JP2013245048A - ワーク浮上装置用通気ユニット、ワーク浮上装置 - Google Patents

Abstract

【課題】メンテナンスの際の負担を軽減するとともに一つの気体絞り機構における給気・排気を切替えて給気の場合および排気の場合の両方に対応するワーク浮上装置用通気ユニットを提供すること。
【解決手段】ワーク浮上装置１００のベース面１１１とワークとの間に介在させてワークを浮上させる気体の気体量を気体絞り機構Ａを介して調整するワーク浮上装置用通気ユニット１２０において、気体絞り機構Ａが、気体量を絞り調整する多孔質フィルム１２１と、この多孔質フィルム１２１の上に積層される第１平板状通気部材１２２と、多孔質フィルム１２１の下に積層される第２平板状通気部材１２３とで構成され、多孔質フィルム１２１が、第１平板状通気部材１２２と第２平板状通気部材１２３とで挟持されていることを特徴とするワーク浮上装置用通気ユニット１２０。
【選択図】図３

Description

本発明は、ガラス基板や液晶ディスプレイ等の板状ワークをベース面から浮上させて非接触支持するワーク浮上装置用通気ユニットおよびこのワーク浮上用装置用通気ユニットを備えたワーク浮上装置に関する。

従来、ワーク浮上装置のベース面とワークとの間に介在させてワークを浮上させる気体の気体量を気体絞り機構を介して調整するワーク浮上装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
ここで、ワーク浮上装置は、例えば、液晶ガラスのカラーフィルタやＴＦＴ（Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）アレイの検査工程で用いられるものであり、この液晶ガラスのカラーフィルタやＴＦＴアレイの検査工程では、液晶ディスプレイの高精細化に対応するために焦点深度の浅い高精度ＣＣＤ（Ｃｈａｎｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅｓ）カメラを使用して計測、画像認識が行われており、ワーク浮上装置によるワークの浮上量の精度が求められている。

従来のワーク浮上装置は、ベース本体と、このベース本体とほぼ同じサイズの多孔質フィルムと、支持板としての多孔質板とを備え、多孔質フィルムの上に多孔質板を積層した状態で多孔質フィルムと多孔質板とがベース本体に取り付けられていた。
そして、多孔質フィルムおよび多孔質板の下方から上方へ気体を送り、ベース面とベース面上のワークとの間に気体を送り込むことにより、ワークを浮上させるように構成されていた。

特開２０１０−１５６３５７号公報

しかしながら、上述した従来のワーク浮上装置は、複数の気体流路を有する一つのベース本体に対してほぼ同じサイズの多孔質フィルムを一つ取り付けた構造であったため、一つの流路に対応する多孔質フィルムが何らかの原因で破損した場合はその他の流路に対応する箇所を含む多孔質フィルム全体を交換する必要がありメンテナンスの際の負担が大きいという問題があった。
また、多孔質フィルムの上面のみが多孔質板と接触している構造であったため、給気・排気を切替えて給気の場合および排気の場合の両方に対応することが困難という問題があった。

そこで、本発明は、前述したような従来技術の問題を解決するものであって、すなわち、本発明の目的は、メンテナンスの際の負担を軽減するとともに一つの気体絞り機構における給気・排気を切替えて給気の場合および排気の場合の両方に対応するワーク浮上装置用通気ユニットおよびこのワーク浮上装置用通気ユニットを備えたワーク浮上装置を提供することである。

本請求項１に係る発明は、ワーク浮上装置のベース面とワークとの間に介在させてワークを浮上させる気体の気体量を気体絞り機構を介して調整するワーク浮上装置用通気ユニットにおいて、前記気体絞り機構が、前記気体量を絞り調整する多孔質フィルムと、該多孔質フィルムの上に積層される第１平板状通気部材と、前記多孔質フィルムの下に積層される第２平板状通気部材とで構成され、前記多孔質フィルムが、前記第１平板状通気部材と第２平板状通気部材とで挟持されていることにより、前述した課題を解決するものである。

本請求項２に係る発明は、請求項１に記載されたワーク浮上装置用通気ユニットの構成に加えて、前記多孔質フィルムが、ポリプロピレン樹脂からなることにより、前述した課題をさらに解決するものである。

本請求項３に係る発明は、請求項１または請求項２に記載されたワーク浮上装置用通気ユニットの構成に加えて、前記第１平板状通気部材および第２平板状通気部材が、不織布からなることにより、前述した課題をさらに解決するものである。

本請求項４に係る発明は、請求項１乃至請求項３のいずれか１つに記載されたワーク浮上装置用通気ユニットの構成に加えて、前記気体絞り機構が、前記多孔質フィルムおよび第１平板状通気部材を取り付ける上部ケーシングと、前記第２平板状通気部材を取り付ける下部ケーシングとを有し、前記上部ケーシングが、該上部ケーシングの上側に配設された凹部と、該凹部の中央に配設されて上下方向に延びた第１穴部とを有し、前記下部ケーシングが、該下部ケーシングの上側に配設されて上部ケーシングの下側から第１穴部に入る凸部と、該凸部の中央に配設されて上下方向に延びた第２穴部とを有し、前記第１平板状通気部材および多孔質フィルムが、前記上部ケーシングの凹部に接着して配設され、前記第２平板状通気部材が、前記下部ケーシングの凸部の上面に接着して配設された状態で、前記下部ケーシングの凸部が、前記上部ケーシングの第１穴部に入っているとともに、前記下部ケーシングが、前記上部ケーシングに接着されていることにより、前述した課題をさらに解決するものである。

本請求項５に係る発明は、ワーク浮上装置のベース面とワークとの間に介在させてワークを浮上させる気体の気体量を気体絞り機構を有する通気部を介して調整するワーク浮上装置において、前記通気部が、請求項１乃至請求項４のいずれか１つに記載されたワーク浮上装置用通気ユニットを複数備え、該複数のワーク浮上装置用通気ユニットのうちの一部が、前記ベース面とワークとの間へ気体を給気する給気用として設けられ、前記複数のワーク浮上装置用通気ユニットのうちの残りが、前記ベース面とワークとの間から気体を排気する排気用として設けられていることにより、前述した課題を解決するものである。

本発明のワーク浮上装置用通気ユニットは、ワーク浮上装置のベース面とワークとの間に介在させる気体の気体量を気体絞り機構を介して調整することにより、ワークを浮上させることができるばかりでなく、以下のような特有の効果を奏することができる。

本請求項１に係る発明のワーク浮上装置用通気ユニットによれば、気体絞り機構が、気体量を絞り調整する多孔質フィルムと、この多孔質フィルムの上に積層される第１平板状通気部材と、多孔質フィルムの下に積層される第２平板状通気部材とで構成され、多孔質フィルムが、第１平板状通気部材と第２平板状通気部材とで挟持されていることにより、複数のワーク浮上装置用通気ユニットのうち一つのワーク浮上装置用通気ユニットが破損した場合はその破損したワーク浮上装置用通気ユニットだけを交換するだけでよく全体を交換しなくてもよいため、メンテナンスの際の負担を軽減することができる。
さらに、第１平板状通気部材および第２平板状通気部材の少なくとも一方に多孔質フィルムが支えられて給気の場合および排気の場合の両方で多孔質フィルムの形状が安定するため、一つの気体絞り機構における給気・排気を切替えて給気の場合および排気の場合の両方に対応することができる。

本請求項２に係る発明のワーク浮上装置用通気ユニットによれば、請求項１に係る発明が奏する効果に加えて、多孔質フィルムが、ポリプロピレン樹脂からなることにより、多孔質フィルムが化学製品であるため、多孔質の金属部材と比べて物性のバラツキを小さくすることができる。
さらに、汎用樹脂の中で強度が高くて比重が最も小さくなるため、耐久性に優れた軽量なワーク浮上装置用通気ユニットを供給できる。

