JP5836947B2 - 微細加工された慣性センサのオフセット検出および補償 - Google Patents
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Description
本願は、共有に係る米国特許出願第12/469,899号(2009年5月21日出願、名称「Mode−Matching Apparatus and Method For Micromachined Inertial Sensors」、代理人事件番号第2550/C21)に関連する。該出願は、その全体が参照により本明細書に引用される。
本発明は、微細加工された慣性センサに関し、より具体的には、微細加工された慣性センサのオフセット誤差の検出および/または低減に関する。
本発明はさらに、例えば、以下を提供する。
(項目1)
共振器および加速度計を有する慣性センサにおいて、該共振器に印加される駆動信号に関連する少なくとも1つの誤差源を検出する方法であって、
変調した駆動信号を該共振器に提供することと、
該少なくとも1つの誤差源を検出するために、該変調した駆動信号によって誘発される加速度計信号を感知することと
を含む、方法。
(項目2)
前記変調した駆動信号を前記共振器に提供することは、振幅変調、周波数変調、オン/オフキーイング、およびスペクトラム拡散変調のうちの1つを使用して、駆動信号を変調することを含む、項目1に記載の方法。
(項目3)
前記変調した駆動信号によって誘発される加速度計信号を検出することは、前記駆動信号を変調するために使用される変調信号に基づいて、加速度計信号を復調することを含む、項目1に記載の方法。
(項目4)
前記少なくとも1つの誤差源によって導入される誤差を実質的に相殺するために、少なくとも1つの補償信号を提供することをさらに含む、項目1に記載の方法。
(項目5)
前記少なくとも1つの誤差源は、同相オフセット誤差を含む、項目1に記載の方法。
(項目6)
前記同相オフセット誤差を実質的に相殺するために、補償信号を一組の同相補償電極に提供することをさらに含む、項目5に記載の方法。
(項目7)
前記少なくとも1つの誤差源は、前記駆動信号の前記加速度計への電子パススルーを含む、項目1に記載の方法。
(項目8)
前記パススルーを実質的に相殺するために、補償信号を前記加速度計に提供することをさらに含む、項目7に記載の方法。
(項目9)
前記共振器は、単一の共振周波数で共振するように連結された複数のシャトルを含む、項目1に記載の方法。
(項目10)
前記加速度計は、x軸センサ、y軸センサ、およびz軸センサのうちの少なくとも1つを含む、項目1に記載の方法。
(項目11)
慣性センサであって、
共振器と、
加速度計と、
変調した駆動信号を該共振器に提供するように構成された共振器ドライバと、
該共振器に印加された該駆動信号に関連する少なくとも1つの誤差源を検出するために、該変調した駆動信号によって誘発される加速度計信号を感知するように構成されたオフセット検出器と
を備えている、慣性センサ。
(項目12)
前記共振器ドライバは、振幅変調、周波数変調、オン/オフキーイング、およびスペクトラム拡散変調のうちの1つを使用して、前記駆動信号を変調するように構成されている、項目11に記載の慣性センサ。
(項目13)
前記オフセット検出器は、前記変調した駆動信号によって誘発される加速度計信号を検出するために、前記駆動信号を変調するために使用される変調信号に基づいて、加速度計信号を復調するように構成されている、項目11に記載の慣性センサ。
(項目14)
前記少なくとも1つの誤差源によって導入される誤差を実質的に相殺するために、少なくとも1つの補償信号を提供するように構成されたサーボをさらに備えている、項目11に記載の慣性センサ。
(項目15)
前記少なくとも1つの誤差源は、同相オフセット誤差を含む、項目11に記載の慣性センサ。
(項目16)
前記同相オフセット誤差を実質的に相殺するために、補償信号を一組の同相補償電極に提供するように構成されたサーボをさらに備えている、項目15に記載の慣性センサ。
(項目17)
