JP2013247227A - 収容容器の蓋取り外し方法 - Google Patents
収容容器の蓋取り外し方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013247227A JP2013247227A JP2012119760A JP2012119760A JP2013247227A JP 2013247227 A JP2013247227 A JP 2013247227A JP 2012119760 A JP2012119760 A JP 2012119760A JP 2012119760 A JP2012119760 A JP 2012119760A JP 2013247227 A JP2013247227 A JP 2013247227A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lid
- space
- port door
- door
- gap space
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【課題】 収容するフォトマスクに対する塵等の付着を抑制するSMIFポッドの蓋取り外し方法を提供する。
【解決手段】 オープナーを用いてSMIFポッドの底蓋を取り外す工程において、ポートドアの上面に該ポッドを配置し、底蓋とポートドアとの間に形成される間隙空間を排気し、底蓋をポートドアに対して相対的に微少量降下させてポッドの収容空間と間隙空間とを連通させてこれらの内部圧力を等しくして、その後にドア駆動機構により底蓋と共にポートドアを降下させることとする。
【選択図】 図2(c)
Description
Claims (5)
- 被収容物を支持する底蓋によって底部に設けられた開口が閉鎖される収容空間を有した収容容器より前記底蓋を取り外すオープナーであって、前記収容容器を上面に載置可能なポートドアと、前記ポートドアによって閉鎖される開口部を介して前記底蓋を収容可能な内部空間を構成するチャンバと、前記開口部を閉鎖したポートドアと前記蓋との間の間隙空間を排気可能な排気系と、前記ポートドアを前記内部空間内に降下させるドア駆動機構と、前記ポートドアに対して相対的に前記蓋を昇降させる相対昇降手段と、を有するオープナーを用いて前記底蓋を取り外す工程であって、
前記ポートドアの前記上面に前記収容容器を配置し、
前記底蓋と前記ポートドアとの間に形成される前記間隙空間を前記排気系により排気する工程と、
前記相対昇降手段により前記底蓋を前記ポートドアに対して相対的に降下させて前記収容容器の前記収容空間と前記間隙空間とを連通させて前記収容空間と前記間隙空間との内部圧力を等しくする工程と、
前記ドア駆動機構により前記底蓋と共に前記ポートドアを前記内部空間内に降下させる工程と、を有することを特徴とする収容容器の蓋取り外し方法。 - 前記相対昇降手段と前記ドア駆動機構との動作タイミングを規定する降下タイミング決定機構を更に有し、
前記収容空間と前記間隙空間との内部圧力を等しくする工程において前記降下タイミング決定機構が前記相対昇降手段の動作開始時刻から前記ドア駆動機構の動作開始時刻までの間に時間遅れを設けることを特徴とする請求項1に記載の収容容器の蓋取り外し方法。 - 前記排気系は前記間隙空間を排気する工程及び前記収容空間と前記間隙空間との内部圧力を等しくする工程において前記間隙空間の排気を継続することを特徴とする請求項1又は2に記載の蓋取り外し方法。
- 前記収容空間と前記間隙空間との内部圧力を等しくする工程では、前記相対昇降手段による前記ポートドアに対する前記底蓋の相対的な降下を一旦停止することを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項に記載の蓋取り外し方法。
- 前記収容空間と前記間隙空間との内部圧力を等しくする工程では、前記ドア駆動機構により前記ポートドアの昇降が停止されていることを特徴とする請求項1乃至4の何れか一項に記載の蓋取り外し方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012119760A JP5958081B2 (ja) | 2012-05-25 | 2012-05-25 | 収容容器の蓋取り外し方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012119760A JP5958081B2 (ja) | 2012-05-25 | 2012-05-25 | 収容容器の蓋取り外し方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013247227A true JP2013247227A (ja) | 2013-12-09 |
JP5958081B2 JP5958081B2 (ja) | 2016-07-27 |
Family
ID=49846785
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012119760A Active JP5958081B2 (ja) | 2012-05-25 | 2012-05-25 | 収容容器の蓋取り外し方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5958081B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20210118561A (ko) * | 2020-03-23 | 2021-10-01 | 주식회사 선반도체 | 이중 포드 smif 오픈 장치 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06268046A (ja) * | 1992-11-06 | 1994-09-22 | Applied Materials Inc | 制御された環境密閉容器および機械インターフェイス |
JPH07235580A (ja) * | 1994-02-22 | 1995-09-05 | Tdk Corp | クリーン搬送方法及び装置 |
JPH09246351A (ja) * | 1996-03-04 | 1997-09-19 | Tdk Corp | クリーン搬送方法、クリーン搬送装置及びクリーン装置 |
-
2012
- 2012-05-25 JP JP2012119760A patent/JP5958081B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06268046A (ja) * | 1992-11-06 | 1994-09-22 | Applied Materials Inc | 制御された環境密閉容器および機械インターフェイス |
JPH07235580A (ja) * | 1994-02-22 | 1995-09-05 | Tdk Corp | クリーン搬送方法及び装置 |
JPH09246351A (ja) * | 1996-03-04 | 1997-09-19 | Tdk Corp | クリーン搬送方法、クリーン搬送装置及びクリーン装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20210118561A (ko) * | 2020-03-23 | 2021-10-01 | 주식회사 선반도체 | 이중 포드 smif 오픈 장치 |
KR102385815B1 (ko) | 2020-03-23 | 2022-04-13 | 주식회사 선반도체 | 이중 포드 smif 오픈 장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5958081B2 (ja) | 2016-07-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6582676B2 (ja) | ロードロック装置、及び基板処理システム | |
JP4343253B1 (ja) | 密閉容器の蓋開閉装置及び該開閉装置を用いたガス置換装置 | |
TWI509725B (zh) | 基板處理裝置 | |
JP5225815B2 (ja) | インターフェイス装置、基板を搬送する方法及びコンピュータ可読記憶媒体 | |
WO2010131414A1 (ja) | パージ装置およびパージ方法 | |
TWI579954B (zh) | 基板處理裝置及基板處理方法 | |
JP2008192642A (ja) | 基板処理装置 | |
JP5729148B2 (ja) | 基板搬送容器の開閉装置、蓋体の開閉装置及び半導体製造装置 | |
JP2007067218A (ja) | 基板処理装置および基板処理システム | |
JP2010118385A (ja) | 密閉容器及び該密閉容器の蓋開閉システム | |
JP2010098121A (ja) | 処理装置及び処理方法 | |
KR102592920B1 (ko) | 로드락 모듈 및 이를 포함하는 반도체 제조 장치 | |
KR20180111592A (ko) | 기판 처리 장치 | |
JP5958446B2 (ja) | ロードポート装置 | |
JP5736686B2 (ja) | ロードポート | |
CN107799389B (zh) | 基板处理方法 | |
JP5958081B2 (ja) | 収容容器の蓋取り外し方法 | |
KR20190036502A (ko) | 로드 포트 장치, 로드 포트 장치의 구동 방법 | |
WO2005004228A1 (ja) | 処理装置 | |
JP2011035419A (ja) | 密閉容器及び該密閉容器の蓋開閉システム | |
JP6191853B2 (ja) | ロードロックチャンバ | |
JP2009054859A (ja) | 基板受入装置及び基板受入方法 | |
JP2004087781A (ja) | 真空処理装置及び真空処理方法 | |
JP2012169534A (ja) | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 | |
JP6008169B2 (ja) | ロードポート装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150305 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160113 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160119 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160311 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160524 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160606 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5958081 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |