカニカルz軸ジャイロスコープ | |
JP2007519925A (ja) | 電子結合を持つ微小機械加工振動ジャイロスコープ、及び方法 | |
Tsai et al. | Experimental analysis and characterization of electrostatic-drive tri-axis micro-gyroscope | |
JP2013096801A (ja) | 出力安定性に優れた振動型ジャイロ | |
Acar et al. | Design concept and preliminary experimental demonstration of MEMS gyroscopes with 4-dof master-slave architecture |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130612 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130613 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130913 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131028 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140404 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140801 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20140919 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20141010 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20150717 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150804 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151104 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5836947 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |