JP2013501648A5 - - Google Patents

Description

請求項１〜請求項３に記載の成形型、請求項４〜６に記載の装置、請求項７〜１２に記載の方法は、前記目的を解決する。

本発明の実施例にかかる方法のフローチャートを示す。 本発明の実施例にかかる方法のフローチャートを示す。 本発明の実施例にかかる方法と従来技術の既知の生産方法との比較のための図面。 本発明の実施例の利用のための例となる絞り構造体の図面を示す。 本発明の実施例にかかる装置の略図を示す。 本発明の実施例の成形型および成形された要素の部分図および断面図を示す。 本発明の実施例の成形型および成形された要素の部分図および断面図を示す。 本発明の実施例の成形型および成形された要素の部分図および断面図を示す。 本発明の実施例にかかる装置の断面図の略図を示す。 本発明の実施例にかかる装置の断面図の略図を示す。 本発明の実施例にかかる装置の断面図の略図を示す。 本発明の実施例にかかる装置の断面図の略図を示す。 本発明の実施例にかかる装置の断面図の略図を示す。 本発明の実施例にかかる装置の断面図の略図を示す。 本発明の実施例にかかる装置の断面図の略図を示す。 本発明の実施例の利用のための成形型を有する装置の断面図の略図を示す。 本発明の実施例にかかる装置の断面図の略図を示す。 本発明の実施例にかかる装置の断面図の略図を示す。 本発明の実施例にかかる装置の断面図の略図を示す。 本発明の実施例にかかる装置の断面図の略図を示す。 本発明の実施例にかかる装置の断面図の略図を示す。 既に知られている硬化性材料からなる構造体の生産方法の断面図の略図を示す。

図１は、本発明の実施例による方法１００のフローチャートを示す。型によって硬化性材料から構造体を作り出す方法１００は、成形型３１０をガラス基板等の表面３３０ａに配置する第１のステップ１１０を含む。その結果、成形型３１０および表面３３０ａ間の領域３４０において、ＵＶポリマー等の硬化性材料は、付加的な硬化材料３２１が領域３４０に流れ込み続けることができるように、表面３３０ａおよび表面３３０ａに対向する成形型の成形面３１２に接触する。さらに、方法１００は、硬化性材料３２０が横方向に変化する方法で異なる速度で硬化するように、領域３４０において局所的に変化を持たせる状態で硬化材性料３２０を照射する第２のステップ１２０を含む。それで、その結果として、硬化材料３２０の硬化の間、発生している収縮は、付加的な硬化性材料３２１によって直ちに補償することができる。そのほかに、方法１００は、付加的な硬化性材料に外部にある、つまり、外的な圧力をかける第３のステップ１３０を含む。前記第２のステップ２２０と同時に前記第３のステップ２３０を実行することは可能である。

図２は、本発明の実施例による方法２００のフローチャートを示す。型によって硬化性材料から構造体を作り出す方法２００は、成形型３１０をガラス基板等の表面３３０ａに配置する第１のステップ２１０を含む。その結果、成形型３１０および表面３３０ａ間の領域３４０において、ＵＶポリマー等の硬化性材料は、追加の硬化材料３２１が領域３４０に流れ込み続けることができるように、表面３３０ａおよび表面３３０ａに対向する成形型の成形面３１２に接触する。さらに、方法２００は、硬化性材料３２０が横方向に変化する方法で異なる速度で硬化するように、領域において局所的に変化を持たせる状態で硬化材性料３２０を照射する第２のステップ２２０を含む。それで、その結果として、硬化材料３２０の硬化の間、発生している収縮は、付加的な硬化性材料３２１によって直ちに補償することができる。前記局所的に変化を持たせる状態で照射することは、表面３３０ａから離れて対向する成形型３１０の一方主面側から成形型の中を通り抜けて実行される。成形型３１０は、光を通す素材、例えばガラス、シリコーンまたは透明プラスチックから作り出すことができる。

図３は、本発明の実施例による方法と従来技術の既知の生産方法との比較のための図面を示す。右側は、本発明の実施例による装置３００の略図を表し、左側は、例えば、比較例として、成形方法によって硬化性材料から構造体を作り出す従来技術より既に知られている装置を表している。装置３００は、表面３３０ａがガラス基板等の透光性材料、成形型３１０の成形面（型表面）３１２と領域３４０の表面３３０ａとの間に配置されるＵＶポリマー等の硬化性材料からなる成形型３１０を含む。左側に描かれた既に周知の装置に対比して、右側に描かれた装置３００は、表面３３０ａから離れて対向する成形型３１０の一方主面上に配置される絞り領域３５０をさらに含む。

図３の左側に示され、すでに周知の装置において、硬化性材料の領域全体は、成形型を介して同時に紫外線が照射される。紫外線硬化材料は、前記照射の間に収縮される。その結果、既に周知の装置と成形された構造体との間には、形状偏差が発生する。そのことに対して対照的に、装置３００は、照明光学系の透過関数の時間的制御を可能にする。すなわち、左側に示された例などの場合、ウエハ全体および／または硬化性材料全体にわたって投光照明するときに、紫外線照射は達成されないが、その直径（例えば虹彩絞りまたは液晶ディスプレイ）の点から見ると、可変の絞りを介して、または、絞りの領域を介して、紫外線放射は達成される。かくして、装置３００は、硬化性材料３２０が局所的に変化を持たせる方法で異なる速度で硬化するように、領域３４０において、硬化性材料３２０の局所的に照射を変化させることを実行する。それで、硬化性材料３２０の硬化している間に発生する収縮は、付加的な硬化性材料３２１によって直ちに補償することができる。

換言すれば、図３の右側は、一例として、局所的に照射を変更するステップ１２０を示す。この場合、第１に硬化性材料３２０は、最初に主要な方法で照射され、その後、時間オフセット方法で 型３１０を介して、全ての領域一面に照射される。本件に関して、硬化材料３２０および／またはポリマー・ポリマーは、紫外線にさらされるよりはむしろ局所的に硬化されるだけである。ポリマーおよび／または付加的な硬化性材料３２１は、絞りまたは絞り領域３５０から離れて保護され、それゆえに、添加された追加の硬化材料３２１は途切れずに自由に動き続ける液体であり、その材料３２０および／またはすでに硬化されたポリマーのいかなる収縮も補償することができる。

このように、可変の絞りおよび／または絞り領域３５０は、透過関数の振幅について時間的に可変の部分的制御を確実にする。

図４は、本発明による実施例の利用にふさわしい典型的な絞り領域３５０の説明概略図を示す。可変の視界のような絞り構造および／または絞り領域３５０のための簡単な配置は、固定した個々の開口を有する２つの絞り領域３５１および３５２を組み合せることに由来する。絞り領域３５１および３５２のお互いに関して移動することによって、個々の開口は、それらのサイズの点からみると、同時に可変となる。個々の開口は、例えば、単純な矩形であるか円形の開口を有し得る。複数および／または１つのフィールドの構造体を生産する場合、開口および／または個々の開口の距離は、距離、すなわち、複数の構造体の距離および／または生産されるレンズの距離に相当する。開口領域３５１および３５２が同じ移動距離だが、反対方向に移動されると、成果は、可変サイズの個々の開口を含み、その場所にとどまる開口領域３５０の結果である。下部において、図４は、模式的な方法で上記の動作モードを示す。例えば、虹彩絞りあるいは液晶ディスプレイのようなその他の絞り構造と異なり、示された絞り領域３５０は、低コストで生産することができる。可変的な虹彩絞りの領域は、機械的に複雑であり、そんなことをすると、高価で、設置スペースの必要条件を増加させる。 このように提案された絞り領域３５０は、また、現場での処理の仕組みについて低コストの生産を可能にする。

図５は、本発明の実施例による装置５００を示す。装置３００と異なり、装置５００は、その直径の点から、絞りおよび／または調整可能な絞り領域３５０に加えて可変のグレーフィルタ５１０を包含する。グレーフィルタ５１０は、例えば、成形型３１０から離れて対向する 絞り領域３５０の表面に配置することができる。

図６Ａの中で示される成形型３１０ａは、光学の機能的な表面領域３１２´を有する成形面３１２を含む。成形型３１０ａが基材３３０の上に載置されるかその上に配置されるとき、成形面３１２は、基材３３０の表面と向かい合う。さらに、成形型３１０ａは、成形面３１２の周囲の弾性膜３１６を含む。この場合、弾性膜３１６は、一例として、たとえ部分的な範囲であるにしても、成形面３１２を完全にカバーする。そして、光学の機能的な表面領域３１２´の周囲である円周領域において、側面に沿って（横方向に）閉路を形成する。前記弾性膜３１６は、非接着性であるが、円周領域の境界で成形面３１２に接続されている。それゆえに、例として、成形面３１２と、弾性膜３１６の内部表面との間に、前記流体がなければ硬化性材料と接触するまでたとえば空気または油などの流体を導入することが可能となる。成形面３１２と、弾性膜３１６の内表面との間に位置付けられ、流体が提供される領域は、流路を形成する。そしてそれは、成形型３１０ａが基材３３０の上にセットされるか、当該基材３３０の表面と距離を置いて位置合わせされる場合、そこに位置したまだ硬化されていない任意の硬化性材料を移動させるように、また、あとの材料の圧力を増加させるように、基材３３０の表面の上方向に突出するものである。それゆえに、さらに、成形型３１０ａは、局所的に制御可能な分岐適応の目的に役立つ構造体３１９を包含する。

図６Ｃの中で左側に示される成形型３１０ｅは、第１の絞り構造体３１４および第２の絞り構造体３１４が光学的に有効な領域３１２´に隣接して横方向に（側面に沿って）配列されるという点において、図６Ｂの中で右側に示される成形型３１０ｄとは異なる。

絞り構造体３１４，３１４´は、成形型３１０ｅを介しての照射の間に硬化することができないあらゆる領域から保護するのに役立つ。

図６Ｃの中で右側に示される成形型３１０ｆは、絞り構造体３１４，３１４´の異なる配置によって、左側に示される成形型３１０ｅとは異なる。第１の絞り構造体３１４は、成形型３１０ｆの第１の周辺の回転非対称構造３１７に配置される。第２の絞り構造体３１４´は、成形型３１０ｆの第２の周辺の回転非対称構造３１７´に配置される。絞り構造体３１４，３１４´は、特に、成形面３１２に黒い色を塗布することによって、あるいは、周辺の回転非対称な構造３１７，３１７´の辺りで弾性膜３１６に黒い色を塗布することによって、簡単な方法で実現することができる。

上記に示した実施例において、２つの絞り構造体３１４，３１４´は、配置されているにもかかわらず、成形型は、１つの絞り構造体を含むもの、いくつもの絞り構造体を含むもの、あるいは、絞り構造体を全くないものを包含することが可能である。

上記に示した実施例において、２つの絞り構造体３１４，３１４´は、一例として、基材３３０の表面に垂直に伸びる流路３２９，３２９´は、周辺の回転非対称の構造３２７の領域の中で水平な様態で形を成す。絞り構造体３１４，３１４は、成形された要素３２２ｅ，３２２ｆの中の他の位置で基材３３０の表面に垂直に伸びる流路を形成するために、成形型３１０ｅの中で異なる位置に、例えば、光学上有効な表面領域３１２の外側に配置されることも可能である。

したがって、絞り構造体３１４，３１４´は、基材ないし成形された要素３２２ｅ〜３２２ｆの基材３３０の表面に垂直に伸びる、キャビティおよび／または流路３２９，３２９´を作り出すために、紫外線光による照射の間、液状のポリマーおよび／または追加の付加的な硬化性材料を保護する役目を果たすことができる。次のステップ１２０を活用している間、基材、すなわち、基材３３０の表面に垂直に伸びるキャビティおよび／または流路３２９，３２９´は、照射を受けていない、したがって、液状のポリマーおよび／または硬化性材料を取り除くための基材の洗浄工程の後に、作り出された構造体および／または成形された要素３２２ｅ〜３２２ｆの中で依然としてそのままである。

また、さらなるステップは基材３３０の表面、すなわち、基材３３０を取り除くか、既に成形されていた要素にさらなる要素を成型することを含み得る。

さらなる実施例によれば、収縮の結果として、ポリマーの硬化の間、例えば、約１〜１０％、液体ポリマーおよび／または硬化性材料の後に存在する硬化材料より一層多い量がなければならないので、成形型は、硬化されないポリマー量を蓄積するために、追加の絞り構造体を含むことができる。

したがって、ポリマー量を蓄積するための絞り構造体は、照射および紫外線の照射による硬化を防止するために、提供される。このようにポリマー量を蓄積するための絞り構造体の下に存在する液体ポリマーおよび／または付加的な硬化性材料は、例えば、収縮補償のための液体ポリマーおよび／または硬化性材料の必要な付加的な量の蓄積として役に立つ。

ポリマー量を蓄積するための絞り構造体は、例えば、流路を提供するための絞り構造体と一緒に結合することができる。そして、それは垂直に表面まで伸びる。そして、１つの共通の（共用の）絞り構造体またはいくつかの共通の絞り構造体を形成する。

