JP2013235901A - 基板処理方法及び記憶媒体 - Google Patents
基板処理方法及び記憶媒体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013235901A JP2013235901A JP2012106307A JP2012106307A JP2013235901A JP 2013235901 A JP2013235901 A JP 2013235901A JP 2012106307 A JP2012106307 A JP 2012106307A JP 2012106307 A JP2012106307 A JP 2012106307A JP 2013235901 A JP2013235901 A JP 2013235901A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solvent
- substrate
- wafer
- resist film
- resist
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
【解決手段】
レジスト膜が形成され、第1の加熱処理が行われたウエハWを露光処理した後、レジスト膜中の酸を拡散するための第2の加熱処理工程が終了するまでの間に、レジスト膜に溶剤蒸気または溶剤ミストを供給する。このため溶剤がレジスト膜に浸透し、酸の拡散が促進され、現像時にパターンが良好なものとなる。溶剤は、例えば第2の加熱処理を行う加熱モジュールの処理容器内に供給するようにしてもよく、溶剤の供給は加熱処理を行いながら実施してもよい。
【選択図】図8
Description
基板に化学増幅型のレジスト膜を形成する工程と、
次いで、基板を加熱処理する第1の加熱処理工程と、
この工程の後、基板に対して露光処理を行う工程と、
しかる後、レジスト膜中の酸を拡散させるために基板を加熱処理する第2の加熱処理工程と、
その後、基板に対して現像処理を行う工程と、
前記露光処理を行う工程の後であって、前記第2の加熱処理工程が終了するまでの間に行われ、前記酸の拡散を促進させるために、前記レジスト膜に溶剤蒸気または溶剤ミストを供給して溶剤をレジスト膜に浸透させる溶剤供給工程と、を含むことを特徴とする。
レジスト膜を成膜する基板処理方法を行う基板処理に用いられるコンピュータプログラムが記録された記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、上述の基板処理方法を実施するためのものであることを特徴とする。
本発明の基板処理方法を実施する、塗布装置に露光ステーションを接続したレジストパターン形成装置について説明する。図1に示すように、塗布装置に露光ステーションを接続したレジストパターン形成装置は、キャリアブロック8a、処理ブロック8b、インターフェイスブロック8cを備え、インターフェイスブロック8cには露光ステーション8dが接続されている。キャリアブロック8aは、載置部80上に載置された密閉型のキャリア81から第1受け渡しアーム82がウエハWを取り出して、当該ブロックに隣接配置された処理ブロック8bに受け渡すと共に、第1受け渡しアーム82によって処理ブロック8bにて処理された処理済みのウエハWを受け取りキャリア81に戻すように構成されている。
PEBモジュール10は、図5に示すように外装体をなす筐体2と、筐体2内に設けられた、上部材及び下部材からなる処理容器と、この処理容器内と外部からの基板の受け渡し位置との間で移動機構により移動する冷却アームと、を備えている。処理容器の上部材は、冷却アームが進入できる上方位置と、気密な処理雰囲気を形成する下方位置との間で昇降機構により昇降する。上部材の中央部には溶剤の気化機構が設けられている。図6には、処理容器に関連する部位の詳細構造が示されている。
まずキャリアブロック8aから(図3参照)ウエハWを第1棚ユニット84の受け渡しユニットTRS1に第1受け渡しアーム82によって順次搬送し、このウエハWを第1ブロックB1に搬入し、ボトム反射防止膜の塗布をし(S101)、続いてプリベークを行う(S102)。そしてウエハWを第1受け渡しアーム82により、例えば第3ブロックB3に対応する受け渡しユニットTRS3に受け渡し、第3ブロックB3に搬入し、レジストの塗布を行う(S103)。レジストが塗布されたウエハWは第1の加熱処理であるPAB(Post-application Bake)が行われる(S104)。このPABを行う目的は、レジスト膜中の溶剤成分を揮発させ、レジスト膜を乾燥させること、及びレジストを改質させることである。その後ウエハWは、搬送アームA3により第1棚ユニット84の受け渡しユニットTRS3’に受け渡される。
[第2の実施形態]
第2の実施形態では、露光処理後の溶剤供給処理をPEBモジュールにて行う代わりに、PEBモジュールとは別の専用の溶剤供給モジュールにて行うようにしている。それ以外については第1の実施形態と同様の装置を用いることができる。溶剤供給モジュールは、図10に示すように、外装体内の基台74の上に温調プレート71を配置し、温調プレート71の周囲の雰囲気を気密な処理雰囲気とするために昇降機構79aにより昇降自在な蓋体76が設けられている。蓋体76は、周縁の下面がシール部材を介して温調プレートの周囲の基台74の上面に押し付けられる位置と、ウエハWを受け入れるために前記雰囲気を開放する位置との間で昇降する。蓋体76の上面中央には、ミスト供給口62が設けられ、このミスト供給口は、配管61を介して気化器M1に接続されている。
A. 評価試験
(評価試験1)
第1の実施形態にて用いたレジストパターン形成装置を用いて、ウエハ上に反射防止膜及びArF液浸用のレジスト膜を塗布し、その後第1の実施形態における溶剤供給工程を除いて、一連の処理を行い、レジストパターンを形成した。なお、露光装置としては液浸露光装置を用いている。
評価試験1において、レジスト塗布の後、第1の加熱処理であるPABを行わずに、速やかに露光処理を行った他は、評価試験1と同様の処理を行った。なお、レジスト塗布時のレジスト液膜は、評価試験1におけるレジスト液膜よりも5nm厚く形成した。
評価試験1において、レジスト塗布の後、第1の加熱処理であるPABを行うことに代えて、レジスト膜を自然乾燥する処理を行った他は、評価試験1と同様の処理を行った。
B. 比較試験
(実施例1)
第1の実施形態にて用いたレジストパターン形成装置を用いて、ウエハ上に反射防止膜及びArF液浸用のレジスト膜を塗布し、その後第1の実施形態と同様にして一連の処理を行い、レジストパターンを形成した。なお、露光装置としは液浸露光装置を用いている。また溶剤供給工程は、60秒間行った。
溶剤供給工程を行わないことの他は、実施例1と同様にしてレジストパターンを形成した。
10 PEBモジュール
2 筐体
23 載置台
3 気化部
51 冷却アーム
61 ノズル
62 噴射口
8b 処理ブロック
8d 露光装置
88 現像ユニット
U 熱系モジュール
Claims (5)
- 基板に化学増幅型のレジスト膜を形成する工程と、
次いで、基板を加熱処理する第1の加熱処理工程と、
この工程の後、基板に対して露光処理を行う工程と、
しかる後、レジスト膜中の酸を拡散させるために基板を加熱処理する第2の加熱処理工程と、
その後、基板に対して現像処理を行う工程と、
前記露光処理を行う工程の後であって、前記第2の加熱処理工程が終了するまでの間に行われ、前記酸の拡散を促進させるために、前記レジスト膜に溶剤蒸気または溶剤ミストを供給して溶剤をレジスト膜に浸透させる溶剤供給工程と、を含むことを特徴とする基板処理方法。 - 前記溶剤供給工程が行われる基板は、レジスト膜が最上層に位置することを特徴とする、請求項1に記載の基板処理方法。
- 前記第2の加熱処理は、処理容器内に基板を載置して行われ、
前記溶剤蒸気または溶剤ミストは、前記処理容器内に供給されることを特徴とする請求項1または請求項2のいずれか一項に記載の基板処理方法。 - 前記第2の加熱処理は、処理容器内に基板を載置して行われ、
前記溶剤供給工程は、前記処理容器とは別の容器内にて行われることを特徴とする請求項1または請求項2のいずれか一項に記載の基板処理方法。 - 請求項1ないし4のいずれか一項に記載された基板処理方法を実施するためのコンピュータプログラムを格納した記憶媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012106307A JP5807611B2 (ja) | 2012-05-07 | 2012-05-07 | 基板処理方法及び記憶媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012106307A JP5807611B2 (ja) | 2012-05-07 | 2012-05-07 | 基板処理方法及び記憶媒体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013235901A true JP2013235901A (ja) | 2013-11-21 |
JP5807611B2 JP5807611B2 (ja) | 2015-11-10 |
Family
ID=49761798
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012106307A Active JP5807611B2 (ja) | 2012-05-07 | 2012-05-07 | 基板処理方法及び記憶媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5807611B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20160144923A (ko) * | 2015-06-09 | 2016-12-19 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 패턴 형성 방법 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61272931A (ja) * | 1985-05-29 | 1986-12-03 | Fujitsu Ltd | パタ−ン形成方法 |
JPH03261955A (ja) * | 1990-03-13 | 1991-11-21 | Fujitsu Ltd | 現像方法 |
JP2002043215A (ja) * | 2000-07-28 | 2002-02-08 | Sharp Corp | レジストパターン形成方法および半導体製造装置および半導体装置および携帯情報端末 |
JP2003142390A (ja) * | 2001-11-07 | 2003-05-16 | Sony Corp | レジスト処理方法および半導体装置の製造方法 |
JP2010191409A (ja) * | 2009-01-23 | 2010-09-02 | Jsr Corp | 酸転写用組成物、酸転写用膜及びパターン形成方法 |
JP2011061142A (ja) * | 2009-09-14 | 2011-03-24 | Tokyo Electron Ltd | レジスト塗布現像装置およびレジスト塗布現像方法 |
-
2012
- 2012-05-07 JP JP2012106307A patent/JP5807611B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61272931A (ja) * | 1985-05-29 | 1986-12-03 | Fujitsu Ltd | パタ−ン形成方法 |
JPH03261955A (ja) * | 1990-03-13 | 1991-11-21 | Fujitsu Ltd | 現像方法 |
JP2002043215A (ja) * | 2000-07-28 | 2002-02-08 | Sharp Corp | レジストパターン形成方法および半導体製造装置および半導体装置および携帯情報端末 |
JP2003142390A (ja) * | 2001-11-07 | 2003-05-16 | Sony Corp | レジスト処理方法および半導体装置の製造方法 |
JP2010191409A (ja) * | 2009-01-23 | 2010-09-02 | Jsr Corp | 酸転写用組成物、酸転写用膜及びパターン形成方法 |
JP2011061142A (ja) * | 2009-09-14 | 2011-03-24 | Tokyo Electron Ltd | レジスト塗布現像装置およびレジスト塗布現像方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20160144923A (ko) * | 2015-06-09 | 2016-12-19 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 패턴 형성 방법 |
JP2017003737A (ja) * | 2015-06-09 | 2017-01-05 | 信越化学工業株式会社 | パターン形成方法 |
KR101988086B1 (ko) | 2015-06-09 | 2019-06-11 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 패턴 형성 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5807611B2 (ja) | 2015-11-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102640367B1 (ko) | 기판 처리 방법 및 열처리 장치 | |
JP4830523B2 (ja) | 塗布、現像装置、塗布、現像方法及びその方法を実施するためのコンピュータプログラム。 | |
TWI625788B (zh) | 基板處理方法、記憶媒體及加熱裝置 | |
JP5575706B2 (ja) | 疎水化処理装置、疎水化処理方法、プログラム及びコンピュータ記録媒体。 | |
JP5067432B2 (ja) | 塗布、現像装置、現像方法及び記憶媒体 | |
JP5099054B2 (ja) | 基板処理装置、基板処理方法、塗布、現像装置、塗布、現像方法及び記憶媒体 | |
KR102016769B1 (ko) | 성막 방법, 컴퓨터 기억 매체 및 성막 장치 | |
KR20120026497A (ko) | 임프린트 시스템, 임프린트 방법 및 컴퓨터 기억 매체 | |
JP4271095B2 (ja) | 基板加熱装置及び基板加熱方法 | |
US20100232781A1 (en) | Coating and developing apparatus, coating and developing method, and storage medium | |
KR20070056995A (ko) | 도포ㆍ현상 장치 및 도포ㆍ현상 방법 | |
JP2014057047A (ja) | 基板処理装置及びガス供給装置 | |
JP2012009831A (ja) | インプリントシステム、インプリント方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | |
JP5673523B2 (ja) | 基板処理方法、基板処理装置及び記憶媒体 | |
TWI642090B (zh) | 基板處理方法、基板處理系統及基板處理裝置 | |
JP5807611B2 (ja) | 基板処理方法及び記憶媒体 | |
JP4624936B2 (ja) | 基板の処理方法及びプログラム | |
JP3831310B2 (ja) | 処理装置 | |
JP4678740B2 (ja) | 塗布処理方法及び塗布処理装置 | |
JP5415881B2 (ja) | 疎水化処理装置、疎水化処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | |
JP4807749B2 (ja) | 露光・現像処理方法 | |
WO2023276723A1 (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法 | |
JP7158549B2 (ja) | 基板処理方法、基板処理システム及びコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 | |
US20240120217A1 (en) | Substrate treatment method, substrate treatment apparatus, and computer storage medium | |
JP7432770B2 (ja) | 熱処理装置、熱処理方法及び記憶媒体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140623 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150324 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150522 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150811 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150824 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5807611 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |