JP5161945B2 - 光結合デバイス - Google Patents
光結合デバイス Download PDFInfo
- Publication number
- JP5161945B2 JP5161945B2 JP2010218384A JP2010218384A JP5161945B2 JP 5161945 B2 JP5161945 B2 JP 5161945B2 JP 2010218384 A JP2010218384 A JP 2010218384A JP 2010218384 A JP2010218384 A JP 2010218384A JP 5161945 B2 JP5161945 B2 JP 5161945B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical waveguide
- optical
- multimode interference
- cladding layer
- coupling device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Description
本実施の形態の光結合デバイスは、基板と、基板上に形成され、光の入出力側に端面を有する下部クラッド層と、下部クラッド層上に、先端を端面に向けて形成され、先端部がテーパ形状に絞られた複数の第1の光導波路と、下部クラッド層上に形成され、一端に複数の第1の光導波路が先端部の反対側で接続される多モード干渉光導波路と、下部クラッド層上に形成され、多モード干渉光導波路の他端に接続される少なくとも一本の第2の光導波路と、下部クラッド層上、複数の第1の光導波路上、および、多モード干渉光導波路上に、下部クラッド層の端面から連続して形成される上部クラッド層を備えている。そして、複数の第1の光導波路、多モード干渉光導波路、および、第2の光導波路の屈折率が、上部クラッド層の屈折率よりも高く、上部クラッド層の屈折率が、下部クラッド層の屈折率よりも高い。
本実施の形態の光結合デバイスは、第1の光導波路が3本ではなく2本であること以外は、第1の実施の形態と同様である。したがって、第1の実施の形態と重複する内容については記載を省略する。
本実施の形態の光結合デバイスは、第1の光導波路のテーパ形状が多モード干渉光導波路との接続部において、多モード干渉光導波路にむけてテーパ角が大きくなっていること、および、第2の光導波路が多モード干渉光導波路との接続部において、多モード干渉光導波路にむけて広がるテーパ形状を有すること以外は、第1の実施の形態と同様である。したがって、第1の実施の形態と重複する内容については記載を省略する。
本実施の形態の光結合デバイスは第1の光導波路において、下部クラッド層の端面と先端部との距離が、外側に位置する光導波路ほど短くなること以外は、第1の実施の形態と同様である。したがって、第1の実施の形態と重複する内容については記載を省略する。
本実施の形態の光結合デバイスは第1の光導波路において、第1の光導波路の先端部が略同一の幅で、下部クラッド層の端面近傍まで伸長する形状を有すること以外は、第1の実施の形態と同様である。したがって、第1の実施の形態と重複する内容については記載を省略する。
12 下部クラッド層
14 端面
16a 第1の光導波路
16b 第2の光導波路
16c 第3の光導波路
18 多モード干渉光導波路
20 第2の光導波路
22 上部クラッド層
24 光導波路
26 先端細線
Claims (4)
- 基板と、
前記基板上に形成され、光の入出力側に端面を有する下部クラッド層と、
前記下部クラッド層上に、先端を前記端面に向けて形成され、先端部がテーパ形状に絞られた複数の第1の光導波路と、
前記下部クラッド層上に形成され、一端に前記複数の第1の光導波路が前記先端部の反対側で接続される多モード干渉光導波路と、
前記下部クラッド層上に形成され、前記多モード干渉光導波路の他端に接続される少なくとも一本の第2の光導波路と、
前記下部クラッド層上、前記複数の第1の光導波路上、および、前記多モード干渉光導波路上に、前記下部クラッド層の前記端面から連続して形成される上部クラッド層を備え、
前記複数の第1の光導波路、前記多モード干渉光導波路、および、前記第2の光導波路の屈折率が、前記上部クラッド層の屈折率よりも高く、
前記上部クラッド層の屈折率が、前記下部クラッド層の屈折率よりも高く、
前記複数の第1の光導波路において、前記端面と前記先端部との距離が、外側に位置する光導波路ほど短くなることを特徴とする光結合デバイス。 - 前記複数の第1の光導波路のテーパ形状が、前記多モード干渉光導波路との接続部において、前記多モード干渉光導波路にむけてテーパ角が大きくなっていることを特徴とする請求項1記載の光結合デバイス。
- 前記第2の光導波路が、前記多モード干渉光導波路との接続部において、前記多モード干渉光導波路にむけて広がるテーパ形状を有することを特徴とする請求項1または請求項2記載の光結合デバイス。
- 前記第1の光導波路、前記多モード干渉光導波路、および、前記第2の光導波路がシリコンからなり、前記下部クラッド層がシリコン酸化物からなり、前記上部クラッド層がシリコン酸窒化物またはポリマーからなることを特徴とする請求項1ないし請求項3いずれか一項記載の光結合デバイス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010218384A JP5161945B2 (ja) | 2010-09-29 | 2010-09-29 | 光結合デバイス |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010218384A JP5161945B2 (ja) | 2010-09-29 | 2010-09-29 | 光結合デバイス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012073446A JP2012073446A (ja) | 2012-04-12 |