本請求項３に係る発明のワーク浮上装置用通気ユニットによれば、請求項１または請求項２に係る発明が奏する効果に加えて、第１平板状通気部材および第２平板状通気部材が、不織布からなることにより、汎用性および通気性を有するとともにある程度の強度を有するものとなるため、汎用性のある素材で多孔質フィルムの形状を安定させることができる。

本請求項４に係る発明のワーク浮上装置用通気ユニットによれば、請求項１乃至請求項３のいずれか１つに係る発明が奏する効果に加えて、気体絞り機構が、多孔質フィルムおよび第１平板状通気部材を取り付ける上部ケーシングと、第２平板状通気部材を取り付ける下部ケーシングとを有し、上部ケーシングが、上部ケーシングの上側に配設された凹部と、この凹部の中央に配設されて上下方向に延びた第１穴部とを有し、下部ケーシングが、下部ケーシングの上側に配設されて上部ケーシングの下側から第１穴部に入る凸部と、この凸部の中央に配設されて上下方向に延びた第２穴部とを有し、第１平板状通気部材および多孔質フィルムが、上部ケーシングの凹部に接着して配設され、第２平板状通気部材が、下部ケーシングの凸部の上面に接着して配設された状態で、下部ケーシングの凸部が、上部ケーシングの第１穴部に入っているとともに、下部ケーシングが、上部ケーシングに接着されていることにより、第１穴部および第２穴部を通過する気体が必ず多孔質フィルムを通過するため、気体の流量をバラツキ無く安定させることができる。
さらに、上部ケーシングの第１穴部に下部ケーシングの凸部を入れることで第２平板状通気部材が多孔質フィルムに押圧されるため、容易に多孔質フィルムが第１平板状通気部材と第２平板状通気部材との２枚に挟持されている構成とすることができる。
つまり、第２平板状通気部材を多孔質フィルムに直接的に接着しなくてもよい。

本発明のワーク浮上装置は、このワーク浮上装置のベース面とワークとの間に介在させる気体の気体量を気体絞り機構を有する通気部を介して調整することにより、ワークを浮上させることができるばかりでなく、以下のような特有の効果を奏することができる。

本請求項５に係る発明のワーク浮上装置によれば、通気部が、請求項１乃至請求項４のいずれか１つに記載されたワーク浮上装置用通気ユニットを複数備え、この複数のワーク浮上装置用通気ユニットのうちの一部が、ベース面とワークとの間へ気体を給気する給気用として設けられ、複数のワーク浮上装置用通気ユニットのうちの残りが、ベース面とワークとの間から気体を排気する排気用として設けられていることにより、請求項１乃至請求項４のいずれか１つに係る発明が奏する効果と同様の効果に加えて、ワークに対して浮上力と吸引力とが同時に生じることでワークの支持バランスがよくなるため、ワークを所望の浮上レベルで精度よく支持できるだけでなく、さらに、ワークの撓みを小さくして平面度を高めることができる。

本発明の実施例であるワーク浮上装置を示す斜視図。 本発明の実施例であるワーク浮上装置の平面図。 図２の３−３で視たワーク浮上装置の通気ユニットの要部拡大一部断面斜視図。 図２の４−４で視たワーク浮上装置の断面図。 本発明の実施例であるワーク浮上装置の通気ユニットを示す一部断面分解斜視図。

本発明は、ワーク浮上装置のベース面とワークとの間に介在させてワークを浮上させる気体の気体量を気体絞り機構を介して調整するワーク浮上装置用通気ユニット（以下、単に「通気ユニット」という。）において、気体絞り機構が、気体量を絞り調整する多孔質フィルムと、この多孔質フィルムの上に積層される第１平板状通気部材と、多孔質フィルムの下に積層される第２平板状通気部材とで構成され、多孔質フィルムが、第１平板状通気部材と第２平板状通気部材とで挟持されていることにより、メンテナンスの際の負担を軽減するとともに一つの気体絞り機構における給気・排気を切替えて給気の場合および排気の場合の両方に対応するものであれば、その具体的な実施態様は、如何なるものであっても構わない。

