JP2013255487A - 癌細胞捕捉金属フィルタ、癌細胞捕捉金属フィルタシート、癌細胞捕捉デバイス、及び、それらの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】癌細胞捕捉金属フィルタ1によれば、金属シート11に設けられた連結貫通孔12の開口が波形状であることにより、その短辺側の孔径を利用して他の成分からCTCを抽出することができると共に、波形状を有することで、CTCの捕捉能力を維持したまま、前記連結貫通孔同士をより近接させることができる。したがって、癌細胞捕捉金属フィルタ1における開口率をより向上させることができる。
【選択図】図1
Description
図1は、本実施形態に係る癌細胞捕捉金属フィルタの構成を説明する概略斜視図である。図1に示す癌細胞捕捉金属フィルタ1は、転移性癌患者の血液中に含まれる赤血球、血小板及び白血球(以下、これらを総称して「血球成分」とする)を通過させる一方で、CTCを捕捉するためのフィルタである。
次に、本実施形態に係る癌細胞捕捉金属フィルタシート2について説明する。図5は、本実施形態に係る癌細胞捕捉金属フィルタシート2の構成を説明する概略上面図である。癌細胞捕捉金属フィルタシート2は、複数の癌細胞捕捉金属フィルタを効率よく生産するためのシートであって、図5に示すように切断線Lに沿って裁断することにより得られる癌細胞捕捉金属フィルタ部材10は、それぞれ癌細胞捕捉金属フィルタとして使用することができる。裁断後の個片即ち癌細胞捕捉金属フィルタ部材10には、連結貫通孔12が複数形成されたフィルタ部21と、フィルタ部21の周囲に設けられた接続部22とが含まれる。このうち、フィルタ部21が癌細胞捕捉金属フィルタ1と同等の機能を有している。
次に、本実施形態に係る癌細胞捕捉金属フィルタ1を取り付けて用いられる癌細胞捕捉デバイス3の構成について説明する。図6は、癌細胞捕捉デバイス3の概略斜視図である。また、図7は癌細胞捕捉デバイス3の概略平面図である。また、図8(A)は、図7のVIIIA−VIIIA断面図であり、図8(B)は、図7のVIIIB−VIIIB断面図である。
次に、上記の癌細胞捕捉金属フィルタ1の製造方法について図11及び図12を用いて説明する。本実施形態に係る癌細胞捕捉金属フィルタ1の製造方法は、金属箔上にフォトレジストをラミネートする工程と、フォトレジスト層の上に波形の透光部を有するフォトマスクを重ねて露光する工程と、現像してフォトレジスト層の未露光部を除去してフォトレジストパターンを形成する工程と、フォトレジストパターン間を金属めっきしてフォトレジストパターンの高さより低い金属めっきパターンを形成する工程と、金属箔を化学的溶解によって除去して、金属めっきパターンとフォトレジストパターンからなる構造物を得る工程と、構造物からフォトレジストパターンを除去して、金属めっきパターンを得る工程と、を含む。以下、各工程について説明する。
まず、キャリア層401に対して金属箔402を積層させた状態を示す。金属箔402としては、エッチングによって除去可能な金属箔を用いることができ、具体的には銅、ニッケル、ニッケル・クロム合金等の箔が用いられるが、銅箔が好ましい。銅箔はケミカルエッチングで容易に除去可能であり、フォトレジストとの密着力においても他の材料に比べると優れている。銅張り積層板からなるキャリア層401に対して後の工程で剥離可能な程度に金属箔402を貼り付けたものを用いると、癌細胞捕捉金属フィルタ製造工程途中の作業性及び取り扱い性に優れるので好ましい。上記のような構成として、具体的には、ピーラブル銅箔(日立化成工業(株)社製)を用いることができる。ピーラブル銅箔とは、極薄銅箔とキャリア層の少なくとも2層からなる銅箔のことである。
続いて、露光工程について説明する。金属箔402上のフォトレジスト403の上に波形の透光部を有するフォトマスク404を重ねた後、活性光線を照射し、露光された部分を光硬化させてフォトレジストの硬化物403aを形成する。
光線を画像上に照射する方法(マスク露光法)が挙げられる。また、LDI(Laser Direct Imaging)露光法やDLP(Digital Light Processing)露光法等の直接描画露光法により活性光線を画像状に照射する方法を採用してもよい。
フォトレジスト403のうち、フォトレジストの硬化物以外の部分を金属箔402上から除去することにより、金属箔402上に、フォトレジストの硬化物からなるフォトレジストパターン403aを形成する。フォトレジスト上に支持フィルム又はフォトマスクが存在している場合には、支持フィルム又はフォトマスクを除去してから、上記フォトレジストの硬化物以外の部分の除去(現像)を行う。現像方法には、ウェット現像とドライ現像とがあるが、ウェット現像が広く用いられている。
現像工程の後、金属箔402上に金属めっきを行い、金属めっきパターン405を形成する。めっきの方法としては、例えば、はんだめっき、ニッケルめっき、金めっきが挙げられる。このめっき層が最終的に金属フィルタとなり、後の工程でフォトレジストパターンが除去されて金属フィルタの連結貫通孔になるので、フォトレジストパターンを塞いでしまわないようフォトレジストパターンの高さより低くめっきすることが重要である。
金属めっきパターン405を形成した後、金属箔402を化学的に溶解して除去する。これにより、人手作業(手剥がし)によらずに金属フィルタとなる金属めっきパターン405とフォトレジストパターン403aとからなる構造物を回収することができる。このため、シワ、折れ、キズ、カール等のダメージや、微細な連結貫通孔の変形を生じることなく、金属フィルタを製造することができる。金属箔を溶解する化学的溶解剤としては、メックブライトSF−5420B(商品名、メック株式会社製)、銅選択エッチング液−CSS(日本化学産業株式会社)等を使用することができる。
続いて、レジストパターン403aを、例えば現像に用いたアルカリ性水溶液より更に強アルカリ性の水溶液により除去する。この強アルカリ性の水溶液としては、例えば、1〜10質量%水酸化ナトリウム水溶液又は水酸化カリウム水溶液を用いることが好ましく、1〜5質量%水酸化ナトリウム水溶液又は水酸化カリウム水溶液を用いることがより好ましい。レジストパターン(フォトレジストの硬化物)を除去することにより、金属めっきパターン405のみを回収することができる。この金属めっきパターン405が金属フィルタとなる。レジストパターンの除去方式としては、浸漬方式、スプレー方式、超音波を用いる方式等が挙げられ、これらは単独で用いても併用してもよい。
次に、本実施形態に係る癌細胞捕捉金属フィルタシートの製造方法について説明する。
次に、本実施形態に係る癌細胞捕捉デバイスの製造方法について説明する。癌細胞捕捉デバイス3は、導入流路301を有する蓋部材31と、排出流路302を有する収納部材32と、の間に、癌細胞捕捉金属フィルタ部材10を挟み込んで固定をすることで形成される。このとき、癌細胞捕捉金属フィルタ部材10は、連結貫通孔の孔径が小さい側の面が蓋部材31側(上流側)となるように蓋部材31と収納部材32との間に取り付けられる。
(交差角度の測定方法)
交差角度は、癌細胞捕捉金属フィルタ又は癌細胞捕捉金属フィルタシートの連結貫通孔の端部の連結部を3Dリアルサーフェスビュー顕微鏡((株)キーエンス社製、VE−8800)で観察し、写真撮影してそれぞれの連結貫通孔の長辺方向の中心線が交わってできる角度の180°より小さい方の角度を測定して求めた。
開口率は、ダブルビーム分光光度計(20−10型、株式会社日立製作所製商品名)を用いて、フィルタとして機能する領域の面積に相当する開口を有するマスクフィルムを発光部と受光部の間に設置して400〜800nmの可視光の吸光度の平均値を求め、次に癌細胞捕捉金属フィルタを発光部と受光部の間に設置して400〜800nmの可視光の吸光度の平均値を求め、フィルタとして機能する領域の面積の吸光度に対する癌細胞捕捉金属フィルタの吸光度の比率(%)を開口率として求めた。
なお、連結貫通孔の孔径が小さい側の面を用いて、開口率の測定を行った。
(実施例1)
フォトレジスト(PHOTEC RD−1225:厚み25μm、日立化成工業(株)社製)を250mm角の基板(MCL−E679F:MCLの表面にピーラブル銅箔を貼り合わせた基板、日立化成工業(株)社製)の片面にラミネートした。ラミネート条件はロール温度90℃、圧力0.3MPa、コンベア速度2.0m/分で行った。
フォトレジスト(PHOTEC RD−1225:厚み25μm、日立化成工業(株)社製)を250mm角の基板(MCL−E679F:MCLの表面にピーラブル銅箔を貼り合わせた基板、日立化成工業(株)社製)の片面にラミネートした。ラミネート条件はロール温度90℃、圧力0.3MPa、コンベア速度2.0m/分で行った。
1つの波形状の透光部が、短辺が8μm、長辺が35μmの角丸長方形状の透光部が端部で3個連続して連結しており、波形状の透光部が延在する長手方向(図1のX軸方向)に対して直交する短手方向(図1のY軸方向)に沿って同じ向きで透光部が100個配列し、その透光部の列が長手方向に30列配列している。隣接して連結された角丸長方形の交差角度は120°であり、隣の連結部とは異なる向きに交差する。隣接する透光部との最短距離は、透光部が延在する長手方向に対して直交する短手方向(図1のY軸方向)に12μmであり、透光部が延在する長手方向(図1のX軸方向)に10μmである。3000個の透光部が後に形成される1つのフィルタ部となる。このようなフィルタ部を縦横に10個ずつ配列した。このとき隣のフィルタ部との間に接続部を設け、その接続部の幅をそれぞれ10mmずつとした。このガラスマスクを基板のフォトレジストラミネート面に静置した。このとき、ガラスマスクの透光部を設けた面側をフォトレジストラミネート面に向けた。
フォトレジスト(PHOTEC RD−1225:厚み25μm、日立化成工業(株)社製)を250mm角の基板(MCL−E679F:MCLの表面にピーラブル銅箔を貼り合わせた基板、日立化成工業(株)社製)の片面にラミネートした。ラミネート条件はロール温度90℃、圧力0.3MPa、コンベア速度2.0m/分で行った。
上述した実施例1〜3で作製した癌細胞捕捉金属フィルタの表面に置換金めっき液HGS−500(日立化成工業株式会社製)を使用し、表2に示す工程に沿って表3の金めっき条件で約0.05μmの金めっきを形成した。これにより実施例4〜6に係る癌細胞捕捉金属フィルタが得られた。何れの実施例においても、出来上がった癌細胞捕捉金属フィルタは、製造過程でフォトレジストパターンが倒れることなく、完成後のフィルタのシワ、折れ、キズ、カール等のダメージはなかった。実施例4〜6に係る癌細胞捕捉金属フィルタの開口率及び前記フィルタ上面側の連結貫通孔の短辺側の長さを表4に示す。
フォトレジスト(PHOTEC RD−1225:厚み25μm、日立化成工業(株)社製)を250mm角の基板(MCL−E679F:MCLの表面にピーラブル銅箔を貼り合わせた基板、日立化成工業(株)社製)の片面にラミネートした。ラミネート条件はロール温度90℃、圧力0.3MPa、コンベア速度2.0m/分で行った。
短辺が8μm、長辺が30μmの角丸長方形の透光部を図14のように独立して整列させた。隣接する透光部との最短距離が短辺方向で12μm、長辺方向に10μmとなるようなガラスマスクを準備し、実施例1と同様の方法で比較例1に係る癌細胞捕捉金属フィルタの作製を試みた。図14に示すように、比較例1に係る癌細胞捕捉金属フィルタ4は、角丸長方形の貫通孔15が所定の方向に沿って配列するものである。しかしながら、実施例1と同様の方法によりフォトレジストを形成したが、現像後にレジスト倒れ、脱落が発生している箇所が多数発生し、これが原因となり貫通孔漏れ、配列崩れが発生し、実用に耐えるものではなかった。
Claims (23)
- 主成分が金属である金属シートの厚み方向に貫通孔が形成された癌細胞捕捉金属フィルタであって、
前記貫通孔の開口が波形状である癌細胞捕捉金属フィルタ。 - 前記貫通孔が複数配列する請求項1に記載の癌細胞捕捉金属フィルタ。
- 前記開口の開口率が10〜50%である請求項1又は2に記載の癌細胞捕捉金属フィルタ。
- 前記金属シートの表面が金めっきされている請求項1〜3の何れか一項に記載の癌細胞捕捉金属フィルタ。
- 主成分が金属である金属シートの厚み方向に貫通孔が形成された複数のフィルタ部と、前記複数のフィルタ部に含まれる互いに隣接する2つのフィルタ部の間に設けられた接続部と、を備える癌細胞捕捉金属フィルタシートであって、
前記フィルタ部には、開口が波形状である前記貫通孔が複数設けられている癌細胞捕捉金属フィルタシート。 - 前記フィルタ部において開口の開口率が10〜50%である請求項5記載の癌細胞捕捉金属フィルタシート。
- 前記接続部において、位置決め孔を有する請求項5又は6に記載の癌細胞捕捉金属フィルタシート。
- 前記金属シートの表面が金めっきされている請求項5〜7の何れか一項に記載の癌細胞捕捉金属フィルタシート。
- 透光性を有する樹脂素材からなり、被検液を内部へ導入するための導入流路を有する蓋部材と、前記被検液を外部へ排出するための排出流路を有する収納部材と、を有する筺体と、
前記導入流路と前記排出流路との間の前記筺体の内部の流路上に前記被検液が貫通孔を通過するように設けられた請求項1〜4の何れか一項に記載の癌細胞捕捉金属フィルタと、
を備える癌細胞捕捉デバイス。 - 前記貫通孔の上流側の主面における孔径は前記主面に対する裏面側の孔径よりも小さい請求項9に記載の癌細胞捕捉デバイス。
- 前記癌細胞捕捉金属フィルタの替わりに、主成分が金属である金属シートの厚み方向に貫通孔が形成されたフィルタ部と、前記フィルタ部の周囲に設けられて位置決め孔を備える接続部と、を備える癌細胞捕捉金属フィルタ部材を備え、
前記蓋部材又は前記収納部材の少なくとも一方は、前記癌細胞捕捉金属フィルタ部材を取り付けた際に前記位置決め孔に対応する位置に前記位置決め孔に挿入される突起部を備える請求項9又は10に記載の癌細胞捕捉デバイス。 - 前記蓋部材と前記収納部材とが溶着されている請求項9〜11の何れか一項に記載の癌細胞捕捉デバイス。
- 金属箔上にフォトレジストをラミネートする工程と、
前記フォトレジストの上に波形状をなす透光部を有するフォトマスクを重ねて露光する工程と、
現像して前記フォトレジストの未硬化部を除去してフォトレジストパターンを形成する工程と、
前記フォトレジストパターン間を金属めっきして前記フォトレジストパターンの高さより低い金属めっきパターンを形成する工程と、
前記金属箔を化学的溶解によって除去して、前記金属めっきパターンと前記フォトレジストパターンからなる構造物を得る工程と、
前記構造物から前記フォトレジストパターンを除去して、前記透光部に対応する貫通孔を有する前記金属めっきパターンを得る工程と、
を含む癌細胞捕捉金属フィルタの製造方法。 - 前記金属箔は、キャリア層に貼付され、
前記金属めっきパターンを形成する工程の後に、前記キャリア層を剥離する工程を更に有する請求項13に記載の癌細胞捕捉金属フィルタの製造方法。 - 前記開口の開口率が10〜50%である請求項13又は14に記載の癌細胞捕捉金属フィルタの製造方法。
- 前記金属めっきパターンを得る工程の後に、金属めっきパターンの表面を金めっきする工程を含む請求項11〜15の何れか一項に記載の癌細胞捕捉金属フィルタの製造方法。
- 金属箔上にフォトレジストをラミネートする工程と、
前記フォトレジストの上に波形状をなす透光部を複数ブロック有するフォトマスクを重ねて露光する工程と、
現像して前記フォトレジストの未硬化部を除去してフォトレジストパターンを形成する工程と、
前記フォトレジストパターン間を金属めっきして前記フォトレジストパターンの高さより低い金属めっきパターンを形成する工程と、
前記金属箔を化学的溶解によって除去して、前記金属めっきパターンと前記フォトレジストパターンからなる構造物を得る工程と、
前記構造物から前記フォトレジストパターンを除去して、前記透光部に対応する貫通孔を有する前記金属めっきパターンを得る工程と、
を含む癌細胞捕捉金属フィルタシートの製造方法。 - 前記金属箔は、キャリア層に貼付され、
前記金属めっきパターンを形成する工程の後に、前記キャリア層を剥離する工程を更に有する請求項17に記載の癌細胞捕捉金属フィルタシートの製造方法。 - 前記フォトマスクを前記フォトレジストの上に重ねて露光する工程において、前記波形の透光部のブロックの周囲に前記透光部とは異なる第2の透光部を有するフォトマスクを用いる請求項17又は18に記載の癌細胞捕捉金属フィルタシートの製造方法。
- 前記開口の開口率が10〜50%である請求項17〜19の何れか一項に記載の癌細胞捕捉金属フィルタシートの製造方法。
- 前記金属めっきパターンを得る工程の後に、金属めっきパターンの表面を金めっきする工程を含む請求項17〜20の何れか一項に記載の癌細胞捕捉金属フィルタシートの製造方法。
- 透光性を有する樹脂素材からなり、被検液を内部へ導入するための導入流路を有する蓋部材と、前記被検液を外部へ排出するための排出流路を有する収納部材と、を有する筺体における前記導入流路と前記排出流路との間の前記筺体の内部の流路上に、請求項1〜4の何れか一項に記載の癌細胞捕捉金属フィルタを、前記貫通孔の上流側の主面における孔径が前記主面に対する裏面側の孔径よりも小さくなるように設ける癌細胞捕捉デバイスの製造方法。
- 前記蓋部材と前記収納部材とを溶着する請求項22に記載の癌細胞捕捉デバイスの製造方法。
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