JP5161945B2 true JP5161945B2 (ja) | 2013-03-13 |
Family
ID=46169666
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010218384A Expired - Fee Related JP5161945B2 (ja) | 2010-09-29 | 2010-09-29 | 光結合デバイス |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5161945B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000221345A (ja) * | 1999-01-28 | 2000-08-11 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | マルチモード干渉光素子 |
JP2007233294A (ja) * | 2006-03-03 | 2007-09-13 | Oki Electric Ind Co Ltd | 光カプラ |
JP4886627B2 (ja) * | 2007-07-31 | 2012-02-29 | 株式会社東芝 | 光結合デバイス |
-
2010
- 2010-09-29 JP JP2010218384A patent/JP5161945B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012073446A (ja) | 2012-04-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10345524B2 (en) | Optical edge coupler with controllable mode field for photonic chip | |
WO2011036818A1 (ja) | 光結合装置及び光合分波装置 | |
US9759864B2 (en) | Spot-size converter for optical mode conversion and coupling between two waveguides | |
US9195001B2 (en) | Spot size converter, optical transmitter, optical receiver, optical transceiver, and method of manufacturing spot size converter | |
JP6289401B2 (ja) | スポットサイズ変換器 | |
US9904011B2 (en) | Optical waveguide, optical interposer and light source | |
JP4886627B2 (ja) | 光結合デバイス | |
JP6262597B2 (ja) | スポットサイズ変換器 | |
JP2018040925A (ja) | 光ファイバ搭載光集積回路装置 | |
JP2004133446A (ja) | 光モジュール及び製造方法 | |
JP2016024439A (ja) | 光回路部品、および光回路部品と光ファイバとの接続構造 | |
US10605988B2 (en) | Optical beam spot size converter | |
CN210666088U (zh) | 一种硅光光模斑模式转换器 | |
JP5304209B2 (ja) | スポットサイズ変換器 | |
JP2004184986A (ja) | 光学素子およびその製造方法 | |
JP5386254B2 (ja) | スポットサイズ変換光導波路部を有する光学素子 | |
JP5438080B2 (ja) | スポットサイズ変換器 | |
JP5161945B2 (ja) | 光結合デバイス | |
JP2013231753A (ja) | スポットサイズ変換器およびその製造方法 | |
JP4549949B2 (ja) | 光学素子 | |
JP2010085564A (ja) | 光導波路回路及び光回路装置 | |
JP7401823B2 (ja) | 光導波路部品およびその製造方法 | |
CN111025474B (zh) | 一种基于折射率调控的覆盖su-8包层的硅波导模式耦合器 | |
US10962713B2 (en) | Optical waveguide structure | |
JP7159835B2 (ja) | 光接続構造 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120829 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120904 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121029 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121120 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121214 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151221 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |