JP2013246322A - 光配線構造 - Google Patents
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Abstract
【課題】光配線構造における消費電力が低減できるようにする。
【解決手段】第1シリコンコア102より構成する第1光導波路を、多モード導波路とし、第2シリコンコア103より構成する第2光導波路を、単一モード導波路とする。また、第1シリコンコア102と第2シリコンコア103とを接続する第3シリコンコア104は、テーパー状とする。
【選択図】 図1
【解決手段】第1シリコンコア102より構成する第1光導波路を、多モード導波路とし、第2シリコンコア103より構成する第2光導波路を、単一モード導波路とする。また、第1シリコンコア102と第2シリコンコア103とを接続する第3シリコンコア104は、テーパー状とする。
【選択図】 図1
Description
本発明は、シリコンコアより構成された光導波路による光配線構造に関する。
近年、電子回路の動作速度の向上や回路構造の複雑化に伴い、金属配線部分における消費電力が著しく増大している。この問題を解決するために、電子回路とともに同一基板上に光配線を形成するオンチップ光配線が提案されている。光配線は、伝送路である光導波路におけるエネルギー損失が金属配線に比べ小さくできる可能性があり、電子回路の消費電力低減が期待されている。
このような光配線の構造について図4を用いて説明する。例えば、基板401の上に形成された光変調器402と受光器403とが、光配線構造404により接続されている。光変調器402には、光源405からの光が、光導波路406を介して供給されている。
基板401は、例えば、公知のSOI(Silicon on Insulator)基板であり、埋め込み絶縁層を下部クラッドとし、埋め込み絶縁層の上の表面シリコン層をパターニングすることで形成したシリコンコア441,442およびこれらを覆う上部クラッド(不図示)より光配線構造404が構成されている。上部クラッドを構成する材料としては、酸化ケイ素、酸窒化ケイ素、窒化ケイ素、エポキシ系ポリマー、ポリイミド系ポリマーなどがある。光配線構造404は、チャンネル型導波路でもよく、リブ型導波路でもよい。
光配線構造404では、屈曲しているシリコンコア442などにおける偏向に伴う光の損失やモード変換を防止するため、シリコンコア441,シリコンコア442の断面を、単一モードあるいはこれに準じるモード(実質的な単一モード)の構成が実現できる寸法としている。なお、光導波路406も、シリコンコア441による光導波路と同様に単一モードの光導波路である。
上述したようなシリコンコアによる光導波路を伝搬する光の波長は、シリコンが透明でありかつ光源が容易に入手できる、1200〜1700nmが良く用いられている。チャンネル型導波路の場合、実質的な単一モードが実現できる光導波路のコア断面寸法は、最大でも幅500nm,高さ300nmである(非特許文献1参照)。また、リブ型導波路であれば、これよりも幅がやや大きくなり、実質的な単一モードが実現できるコア幅として最大600nmが報告されている(非特許文献2参照)。
Y. A. Vlasov and S. J. McNab, "Losses in single-mode silicon-on-insulator strip waveguides and bends", OPTICS EXPRESS, Vol.12, No.8, pp.1622-1631, 2004.
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ところで、上述したような、コア断面寸法が数百nmの微小なシリコンコアによる光導波路においては、コア側壁の凹凸による光散乱の影響が大きく、最新のシリコン加工技術を用いても1.2dB/cm程度である(非特許文献3参照)。
光変調器402と受光器403とを結ぶ光配線構造(光導波路)404の長さは、適用する基板401の大きさによって異なるが、近年の電子回路のチップサイズは25mm程度まで可能であるため、光導波路長さは、短くてもチップサイズの外周長程度、即ち10cm程度は必要となる。最新の加工技術による伝搬損失1.2dB/cmを仮定すると、光導波路長10cmにおける伝搬損失は12dBであり、光強度は約1/16に減衰してしまう。従って、受光器403に十分な強度の光信号を供給するためには、元々の光源405の強度を大きくせねばならず、消費電力が大きくなってしまう問題があった。
本発明は、以上のような問題点を解消するためになされたものであり、光配線構造における消費電力が低減できるようにすることを目的とする。
本発明に係る光配線構造は、基板の上に形成された第1シリコンコアからなる直線状の第1光導波路と、基板の上に形成された第2シリコンコアからなる屈曲した第2光導波路と、基板の上に形成された第3シリコンコアからなり、第1光導波路と第2光導波路とを光接続する第3光導波路とを備え、第1光導波路は多モード導波路であり、第2光導波路は単一モード導波路であり、第3シリコンコアは、第1シリコンコアとの接続部は第1シリコンコアと同じ径とされ、第2シリコンコアとの接続部は第2シリコンコアと同じ径とされ、第1シリコンコアから第2シリコンコアにかけて漸次細くなるテーパー状に形成されている。
