JP2013251423A - 発光素子の保護膜の作製方法及び装置 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 88
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 42
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 289
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 161
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 claims abstract description 112
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 claims abstract description 112
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims abstract description 88
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 claims abstract description 9
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 107
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 54
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 21
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 18
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 17
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 15
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 9
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 8
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 6
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 5
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 4
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 4
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 2
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 2
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 230000005457 Black-body radiation Effects 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/48—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating by irradiation, e.g. photolysis, radiolysis, particle radiation
- C23C16/481—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating by irradiation, e.g. photolysis, radiolysis, particle radiation by radiant heating of the substrate
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/50—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges
- C23C16/505—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges using radio frequency discharges
- C23C16/507—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges using radio frequency discharges using external electrodes, e.g. in tunnel type reactors
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/44—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the coatings, e.g. passivation layer or anti-reflective coating
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2933/00—Details relating to devices covered by the group H01L33/00 but not provided for in its subgroups
- H01L2933/0008—Processes
- H01L2933/0025—Processes relating to coatings
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
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- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
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Abstract
【課題】高輝度で信頼性に優れた発光素子を構成する発光素子の保護膜の作製方法及び装置を提供する。
【解決手段】発光素子の保護膜の作製装置10において、成膜室50での成膜を行う前に、加熱室40Aでサファイア基板Wを所定の温度以上に加熱し、サファイア基板Wが搬送される前に成膜室50でプラズマを点灯しておき、所定の温度以上に加熱したサファイア基板Wを加熱室40Aから成膜室50へ搬送し、当該サファイア基板Wに、プラズマ処理を施すことにより、成膜室50で保護膜を成膜する。
【選択図】図1
【解決手段】発光素子の保護膜の作製装置10において、成膜室50での成膜を行う前に、加熱室40Aでサファイア基板Wを所定の温度以上に加熱し、サファイア基板Wが搬送される前に成膜室50でプラズマを点灯しておき、所定の温度以上に加熱したサファイア基板Wを加熱室40Aから成膜室50へ搬送し、当該サファイア基板Wに、プラズマ処理を施すことにより、成膜室50で保護膜を成膜する。
【選択図】図1
Description
本発明は、発光素子の保護膜の作製方法及び装置に関する。
省エネで長寿命を実現できるLED(Light Emitting Diode)が、新しい発光素子として期待されている。
H. S. Yang et al., "Effect of inductively coupled plasma damage on performance of GaN-InGaN multiquantum-well light-emitting diodes", APPLIED PHYSICS LETTERS 86, 102104, 2005
LED素子においては、通常、素子を保護するための絶縁膜、例えば、SiO(酸化珪素)やSiN(窒化珪素)を保護膜として形成している。図10に、LED素子の断面図を図示する。図10において、符号81はサファイア基板、82はn型GaN層、83は発光層、84はp型GaN層、85は透明導電膜、86はp電極、87はp電極パッド、88はn電極、89はn電極パッド、90は保護膜である。図10に示すLED素子においては、p電極パッド87、n電極パッド89のバンプ部分を除いて、素子の周囲を被覆するように、保護膜90が形成されており、この保護膜90により、素子を保護している。
一般的に、上述した保護膜の形成は、プラズマCVD(Chemical Vapor Deposition)装置を用いて行われ、従来は、図11に示すフローチャートの作製方法で実施されている。ここで、上述した保護膜が形成される前段階のLED素子が形成された基板を、LED基板と呼んで、図11の作製方法の説明を行う。
(1)LED基板をプラズマCVD装置の成膜室へ搬入する(ステップS31)。
(2)成膜室でプラズマを点灯して保護膜の成膜を開始する(ステップS32)。
(3)成膜室でプラズマを消して成膜を終了する(ステップS33)。
(4)LED基板を成膜室から搬出する(ステップS34)。
(2)成膜室でプラズマを点灯して保護膜の成膜を開始する(ステップS32)。
(3)成膜室でプラズマを消して成膜を終了する(ステップS33)。
(4)LED基板を成膜室から搬出する(ステップS34)。
プラズマCVD装置では、プラズマ点火時において、プラズマ発生用電極のインピーダンスが高い。このため、プラズマ点火するまでは、高い電圧がプラズマ発生用電極間に印加される。この電極間に存在する電子は、高い電圧に加速されて、プラズマ点灯するまで、高エネルギー電子が発生する。高エネルギー電子は、原料ガスをイオン化し、プラズマ点火するまで、イオンも同様に加速されて、エネルギーが高いイオンが発生する。高いエネルギーを持つイオンは、LEDの特性を劣化させることが分かっており(例えば、非特許文献1参照)、このため、上述した従来の作製方法では、所謂、プラズマダメージが発生して、LED特性が劣化していた。
加えて、上述した保護膜を形成する際に、成膜時の基板温度が低いと、保護膜の密度が低下し、保護性能(防水性)が劣化する。保護膜の性能の劣化は、LEDの信頼性の低下に繋がるため、成膜時の基板温度を、安定性が高い密度の保護膜を形成する所定の温度以上とすることが重要である。
プラズマCVD装置では、不活性ガス等のプラズマを用いて、基板を加熱可能であり(プラズマ加熱)、成膜室において、上述した保護膜を形成する前に、当該プラズマ加熱により基板温度を所定の温度以上に加熱することが考えられる。しかしながら、上述したように、プラズマ点火時に高いエネルギーのイオンが発生して、LEDの特性を劣化させること、例えば、LEDに使用される透明導電膜の透過率が低下することが分かっており、基板の加熱手段として、成膜室でのプラズマ加熱は適していない。例えば、プラズマ加熱で230℃まで加熱した場合には、ITO(酸化インジウム・スズ)などの透明導電膜の透過率(測定波長380〜480nm)が30〜40%程低下した。又、成膜室で成膜と共に基板のプラズマ加熱も行うと、基板1枚当たりの処理時間が長くなり、生産性(スループット)が低下してしまうため、このことも考慮すると、プラズマ加熱は避けた方がよい。
又、成膜室において、基板裏面から伝熱加熱することも考えられる。この場合、加熱した静電チャックに基板を確実に静電吸着して、伝熱加熱することになるが、静電吸着により、基板が室温から急激に加熱されることになるため、基板の内部で温度差が生じてしまう。LEDに使用されるサファイア基板は、基板内部に100℃以上の温度差が発生すると熱応力により破損し易くなるため、成膜室における伝熱による加熱も避けた方がよい。
このように、基板を成膜室の外で加熱した方がよく、その場合、成膜室では成膜処理に専念でき、生産性が向上するため、成膜室での基板の加熱は避けるべきである。
そこで、上述した保護膜を形成する前に、大気中で基板を加熱して、基板温度を所定の温度以上に加熱することも考えられる。例えば、大気中の搬送経路の途中に、基板を加熱するヒータなどを設けることが考えられる。しかしながら、大気中で基板を加熱すると、酸素の影響により、LEDに使用される透明導電膜の透過率が低下し、LEDの性能低下が起こる。例えば、大気中で230℃まで加熱した場合には、ITOなどの透明導電膜の透過率(測定波長380〜480nm)が3%程低下した。
又、大気中で基板を加熱する場合、成膜室までの基板搬送時間中の自然冷却を考慮して、上述した所定の温度より高い温度(例えば、300℃)まで加熱する必要がある。しかしながら、LEDに使用される透明導電膜、例えば、ITOは、230℃を越える加熱で劣化するため、230℃を越えて加熱することは好ましくない。仮に、大気中で基板を230℃に加熱したとしても、基板の搬送時間、そして、真空排気の時間を考慮すると、成膜室に搬送するときには、基板温度が上述した所定の温度未満まで冷却してしまうため、現実的に、大気中での加熱は不可能である。
更に、上述したように、LEDに使用されるサファイア基板は、基板内部に100℃以上の温度差が発生すると熱応力により破損し易くなる。そのため、どのような加熱手段で加熱するにしても、極力均一に基板を加熱することが必要である。
このように、LED素子の保護膜を成膜する際には、プラズマダメージを抑制すると共に、所定の温度以上の基板温度で保護膜の成膜を行う必要があり、これらの条件を同時に満たせないと、高輝度で信頼性に優れたLEDを製造することは難しい。
本発明は上記課題に鑑みなされたもので、高輝度で信頼性に優れた発光素子を構成する発光素子の保護膜の作製方法及び装置を提供することを目的とする。
上記課題を解決する第1の発明に係る発光素子の保護膜の作製装置は、
サファイア基板上に形成された発光素子を保護する保護膜を作製する発光素子の保護膜の作製装置において、
前記サファイア基板を真空中で加熱する加熱室と、
前記加熱室で加熱された前記サファイア基板に、真空中でプラズマ処理を施すことにより、前記保護膜を成膜する成膜室と、
前記加熱室及び前記成膜室へ前記サファイア基板を真空搬送する搬送ロボットと、
前記加熱室、前記成膜室及び前記搬送ロボットを制御する制御手段とを有し
前記制御手段は、
前記加熱室を用いて、前記成膜室での成膜を行う前に、前記サファイア基板を所定の温度以上に加熱し、
前記搬送ロボットを用いて、所定の温度以上に加熱した前記サファイア基板を前記加熱室から前記成膜室へ搬送し、
前記成膜室を用いて、前記サファイア基板が当該成膜室へ搬送される前にプラズマを点灯しておき、所定の温度以上に加熱した前記サファイア基板に、プラズマ処理を施すことにより、前記保護膜を成膜することを特徴とする。
サファイア基板上に形成された発光素子を保護する保護膜を作製する発光素子の保護膜の作製装置において、
前記サファイア基板を真空中で加熱する加熱室と、
前記加熱室で加熱された前記サファイア基板に、真空中でプラズマ処理を施すことにより、前記保護膜を成膜する成膜室と、
前記加熱室及び前記成膜室へ前記サファイア基板を真空搬送する搬送ロボットと、
前記加熱室、前記成膜室及び前記搬送ロボットを制御する制御手段とを有し
前記制御手段は、
前記加熱室を用いて、前記成膜室での成膜を行う前に、前記サファイア基板を所定の温度以上に加熱し、
前記搬送ロボットを用いて、所定の温度以上に加熱した前記サファイア基板を前記加熱室から前記成膜室へ搬送し、
前記成膜室を用いて、前記サファイア基板が当該成膜室へ搬送される前にプラズマを点灯しておき、所定の温度以上に加熱した前記サファイア基板に、プラズマ処理を施すことにより、前記保護膜を成膜することを特徴とする。
上記課題を解決する第2の発明に係る発光素子の保護膜の作製装置は、
上記第1の発明に記載の発光素子の保護膜の作製装置において、
前記加熱室は、前記サファイア基板の上面及び下面に近接して配置した2つの遠赤外線ヒータを有し、前記2つの遠赤外線ヒータからの輻射により、前記サファイア基板の上面及び下面を真空中で加熱するものであることを特徴とする。
上記第1の発明に記載の発光素子の保護膜の作製装置において、
前記加熱室は、前記サファイア基板の上面及び下面に近接して配置した2つの遠赤外線ヒータを有し、前記2つの遠赤外線ヒータからの輻射により、前記サファイア基板の上面及び下面を真空中で加熱するものであることを特徴とする。
上記課題を解決する第3の発明に係る発光素子の保護膜の作製装置は、
上記第1の発明に記載の発光素子の保護膜の作製装置において、
前記加熱室は、前記サファイア基板の上面又は下面の一方に近接して配置した1つの遠赤外線ヒータと、前記サファイア基板と前記遠赤外線ヒータの周囲を囲み、かつ、層状に複数配置した熱反射板とを有し、前記1つの遠赤外線ヒータからの輻射と当該輻射の前記熱反射板での反射により、前記サファイア基板の上面及び下面を真空中で加熱するものであることを特徴とする。
上記第1の発明に記載の発光素子の保護膜の作製装置において、
前記加熱室は、前記サファイア基板の上面又は下面の一方に近接して配置した1つの遠赤外線ヒータと、前記サファイア基板と前記遠赤外線ヒータの周囲を囲み、かつ、層状に複数配置した熱反射板とを有し、前記1つの遠赤外線ヒータからの輻射と当該輻射の前記熱反射板での反射により、前記サファイア基板の上面及び下面を真空中で加熱するものであることを特徴とする。
上記課題を解決する第4の発明に係る発光素子の保護膜の作製装置は、
上記第1の発明に記載の発光素子の保護膜の作製装置において、
前記加熱室は、前記サファイア基板の上面又は下面の一方に近接して配置した1つのヒータと、当該加熱室に不活性ガス又は窒素ガスを供給するガス供給手段とを有し、当該加熱室に前記不活性ガス又は前記窒素ガスを供給して、分子流領域の圧力より高い圧力とすると共に、前記不活性ガス又は前記窒素ガスの対流伝熱により、前記ヒータの温度を前記サファイア基板に伝熱して加熱するものであることを特徴とする。
上記第1の発明に記載の発光素子の保護膜の作製装置において、
前記加熱室は、前記サファイア基板の上面又は下面の一方に近接して配置した1つのヒータと、当該加熱室に不活性ガス又は窒素ガスを供給するガス供給手段とを有し、当該加熱室に前記不活性ガス又は前記窒素ガスを供給して、分子流領域の圧力より高い圧力とすると共に、前記不活性ガス又は前記窒素ガスの対流伝熱により、前記ヒータの温度を前記サファイア基板に伝熱して加熱するものであることを特徴とする。
上記課題を解決する第5の発明に係る発光素子の保護膜の作製装置は、
上記第1〜第4のいずれか1つの発明に記載の発光素子の保護膜の作製装置において、
前記成膜室は、複数枚の前記サファイア基板に連続的に成膜を行う場合、最初の前記サファイア基板が前記成膜室へ搬送される前にプラズマを点灯しておき、最後の前記サファイア基板への成膜が終了するまで、前記プラズマを維持しておくものであることを特徴とする。
上記第1〜第4のいずれか1つの発明に記載の発光素子の保護膜の作製装置において、
前記成膜室は、複数枚の前記サファイア基板に連続的に成膜を行う場合、最初の前記サファイア基板が前記成膜室へ搬送される前にプラズマを点灯しておき、最後の前記サファイア基板への成膜が終了するまで、前記プラズマを維持しておくものであることを特徴とする。
上記課題を解決する第6の発明に係る発光素子の保護膜の作製装置は、
上記第1〜第4のいずれか1つの発明に記載の発光素子の保護膜の作製装置において、
前記成膜室は、複数枚の前記サファイア基板に連続的に成膜を行う場合、各々の前記サファイア基板が前記成膜室へ搬送される前にプラズマを点灯しておき、各々の前記サファイア基板への成膜が終了するとき、前記プラズマを消灯するものであることを特徴とする。
上記第1〜第4のいずれか1つの発明に記載の発光素子の保護膜の作製装置において、
前記成膜室は、複数枚の前記サファイア基板に連続的に成膜を行う場合、各々の前記サファイア基板が前記成膜室へ搬送される前にプラズマを点灯しておき、各々の前記サファイア基板への成膜が終了するとき、前記プラズマを消灯するものであることを特徴とする。
上記課題を解決する第7の発明に係る発光素子の保護膜の作製方法は、
サファイア基板上に形成された発光素子を保護する保護膜を作製する発光素子の保護膜の作製方法において、
前記サファイア基板を真空中で加熱する加熱室と、
前記加熱室で加熱された前記サファイア基板に、真空中でプラズマ処理を施すことにより、前記保護膜を成膜する成膜室と、
前記加熱室及び前記成膜室へ前記サファイア基板を真空搬送する搬送ロボットとを用い、
前記成膜室での成膜を行う前に、前記加熱室で前記サファイア基板を所定の温度以上に加熱し、
前記搬送ロボットにより前記サファイア基板が搬送される前に、前記成膜室でプラズマを点灯しておき、
前記搬送ロボットにより所定の温度以上に加熱した前記サファイア基板を前記加熱室から前記成膜室へ搬送し、当該サファイア基板に、プラズマ処理を施すことにより、前記成膜室で前記保護膜を成膜することを特徴とする。
サファイア基板上に形成された発光素子を保護する保護膜を作製する発光素子の保護膜の作製方法において、
前記サファイア基板を真空中で加熱する加熱室と、
前記加熱室で加熱された前記サファイア基板に、真空中でプラズマ処理を施すことにより、前記保護膜を成膜する成膜室と、
前記加熱室及び前記成膜室へ前記サファイア基板を真空搬送する搬送ロボットとを用い、
前記成膜室での成膜を行う前に、前記加熱室で前記サファイア基板を所定の温度以上に加熱し、
前記搬送ロボットにより前記サファイア基板が搬送される前に、前記成膜室でプラズマを点灯しておき、
前記搬送ロボットにより所定の温度以上に加熱した前記サファイア基板を前記加熱室から前記成膜室へ搬送し、当該サファイア基板に、プラズマ処理を施すことにより、前記成膜室で前記保護膜を成膜することを特徴とする。
上記課題を解決する第8の発明に係る発光素子の保護膜の作製方法は、
上記第7の発明に記載の発光素子の保護膜の作製方法において、
前記加熱室は、前記サファイア基板の上面及び下面に近接して配置した2つの遠赤外線ヒータを有し、前記2つの遠赤外線ヒータからの輻射により、前記サファイア基板の上面及び下面を真空中で加熱することを特徴とする。
上記第7の発明に記載の発光素子の保護膜の作製方法において、
前記加熱室は、前記サファイア基板の上面及び下面に近接して配置した2つの遠赤外線ヒータを有し、前記2つの遠赤外線ヒータからの輻射により、前記サファイア基板の上面及び下面を真空中で加熱することを特徴とする。
上記課題を解決する第9の発明に係る発光素子の保護膜の作製方法は、
上記第7の発明に記載の発光素子の保護膜の作製方法において、
前記加熱室は、前記サファイア基板の上面又は下面の一方に近接して配置した1つの遠赤外線ヒータと、前記サファイア基板と前記遠赤外線ヒータの周囲を囲み、かつ、層状に複数配置した熱反射板とを有し、前記1つの遠赤外線ヒータからの輻射と当該輻射の前記熱反射板での反射により、前記サファイア基板の上面及び下面を真空中で加熱することを特徴とする。
上記第7の発明に記載の発光素子の保護膜の作製方法において、
前記加熱室は、前記サファイア基板の上面又は下面の一方に近接して配置した1つの遠赤外線ヒータと、前記サファイア基板と前記遠赤外線ヒータの周囲を囲み、かつ、層状に複数配置した熱反射板とを有し、前記1つの遠赤外線ヒータからの輻射と当該輻射の前記熱反射板での反射により、前記サファイア基板の上面及び下面を真空中で加熱することを特徴とする。
上記課題を解決する第10の発明に係る発光素子の保護膜の作製方法は、
上記第7の発明に記載の発光素子の保護膜の作製方法において、
前記加熱室は、前記サファイア基板の上面又は下面の一方に近接して配置した1つのヒータと、当該加熱室に不活性ガス又は窒素ガスを供給するガス供給手段とを有し、当該加熱室に前記不活性ガス又は前記窒素ガスを供給して、分子流領域の圧力より高い圧力とすると共に、前記不活性ガス又は前記窒素ガスの対流伝熱により、前記ヒータの温度を前記サファイア基板に伝熱して加熱することを特徴とする。
上記第7の発明に記載の発光素子の保護膜の作製方法において、
前記加熱室は、前記サファイア基板の上面又は下面の一方に近接して配置した1つのヒータと、当該加熱室に不活性ガス又は窒素ガスを供給するガス供給手段とを有し、当該加熱室に前記不活性ガス又は前記窒素ガスを供給して、分子流領域の圧力より高い圧力とすると共に、前記不活性ガス又は前記窒素ガスの対流伝熱により、前記ヒータの温度を前記サファイア基板に伝熱して加熱することを特徴とする。
上記課題を解決する第11の発明に係る発光素子の保護膜の作製方法は、
上記第7〜第10のいずれか1つの発明に記載の発光素子の保護膜の作製方法において、
前記成膜室は、複数枚の前記サファイア基板に連続的に成膜を行う場合、最初の前記サファイア基板が前記成膜室へ搬送される前にプラズマを点灯しておき、最後の前記サファイア基板への成膜が終了するまで、前記プラズマを維持しておくことを特徴とする。
上記第7〜第10のいずれか1つの発明に記載の発光素子の保護膜の作製方法において、
前記成膜室は、複数枚の前記サファイア基板に連続的に成膜を行う場合、最初の前記サファイア基板が前記成膜室へ搬送される前にプラズマを点灯しておき、最後の前記サファイア基板への成膜が終了するまで、前記プラズマを維持しておくことを特徴とする。
上記課題を解決する第12の発明に係る発光素子の保護膜の作製方法は、
上記第7〜第10のいずれか1つの発明に記載の発光素子の保護膜の作製方法において、
前記成膜室は、複数枚の前記サファイア基板に連続的に成膜を行う場合、各々の前記サファイア基板が前記成膜室へ搬送される前にプラズマを点灯しておき、各々の前記サファイア基板への成膜が終了するとき、前記プラズマを消灯することを特徴とする。
上記第7〜第10のいずれか1つの発明に記載の発光素子の保護膜の作製方法において、
前記成膜室は、複数枚の前記サファイア基板に連続的に成膜を行う場合、各々の前記サファイア基板が前記成膜室へ搬送される前にプラズマを点灯しておき、各々の前記サファイア基板への成膜が終了するとき、前記プラズマを消灯することを特徴とする。
本発明によれば、成膜室での成膜の開始前に、加熱室でサファイア基板を所定の温度以上に加熱し、所定の温度以上に加熱したサファイア基板を、搬送ロボットで加熱室から成膜室へ搬送し、所定の温度以上に加熱したサファイア基板が成膜室へ搬送される前にプラズマを点灯しておき、加熱室で加熱されたサファイア基板に、プラズマ処理を施すことにより、保護膜を成膜するので、プラズマ点火に伴うプラズマダメージを抑制すると共に、所定の温度以上の基板温度で保護膜の成膜を行うことができ、素子ダメージが低く、膜質の良い保護膜を形成することができる。その結果、高輝度で信頼性に優れた発光素子を製造することができる。
本発明に係る発光素子の保護膜の作製方法及び装置の実施形態について、図1〜図9を参照して、その説明を行う。
(実施例1)
最初に、本実施例の発光素子の保護膜の作製装置(以降、作製装置と呼ぶ。)の装置構成について説明を行う。ここで、図1は、本実施例の作製装置を示す概略図であり、図2は、その作製装置における加熱室を示す概略図であり、図3は、その作製装置の成膜室を示す概略図である。又、図4は、図2に示した加熱室に用いる遠赤外線ヒータの表面温度とサファイアが吸収する波長の輻射エネルギー密度との関係を示すグラフであり、図5は、図4に示した特性を有する遠赤外線ヒータによる基板の加熱時間と基板の到達温度との関係を示すグラフである。
最初に、本実施例の発光素子の保護膜の作製装置(以降、作製装置と呼ぶ。)の装置構成について説明を行う。ここで、図1は、本実施例の作製装置を示す概略図であり、図2は、その作製装置における加熱室を示す概略図であり、図3は、その作製装置の成膜室を示す概略図である。又、図4は、図2に示した加熱室に用いる遠赤外線ヒータの表面温度とサファイアが吸収する波長の輻射エネルギー密度との関係を示すグラフであり、図5は、図4に示した特性を有する遠赤外線ヒータによる基板の加熱時間と基板の到達温度との関係を示すグラフである。
本実施例において、作製装置10は、ロードロック20、搬送室30、加熱室40A、成膜室50及び冷却室70を有する。ロードロック20は、ゲート弁d1を介して、搬送室30と接続されており、ゲート弁d1の開閉により、ロードロック20と搬送室30とを連通状態にしたり、ロードロック20を搬送室30から閉鎖した状態にしたりしている。
同様に、加熱室40Aも、ゲート弁d2を介して、搬送室30と接続されており、ゲート弁d2の開閉により、加熱室40Aと搬送室30とを連通状態にしたり、加熱室40Aを搬送室30から閉鎖した状態にしたりしている。同じく、成膜室50も、ゲート弁d3を介して、搬送室30と接続されており、ゲート弁d3の開閉により、成膜室50と搬送室30とを連通状態にしたり、成膜室50を搬送室30から閉鎖した状態にしたりしている。同じく、冷却室70も、ゲート弁d4を介して、搬送室30と接続されており、ゲート弁d4の開閉により、冷却室70と搬送室30とを連通状態にしたり、冷却室70を搬送室30から閉鎖した状態にしたりしている。
ロードロック20において、カセット21には、円形状の基板Wを複数収容しており、このカセット21をロードロック20の内部にセットしている。本実施例の場合、基板Wとしては、サファイアなどの透明基板が好適である。
なお、基板Wに代えて、基板Wと同じ大きさの円形状のトレイに複数の小径の基板(例えば、直径100mm以下の基板)を載置し、当該トレイをカセット21に複数収容し、トレイと共に小径の基板を搬送するようにしてもよい。この場合、トレイは、例えば、小径の基板を載置する座繰り(凹部)、又は、小径の基板を保持する保持部を有する貫通孔を複数設けた構造である。
以降の説明においては、基板Wを用いて説明を行うが、上述したように、基板Wに代えて、小径の基板を複数載置したトレイの場合にも適用可能であるので、その場合には、基板Wを小径の基板を複数載置したトレイと読み替えればよい。
搬送室30において、その中央部分には、搬送ロボット31が配設されている。そして、搬送ロボット31のアーム31aに設けられたロボットハンド31bを用いて、1枚の基板Wを保持し、ロードロック20、加熱室40A、成膜室50及び冷却室70に対する搬送を行っている。例えば、ゲート弁d1を開け、ロードロック20へアーム31aを伸ばし、基板Wをロボットハンド31b上に乗せて、基板Wをカセット21から引き出す。その後、ゲート弁d2又はゲート弁d3又はゲート弁d4を開け、加熱室40A又は成膜室50又は冷却室70へアーム31aを伸ばし、基板Wを加熱室40A又は成膜室50又は冷却室70の内部に搬送することになる。
本実施例の場合、ロードロック20から成膜室50までの真空搬送経路(太線矢印)の途中に加熱室40Aを配置しており、ゲート弁d2を介して、搬送室30の側面に加熱室40Aを別途設けている。そして、成膜室50での成膜の前に、予め、加熱室40Aで基板Wを加熱し、その後、所定の温度以上に加熱された基板Wを成膜室50へ搬送し、その基板W上に保護膜を成膜するようにしている。
加熱室40Aは、図2に示すように、ゲート弁d2により仕切られている。加熱室40Aの内部は、常に高真空(≦1mTorr)に保たれており、対流熱伝導が起きない分子流領域となっている。真空状態の加熱室40Aの内部において、基板Wは、支持ピン(図示省略)により支持されている。そして、図2に示すように、基板Wの上面を遠赤外線により輻射加熱する遠赤外線ヒータ41が、加熱室40Aの天井側に設けられ、基板Wの下面(裏面)を遠赤外線により輻射加熱する遠赤外線ヒータ42が、加熱室40Aの底面側に設けられている。このように、遠赤外線ヒータ41、42は、基板Wの上面及び裏面に近接して、非接触に配置されており、遠赤外線ヒータ41、42からの遠赤外線の輻射により、基板Wの両面を加熱する構成である。
遠赤外線ヒータ41、42は、例えば、円盤型であり、被加熱対象となる円形状の基板Wは、遠赤外線ヒータ41、42の中央に配置する。なお、前述したように、基板Wの代わり、小径の基板を複数載置したトレイを輻射加熱するようにしてもよい。この場合、トレイは、小径の基板を保持する保持部を有する貫通孔を複数設けた構造がよく、その場合、貫通孔を通して、小径の基板の裏面を効率的に輻射加熱することができる。
加熱室40Aの内壁は、効率的に熱反射できるように鏡面研磨されている。又、ゲート弁d2の弁体も、効率的に熱反射できるように鏡面研磨されている。このような構成により、遠赤外線ヒータ41、42からの輻射熱を加熱室40Aの内部に閉じ込めて、基板Wを効率的に加熱するようにしている。
前述したように、加熱室40Aは、基板Wを両面から輻射加熱する構造となっている。これは、両面から基板Wを加熱することにより、基板Wを高速(短時間)で加熱することができると共に、基板Wを均一に加熱することができるためである。その結果、基板Wの内部に温度差を発生させずに加熱することができ、熱応力による基板Wの変形、破損を回避することができる。特に、サファイア基板は、前述したように、基板Wの内部に100℃以上の温度差が発生すると、熱応力により破損し易くなるため、上記構成により、サファイア基板の変形、破損を回避することができる。
又、サファイアは、波長5〜8、15〜18、32μm以降に赤外光吸収特性がある。ハロゲンランプによりシリコン基板を真空中でランプ加熱する装置は従来から知られているが、このハロゲンランプの石英管は、5μmよりも長い波長を通さないため、シリコン基板用のランプ加熱装置を用いて、サファイア基板を真空中で輻射加熱することはできない。
そこで、本実施例においては、サファイア基板を輻射加熱することを考慮して、遠赤外線(例えば、波長3μm以上の赤外線)を輻射する遠赤外線ヒータ41、42を用いている。例えば、遠赤外線ヒータ41、42としては、SUS(ステンレススチール)パイプに内部に発熱コイルを設けると共に、耐熱絶縁材(例えば、MgO;酸化マグネシウム)を充填して一体化した発熱体を形成し、その表面に遠赤外線を放出する遠赤外線被膜(例えば、カーボン系セラミクス)をコーティングしたものなどが使用可能である。このような遠赤外線ヒータを用いた場合、サファイアが吸収する波長の輻射エネルギー密度は、図4に示すように、黒体放射に近い効率である。例えば、その遠赤外線ヒータの表面温度が600℃の場合、図4に示すように、エネルギー密度0.4〜0.5W/cm2を得ることができる。その場合、図5に示すように、室温から300℃まで130秒程度でサファイア基板(直径150mm、厚さ1.3mm)を加熱可能であり、サファイア基板の加熱時間の短縮が可能である。
サファイア基板上のLED素子に成膜室50で保護膜を成膜するとき、安定性が高い密度の保護膜を形成する所定の温度としては、成膜開始時においてサファイア基板を少なくとも200℃としておく必要がある。そのため、加熱室40Aにおいては、サファイア基板を210〜220℃まで加熱し、その温度で基板Wを取り出すようにしている。この場合、例えば、図5に示すように、90秒程度でサファイア基板を室温から220℃まで加熱可能である。この加熱時間は、成膜室50で成膜する時間より短い必要があり、加熱室40Aでの加熱時間を短くしたい場合には、遠赤外線ヒータ41、42の表面温度をより高く設定すればよい。基板Wを取り出すタイミングとしては、飽和温度で基板Wを取出すこととすると、温度管理は確実となるが、飽和温度まで待つ必要があり、時間がかかってしまう。そのため、前述した210〜220℃に加熱されたタイミングで基板Wを取出すことが望ましい。例えば、加熱室40Aにおいて、遠赤外線ヒータ41、42の加熱によるサファイア基板の飽和温度が、210〜220℃より高くなるように、遠赤外線ヒータ41、42の表面温度を設定しておけばよい。そうすると、サファイア基板が飽和温度に到達する前に、所望の温度範囲210〜220℃に加熱されて、加熱時間の短縮を図ることができる。
このような構成の加熱室40Aを用いて、成膜処理前に基板Wを予め加熱することにより、高い生産性が得られ、又、基板Wの温度を所定の温度以上として成膜開始するので、膜質の良い(膜密度が高く、エッチングレートの低い)保護膜が形成可能となる。例えば、230℃まで加熱した場合、ITOなどの透明導電膜の透過率(測定波長380〜480nm)の低下は見られなかった。
一方、成膜室50は、公知のプラズマCVD装置でよいが、本実施例の場合、後述する作製方法を考慮すると、ICP(Inductively Coupled Plasma;誘導結合プラズマ)型のプラズマ発生機構を有するものがよい。
具体的には、図3に示すように、成膜室50は、真空容器51となる筒状容器52と天井板53とを有しており、円筒状の筒状容器52の上部開口部を塞ぐように、セラミクス製の円板状の天井板53が配設されている。筒状容器52には、内部を真空状態にする真空装置54が接続されており、真空容器51の内部を高い真空度に維持可能である。
天井板53の上方(直上)には、複数の円形リングからなる高周波アンテナ55が配置されており、高周波アンテナ55には整合器56を介して高周波電源57が接続されている。この高周波電源57は、後述する低周波電源67より高い発振周波数(例えば、13.56MHz)を高周波アンテナ55に給電可能となっており、入射窓となる天井板53を透過して、プラズマPを生成するための高周波電磁波(RF)を真空容器51内へ入射可能となっている。これは、所謂、ICP型のプラズマ発生機構の構成である。
又、筒状容器52の側壁部分には、天井板53より低く、後述する載置台62より高い位置に複数のガスノズル58が設けられており、ガスノズル58から真空容器51の内部に、所望の流量の所望のガスを供給可能となっている。供給されるガスは、プロセスに応じて変更され、保護膜(例えば、酸化珪素膜、窒化珪素膜)のプロセスには、原料ガスとなるSiH4、N2、O2などが使用される。
又、筒状容器52の下部には、支持台61が設置されており、この支持台61の上に、成膜対象である基板Wを載置する載置台62が設置されている。載置台62の内部には加熱のためのヒータ63が設置されており、このヒータ63は制御装置(制御手段;図示省略)により温度が調整されている。これにより、プラズマ処理中の基板Wを所定の温度以上に維持、制御することができる。
又、載置台62には、電極64が設けられており、この電極64には、コンデンサ65、整合器66を介して低周波電源67が接続されている。低周波電源67は、高周波電源57より低い発振周波数(例えば、4MHz)を電極64に印加し、基板Wにバイアスパワーを印加できるようになっている。
更に、上述した電極64には、基板Wを静電吸着する直流の静電電源68が接続されており、載置台62上に基板Wを吸着保持可能としている。この静電電源68は、高周波電源57や低周波電源67のパワーが回り込まないように、ローパスフィルター(LPF)69を介して接続されている。
基板Wは、筒状容器52の側壁に設けたゲート弁d3を用いて、載置台62上に搬送可能となっており、載置台62上に基板Wを載置することで、基板Wが真空容器51に収容される。その後、ゲート弁d3を閉め、制御装置により、後述する作製方法が実施される。
又、成膜室50での成膜の後、成膜室50からロードロック20までの真空搬送経路(太線矢印)の途中に、カセット21の耐熱温度以下まで基板Wを冷却する冷却室70を設置してもよい。本実施例の場合、冷却室70は、ゲート弁d4を介して、搬送室30の側面に別途設けられている。冷却室70も、加熱室40Aと同様に、冷却時における基板Wの内部に温度差を発生させないようにするため、例えば、支持ピンにより基板Wを支持して、基板Wの両面から放射冷却できるような構造としている。なお、基板Wを均一に冷却できれば、他の構造でもよい。
以上説明した構成を有する作製装置10において、制御装置を用いて実施する発光素子の保護膜の作製方法の一例を、図6のフローチャートを参照して説明する。なお、以下に示す本実施例の作製方法は、後述する実施例3、4にも適用可能である。又、ここでは、基板Wは、一例として、LED基板とする。
最初に、LED基板(保護膜が形成される前段階のLED素子が形成された基板)をカセット21に複数収容し、そのカセット21をロードロック20にセットする(ステップS1)。
次に、ロードロック20を減圧(真空引き)し、その後、ゲート弁d1を開け、搬送ロボット31を用いて、LED基板をカセット21から引き出す。その後、ゲート弁d2を開け、加熱室40AへLED基板を搬入する(ステップS2)。
次に、ゲート弁d2を閉めた後、加熱室40Aにおいて、遠赤外線ヒータ41、42の輻射加熱により、LED基板を加熱する(ステップS3)。ここでは、遠赤外線ヒータ41、42の表面温度と加熱時間との関係からLED基板の到達温度を予め計測しておき、成膜処理に適した所定の温度以上に加熱できる予定時間を求めておく。前述したように、加熱室40Aにおいて、遠赤外線ヒータ41、42の加熱によるLED基板の飽和温度が、所望の温度より高くなるように、遠赤外線ヒータ41、42の表面温度を設定しておけば、飽和温度に到達する前に、LED基板が所望の温度に加熱される。そして、予め、所望の温度に加熱できる予定時間を求めておけば、適切な時間でLED基板を取り出すことができ、加熱時間の短縮を図ることができる。
求めた予定時間を経過後に、ゲート弁d2を開け、LED基板を加熱室40Aから搬出する(ステップS4)。加熱室40AからLED基板を引き出したとき、又は、成膜室50へLED基板を搬入する前に、例えば、放射温度計などを用いて、LED基板の温度が所望の温度範囲であるか確認するようにしてもよい。例えば、サファイア基板の場合、所定の温度が200℃であるので、所望の温度範囲としては、210〜220℃の範囲がよい。
成膜室50において、不活性ガスや希ガスなどを用いて、LED基板を搬入する前に、プラズマPが既に点灯している状態としておく(ステップS5)。プラズマ点灯のタイミングとしては、最初のLED基板が搬入される前であれば、どのタイミングで点灯してもよく、本実施例の場合、一度点灯した後は、カセット21に収容されたLED基板の処理が全て終了するまで、プラズマPの点灯を維持しておく。このように、プラズマPを維持することにより、プラズマ点灯時に発生するプラズマダメージによるLED特性の劣化を抑制することができ、又、プラズマ点灯、消灯の制御の手間を省略することもできる。
ゲート弁d3を開け、プラズマPが点灯した状態の成膜室50の載置台62上へLED基板を搬入し(ステップS6)、その後、ゲート弁d3を閉め、原料ガスを供給して、成膜室50で保護膜の成膜処理を実施する(ステップS7)。この成膜処理の際には、所定の温度以上で成膜が行われるので、成膜される膜の膜質(エッチングレート、透過率など)が安定し、デバイスの歩留まりが向上することになる。
成膜処理の終了後、プラズマPが点灯した状態の成膜室50からLED基板を取り出し、その後、直接又は冷却室70で冷却した後、LED基板をカセット21へ戻す(ステップS8)。
このようなステップS2〜S8の手順が、カセット21に収容された全てのLED基板に対して実施され、全てのLED基板において、成膜室50のプラズマPが予め点灯した状態で、所定の温度で成膜処理が開始されることになる。
このようにして、成膜室50のプラズマPを予め点灯した状態としており、従来のように、LED基板を成膜室50に設置した後、プラズマ点火をすることはないので、特性劣化を防止することができる。その結果、プラズマダメージによるLED特性の劣化を抑制することができる。
例えば、1000〜1700VのESD(Electrostatic Discharge)耐性を有する保護膜を形成し、この保護膜に対して、従来の作製方法(図11参照)と同じように、成膜室内に基板を設置した後にプラズマを点灯した場合と、本実施例の作製方法と同じように、成膜室で予めプラズマを点灯した後に成膜室内に基板を設置した場合について、ESD耐性の変化を比較した。なお、このESD耐性は、静電気試験(JIS C 61340−3−1:日本工業標準調査会 審議、「静電気−第3−1部:静電気の影響をシミュレーションする方法−人体モデル(HBM)の静電気放電試験波形」、日本規格協会、平成22年2月22日改正)を用いて評価した。従来の作製方法による保護膜のESD耐性が、0〜600V程度まで低下するのに対して、本実施例の作製方法による保護膜のESD耐性は、1000〜1700Vであり、これは、当初の状態と変わらなかった。
(実施例2)
図7は、実施例1で説明した作製装置10において、制御装置を用いて実施する発光素子の保護膜の作製方法の他の一例を示すフローチャートである。なお、以下に示す本実施例の作製方法は、後述する実施例3、4にも適用可能である。又、ここでも、基板Wは、一例として、LED基板とする。
図7は、実施例1で説明した作製装置10において、制御装置を用いて実施する発光素子の保護膜の作製方法の他の一例を示すフローチャートである。なお、以下に示す本実施例の作製方法は、後述する実施例3、4にも適用可能である。又、ここでも、基板Wは、一例として、LED基板とする。
最初に、LED基板をカセット21に複数収容し、そのカセット21をロードロック20にセットする(ステップS11)。
次に、ロードロック20を減圧(真空引き)し、その後、ゲート弁d1を開け、搬送ロボット31を用いて、LED基板をカセット21から引き出す。その後、ゲート弁d2を開け、加熱室40AへLED基板を搬入する(ステップS12)。
次に、ゲート弁d2を閉めた後、加熱室40Aにおいて、遠赤外線ヒータ41、42の輻射加熱により、LED基板を加熱する(ステップS13)。ここでは、実施例1と同様に、成膜処理に適した所定の温度以上に加熱できる予定時間を求めておく。
求めた予定時間を経過後に、ゲート弁d2を開け、LED基板を加熱室40Aから搬出する(ステップS14)。このとき、実施例1と同様に、LED基板の温度を所望の温度範囲であるか確認するようにしてもよい。
成膜室50において、不活性ガスや希ガスなどを用いて、LED基板を搬入する前に、プラズマPが既に点灯している状態としておく(ステップS15)。実施例1では、プラズマPを一度点灯した後は、カセット21に収容されたLED基板の処理が全て終了するまで、プラズマPの点灯を維持していた。一方、本実施例では、後述するように、1枚のLED基板に対する成膜処理が終了すると、プラズマPを消灯するので、各々のLED基板を搬入する前に、成膜室50において、プラズマPが既に点灯している状態としておく。プラズマ点灯のタイミングとしては、前のLED基板を成膜室50から搬出した後であり、次のLED基板が搬入される前であれば、どのタイミングで点灯してもよいが、LED基板を搬入する直前とすると、プラズマ照射時間をより短くすることができ、電力消費量をより低減することができる。
ゲート弁d3を開け、プラズマPが点灯した状態の成膜室50の載置台62上へLED基板を搬入し(ステップS16)、その後、ゲート弁d3を閉め、原料ガスを供給し、成膜室50で保護膜の成膜処理を実施する(ステップS17)。この成膜処理の際には、所定の温度以上で成膜が行われるので、成膜される膜の膜質(エッチングレート、透過率など)が安定し、デバイスの歩留まりが向上することになる。
成膜処理の終了後、プラズマを消し(ステップS18)、プラズマが消えた状態の成膜室50からLED基板を取り出し、その後、直接又は冷却室70で冷却した後、LED基板をカセット21へ戻す(ステップS19)。
このようなステップS12〜S19の手順が、カセット21に収容された全てのLED基板に対して実施され、全てのLED基板において、成膜室50のプラズマPが予め点灯した状態で、所定の温度で成膜処理が開始されることになる。
このようにして、成膜室50のプラズマPを予め点灯した状態としており、従来のように、LED基板を成膜室50に設置した後、プラズマ点火をすることはないので、特性劣化を防止することができる。その結果、プラズマダメージによるLED特性の劣化を抑制することができる。
(実施例3)
図8は、実施例1で説明した作製装置10における加熱室の他の一例を示す概略図である。なお、本実施例において、図2に示した実施例1の加熱室40Aと同等の構成には同じ符号を付して説明を行う。
図8は、実施例1で説明した作製装置10における加熱室の他の一例を示す概略図である。なお、本実施例において、図2に示した実施例1の加熱室40Aと同等の構成には同じ符号を付して説明を行う。
本実施例の場合も、ロードロック20から成膜室50までの真空搬送経路の途中に加熱室40Bを配置する。具体的には、実施例1と同様に、ゲート弁d2を介して、搬送室30の側面に加熱室40Bを別途設けている。そして、成膜室50での成膜の前に、予め、加熱室40Bで基板Wを加熱し、その後、所定の温度以上に加熱された基板Wを成膜室50へ搬送し、その基板W上に保護膜を成膜するようにしている。
加熱室40Bも、ゲート弁d2により仕切られており、その内部は、常に高真空(≦1mTorr)に保たれており、対流熱伝導が起きない分子流領域となっている。真空状態の加熱室40Bの内部において、基板Wは、支持ピン(図示省略)により支持されている。そして、図8に示すように、基板Wの上面を遠赤外線により輻射加熱する遠赤外線ヒータ41が、加熱室40Bの天井側に設けられており、この遠赤外線ヒータ41が、基板Wの上面に近接して、非接触に配置されている。一方、加熱室40Bの底面側には、実施例1と異なり、基板Wの裏面を輻射加熱するヒータは設けられていないが、代わりに、基板W及び遠赤外線ヒータ41の周囲を囲むように、熱反射板43が複数の層状に配置されている。
この熱反射板43は、薄く鏡面研磨された金属(例えば、0.1mm厚でバフ研磨したSUS304シート)からなり、層状の熱反射板43の層方向には熱伝導せず、輻射率の低い表面を持つものである。このような熱反射板43を配置することにより、1つの遠赤外線ヒータ41からの輻射熱を反射して熱反射板43の内側に閉じ込める構造としている。なお、基板Wの搬送経路(点線矢印参照)上に熱反射板43を設けることはできないため、この搬送経路の部分のみ開口して、熱反射板43を設置できない範囲を最小限にすることが望ましい。このように、1つの遠赤外線ヒータ41と基板W及び遠赤外線ヒータ41を囲む熱反射板43により、遠赤外線ヒータ41からの遠赤外線の輻射を用いて、基板Wの両面を加熱する構成である。
このようにして、加熱室40Bは、遠赤外線ヒータ41からの輻射と当該輻射の熱反射板43での反射により、基板Wを両面から輻射加熱する構造となっている。そして、実施例1と同様に、両面から基板Wを加熱することにより、基板Wを高速(短時間)で加熱することができると共に、基板Wを均一に加熱することができる。その結果、基板Wの内部に温度差を発生させずに加熱することができ、熱応力による基板Wの変形、破損を回避することができる。
又、このような構成の加熱室40Bを用いて、成膜処理前に基板Wを予め加熱することにより、高い生産性が得られ、又、基板Wの温度を所定の温度以上として成膜開始するので、膜質の良い(膜密度が高く、エッチングレートの低い)保護膜が形成可能となる。
本実施例の場合、基板Wの上面を輻射加熱する遠赤外線ヒータ41を1つ設けた構成としているが、代わりに、基板Wの裏面を輻射加熱する遠赤外線ヒータ42を1つ設けた構成としてもよい。いずれの場合でも、遠赤外線ヒータ41又は遠赤外線ヒータ42の反対側の面には、熱反射板43が設置されているため、基板Wを十分に加熱することができる。又、1つのヒータでよいため、実施例1に示した加熱室40Aより低コスト、簡易、軽量な構成とすることができる。
特に、小径の基板を載置する座繰り(凹部)を複数設けた構造のトレイを用いる場合、基板の裏面はトレイに面するので、実施例1の加熱室40Aのように両面から加熱する必要はなく、片面からの加熱、特に上面から加熱で十分であり、この場合、トレイを不用意に加熱することもなくなる。
(実施例4)
図9は、実施例1で説明した作製装置10における加熱室の更なる他の一例を示す概略図である。なお、本実施例において、図2に示した実施例1の加熱室40Aと同等の構成には同じ符号を付して説明を行う。
図9は、実施例1で説明した作製装置10における加熱室の更なる他の一例を示す概略図である。なお、本実施例において、図2に示した実施例1の加熱室40Aと同等の構成には同じ符号を付して説明を行う。
本実施例の場合も、ロードロック20から成膜室50までの真空搬送経路の途中に加熱室40Cを配置する。具体的には、実施例1と同様に、ゲート弁d2を介して、搬送室30の側面に加熱室40Cを別途設けている。そして、成膜室50での成膜の前に、予め、加熱室40Cで基板Wを加熱し、その後、所定の温度以上に加熱された基板Wを成膜室50へ搬送し、その基板W上に保護膜を成膜するようにしている。
加熱室40Cも、ゲート弁d2により仕切られている。加熱室40Cの内部は、真空(<1Pa)に排気可能であるが、本実施例の場合、加熱室40Cにガスノズル44(ガス供給手段)を設け、このガスノズル44を用いて、不活性ガス又はN2を加熱室40Cの内部に供給し、その真空度を、分子流領域の圧力より高い圧力、つまり、対流熱伝導が可能な圧力(例えば、対流がある1mTorr以上の圧力)としている。
このような不活性ガス又はN2雰囲気の加熱室40Cの内部において、基板Wは、支持ピン(図示省略)により支持されている。そして、図9に示すように、加熱室40Cの底面側にヒータ45が設けられており、このヒータ45が、基板Wの裏面に近接して、非接触に配置されている。このヒータ45は、実施例1と同様に、遠赤外線により輻射加熱するものでもよいが、本実施例の場合、雰囲気による対流熱伝導を利用しているので、ヒータ45が300℃程度の温度になるものであれば、どのようなヒータでもよい。又、実施例1の加熱室40Aのように、内壁を鏡面研磨したり、実施例2の加熱室40Bのように、熱反射板43を配置したりする必要もない。
このようにして、加熱室40Cは、基板Wを周囲から対流伝熱加熱する構造となっている。そして、周囲から基板Wを加熱することにより、基板Wを高速(短時間)で加熱することができると共に、基板Wを均一に加熱することができる。その結果、基板Wの内部に温度差を発生させずに加熱することができ、熱応力による基板Wの変形、破損を回避することができる。例えば、N2雰囲気、圧力1Torrで加熱した場合、90秒程度で230℃まで加熱することができた。又、このとき、ITOなどの透明導電膜の透過率(測定波長380〜480nm)の低下も見られなかった。
又、このような構成の加熱室40Cを用いて、成膜処理前に基板Wを予め加熱することにより、高い生産性が得られ、又、基板Wの温度を所定の温度以上として成膜開始するので、膜質の良い(膜密度が高く、エッチングレートの低い)保護膜が形成可能となる。
本実施例の場合、加熱室40Cの底面側にヒータ45を1つ設けているが、加熱室40Cの天井側にヒータを1つ設けてもよい。いずれの場合でも、基板Wを周囲から対流伝熱加熱するので、基板Wを十分に加熱することができる。又、1つのヒータでよいため、実施例1に示した加熱室40Aより低コスト、簡易、軽量な構成とすることができる。
特に、小径の基板を載置する座繰り(凹部)を複数設けた構造のトレイを用いる場合、基板の裏面はトレイに面するので、実施例1の加熱室40Aのように両面から加熱する必要はなく、片面からの加熱、特に上面から加熱で十分であり、この場合、トレイを不用意に加熱することもなくなる。
又、小径の基板を保持する保持部を有する貫通孔を複数設けた構造のトレイを用いる場合、基板の裏面側に貫通孔があり、基板の裏面に対流熱伝導に利用する雰囲気が直接触れるので、小径の基板の裏面を効率的に対流伝熱加熱することができる。この場合も、実施例1の加熱室40Aのように両面から加熱する必要はなく、片面からの加熱、特に裏面から加熱でも十分である。
本発明は、発光素子の保護膜の作製方法及び装置として好適なものである。
31 搬送ロボット
40A、40B、40C 加熱室
41、42 遠赤外線ヒータ
43 熱反射板
44 ガスノズル
45 ヒータ
50 成膜室
40A、40B、40C 加熱室
41、42 遠赤外線ヒータ
43 熱反射板
44 ガスノズル
45 ヒータ
50 成膜室
Claims (12)
- サファイア基板上に形成された発光素子を保護する保護膜を作製する発光素子の保護膜の作製装置において、
前記サファイア基板を真空中で加熱する加熱室と、
前記加熱室で加熱された前記サファイア基板に、真空中でプラズマ処理を施すことにより、前記保護膜を成膜する成膜室と、
前記加熱室及び前記成膜室へ前記サファイア基板を真空搬送する搬送ロボットと、
前記加熱室、前記成膜室及び前記搬送ロボットを制御する制御手段とを有し
前記制御手段は、
前記加熱室を用いて、前記成膜室での成膜を行う前に、前記サファイア基板を所定の温度以上に加熱し、
前記搬送ロボットを用いて、所定の温度以上に加熱した前記サファイア基板を前記加熱室から前記成膜室へ搬送し、
前記成膜室を用いて、前記サファイア基板が当該成膜室へ搬送される前にプラズマを点灯しておき、所定の温度以上に加熱した前記サファイア基板に、プラズマ処理を施すことにより、前記保護膜を成膜することを特徴とする発光素子の保護膜の作製装置。 - 請求項1に記載の発光素子の保護膜の作製装置において、
前記加熱室は、前記サファイア基板の上面及び下面に近接して配置した2つの遠赤外線ヒータを有し、前記2つの遠赤外線ヒータからの輻射により、前記サファイア基板の上面及び下面を真空中で加熱するものであることを特徴とする発光素子の保護膜の作製装置。 - 請求項1に記載の発光素子の保護膜の作製装置において、
前記加熱室は、前記サファイア基板の上面又は下面の一方に近接して配置した1つの遠赤外線ヒータと、前記サファイア基板と前記遠赤外線ヒータの周囲を囲み、かつ、層状に複数配置した熱反射板とを有し、前記1つの遠赤外線ヒータからの輻射と当該輻射の前記熱反射板での反射により、前記サファイア基板の上面及び下面を真空中で加熱するものであることを特徴とする発光素子の保護膜の作製装置。 - 請求項1に記載の発光素子の保護膜の作製装置において、
前記加熱室は、前記サファイア基板の上面又は下面の一方に近接して配置した1つのヒータと、当該加熱室に不活性ガス又は窒素ガスを供給するガス供給手段とを有し、当該加熱室に前記不活性ガス又は前記窒素ガスを供給して、分子流領域の圧力より高い圧力とすると共に、前記不活性ガス又は前記窒素ガスの対流伝熱により、前記ヒータの温度を前記サファイア基板に伝熱して加熱するものであることを特徴とする発光素子の保護膜の作製装置。 - 請求項1から請求項4のいずれか1つに記載の発光素子の保護膜の作製装置において、
前記成膜室は、複数枚の前記サファイア基板に連続的に成膜を行う場合、最初の前記サファイア基板が前記成膜室へ搬送される前にプラズマを点灯しておき、最後の前記サファイア基板への成膜が終了するまで、前記プラズマを維持しておくものであることを特徴とする発光素子の保護膜の作製装置。 - 請求項1から請求項4のいずれか1つに記載の発光素子の保護膜の作製装置において、
前記成膜室は、複数枚の前記サファイア基板に連続的に成膜を行う場合、各々の前記サファイア基板が前記成膜室へ搬送される前にプラズマを点灯しておき、各々の前記サファイア基板への成膜が終了するとき、前記プラズマを消灯するものであることを特徴とする発光素子の保護膜の作製装置。 - サファイア基板上に形成された発光素子を保護する保護膜を作製する発光素子の保護膜の作製方法において、
前記サファイア基板を真空中で加熱する加熱室と、
前記加熱室で加熱された前記サファイア基板に、真空中でプラズマ処理を施すことにより、前記保護膜を成膜する成膜室と、
前記加熱室及び前記成膜室へ前記サファイア基板を真空搬送する搬送ロボットとを用い、
前記成膜室での成膜を行う前に、前記加熱室で前記サファイア基板を所定の温度以上に加熱し、
前記搬送ロボットにより前記サファイア基板が搬送される前に、前記成膜室でプラズマを点灯しておき、
前記搬送ロボットにより所定の温度以上に加熱した前記サファイア基板を前記加熱室から前記成膜室へ搬送し、当該サファイア基板に、プラズマ処理を施すことにより、前記成膜室で前記保護膜を成膜することを特徴とする発光素子の保護膜の作製方法。 - 請求項7に記載の発光素子の保護膜の作製方法において、
前記加熱室は、前記サファイア基板の上面及び下面に近接して配置した2つの遠赤外線ヒータを有し、前記2つの遠赤外線ヒータからの輻射により、前記サファイア基板の上面及び下面を真空中で加熱することを特徴とする発光素子の保護膜の作製方法。 - 請求項7に記載の発光素子の保護膜の作製方法において、
前記加熱室は、前記サファイア基板の上面又は下面の一方に近接して配置した1つの遠赤外線ヒータと、前記サファイア基板と前記遠赤外線ヒータの周囲を囲み、かつ、層状に複数配置した熱反射板とを有し、前記1つの遠赤外線ヒータからの輻射と当該輻射の前記熱反射板での反射により、前記サファイア基板の上面及び下面を真空中で加熱することを特徴とする発光素子の保護膜の作製方法。 - 請求項7に記載の発光素子の保護膜の作製方法において、
前記加熱室は、前記サファイア基板の上面又は下面の一方に近接して配置した1つのヒータと、当該加熱室に不活性ガス又は窒素ガスを供給するガス供給手段とを有し、当該加熱室に前記不活性ガス又は前記窒素ガスを供給して、分子流領域の圧力より高い圧力とすると共に、前記不活性ガス又は前記窒素ガスの対流伝熱により、前記ヒータの温度を前記サファイア基板に伝熱して加熱することを特徴とする発光素子の保護膜の作製方法。 - 請求項7から請求項10のいずれか1つに記載の発光素子の保護膜の作製方法において、
前記成膜室は、複数枚の前記サファイア基板に連続的に成膜を行う場合、最初の前記サファイア基板が前記成膜室へ搬送される前にプラズマを点灯しておき、最後の前記サファイア基板への成膜が終了するまで、前記プラズマを維持しておくことを特徴とする発光素子の保護膜の作製方法。 - 請求項7から請求項10のいずれか1つに記載の発光素子の保護膜の作製方法において、
前記成膜室は、複数枚の前記サファイア基板に連続的に成膜を行う場合、各々の前記サファイア基板が前記成膜室へ搬送される前にプラズマを点灯しておき、各々の前記サファイア基板への成膜が終了するとき、前記プラズマを消灯することを特徴とする発光素子の保護膜の作製方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012125633A JP2013251423A (ja) | 2012-06-01 | 2012-06-01 | 発光素子の保護膜の作製方法及び装置 |
TW102119194A TWI508328B (zh) | 2012-06-01 | 2013-05-30 | A method and a device for manufacturing a protective film of a light emitting element |
KR1020147032546A KR20150010754A (ko) | 2012-06-01 | 2013-05-30 | 발광소자의 보호막의 제작 방법 및 장치 |
PCT/JP2013/064983 WO2013180204A1 (ja) | 2012-06-01 | 2013-05-30 | 発光素子の保護膜の作製方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012125633A JP2013251423A (ja) | 2012-06-01 | 2012-06-01 | 発光素子の保護膜の作製方法及び装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013251423A true JP2013251423A (ja) | 2013-12-12 |
Family
ID=49673391
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012125633A Pending JP2013251423A (ja) | 2012-06-01 | 2012-06-01 | 発光素子の保護膜の作製方法及び装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2013251423A (ja) |
KR (1) | KR20150010754A (ja) |
TW (1) | TWI508328B (ja) |
WO (1) | WO2013180204A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110616406A (zh) * | 2018-11-29 | 2019-12-27 | 爱发科豪威光电薄膜科技(深圳)有限公司 | 磁控溅射镀膜机 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3596171B2 (ja) * | 1996-05-16 | 2004-12-02 | 豊田合成株式会社 | 3族窒化物半導体発光素子 |
US6245692B1 (en) * | 1999-11-23 | 2001-06-12 | Agere Systems Guardian Corp. | Method to selectively heat semiconductor wafers |
EP1986224A4 (en) * | 2006-02-16 | 2012-01-25 | Nikon Corp | EXPOSURE APPARATUS, EXPOSURE METHOD, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD |
JP4835409B2 (ja) * | 2006-11-30 | 2011-12-14 | 豊田合成株式会社 | Iii−v族半導体素子、およびその製造方法 |
US8034691B2 (en) * | 2008-08-18 | 2011-10-11 | Macronix International Co., Ltd. | HDP-CVD process, filling-in process utilizing HDP-CVD, and HDP-CVD system |
JP5648289B2 (ja) * | 2010-01-14 | 2015-01-07 | 豊田合成株式会社 | スパッタリング装置および半導体発光素子の製造方法 |
JP2011233784A (ja) * | 2010-04-28 | 2011-11-17 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 半導体発光素子、半導体発光素子の保護膜及びその作製方法 |
-
2012
- 2012-06-01 JP JP2012125633A patent/JP2013251423A/ja active Pending
-
2013
- 2013-05-30 TW TW102119194A patent/TWI508328B/zh not_active IP Right Cessation
- 2013-05-30 KR KR1020147032546A patent/KR20150010754A/ko not_active Application Discontinuation
- 2013-05-30 WO PCT/JP2013/064983 patent/WO2013180204A1/ja active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201405874A (zh) | 2014-02-01 |
TWI508328B (zh) | 2015-11-11 |
WO2013180204A1 (ja) | 2013-12-05 |
KR20150010754A (ko) | 2015-01-28 |
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