ポリマー量を蓄積するための絞り構造は、省略することができる。例えば、（成形型３１０ｅ，３１０ｆのために示されているように）液体ポリマーを蓄積するために、成形型の光学的に有効な表面領域の外側の領域の全てが利用され、そして、照射が実行される場合、時間的に続いて起こる照射に起因して、光学上有効な表面領域への照射の後まで、照射が実行されないため、時間的に続いて起こる方法で、内部（光学上有効な表面領域をはじめとして）から外側まで、光学上有効な表面領域の外側の領域は、カバーされない。

図７は本発明の実施例による装置７００の断面図の略図を示す。装置７００は、例えばガラス基板材からなる基材３３０を含む。基材３３０において、成形型３１０は、硬化性材料３２０が領域３４０において基材３３０の表面と対向する成型面３１２の間に位置することができるように、配置される。さらに、成形型３１０は、追加の硬化性材料３２１で取り囲まれる。その外側の端において、成形型３１０は、円周の弾性膜７１０を含む。表面３３０に向かい合わない成形型３１０の表面において、装置７００は、可変の絞り領域３５０を含む。絞り領域３５０は、可変のグレーフィルタ５１０の近くに隣接される。さらに、例えば弾性物質でできている円周のシールは、装置７００の端に配置することができる。

図７に示される装置７００は、液体ポリマーおよび／または添加された付加的な硬化性材料３２１に静圧Ｐａを付与することができるようにする。すなわち、外側の静圧Ｐａは、例えば、スタンプによって弾性膜７１０に加えることができる。そしてそれは、弾性膜７１０および周囲のシールによって、封鎖された領域の内部の圧力Ｐｉに帰着する。内部の圧力Ｐｉは、改善された収縮補償を達成するように、ポリマーの硬化が起こっていることについて、移送、および／または、可変の絞りおよび／または絞り領域３５０によって局所的に制限されている位置への液体ポリマーおよび／または添加された付加的な硬化性材料３２１の流れΦｐの改良に結びつく。

図８は本発明の実施例による装置８００の断面図の略図を示す。装置８００は、成形型３１０に対向する絞り領域３５０の表面と、基材３３０の表面から離れて対向する成形型３１０の一方主面側との間にツール基材８１０が配置されるという点で、装置７００とは異なる。平面プレート形状のツール基材８１０は、基材３３０の表面から離れて対向する成形型３１０の一方主面に隣接する。さらに、装置８００は、ツール基材８１０と、成形型３１０の外縁上の成形型３１０との間に、水力学のためのおよび／または圧力を加えるために圧縮空気ための流路８２０を含む。

光学的に活性化された領域、つまり、照射される領域間に位置付けされるポリマー材料あるいは硬化性材料を保存するために、２つの部分は、照射プロセスを実行することができる。この文脈では、これに関連して、第１のステップは、絞り領域３５０によって遮断することを含む。構造体の光学領域（可視光で見える領域）は、静水圧Ｐａを加えるための流路と同様に作り出される。最初の照射の結果、硬化されたポリマーあるいは硬化性材料の周辺の壁１０１０は、個々の光学領域、つまり、作り出される構造体が後で成形される領域で形を成すことができる。個々の光学領域は、他の領域からこのように分けられる。言いかえれば、装置１０００はいくつかの部分的な装置７００へ分割される。第２のステップでは、結果として生じるチャンバおよび／または他のチャンバから独立した部分的な装置７００において、直径の点から見て、可変である絞りまたは絞り領域３５０による第２の硬化プロセスの間のポリマーあるいは付加的な硬化性材料３２１の連続的な流れΦｐを確かにするために、静水圧Ｐｉは、直ちに組み立てることができる。このようにして、局所的に照射を変える、第２の硬化ステップ、すなわち、ステップ１２０は、方法１００のために既に記述されていたのと同じパターンにしたがって行なわれる。

図１３は本発明の実施例による装置１３００の断面図の略図を示す。装置１３００は、いくつかの装置９００の配置を含む。そして、それは硬化されるポリマーの周囲の壁によってお互いから切り離されない。さらに、局所的に変化する照射は、可変の絞り領域３５０によってよりむしろ可変のグレーフィルタ５１０だけによって制御される。個々の装置９００は、硬化されたポリマーの周囲の壁によって分離されないので、光学的に非活動的な硬化領域の第１のステップは、省くことができる。