上記光配線構造において、第1シリコンコアは、幅が2000nm以上とされ、第2シリコンコアは、幅が600nm以下とされ、高さが300nm以下とされていればよい。また、第3光導波路は、テーパー状の部分の導波路長が30μm以上に形成されていればよい。
以上説明したことにより、本発明によれば、光配線構造における消費電力が低減できるようになるという優れた効果が得られる。
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。図1は、本発明の実施の形態における光配線構造の構成を示す平面図である。この光配線構造は、基板101の上に形成された直線状の第1シリコンコア102からなる直線状の第1光導波路と、基板101の上に形成された第2シリコンコア103からなる屈曲した第2光導波路とを備える。また、基板101の上に形成された第3シリコンコア104からなり、第1光導波路および第2光導波路を光接続する第3光導波路を備える。
基板101は、例えば、公知のSOI基板であり、埋め込み絶縁層を下部クラッドとし、埋め込み絶縁層の上の表面シリコン層をパターニングすることで形成した各シリコンコアおよびこれらを覆う上部クラッド(不図示)より各光導波路が構成されている。この場合、例えば、一連の第1シリコンコア102,第2シリコンコア103,第3シリコンコア104は、一体に形成することができる。なお、上部クラッドを構成する材料としては、酸化ケイ素、酸窒化ケイ素、窒化ケイ素、エポキシ系ポリマー、ポリイミド系ポリマーなどがある。光導波路は、チャンネル型導波路でもよく、リブ型導波路でもよい。
ここで、実施の形態では、第1シリコンコア102より構成する第1光導波路を、多モード(マルチモード)導波路とし、第2シリコンコア103より構成する第2光導波路を、単一モード(シングルモード)導波路としたところに特徴がある。従って、例えば、第1シリコンコア102は、コア幅が、第2シリコンコア103よりも広く、コア高さは、第2シリコンコア103と同じ状態に形成すればよい。
なお、第2光導波路は、完全に単一モードとなっている必要はなく、単一モードに準じるモード構造となっていればよい。偏向部となる第2光導波路において、他のモードがある程度発生していても、導波していく中である程度発生している他のモードは減衰してほぼなくなる状態であれば、実質的に単一モードの状態として扱える。
また、第3シリコンコア104は、テーパー状に形成されている。より詳しく説明すると、第3シリコンコア104の第1シリコンコア102との接続部は、第1シリコンコア102と同じ径としている。また、第3シリコンコア104の第2シリコンコア103との接続部は、第2シリコンコア103と同じ径としている。また、第3シリコンコア104は、第1シリコンコア102から第2シリコンコア103にかけて漸次細くなるテーパー状に形成されている。第3シリコンコア104は、第1シリコンコア102から第2シリコンコア103にかけて、断熱的に漸次細くなっていればよい。
なお、後述するように、同一のシリコン層から各シリコンコアを形成する場合、コア断面の高さは同一となる。この場合、第3シリコンコア104は、第1シリコンコア102との接続部は第1シリコンコア102と同じ幅とされ、第2シリコンコア103との接続部は第2シリコンコア103と同じ幅にされていればよい。
このように構成した光導波路(光配線構造)により、光変調器105と受光器106とが接続されている。また、光変調器105には、光源107からの光が、光導波路108を介して供給されている。ここで、光導波路108も、上述した第1シリコンコア102による光導波路と同様に多モード導波路とされている。また、光変調器105および受光器106には、第1シリコンコア102からなる多モードの第1光導波路が接続しているが、各素子の内部で、適宜に単一モードに変換してもよい。
光導波路の基本伝搬モードの損失は、導波路を構成するコアの側壁の微小な凹凸による散乱により決まり、コア幅が大きいほど伝搬光は側壁を感じなくなるため、伝搬損失が低減されることが知られている(非特許文献3参照)。この低損失化が、第1シリコンコア102からなる直線状の第1光導波路において実現されている。また、同様の構成とした光導波路108においても低損失化が実現されている。但し、コア幅が大きいと光導波路は多モードとなり、屈曲したコアによる偏向部において、基本モードは高次モードに変換され、失われてしまうため、幅が広く多モードとなる光導波路は、直線部にしか使用できない。
以上のことにより、本発明においては、屈曲したコア(第2シリコンコア103)による偏向部においては、テーパー構造のコア(第3シリコンコア104)を介し、直線状のコア(第1シリコンコア102)から、コア幅が細い単一モードの屈曲したコア(第2シリコンコア103)による光導波路に変換する。単一モード導波路としている偏向部の偏向半径は、マイクロメータオーダであり、光配線構造全体に占める偏向部の長さは無視できる。また、直線状のコアと屈曲したコアとは、テーパー状のコアで結合しているので、これらの間の結合損失も抑制されている。これらの結果、光配線構造全体の損失は、低損失な直線状の光導波路の伝搬損失で決まるようになる。従って、本実施の形態によれば、光配線構造全体の伝搬損失を低減することができ、光配線構造における消費電力が低減できる。
なお、直線状の部分,偏向部,およびテーパー部の各コアは、例えば、SOI基板の表面シリコン層などの同一のシリコン層を用いて形成すればよく、一般にこれらのコア高さは同一となる。本実施の形態における光配線構造を構成する光導波路のコアサイズの具体的な例としては、光源が通信用に既に開発され、かつシリコンが透明な波長帯域である1200−1700nmの赤外線を利用した場合、単一モード導波路である第2シリコンコア103の寸法は、概ね幅600nm以下、高さ300nm以下である(非特許文献1,非特許文献2参照)。このような単一モード導波路の伝搬損失は、上述したように、最新の加工技術を用いても1.2dB/cm程度である。
これに対し、コアの幅を広くしていくと徐々に伝搬損失は低下していく。特に、コア幅を1μm以上に拡大すると著しく伝搬損失が低減される。図2にコア幅を変化させた場合のチャンネル型シリコン導波路の伝搬損失の実験結果を示す。なお、図2に示す実験結果は、コア高さ220nmとし、伝搬光の波長は1550nmとしている。図2からわかるように、コア幅が2μmになると伝搬損失が0.4dB/cmまで低減される。また2μm以上に広げても伝搬損失の低減は確認されない。コア幅を広げた場合の伝搬損失は、コアの側壁散乱以外の要因により支配されていると思われる。これらの結果より、直線状の第1光導波路を構成している第1シリコンコア102のコア幅は2μm以上とすれば良いことがわかる。
また、多モード導波路である第1光導波路と、単一モード導波路である偏向部となる第2光導波路とは、テーパー構造としてる第3シリコンコア104により断熱的にコア幅を変換すれば良いが、テーパー状の部分の長さが短いと断熱的ではなくなり、損失が生じる。電磁界シミュレーションによりテーパー状の部分の長さと損失の関係を計算した結果を図3に示す。計算体系は、図3に示すように、導波方向が90°異なる2つの直線状の多モード光導波路を、屈曲した単一モード導波路で接続し、また、これらの間をテーパー状のコアにより接続した光配線構造を想定している。また、直線状の部分のコアは、高さ220nm,幅3μmとし、屈曲部のコアは、高さ220nm,幅440nmとしている。図3に示す結果より、テーパー状の部分の長さは、30μm以上あれば、実用上支障がない0.1dB以下に、損失を低減することができることがわかる。
以上に説明したように、本発明によれば、偏向部においては単一モードとし、直線状の部分においては多モードとし、これらの間は、テーパー状のコアによる光導波路で接続するようにしたので、光配線構造全体の伝搬損失を低減することができ、光配線構造における消費電力が低減できるようになる。
なお、本発明は以上に説明した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想内で、当分野において通常の知識を有する者により、多くの変形および組み合わせが実施可能であることは明白である。例えば、上述では、光配線構造により、光変調器と受光器とを接続するようにしたが、これに限るものではなく、他の光素子を光配線構造に接続してもよいことは、言うまでもない。また、上述では、4系列の光配線構造としたがこれに限るものではなく、光導波路の系列は、いくつであってもよい。
101…基板、102…第1シリコンコア、103…第2シリコンコア、104…第3シリコンコア、105…光変調器、106…受光器、107…光源、108…光導波路。
Claims (3)
- 基板の上に形成された第1シリコンコアからなる直線状の第1光導波路と、
前記基板の上に形成された第2シリコンコアからなる屈曲した第2光導波路と、
前記基板の上に形成された第3シリコンコアからなり、前記第1光導波路と前記第2光導波路とを光接続する第3光導波路と
を備え、
前記第1光導波路は多モード導波路であり、
前記第2光導波路は単一モード導波路であり、
前記第3シリコンコアは、前記第1シリコンコアとの接続部は前記第1シリコンコアと同じ径とされ、前記第2シリコンコアとの接続部は前記第2シリコンコアと同じ径とされ、前記第1シリコンコアから前記第2シリコンコアにかけて漸次細くなるテーパー状に形成されていることを特徴とする光配線構造。 - 請求項1記載の光配線構造において、
前記第1シリコンコアは、幅が2000nm以上とされ、
前記第2シリコンコアは、幅が600nm以下とされ、高さが300nm以下とされていることを特徴とする光配線構造。 - 請求項1または2記載の光配線構造において、
前記第3光導波路は、テーパー状の部分の導波路長が30μm以上に形成されていることを特徴とする光配線構造。
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