JP2013257298A - X線分析装置及びx線分析方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】試料設置部130は、第1のφ軸回転ステージ134の上に設置されており、第2のφ軸回転駆動部145により、φ軸を中心に試料を回転させる第2のφ軸回転ステージ135と、第1のφ軸回転駆動部144により、φ軸を中心に前記第2のφ軸回転ステージ135の全体を回転させる第1のφ軸回転ステージ134と、第1のφ軸回転ステージ134の全体を、χ軸を中心に回転させるχ軸回転ステージ133と、χ軸回転ステージ133の全体を、ω軸を中心に回転させるω軸回転ステージ132と、X線検出部120を、2θ軸を中心に回転させる2θ回転ステージ131と、を有しており、第2のφ軸回転駆動部145は、第1のφ軸回転駆動部144よりも高速に回転するものであることを特徴とするX線分析装置を提供する。
【選択図】図2
Description
第1の実施の形態におけるX線分析装置について説明する。本実施の形態におけるX線分析装置は、図2に示されるように、X線源110と、試料101が設置される試料設置部130と、X線を検出するためのX線検出部120とを有している。
次に、第2の実施の形態について説明する。本実施の形態は、第1の実施の形態におけるX線分析装置において、第1のφ軸回転ステージ134と第2のφ軸回転ステージ135との中心位置及び回転軸を一致させる機能を有するものである。本実施の形態におけるX線分析装置について、図3に基づき説明する。本実施の形態におけるX線分析装置は、第1のφ軸回転ステージ134と第2のφ軸回転ステージ135との間に、X軸調整ステージ211、Y軸調整ステージ212、スイベルRx軸調整ステージ213、スイベルRy軸調整ステージ214を有している。X軸調整ステージ211は、第1のφ軸回転ステージ134と第2のφ軸回転ステージ135との間におけるX軸方向の位置を並進させ調整を行なうものである。Y軸調整ステージ212は、第1のφ軸回転ステージ134と第2のφ軸回転ステージ135との間におけるY軸方向の位置を並進させて調整を行なうものである。スイベルRx軸調整ステージ213は、第1のφ軸回転ステージ134に対する第2のφ軸回転ステージ135のX軸方向における傾きの調整を行なうものである。スイベルRy軸調整ステージ214は、第1のφ軸回転ステージ134に対する第2のφ軸回転ステージ135のY軸方向における傾きの調整を行なうものである。このように、X軸調整ステージ211、Y軸調整ステージ212、スイベルRx軸調整ステージ213、スイベルRy軸調整ステージ214により、第1のφ軸回転ステージ134と第2のφ軸回転ステージ135との中心位置及び回転軸を一致させることができる。尚、本実施の形態においては、便宜上、X軸、Y軸の表現を用いているが、X軸、Y軸、Z軸は相互に直交する軸であって、X軸及びY軸は、Z軸をφ軸とした場合に対応する軸である。また、上記以外の内容については、第1の実施の形態と同様である。
(X線分析装置)
次に、第3の実施の形態におけるX線分析装置について説明する。本実施の形態におけるX線分析装置は、図4に示されるように、X線源110と、試料101が設置される試料設置部130と、X線を検出するためのX線検出部220とを有している。
次に、本実施の形態におけるX線分析装置を用いたX線分析方法について説明する。本実施の形態におけるX線分析方法は、試料101における歪評価方法であって、最初に、対称回折ピークの最適化を行ない、この後、非対称回折ピークの最適化を行なうものである。図5に基づき、本実施の形態におけるX線分析方法について説明する。
(付記1)
試料に照射されるX線を出射するX線源と、
前記試料が設置される試料設置部と、
前記試料からのX線を検出するX線検出部と、
を有し、
前記試料設置部は、
第1のφ軸回転ステージの上に設置されており、第2のφ軸回転駆動部により、φ軸を中心に前記試料を回転させる第2のφ軸回転ステージと、
第1のφ軸回転駆動部により、前記φ軸を中心に前記第2のφ軸回転ステージの全体を回転させる第1のφ軸回転ステージと、
前記第1のφ軸回転ステージの全体を、χ軸を中心に回転させるχ軸回転ステージと、
前記χ軸回転ステージの全体を、ω軸を中心に回転させるω軸回転ステージと、
前記X線検出部を、2θ軸を中心に回転させる2θ回転ステージと、
を有しており、
前記第2のφ軸回転駆動部は、前記第1のφ軸回転駆動部よりも高速に回転するものであることを特徴とするX線分析装置。
(付記2)
前記X線検出部は、スリット及びX線検出器を有し、
前記X線検出器は、前記スリットを通ったX線を検出するものであることを特徴とする付記1に記載のX線分析装置。
(付記3)
前記X線検出部は、スリット、第1のX線検出器及び第2のX線検出器を有し、
前記第2のX線検出器は、透過型積分電離箱であり、
前記第1のX線検出器は、前記第2のX線検出器を透過したX線のうち、前記スリットを通ったX線を検出するものであることを特徴とする付記1に記載のX線分析装置。
(付記4)
前記透過型積分電離箱は、イオンチェンバーであることを特徴とする付記3に記載のX線分析装置。
(付記5)
前記第1のφ軸回転ステージと前記第2のφ軸回転ステージとの間には、前記φ軸に直交する2次元方向において、
前記第1のφ軸回転ステージに対する前記第2のφ軸回転ステージの位置を調整するX軸調整ステージ及びY軸調整ステージと、
前記第1のφ軸回転ステージに対する前記第2のφ軸回転ステージの傾きを調整するスイベルRx軸調整ステージ及びスイベルRy軸調整ステージと、
を有することを特徴とする付記1から4のいずれかに記載のX線分析装置。
(付記6)
前記2θ軸と前記ω軸は同軸であることを特徴とする付記1から5のいずれかに記載のX線分析装置。
(付記7)
前記ω軸と前記χ軸は直交する軸であり、前記χ軸と前記φ軸は直交する軸であることを特徴とする付記1から6のいずれかに記載のX線分析装置。
(付記8)
試料に照射されるX線を出射するX線源と、
前記試料が設置される試料設置部と、
前記試料からのX線を検出するX線検出部と、
を有し、
前記試料設置部は、
第1のφ軸回転ステージの上に設置されており、第2のφ軸回転駆動部により、第1の軸を中心に前記試料を回転させる第2のφ軸回転ステージと、
第1のφ軸回転駆動部により、前記第1の軸を中心に前記第2のφ軸回転ステージの全体を回転させる第1のφ軸回転ステージと、
前記第1のφ軸回転ステージの全体を、第2の軸を中心に回転させるχ軸回転ステージと、
前記χ軸回転ステージの全体を、第3の軸を中心に回転させるω軸回転ステージと、
前記X線検出部を、前記第3の軸を中心に回転させる2θ回転ステージと、
を有しており、
前記第1の軸と前記第2の軸とは直交し、前記第2の軸と前記第3の軸とは直交するものであって、
前記第2のφ軸回転駆動部は、前記第1のφ軸回転駆動部よりも高速に回転するものであることを特徴とするX線分析装置。
(付記9)
第1のφ軸回転ステージの上に設置されており、試料を、φ軸を中心に回転させる第2のφ軸回転ステージと、
前記第2のφ軸回転ステージの全体を、前記φ軸を中心に回転させる第1のφ軸回転ステージと、
前記第1のφ軸回転ステージの全体を、χ軸を中心に回転させるχ軸回転ステージと、
前記χ軸回転ステージの全体を、ω軸を中心に回転させるω軸回転ステージと、
X線検出部を、2θ軸を中心に回転させる2θ回転ステージを有する試料設置部を備えたX線分析装置におけるX線分析方法において、
前記第2のφ軸回転ステージを高速に回転させた状態で、前記ω軸回転ステージを回転させてω軸を最適化する工程と、
前記ω軸を最適化した後に、前記第1のφ軸回転ステージを回転させてφ軸を最適化する工程と、
を有することを特徴とするX線分析方法。
(付記10)
前記ω軸を最適化する工程及び前記φ軸を最適化する工程は、透過型積分電離箱を用いて、前記試料からのX線を検出することにより行なわれるものであることを特徴とする付記9に記載のX線分析方法。
(付記11)
前記φ軸を最適化した後に、前記2θ回転ステージを回転させて2θ軸を最適化する工程を有することを特徴とする付記9または10に記載のX線分析方法。
(付記12)
前記2θ軸を最適化する工程は、透過型積分電離箱を透過しスリットを通った前記試料からのX線を検出することにより行なわれるものであることを特徴とする付記11に記載のX線分析方法。
(付記13)
前記ω軸を最適化する工程の前に、前記第2のφ軸回転ステージを高速に回転させた状態で、前記χ軸回転ステージを回転させてχ軸を最適化する工程を有することを特徴とする付記9から12のいずれかに記載のX線分析方法。
(付記14)
前記χ軸を最適化する工程は、透過型積分電離箱を用いて、前記試料からのX線を検出することにより行なわれるものであることを特徴とする付記13に記載のX線分析方法。
(付記15)
前記ω軸を最適化する工程は、第2のω軸最適化工程であり、
前記第2のω軸最適化工程及び前記φ軸を最適化する工程の前に、
前記χ軸回転ステージを回転させてχ軸を最適化する工程と、
前記χ軸を最適化した後、前記ω軸回転ステージを回転させてω軸を最適化する第1のω軸最適化工程と、
前記第1のω軸最適化工程の後に、前記2θ回転ステージを回転させて2θ軸を最適化する第1の2θ軸最適化工程と、
前記第2のω軸最適化工程及び前記φ軸を最適化する工程の後に、前記2θ回転ステージを回転させて2θ軸を最適化する第2の2θ軸最適化工程と、
を有し、
前記第2のω軸最適化工程及び前記φ軸を最適化する工程は、第1の2θ軸最適化工程の後に行なわれるものであって、
前記χ軸を最適化する工程、前記第1のω軸最適化工程及び前記第1の2θ軸最適化工程により、前記試料における対称回折ピークの最適化がなされ、
前記第2のω軸最適化工程、前記φ軸を最適化する工程及び前記第2の2θ軸最適化工程により、前記試料における非対称回折ピークの最適化がなされることを特徴とする付記9に記載のX線分析方法。
(付記16)
前記χ軸を最適化する工程、第1のω軸最適化工程、前記第2のω軸最適化工程及び前記φ軸を最適化する工程は、透過型積分電離箱を用いて、前記試料からのX線を検出することにより行なわれるものであることを特徴とする付記15に記載のX線分析方法。
(付記17)
前記第1の2θ軸最適化工程及び前記第2の2θ軸最適化工程は、透過型積分電離箱を透過しスリットを通った前記試料からのX線を検出することにより行なわれるものであることを特徴とする付記15または16に記載のX線分析方法。
(付記18)
前記第1のω軸最適化工程、前記第1の2θ軸最適化工程、前記第2のω軸最適化工程及び前記第2の2θ軸最適化工程において最適化された値に基づき前記試料における歪みを算出することを特徴とする付記15から17のいずれかに記載のX線分析方法。
(付記19)
前記2θ軸と前記ω軸は同軸であることを特徴とする付記9から18のいずれかに記載のX線分析方法。
(付記20)
前記ω軸と前記χ軸は直交する軸であり、前記χ軸と前記φ軸は直交する軸であることを特徴とする9から19のいずれかに記載のX線分析方法。
110 X線源
120 X線検出部
121 スリット
122 X線検出器
123 2θアーム
130 試料設置部
131 2θ軸回転ステージ
132 ω軸回転ステージ
133 χ軸回転ステージ
134 第1のφ軸回転ステージ
135 第2のφ軸回転ステージ
141 2θ軸回転駆動部
142 ω軸回転駆動部
143 χ軸回転駆動部
144 第1のφ軸回転駆動部
145 第2のφ軸回転駆動部
Claims (8)
- 試料に照射されるX線を出射するX線源と、
前記試料が設置される試料設置部と、
前記試料からのX線を検出するX線検出部と、
を有し、
前記試料設置部は、
第1のφ軸回転ステージの上に設置されており、第2のφ軸回転駆動部により、φ軸を中心に前記試料を回転させる第2のφ軸回転ステージと、
第1のφ軸回転駆動部により、前記φ軸を中心に前記第2のφ軸回転ステージの全体を回転させる第1のφ軸回転ステージと、
前記第1のφ軸回転ステージの全体を、χ軸を中心に回転させるχ軸回転ステージと、
前記χ軸回転ステージの全体を、ω軸を中心に回転させるω軸回転ステージと、
前記X線検出部を、2θ軸を中心に回転させる2θ回転ステージと、
を有しており、
前記第2のφ軸回転駆動部は、前記第1のφ軸回転駆動部よりも高速に回転するものであることを特徴とするX線分析装置。 - 前記X線検出部は、スリット、第1のX線検出器及び第2のX線検出器を有し、
前記第2のX線検出器は、透過型積分電離箱であり、
前記第1のX線検出器は、前記第2のX線検出器を透過したX線のうち、前記スリットを通ったX線を検出するものであることを特徴とする請求項1に記載のX線分析装置。 - 前記第1のφ軸回転ステージと前記第2のφ軸回転ステージとの間には、前記φ軸に直交する2次元方向において、
前記第1のφ軸回転ステージに対する前記第2のφ軸回転ステージの位置を調整するX軸調整ステージ及びY軸調整ステージと、
前記第1のφ軸回転ステージに対する前記第2のφ軸回転ステージの傾きを調整するスイベルRx軸調整ステージ及びスイベルRy軸調整ステージと、
を有することを特徴とする請求項1または2に記載のX線分析装置。 - 第1のφ軸回転ステージの上に設置されており、試料を、φ軸を中心に回転させる第2のφ軸回転ステージと、
前記第2のφ軸回転ステージの全体を、前記φ軸を中心に回転させる第1のφ軸回転ステージと、
前記第1のφ軸回転ステージの全体を、χ軸を中心に回転させるχ軸回転ステージと、
前記χ軸回転ステージの全体を、ω軸を中心に回転させるω軸回転ステージと、
X線検出部を、2θ軸を中心に回転させる2θ回転ステージを有する試料設置部を備えたX線分析装置におけるX線分析方法において、
前記第2のφ軸回転ステージを高速に回転させた状態で、前記ω軸回転ステージを回転させてω軸を最適化する工程と、
前記ω軸を最適化した後に、前記第1のφ軸回転ステージを回転させてφ軸を最適化する工程と、
を有することを特徴とするX線分析方法。 - 前記ω軸を最適化する工程及び前記φ軸を最適化する工程は、透過型積分電離箱を用いて、前記試料からのX線を検出することにより行なわれるものであることを特徴とする請求項4に記載のX線分析方法。
- 前記φ軸を最適化した後に、前記2θ回転ステージを回転させて2θ軸を最適化する工程を有することを特徴とする請求項4または5に記載のX線分析方法。
- 前記ω軸を最適化する工程は、第2のω軸最適化工程であり、
前記第2のω軸最適化工程及び前記φ軸を最適化する工程の前に、
前記χ軸回転ステージを回転させてχ軸を最適化する工程と、
前記χ軸を最適化した後、前記ω軸回転ステージを回転させてω軸を最適化する第1のω軸最適化工程と、
前記第1のω軸最適化工程の後に、前記2θ回転ステージを回転させて2θ軸を最適化する第1の2θ軸最適化工程と、
前記第2のω軸最適化工程及び前記φ軸を最適化する工程の後に、前記2θ回転ステージを回転させて2θ軸を最適化する第2の2θ軸最適化工程と、
を有し、
前記第2のω軸最適化工程及び前記φ軸を最適化する工程は、第1の2θ軸最適化工程の後に行なわれるものであって、
前記χ軸を最適化する工程、前記第1のω軸最適化工程及び前記第1の2θ軸最適化工程により、前記試料における対称回折ピークの最適化がなされ、
前記第2のω軸最適化工程、前記φ軸を最適化する工程及び前記第2の2θ軸最適化工程により、前記試料における非対称回折ピークの最適化がなされることを特徴とする請求項4に記載のX線分析方法。 - 前記第1のω軸最適化工程、前記第1の2θ軸最適化工程、前記第2のω軸最適化工程及び前記第2の2θ軸最適化工程において最適化された値に基づき前記試料における歪みを算出することを特徴とする請求項7に記載のX線分析方法。
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