図１４Ａは本発明の実施例の利用のための成形型３１０を含む装置の断面図の略図を示す。図１４Ａに示される装置において用いられる成形型３１０は、局所的に照射の分岐を調整するために、微細構造１４１０によってここまでに示された成形型とは異なる。さらに、図１４Ａに示される成形型３１０は、図６Ｃに示されているように、成形された要素３２２ｅ―３２２ｆによって、量を蓄積するための、および／または、垂直に基材または表面３３０まで伸びている流路３２９，３２９´を作り出すためのキャビティを作り出すために、絞り構造体３１４を含む。

図１４Ｂは、本発明の実施例による装置１４００の断面図の略図を示す。装置１４００は、基材の表面３３０、すなわち、基材３３０を含む。硬化性材料３２０は、成形型３１０の成形面３１２および基材３３０の表面間に配置される。成形型３１０は、照明または照射の拡散を局所的に調整するための微細構造１４１０を含む。さらに、成形型３１０は、容積を蓄積するために、および／または、基材の表面３３０、すなわち、基材まで垂直に伸びる流路３２９，３２９´を作り出すためのキャビティを生産するために、絞り構造体３１４を含む。可変の絞り領域３５０は、基材３３０の表面に対向しない成形型３１０の表面に隣接する。可変のグレーフィルタ５１０は、成形型３１０に対向しない可変の絞り領域３５０の表面に隣接する。

可変の絞り領域３５０と結合して、可変のグレーフィルタ５１０は、硬化性材料３２０の局所的に変化する照射を可能にする。その結果、付加的な硬化性材料３２１は、硬化性材料３２０の材料収縮を補償するために、流れ続けることができる。局所的に照明の分岐を調節するための微細構造１４１０は、硬化性材料３２０の硬化の間に溝付けを防ぎ、それゆえに、生産された構造体の増加した分岐の領域１４２０の光学的性質を改良する。平行にされた方法で照射される領域１４３０は、生産された構造体の急勾配の構造の端を含む。さらに、示された装置１４００は、前の実施例で既に述べられていたように、静水圧を加えるための装置によって展開することができる。

図１５は、本発明の実施例による装置１５００の断面図の略図を示す。装置１５００は、１つの分野の中で示される装置の全ての組み合わせを表す。装置１５００は、基材３３０を含む。基材３３０は、成形型３１０の領域によって隣接される。成形型３１０の成形面３１２および基材３３０の表面間の領域３４０には、硬化性材料３２０が存在することが可能である。成形型３１０は、局所的に照明の分岐を調節するための微細構造１４１０を含み、また、容積を蓄積するためのキャビティ、および／または、基材まで垂直に伸びる流路３２９，３２９´を生産するための絞り構造体３１４を含む。さらに、成形型３１０は、弾性膜７１０を含む。弾性膜７１０は、外部の静圧Ｐａを加えるために、スタンプ１５１０によって付加される。可変の絞り領域３５０は、成形型３１０に対向しないスタンプ１５１０の表面に隣接して配置される。可変の開口層３５０は、第１の絞り領域３５１および第２の絞り領域３５２を含む。可変のグレーフィルタ５１０は、成形型３１０に対向しない可変の絞り領域３５０の表面に隣接して配置される。

絞り領域３５０と結合して、可変のグレーフィルタ５１０は、成形型３１０を介して硬化性材料３２０の局所的に変わる照射を可能にする。局所的に照射を変えるステップ１２０の間、外部の静圧Ｐａは、スタンプ１５１０によって付加的な硬化性材料３２１に加えられる。外部の静圧Ｐａは、増加した圧力Ｐｉに結びつく。そしてそれは、照射領域３４０の中への付加的な硬化性材料３２１の継続的な流れΦｐをもたらし、それゆえに、改良された収縮補償を可能にする。局所的に照明分岐を調節するための微細構造１４１０の利用は、生産される構造体の光学的活性領域１４２０において溝付けを回避するために、マスク調整器により平行にされた方法で照射される紫外線の拡散を可能にする。

１つは述べることができる。要約すれば、装置１５００は、低コストの生産のための配置、例えば紫外線硬化型ポリマーに基づく複製プロセスによる非常に正確な光学的・機械的な構成を示す。これに関連して、成形に必要な成形型３１０には、例えば微細構造１４１０などの固定光学素子、および、絞り領域３５０またはグレーフィルタ５１０のような可変の光学素子が提供されている。そしてそれは、振幅と位相の点からみると、成形型３１０の透過関数の時間的に可変の局所的な調節を可能にする。振幅と位相の点からみると、局所的且つ時間的に可変の透過関数の調節は、それゆえに、ポリマーあるいは硬化性材料の紫外線硬化の間に生じる収縮に対する補償をもたらし、また、基材および／または表面に作用する機械的ストレスの発生の減少をもたらす。そして、硬化され材料において、急勾配の端曲面あるいは低い屈折率勾配を有する構造体の位置依存性の生産に帰着する。

例えば、成形型３１０内の付加的な絞り構造体によって、追加のポリマー・ボリューム、すなわち、付加的な硬化性材料３２１を照射に備えて保護することができるが、さらに、付加的な硬化性材料３２１のために、例えば生産される構造体についての増加した分岐の領域１４２０など、光学上利用された有効範囲に関する端領域から流れ続けることも可能であることをもう一度ここで言及しなければならない。これは、特に、照射が時間的に続いて起こる方法で行なわれる場合、可能である。内部から、すなわち、光学上利用される有効範囲から、言い換えれば、生産される構造体の光学上適切な表面から、外部に向かって、すなわち、生産される構造体の端領域に向かって、開始する。連続する照射の間の端領域の付加的な硬化性材料３２１への加圧に起因して、硬化性材料３２１は、生産される構造体の光学上利用された有効範囲の領域の端領域から流れ込み続ける事が可能となる。容積収縮を補うために利用されていない、生産される構造体の端領域に位置する付加的な硬化性材料３２１は、一旦、実際のレンズ、すなわち、生産される構造体の光学上利用される有効範囲が硬化されたならば、照射の終了で、時間的に開口して硬化することができる。

さらに、図１６は、本発明の実施例による装置１６００の断面図の略図を示し、図７〜１５に示される装置とは対照的に、装置１６００の中で実現されている図６Ａ〜６Ｃの中で既に示されたように成形型３１０の簡略設計を示す。言いかえれば、図１６に基本的に示される成形型３１０は、図６Ａ〜６Ｃで示される成形型３１０ａ〜３１０ｆに相当する。例えば基材３３０に対向する表面、すなわち、成形型３１０の成形面３１２に対向する表面は、図１６に示されるように、装置１６００の中で使用した成形型３１０によって、弾性膜７１０（図６Ａ〜６Ｃに係る弾性膜３１６参照。）が付着する領域および弾性膜７１０が付着しない他のものがあるように構造化されるときに、開口または流路の少しも必要性のない成形型３１０の簡易化された型の設計に帰着するものとなる。図６Ａの中で示される成形型３１０とは対照的に、成形型３１０には、もはや絞り構造体３１４がなくてもよい。付着のない領域１６１０では、弾性膜７１０は、空気圧または水圧の技術による外部の静水圧Ｐａを加えることにより膨れ上がるために形成することができる。付着のない領域１６１０は、図１６の中の破線の中で描かれている。弾性膜７１０の膨隆は、水力学または圧縮空気によって圧力を加えることにより例えば達成される。その後、弾性膜７１０の膨隆は、成形型３１０（図６Ａ〜６Ｃの流路３１８参照）の周囲で伸びる流路８２０を形成する。流路８２０は、成形型３１０への弾性膜７１０の付着のない領域１６１０に生産される。水力学または圧縮空気により流路８２０内に存在し、付着のない領域１６１０に膨隆する弾性膜７１０に帰着する外部の静水圧Ｐａは、さらに、液体の硬化性材料３２１に内部の静水圧Ｐｉをもたらす。内部の静水圧Ｐｉは、局所的な照射の領域３４０における収縮補償のために、硬化性材料３２１の継続的な流れとなる。これに関連して、ウエハーまたは装置１６００の端の周辺で伸びるシールは、成形型３１０の表面上に付着するかまたは付着しない領域の形成により、達成することができる。

図１７は、本発明の実施例による装置１７００の断面図の略図を示す。装置１７００は、いくつかの装置１６００の配置を含む。そしてそれは、硬化されたポリマーで形成された周辺の壁によってお互い分離されない。個々の装置１６００の静水圧を加えるための流路８２０は、流体的に相互接続される。流路８２０の外部の静水圧せＰａは、空気力学、例えば空気または水力学または油によって、作り出すことができる。この目的を達成するために、装置１７００および／またはウエハーは、圧縮空気または油圧油を供給するように、基材３３０すなわち基材３３０の表面を介して、少なくとも１つの位置に、例えば穿孔による穴を含む。水力学による圧力Ｐａの生成は、空気力学による圧力の生成とは対照的に、装置１７００全体あるいはウエハー全体にわたって圧力Ｐａのより多くの一様分布という長所を有する。さらに、局所的に変わる照射は、可変のグレーフィルタ５１０によって制御される。装置１７００は、当然さらに、可変の絞り領域３５０を含み得る。個々の装置１６００が硬化されたポリマーで作られた周辺の壁によって分離されないため、光学的に非活発な範囲の硬化する第１のステップは、省くことができる。

図１８は、本発明の実施例による装置１８００の断面図の略図を示す。装置１７００との類似によって、装置１８００は、いくつかの装置１６００の配置を示す。装置１７００とは対照的に、個々の装置１６００は、閉じたキャビティの実現のために、硬化性ポリマーからなる周辺の壁１０１０によってお互い分離される。さらに、局所的に装置１７００内の照射を変えることは、可変のグレーフィルタ５１０によって制御される。装置１８００は、当然、さらに可変の絞り領域３５０を含み得る。周辺の壁１０１０の生産は、装置１０００のために、既に記述された方法のままで達成される。また、この場合、個々の流路８２０は、流路８２０内に存在し、コンプレッサーによって生産される外的な静水圧Ｐａの一様分布を保障するために、装置１８００全体にわたって、相互に連結される。

記述された装置の全体において、基材３３０すなわち基材３３０の表面は、例えば、ガラス、ガラス・セラミックス、陶器、シリコン、ゲルマニウムのような継続的に均一の材料で形成される他にもまた、紫外線硬化可能なあるいは溶解性ポリマーで形成され、あるいは、構造物質、例えば、連続的なキャビティを有する基材で構成され得る。

Claims (12)

1. 光学部品のための成形型であって、
   前記成形型は、成形面（３１２）および膜層（３１６；７１０）を含み、
   前記成形面（３１２）は、前記光学部品（３２２ａ〜３２２ｆ）の光学的に関連する表面を明確にする表面領域（３１２´）を含み、前記成形型（３１０；３１０ａ〜３１０ｆ）は、前記成形面（３１２）から離れて対向する側からの照射に対して透過的であり、
   前記膜層（３１６；７１０）は、前記成形面（３１２）に配置されて、照射に対して透過的であり、前記膜層（３１６；７１０）は、前記成形面（３１２）の流路領域（１６１０）において、前記成形面（３１２）に緩く当接され、前記流路領域（１６１０）は、前記表面領域（３１２´）と横方向に隣接し、且つ、前記成形面（３１２）と前記膜層（３１６；７１０）の内面との間の領域が流路（３１８；８２０）を形成するように、前記流路領域（１６１０）の回りに、液密の方法で前記成形面（３１２）に接続されている、光学部品のための成形型。
2. 前記成形型は、第１の絞り構造体（３１４）および第２の絞り構造体（３１４´）をさらに含み、
   前記第１の絞り構造体（３１４）および前記第２の絞り構造体（３１４´）は、前記照射によって硬化可能な材料が、ビーム方向において前記第１絞り構造体および前記第２絞り構造体（３１４、３１４´）よりも下流で硬化することがないように、前記表面領域（３１２´）の横方向に隣接して配置され、前記成形面（３１２）とは反対側からの照射をブロックする、請求項１に記載の光学部品のための成形型。
3. 前記成形型は、構造体（３１９；１４１０）を含み、
   前記構造体（３１９；１４１０）は、前記成形面（３１２）とは反対側からの照射が、ビーム拡散のために、前記構造体（３１９；１４１０）を通過し、前記表面領域（３１２´）を通り過ぎるように配置される、請求項１〜２のいずれか１項に記載の光学部品のための成形型。
4. 成形によって硬化性材料から光学部品を作り出すための装置であって、
   前記装置は、
   請求項１〜３のいずれかに記載の成形型（３１０；３１０ａ〜３１０ｆ）、
   照射器、
   または予め成形された構造体の表面（３３０ａ）の上に、前記硬化性材料（３２０）が前記基材または前記予め成形された構造体の表面（３３０ａ）と、前記基材または前記予め成形された構造体の前記表面（３３０ａ）に対向する前記成形型の成形面との間の領域（３４０）に隣接するように、且つ、付加的な硬化性材料（３２１）が前記領域（３４０）に流入し続けることができるように、前記成形型（３１０；３１０ａ〜３１０ｆ）を配置するための手段、および
   前記成形型（３１２）の流路（３１８，３２０）に圧力を加えることによって、前記付加的な硬化性材料（３２１）に外部圧力を加える手段を含み、
   前記照射器は、前記硬化性材料（３２０）が局所的に変化するやり方で異なる速度で硬化するように、且つ、前記硬化性材料（３２０）の硬化の間発生している収縮が前記付加的な硬化性材料（３２１）によって補われるように、前記領域（３４０）の中の前記硬化性材料（３２０）について、局所的に変化する照射を実施するように構成されている、成形によって硬化性材料から光学部品を作り出すための装置。
5. 前記装置は、複数の構造体を作り出すために構成され、
   前記照射器は、所定の個々の絞りを有する２つの絞り領域（３５１，３５２）を移動させることによって、前記照射の前記局所的変化を実行するように構成され、前記個々の絞りの距離は、単一または複数の製造される前記構造体の前記距離に対応する、請求項４に記載の装置。
6. さらなる光学部品を作り出すために請求項１〜３のいずれかに記載のさらなる成形型をさらに含み、
   前記さらなる成形型の流路と接続されている前記成形型の流路、および
   前記成形型の前記流路において前記付加的な硬化性材料（３２１）に圧力を加えるように構成された外部圧力を加えるための手段を含む、請求項４〜５のいずれか１項に記載の装置。
7. 成形によって硬化性材料から光学部品を作り出す方法であって、
   前記方法は、
   請求項１〜３のいずれかに記載の成形型（３１０；３１０ａ〜３１０ｆ）を準備するステップ、
   基材または予め成形された構造体の表面（３３０ａ）との間の領域（３４０）において、付加的な硬化性材料（３２１）は、前記領域（３４０）に流入し続けることができ、且つ、前記硬化性材料（３２０）は、前記基材または前記予め成形された構造体の前記表面（３３０ａ）と、前記基材または前記予め成形された構造体の前記表面（３３０ａ）に対向する前記成形型（３１０；３１０ａ〜３１０ｆ）の成形面（３１２）に隣接するように、前記基材または前記予め成形された構造体の前記表面（３３０ａ）の上に、請求項１〜３のいずれかに記載の成形型（３１０；３１０ａ〜３１０ｆ）を配置するステップ（１１０）、
   前記硬化性材料（３２０）が局所的に変化するやり方で異なる速度で硬化するように、且つ、前記硬化性材料（３２０）の硬化の間発生している収縮が前記付加的な硬化性材料（３２１）によって補われるように、局所的に変化するやり方で前記領域（３４０）の中の前記硬化性材料（３２０）に光を照射するステップ（１２０）、および
   照射の間に前記付加的な硬化性材料（３２１）に外部圧力を加えるステップ（１３０）を含み、
   前記外部圧力を加えるステップ（１３０）は、前記成形型（３１２）の流路（３１８，８２０）において、前記付加的な硬化性材料（３２１）に圧力（Ｐａ）を加えるステップを含む、成形によって硬化性材料から光学部品を作り出す方法。
8. 前記局所的に変化する照射のためのステップ（１２０）は、前記成形面（３１２）とは反対側の前記成形型（３１０；３１０ａ−３１０ｆ）側から前記成形型（３１０；３１０ａ−３１０ｆ）を通じて行なわれる、請求項７に記載の方法。
9. 前記局所的に変化する前記照射は、局所的に変化する透過性を有する２つの絞り領域（３５１、３５２）の移動と、電気的および／または機械的に可変の透光性を有するグレーフィルタ（５１０）との両方またはいずれか一方によって行われる、請求項７〜８のいずれか１項に記載の方法。
10. 前記局所的に変化する照射は、少なくともビーム拡散のための構造（３１９、１４１０）を通じて部分的に行なわれる、請求項７〜９のいずれかに記載の方法。
11. 前記成形型（３１０；３１０ａ〜３１０ｆ）を配置するステップ（１１０；２１０）と、前記局所的に変化する照射（１２０；２２０）のステップ（１２０；２１０）との間において、横方向に密閉して前記領域（３４０）を取り囲む前記硬化性材料（３２０）のエッジ領域（１０１０）を硬化するステップをさらに含む、請求項７〜１０のいずれかに記載の方法。
12. 前記方法は、作り出される複数の構造体を含み、
    前記局所的に変化する照射は、所定の個々の絞りを有する２つの絞り領域（３５１，３５２）を移動させることによって実行され、前記個々の絞りの距離は、単一または複数の製造される前記構造体の前記距離に対応する、請求項７〜１１のいずれかに記載の方法。

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