JP2013243326A - プローブ装置及びプローブ装置用ウエハ載置台 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プローブカード20を着脱自在に保持するカードクランプ機構13と、半導体ウエハWを吸着保持し、プローブに、半導体ウエハWに形成された電極を接触させるウエハ載置台10と、を具備したプローブ装置1であって、ウエハ載置台10は、外周縁部裏面側に突出する環状部が形成され、環状部以外の部分が環状部より板厚の薄い薄厚部とされた半導体ウエハWを載置可能とするように、薄厚部が載置される平面部と、平面部の外周縁部に形成され環状部が配置される段差部とを有し、平面部には同心状に円形の複数の真空チャック用溝が形成され、真空チャック用溝の少なくとも一部には、少なくとも90°以上離間した複数の部位から真空引きする複数の真空路が接続されている。
【選択図】図1
Description
Claims (6)
- 多数のプローブを有するプローブカードを、着脱自在に保持するカードクランプ機構と、
半導体ウエハを吸着保持し、駆動機構を駆動することによって前記カードクランプ機構に固定された前記プローブカードの前記プローブに、前記半導体ウエハに形成された電極を接触させるウエハ載置台と、
を具備したプローブ装置であって、
前記ウエハ載置台は、外周縁部裏面側に突出する環状部が形成され、前記環状部以外の部分が前記環状部より板厚の薄い薄厚部とされた前記半導体ウエハを載置可能とするように、前記薄厚部が載置される平面部と、前記平面部の外周縁部に形成され前記環状部が配置される段差部とを有し、
前記平面部には同心状に円形の複数の真空チャック用溝が形成され、前記真空チャック用溝の少なくとも一部には、少なくとも90°以上離間した複数の部位から真空引きする複数の真空路が接続されている
ことを特徴とするプローブ装置。 - 請求項1記載のプローブ装置であって、
複数の前記真空チャック用溝のうち、内周側の前記真空チャック用溝には1つの真空路が接続され、外周側の前記真空チャック用溝には複数の真空路が接続されていることを特徴とするプローブ装置。 - 請求項1又は2記載のプローブ装置であって、
複数の前記真空チャック用溝のうち、最外周部に形成された2本の前記真空チャック用溝は、溝間の距離が他の部位より近接するように配設されていることを特徴とするプローブ装置。 - 半導体ウエハを吸着保持し、駆動機構を駆動することによってプローブカードのプローブに、前記半導体ウエハに形成された電極を接触させるプローブ装置用ウエハ載置台であって、
外周縁部裏面側に突出する環状部が形成され、前記環状部以外の部分が前記環状部より板厚の薄い薄厚部とされた前記半導体ウエハを載置可能とするように、前記薄厚部が載置される平面部と、前記平面部の外周縁部に形成され前記環状部が配置される段差部とを有し、
前記平面部には同心状に円形の複数の真空チャック用溝が形成され、前記真空チャック用溝の少なくとも一部には、少なくとも90°以上離間した複数の部位から真空引きする複数の真空路が接続されている
ことを特徴とするプローブ装置用ウエハ載置台。 - 請求項4記載のプローブ装置用ウエハ載置台であって、
複数の前記真空チャック用溝のうち、内周側の前記真空チャック用溝には1つの真空路が接続され、外周側の前記真空チャック用溝には複数の真空路が接続されていることを特徴とするプローブ装置用ウエハ載置台。 - 請求項4又は5記載のプローブ装置用ウエハ載置台であって、
複数の前記真空チャック用溝のうち、最外周部に形成された2本の前記真空チャック用溝は、溝間の距離が他の部位より近接するように配設されていることを特徴とするプローブ装置用ウエハ載置台。
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