JP2013096801A - 出力安定性に優れた振動型ジャイロ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】X−Y平面の第3象限内及び第4象限内には、それぞれ、検出質量体14の櫛歯電極44に対向する第1の補正用櫛歯電極50及び第2の補正用櫛歯電極52が基板2に固定配置される。第1の補正用櫛歯電極50及び第2の補正用櫛歯電極52にAC電圧を印加して静電引力を発生させることにより、角速度入力がゼロのときに発生する漏れ回転変位を相殺することができる。
【選択図】図1
Description
Fy=2ΩzMVx
で表される。このため、コリオリ力Fyによる該検出質量体の変位を検出することで角速度を検出する振動型ジャイロでは、駆動質量体を速度Vxで励振させる必要がある。このための方式として、例えば静電力によるコームドライブ方式が利用される。
4、6 駆動質量体
12 中央連結ばね
14 検出質量体
24、28 駆動用櫛歯固定電極
32、38 駆動モニタ用櫛歯固定電極
42 ダミー電極
46、48 検出モニタ用櫛歯固定電極
50、52 補正用櫛歯電極
60 駆動系制御回路
62、64 CV変換器
68、70 位相検波回路
78 制御器
Claims (7)
- 第2の支持梁により支持基板に固定され、角速度により発生するコリオリ力よって平面に直交する軸線回りに回転励振されるように構成された検出質量体と、
前記平面内の一方向に駆動振動できるように、前記検出質量体の内側に第1の支持梁によって懸垂支持された左右の駆動質量体と、を備えた振動型ジャイロであって、
前記左右の駆動質量体は、互いに逆相で振動する逆相振動モードを有するように、前記駆動振動の方向に弾性を有する連結ばねによって互いに連結され、
前記検出質量体は、前記左右の駆動質量体の駆動振動によっては前記駆動振動の方向に励振されないように構成され、
前記左右の駆動質量体の駆動振動により前記検出質量体に作用する回転トルクを打ち消すために、前記検出質量体に対して逆相の静電力を作用させるように構成された補正電極をさらに有する、振動型ジャイロ。 - 前記振動型ジャイロのバイアス成分を求めるための位相検波回路と、前記バイアス成分を最小化するために前記補正電極に電圧を供給する制御器を含むフィードバック系と、をさらに有する、請求項1に記載の振動型ジャイロ。
- クワドラチャーエラーを補正すべく前記検出質量体に回転トルクを与えるように構成された2つの補正電極が前記検出質量体の近傍に配置され、前記2つの補正電極のうち一方が時計回り方向の回転トルクを発生させ、他方が反時計回り方向の回転トルクを発生させるように構成される、請求項1又は2に記載の振動型ジャイロ。
- 前記第1の支持梁は直線状の梁である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の振動型ジャイロ。
- 前記左右の駆動質量体の変位を測定する駆動モニタ用櫛歯電極が、前記左右の駆動質量体を駆動振動させるための駆動用櫛歯電極よりも前記基板の中央寄りに配置されている、請求項1〜4のいずれか1項に記載の振動型ジャイロ。
- 前記駆動モニタ用櫛歯電極は差動構成を有し、前記左右の駆動質量体は、該駆動モニタ用櫛歯電極による構造的不釣合を解消するためのダミー櫛歯電極を有する、請求項5に記載の振動型ジャイロ。
- 前記連結ばねの一端が前記基板に固定されている、請求項1〜6のいずれか1項に記載の振動型ジャイロ。
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