さらに、本発明は、ワーク浮上装置のベース面とワークとの間に介在させてワークを浮上させる気体の気体量を気体絞り機構を有する通気部を介して調整するワーク浮上装置において、通気部が、上述の通気ユニットを複数備え、この複数の通気ユニットのうちの一部が、ベース面とワークとの間へ気体を給気する給気用として設けられ、複数の通気ユニットのうちの残りが、ベース面とワークとの間から気体を排気する排気用として設けられていることにより、メンテナンスの際の負担を軽減するとともに一つの気体絞り機構における給気・排気を切替えて給気の場合および排気の場合の両方に対応し、ワークを所望の浮上量で非常に安定した状態、すなわち、変形量を最小とした状態で支持するものであれば、その具体的な実施態様は、如何なるものであっても構わない。

例えば、多孔質フィルムは、化学製品で多孔質のものであって第１平板状通気部材および第２平板状通気部材より通気性能が低いものであれば、如何なるものであっても構わない。
また、第１平板状通気部材および第２平板状通気部材は、平らで通気性を有する部材で多孔質フィルムの形状を安定させるものであれば、如何なるものであっても構わない。
さらに、通気ユニットを介して気体をベース面とワークとの間へ供給するコンプレッサー等および気体をベース面とワークとの間から吸引する真空ポンプ等は、ワーク浮上装置と別体に構成してもよいし一体に構成してもよい。

以下に、本発明の一実施例であるワーク浮上装置１００および通気ユニット１２０について、図１乃至図５に基づいて説明する。
ここで、図１は、本発明の実施例であるワーク浮上装置１００を示す斜視図であり、図２は、本発明の実施例であるワーク浮上装置１００の平面図であり、図３は、図２の３−３で視たワーク浮上装置１００の通気ユニット１２０の要部拡大一部断面斜視図であり、図４は、図２の４−４で視たワーク浮上装置１００の断面図であり、図５は、本発明の実施例であるワーク浮上装置１００の通気ユニット１２０を示す一部断面分解斜視図である。

本発明の一実施例であるワーク浮上装置１００は、図１乃至図４に示すように、ワーク浮上装置１００のベース面１１１とワークＷとの間に介在させてワークＷを浮上させる気体の気体量を気体絞り機構Ａを有する通気部Ｂを介して調整するように構成されている。

さらに、通気部Ｂが、通気ユニット１２０を複数備え、この複数の通気ユニット１２０のうちの一部が、ベース面１１１とワークＷとの間へ気体を給気する給気用通気ユニット１２０Ｓとして設けられ、複数の通気ユニット１２０のうちの残りが、ベース面１１１とワークＷとの間から気体を排気する排気用通気ユニット１２０Ｅとして設けられている。
これにより、ワークＷに対して浮上力と吸引力とが同時に生じることでワークＷの支持バランスがよくなるとともに、複数の通気ユニット１２０のうち一つの通気ユニット１２０が破損した場合はその破損した通気ユニット１２０だけを交換するだけでよく全体を交換しなくてもよい。

具体的に、ワーク浮上装置１００は、ベース１１０と、このベース１１０に取り付けられた通気部Ｂとしての複数の通気ユニット１２０とを備えて、図示しないコンプレッサー等により複数の通気ユニット１２０の一部である給気用通気ユニット１２０Ｓを介してベース面１１１とワークＷとの間へ気体を給気するとともに図示しない真空ポンプ等により複数の通気ユニット１２０の残りである排気用通気ユニット１２０Ｅを介してベース面１１１とワークＷとの間から気体を排気するように設けられている。
ベース１１０上には、格子状に設けられた溝部１１１ａによって仕切られたマスがあり、複数の通気ユニット１２０は、溝部１１１ａによって仕切られたマス内の形成された通気穴１１２の上に一つずつ配設され、一例として給気用通気ユニット１２０Ｓと排気用通気ユニット１２０Ｅとが交互になるように構成されている。