前記少なくとも1つの誤差源は、前記駆動信号の前記加速度計への電子パススルーを含む、項目11に記載の慣性センサ。
(項目18)
前記パススルーを実質的に相殺するために、補償信号を前記加速度計に提供するように構成されたサーボをさらに備えている、項目17に記載の慣性センサ。
(項目19)
前記共振器は、単一の共振周波数で共振するように連結された複数のシャトルを含む、項目11に記載の慣性センサ。
(項目20)
前記加速度計は、x軸センサ、y軸センサ、およびz軸センサのうちの少なくとも1つを含む、項目11に記載の慣性センサ。
(項目21)
共振器および加速度計を含む慣性センサの該共振器に印加される駆動信号に関連する少なくとも1つの誤差源を検出するためのコントローラであって、
変調した駆動信号を該共振器に提供するように構成された共振器ドライバと、
該共振器に印加された該駆動信号に関連する少なくとも1つの誤差源を検出するために、該変調した駆動信号によって誘発される加速度計信号を感知するように構成されたオフセット検出器と
を備えている、コントローラ。
(項目22)
前記少なくとも1つの誤差源によって導入される誤差を実質的に相殺するために、少なくとも1つの補償信号を前記慣性センサに提供するように構成されたサーボをさらに備えている、項目21に記載のコントローラ。
(項目23)
共振器および加速度計を有し、該共振器が下側の基板によって支持された慣性センサにおいて、該共振器の空気力学に関連する少なくとも1つの誤差源を検出する方法であって、
該共振器の共振を引き起こすために、駆動信号を提供することと、
該共振器と該下側の基板との間の距離を変調するために、変調した試験信号を提供することと、
該少なくとも1つの誤差源を検出するために、該変調した試験信号によって誘発される加速度計信号を感知することと
を含む、方法。
(項目24)
前記変調した試験信号を提供することは、振幅変調、周波数変調、オン/オフキーイング、およびスペクトラム拡散変調のうちの1つを使用して、駆動信号を変調することを含む、項目23に記載の方法。
(項目25)
前記変調した試験信号は、一組の直交補償電極、一組の同相補償電極、および別個の組の試験電極のうちの少なくとも1つに印加される、項目23に記載の方法。
(項目26)
前記変調した試験信号によって誘発される加速度計信号を検出することは、前記試験信号を変調するために使用される変調信号に基づいて、加速度計信号を復調することを含む、項目23に記載の方法。
(項目27)
前記少なくとも1つの誤差源によって導入される誤差を実質的に相殺するために、少なくとも1つの補償信号を提供することをさらに含む、項目23に記載の方法。
(項目28)
慣性センサであって、
基板によって支持された共振器と、
加速度計と、
該共振器の共振を引き起こすために、駆動信号を該共振器に提供するように構成された共振器ドライバと、
該共振器と該基板との間の距離を変調するために、変調した試験信号を提供するように構成された試験信号発生器と、
該共振器の空気力学に関連する少なくとも1つの誤差源を検出するために、該変調した試験信号によって誘発される加速度計信号を感知するように構成された検出器と
を備えている、慣性センサ。
(項目29)
前記試験信号発生器は、振幅変調、周波数変調、オン/オフキーイング、およびスペクトラム拡散変調のうちの1つを使用して、前記試験信号を変調するように構成されている、項目28に記載の慣性センサ。
(項目30)
前記変調した試験信号は、一組の直交補償電極、一組の同相補償電極、および別個の組の試験電極のうちの少なくとも1つに印加される、項目28に記載の慣性センサ。
(項目31)
前記検出器は、前記試験信号を変調するために使用される変調信号に基づいて、加速度計信号を復調するように構成されている、項目28に記載の慣性センサ。
(項目32)
前記少なくとも1つの誤差源によって導入される誤差を実質的に相殺するために、少なくとも1つの補償信号を提供するように構成されたサーボをさらに備えている、項目28に記載の慣性センサ。
(項目33)
慣性センサの共振器の空気力学に関連する少なくとも1つの誤差源を検出するためのコントローラであって、該慣性センサは、該共振器と加速度計とを含み、該共振器は、基板によって支持され、
該コントローラは、
該共振器の共振を引き起こすために、駆動信号を該共振器に提供するように構成された共振器ドライバと、
該共振器と下側の該基板との間の距離を変調するために、変調した試験信号を提供するように構成された試験信号発生器と、
該共振器の空気力学に関連する少なくとも1つの誤差源を検出するために、該変調した試験信号によって誘発される加速度計信号を感知するように構成された検出器と
を備えている、コントローラ。
(項目34)
前記少なくとも1つの誤差源によって導入される誤差を実質的に相殺するために、少なくとも1つの補償信号を前記慣性センサに提供するように構成されたサーボをさらに備えている、項目33に記載のコントローラ。
Claims (17)
- 共振器と、コリオリチャネルのコリオリ加速度信号帯域内のコリオリ加速度信号を測定する加速度計とを有する慣性センサにおいて、該共振器に印加される駆動信号の大きさに関連する少なくとも1つの誤差源を検出する方法であって、該少なくとも1つの誤差源は、該駆動信号と同相の該コリオリチャネル内の対応する誤差信号を誘発し、該コリオリ加速度信号に影響を及ぼす誤差信号を含み、該方法は、
変調した駆動信号を該共振器に提供することであって、該変調した駆動信号は、該共振器に印加される駆動力の大きさを変調することにより、該少なくとも1つの誤差源の大きさを変調して、該コリオリチャネル内の対応する変調した誤差信号を誘発し、該誤差信号は、該コリオリ加速度信号帯域の外の周波数で変調される、ことと、
該少なくとも1つの誤差源の変調によって生じる加速度計信号を感知することであって、該感知することは、該コリオリチャネル内の該変調した誤差信号を感知することを含む、ことと、
該コリオリ加速度信号に影響を及ぼす該少なくとも1つの誤差源によって導入される誤差を実質的に相殺するために、該感知された変調した誤差信号に応答して、少なくとも1つの補償信号を、該共振器に補償力を印加する一組の同相補償電極に提供することと
を含み、
該変調した大きさの駆動力の周波数が該共振器の周波数よりも低いことにより、該共振器に印加される駆動力の大きさの変調は、該共振器の振幅に実質的に影響を及ぼさない、方法。 - 前記変調した駆動信号を前記共振器に提供することは、振幅変調、周波数変調、オン/オフキーイング、およびスペクトラム拡散変調のうちの1つを使用して、駆動信号を変調することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記変調した駆動信号によって誘発される変調した誤差信号を感知することは、前記駆動信号を変調するために使用される変調信号に基づいて、加速度計信号を復調することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの誤差源は、同相オフセット誤差を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの誤差源は、前記駆動信号の前記加速度計への電子パススルーを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記パススルーを実質的に相殺するために、補償信号を前記加速度計に提供することをさらに含む、請求項5に記載の方法。
- 前記共振器は、単一の共振周波数で共振するように連結された複数のシャトルを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記加速度計は、x軸センサ、y軸センサ、およびz軸センサのうちの少なくとも1つを含む、請求項1に記載の方法。
- 慣性センサであって、
共振器と、
コリオリチャネルのコリオリ加速度信号帯域内のコリオリ加速度信号を測定する加速度計と、
変調した駆動信号を該共振器に提供するように構成された共振器ドライバであって、該変調した駆動信号は、該共振器に印加される駆動力の大きさを変調することにより、該共振器に印加される該駆動信号の大きさに関連する少なくとも1つの誤差源の大きさを変調して、該コリオリチャネル内の対応する変調した誤差信号を誘発し、該誤差信号は、該コリオリ加速度信号帯域の外の周波数で変調され、該少なくとも1つの誤差源は、該駆動信号と同相の該コリオリチャネル内の対応する誤差信号を誘発し、該コリオリ加速度信号に影響を及ぼす誤差信号を含む、共振器ドライバと、
該共振器に印加された該駆動信号に関連する該少なくとも1つの誤差源の変調によって生じる加速度計信号を感知するように構成されたオフセット検出器であって、該感知することは、該コリオリチャネル内の該変調した誤差信号を感知することを含む、オフセット検出器と、
該共振器に補償力を印加する一組の同相補償電極と、
該コリオリ加速度信号に影響を及ぼす該少なくとも1つの誤差源によって導入される誤差を実質的に相殺するために、該感知された変調した誤差信号に応答して、少なくとも1つの補償信号を該一組の同相補償電極に提供することにより該共振器に補償力を印加するように構成されたサーボと
を備えており、
該変調した大きさの駆動力の周波数が該共振器の周波数よりも低いことにより、該共振器に印加される駆動力の大きさの変調は、該共振器の振幅に実質的に影響を及ぼさない、慣性センサ。 - 前記共振器ドライバは、振幅変調、周波数変調、オン/オフキーイング、およびスペクトラム拡散変調のうちの1つを使用して、前記駆動信号を変調するように構成されている、請求項9に記載の慣性センサ。
- 前記オフセット検出器は、前記変調した駆動信号によって誘発される変調した誤差信号を感知するために、前記駆動信号を変調するために使用される変調信号に基づいて、加速度計信号を復調するように構成されている、請求項9に記載の慣性センサ。
- 前記少なくとも1つの誤差源は、同相オフセット誤差を含む、請求項9に記載の慣性センサ。
- 前記少なくとも1つの誤差源は、前記駆動信号の前記加速度計への電子パススルーを含む、請求項9に記載の慣性センサ。
- 前記パススルーを実質的に相殺するために、補償信号を前記加速度計に提供するように構成された前記サーボをさらに備えている、請求項13に記載の慣性センサ。
- 前記共振器は、単一の共振周波数で共振するように連結された複数のシャトルを含む、請求項9に記載の慣性センサ。
- 前記加速度計は、x軸センサ、y軸センサ、およびz軸センサのうちの少なくとも1つを含む、請求項9に記載の慣性センサ。
- 共振器と、コリオリチャネルのコリオリ加速度信号帯域内のコリオリ加速度信号を測定する加速度計とを含む慣性センサの該共振器に印加される駆動信号の大きさに関連する少なくとも1つの誤差源を検出するためのコントローラであって、該少なくとも1つの誤差源は、該駆動信号と同相の該コリオリチャネル内の対応する誤差信号を誘発し、該コリオリ加速度信号に影響を及ぼす誤差信号を含み、該コントローラは、
変調した駆動信号を該共振器に提供するように構成された共振器ドライバであって、該変調した駆動信号は、該共振器に印加される駆動力の大きさを変調することにより、該共振器に印加される該駆動信号の大きさに関連する該少なくとも1つの誤差源の大きさを変調して、該コリオリチャネル内の対応する変調した誤差信号を誘発し、該誤差信号は、該コリオリ加速度信号帯域の外の周波数で変調される、共振器ドライバと、
該共振器に印加された該駆動信号に関連する該少なくとも1つの誤差源の変調によって生じる加速度計信号を感知するように構成されたオフセット検出器であって、該感知することは、該コリオリチャネル内の該変調した誤差信号を感知することを含む、オフセット検出器と、
該コリオリ加速度信号に影響を及ぼす該少なくとも1つの誤差源によって導入される誤差を実質的に相殺するために、該感知された変調した誤差信号に応答して、少なくとも1つの補償信号を、該慣性センサの該共振器に補償力を印加する一組の同相補償電極に提供するように構成されたサーボと
を備えており、
該変調した大きさの駆動力の周波数が該共振器の周波数よりも低いことにより、該共振器に印加される駆動力の大きさの変調は、該共振器の振幅に実質的に影響を及ぼさない、コントローラ。
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