ここで、図３に示すように、通気ユニット１２０の気体絞り機構Ａが、気体量を絞り調整する多孔質フィルム１２１と、この多孔質フィルム１２１の上に積層される第１平板状通気部材１２２と、多孔質フィルム１２１の下に積層される第２平板状通気部材１２３とで構成され、多孔質フィルム１２１が、第１平板状通気部材１２２と第２平板状通気部材１２３とで挟持されている。
これにより、第１平板状通気部材１２２および第２平板状通気部材１２３の少なくとも一方に多孔質フィルム１２１が支えられて給気の場合および排気の場合の両方で多孔質フィルム１２１の形状が安定する。
つまり、給気の場合は、第１平板状通気部材１２２に多孔質フィルム１２１が支えられ、排気の場合は、第２平板状通気部材１２３に多孔質フィルム１２１が支えられて多孔質フィルム１２１の形状が安定する。
そして、一つの通気ユニット１２０が給気用および排気用の両方に対応自在となる。
なお、本実施例では、多孔質フィルム１２１を使用していることにより、単なる孔から気体を給気・排気する構造と比べて、気体の消費流量が少なくなるという利点がある。
参考までに本実施例の多孔質フィルム１２１は、厚み３８μｍ、引張強度（ＭＤ）８Ｎ／ｃｍ、引張強度（ＣＤ）８Ｎ／ｃｍ、引張伸度（ＭＤ）２８０％、引張伸度（ＣＤ）２６０％、透気度２１０ｓｅｃ／１００ｃｃ、透湿度１２，０００ｇ／平方ｍ・２４ｈｒ、耐水圧９８ｋＰａ以上（１．０ｋｇ／平方ｃｍ以上）である。

本実施例では、多孔質フィルム１２１が、ポリプロピレン樹脂からなる。
これにより、多孔質フィルム１２１が化学製品で物性のバラツキが小さくなるとともに、汎用樹脂の中で強度が高くて比重が最も小さくなる。

また、第１平板状通気部材１２２および第２平板状通気部材１２３が、不織布で形成されている。
これにより、汎用性および通気性を有するとともにある程度の強度を有するものとなる。

また、通気ユニット１２０は、詳しくは後述する上部ケーシング１２４および下部ケーシング１２５を備え、上部ケーシング１２４の外周には、断面Ｖ字状溝１２４ｃが配設されている。
本実施例では、一例として断面Ｖ字状溝１２４ｃに接着剤を充填して通気ユニット１２０がベース１１０に取り付けられている。
これにより、ベース１１０側に付着して固化した接着剤と断面Ｖ字状溝１２４ｃとが係合するため、通気ユニット１２０をベース１１０にしっかりと固定することができる。
さらに、ベース１１０と通気ユニット１２０との間から気体が漏れることを防止することができる。

また、通気ユニット１２０を取り外す際は、上部ケーシング１２４または下部ケーシング１２５に外力を加えて、ベース１１０側に付着して固化した接着剤を剥がすことで、通気ユニット１２０を取り外すことができる。
そして、必要に応じて新しい通気ユニット１２０に交換する。
なお、通気ユニット１２０を上方からベース１１０に取り付ける構造となっているため、通気ユニット１２０の上面を形成する第１平板状通気部材１２２の上面と、ベース面１１１とをほぼ同じ高さに構成することができる。
また、本実施例では、通気ユニット１２０を接着剤によりベース１１０に接着して固定する接着式としたが、通気ユニット１２０にオスねじを形成するとともにベース１１０にメスねじを形成して通気ユニット１２０をベース１１０に螺着する所謂、ねじ留め式としてもよいのは言うまでもない。

続いて、本発明の実施例であるワーク浮上装置１００の動作について説明する。
図４に示すように、給気用通気ユニット１２０Ｓでは、気体Ｓａが下方から上方へ向かって送られ、さらにベース面１１１とワークＷとの間へ送られる。
そして、給気用通気ユニット１２０Ｓの上方近傍では、気圧が高くなるため、ワークＷを浮上させる浮上力が生じる。
この際、多孔質フィルム１２１の孔の分布のバラツキが小さいため、各給気用通気ユニット１２０Ｓで気体の流量を高精度で調整することができる。
さらに、各給気用通気ユニット１２０Ｓ間での給気量のバラツキが小さくなるため、ワーク浮上装置１００全体で浮上力を高精度で調整することができる。

他方の排気用通気ユニット１２０Ｅでは、図示しない真空ポンプ等の作用による吸引によって気体Ｅａがベース面１１１とワークＷとの間から吸引され、さらに上方から下方へ向かって吸引される。
そして、排気用通気ユニット１２０Ｅの上方近傍では、気圧が低くなるため、ワークＷを吸引する吸引力が生じる。
ここで、吸引力が、浮上力より小さく設けられていることは言うまでもない。
この際、給気用通気ユニット１２０Ｓの場合と同様、多孔質フィルム１２１の孔の分布のバラツキが小さいため、気体の流量を高精度で調整することができ、さらに、各排気用通気ユニット１２０Ｅ間での排気量のバラツキが小さくなるため、吸引力を高精度で調整することができる。

また、本実施例では、ベース面１１１上における給気用通気ユニット１２０Ｓと排気用通気ユニット１２０Ｅとの間に溝部１１１ａが配設されており、この溝部１１１ａは、ベース１１０の端部まで延設されている。
例えば、給気用通気ユニット１２０Ｓの上方近傍の気圧が、排気用通気ユニット１２０Ｅの上方近傍の気圧と比べて著しく高い場合、給気用通気ユニット１２０Ｓの上方近傍の気体が、排気用通気ユニット１２０Ｅの上方近傍へ流れずに溝部１１１ａに流れ込み、溝部１１１ａを介してベース１１０の端部側の大気へ排出される。

つまり、溝部１１１ａを設けることにより、給気用通気ユニット１２０Ｓの上方近傍の気圧が排気用通気ユニット１２０Ｅの上方近傍の気圧に及ぼす影響を小さくすることができ、条件しだいで、給気用通気ユニット１２０Ｓの上方近傍の気圧が排気用通気ユニット１２０Ｅの上方近傍の気圧に及ぼす影響を無にして給気用通気ユニット１２０Ｓの上方近傍の気圧と排気用通気ユニット１２０Ｅの上方近傍の気圧とをそれぞれ独立させることが可能となる。

以上、説明したように、ワークＷに作用する浮上力と吸引力とを高精度で調整してワークＷの支持バランスがよくなるため、ワークＷを所望の浮上レベルで精度よく支持できるだけでなく、さらに、ワークＷの撓みを小さくして平面度を高めることができる。

続いて、通気ユニット１２０の構造について詳しく説明する。
図５に示すように、通気ユニット１２０の気体絞り機構Ａが、多孔質フィルム１２１および第１平板状通気部材１２２を取り付ける上部ケーシング１２４と、第２平板状通気部材１２３を取り付ける下部ケーシング１２５とを有している。

さらに、上部ケーシング１２４が、この上部ケーシング１２４の上側に配設された凹部１２４ａと、この凹部１２４ａの中央に配設されて上下方向に延びた第１穴部１２４ｂとを有し、下部ケーシング１２５が、この下部ケーシング１２５の上側に配設されて上部ケーシング１２４の下側から第１穴部１２４ｂに入る凸部１２５ａと、この凸部１２５ａの中央に配設されて上下方向に延びた第２穴部１２５ｂとを有している。

また、第１平板状通気部材１２２および多孔質フィルム１２１が、上部ケーシング１２４の凹部１２４ａに接着して配設され、第２平板状通気部材１２３が、下部ケーシング１２５の凸部１２５ａの上面に接着して配設された状態で、下部ケーシング１２５の凸部１２５ａが、上部ケーシング１２４の第１穴部１２４ｂに入っているとともに、下部ケーシング１２５が、上部ケーシング１２４に接着されている。
これにより、第１穴部１２４ｂおよび第２穴部１２５ｂを通過する気体が必ず多孔質フィルム１２１を通過する。
さらに、上部ケーシング１２４の第１穴部１２４ｂに下部ケーシング１２５の凸部１２５ａを入れることで第２平板状通気部材１２３が多孔質フィルム１２１に押圧される。
また、上部ケーシング１２４と下部ケーシング１２５との間が接着剤で埋まるため、上部ケーシング１２４と下部ケーシング１２５との間から気体が漏れることを防止することができる。

このようにして得られた本発明の一実施例である通気ユニット１２０は、気体絞り機構Ａが、気体量を絞り調整する多孔質フィルム１２１と、この多孔質フィルム１２１の上に積層される第１平板状通気部材１２２と、多孔質フィルム１２１の下に積層される第２平板状通気部材１２３とで構成され、多孔質フィルム１２１が、第１平板状通気部材１２２と第２平板状通気部材１２３とで挟持されていることにより、メンテナンスの際の負担を軽減することができるとともに一つの気体絞り機構Ａにおける給気・排気を切替えて給気の場合および排気の場合の両方に対応することができる。

さらに、多孔質フィルム１２１が、ポリプロピレン樹脂からなることにより、多孔質の金属部材と比べて物性のバラツキを小さくすることができるとともに耐久性に優れた軽量な通気ユニット１２０を供給できる。

また、第１平板状通気部材１２２および第２平板状通気部材１２３が、不織布からなることにより、汎用性のある素材で多孔質フィルム１２１の形状を安定させることができる。

さらに、気体絞り機構Ａが、多孔質フィルム１２１および第１平板状通気部材１２２を取り付ける上部ケーシング１２４と、第２平板状通気部材１２３を取り付ける下部ケーシング１２５とを有し、上部ケーシング１２４が、この上部ケーシング１２４の上側に配設された凹部１２４ａと、この凹部１２４ａの中央に配設されて上下方向に延びた第１穴部１２４ｂとを有し、下部ケーシング１２５が、この下部ケーシング１２５の上側に配設されて上部ケーシング１２４の下側から第１穴部１２４ｂに入る凸部１２５ａと、この凸部１２５ａの中央に配設されて上下方向に延びた第２穴部１２５ｂとを有し、第１平板状通気部材１２２および多孔質フィルム１２１が、上部ケーシング１２４の凹部１２４ａに接着して配設され、第２平板状通気部材１２３が、下部ケーシング１２５の凸部１２５ａの上面に接着して配設された状態で、下部ケーシング１２５の凸部１２５ａが、上部ケーシング１２４の第１穴部１２４ｂに入っているとともに、下部ケーシング１２５が、上部ケーシング１２４に接着されていることにより、気体の流量をバラツキ無く安定させることができるとともに、容易に多孔質フィルム１２１が第１平板状通気部材１２２と第２平板状通気部材１２３との２枚に挟持されている構成とすることができる。

また、このようにして得られた本発明の一実施例であるワーク浮上装置１００は、通気部Ｂが、上述した通気ユニット１２０を複数備え、この複数の通気ユニット１２０のうちの一部が、ベース面１１１とワークＷとの間へ気体を給気する給気用通気ユニット１２０Ｓとして設けられ、複数の通気ユニット１２０のうちの残りが、ベース面１１１とワークＷとの間から気体を排気する排気用通気ユニット１２０Ｅとして設けられていることにより、上述した効果と同様の効果に加えて、ワークＷを所望の浮上量で非常に安定した状態、すなわち、変形量を最小とした状態で支持することができるなど、その効果は甚大である。

１００ ・・・ ワーク浮上装置
１１０ ・・・ ベース
１１１ ・・・ ベース面
１１１ａ ・・・ 溝部
１１２ ・・・ 通気穴
１２０ ・・・ ワーク浮上装置用通気ユニット
１２０Ｅ ・・・ 排気用通気ユニット
１２０Ｓ ・・・ 給気用通気ユニット
１２１ ・・・ 多孔質フィルム
１２２ ・・・ 第１平板状通気部材
１２３ ・・・ 第２平板状通気部材
１２４ ・・・ 上部ケーシング
１２４ａ ・・・ 凹部
１２４ｂ ・・・ 第１穴部
１２４ｃ ・・・ 断面Ｖ字状溝
１２５ ・・・ 下部ケーシング
１２５ａ ・・・ 凸部
１２５ｂ ・・・ 第２穴部
Ａ ・・・ 気体絞り機構
Ｂ ・・・ 通気部
Ｅａ ・・・ 気体（排気）
Ｓａ ・・・ 気体（給気）
Ｗ ・・・ ワーク

Claims (5)

1. ワーク浮上装置のベース面とワークとの間に介在させてワークを浮上させる気体の気体量を気体絞り機構を介して調整するワーク浮上装置用通気ユニットにおいて、
   前記気体絞り機構が、前記気体量を絞り調整する多孔質フィルムと、該多孔質フィルムの上に積層される第１平板状通気部材と、前記多孔質フィルムの下に積層される第２平板状通気部材とで構成され、前記多孔質フィルムが、前記第１平板状通気部材と第２平板状通気部材とで挟持されていることを特徴とするワーク浮上装置用通気ユニット。
2. 前記多孔質フィルムが、ポリプロピレン樹脂からなることを特徴とする請求項１に記載のワーク浮上装置用通気ユニット。
3. 前記第１平板状通気部材および第２平板状通気部材が、不織布からなることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のワーク浮上装置用通気ユニット。
4. 前記気体絞り機構が、前記多孔質フィルムおよび第１平板状通気部材を取り付ける上部ケーシングと、前記第２平板状通気部材を取り付ける下部ケーシングとを有し、
   前記上部ケーシングが、該上部ケーシングの上側に配設された凹部と、該凹部の中央に配設されて上下方向に延びた第１穴部とを有し、
   前記下部ケーシングが、該下部ケーシングの上側に配設されて上部ケーシングの下側から第１穴部に入る凸部と、該凸部の中央に配設されて上下方向に延びた第２穴部とを有し、
   前記第１平板状通気部材および多孔質フィルムが、前記上部ケーシングの凹部に接着して配設され、前記第２平板状通気部材が、前記下部ケーシングの凸部の上面に接着して配設された状態で、前記下部ケーシングの凸部が、前記上部ケーシングの第１穴部に入っているとともに、前記下部ケーシングが、前記上部ケーシングに接着されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１つに記載のワーク浮上装置用通気ユニット。
5. ワーク浮上装置のベース面とワークとの間に介在させてワークを浮上させる気体の気体量を気体絞り機構を有する通気部を介して調整するワーク浮上装置において、
   前記通気部が、請求項１乃至請求項４のいずれか１つに記載されたワーク浮上装置用通気ユニットを複数備え、
   該複数のワーク浮上装置用通気ユニットのうちの一部が、前記ベース面とワークとの間へ気体を給気する給気用として設けられ、前記複数のワーク浮上装置用通気ユニットのうちの残りが、前記ベース面とワークとの間から気体を排気する排気用として設けられていることを特徴とするワーク浮上装置。

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