JP2013235801A - 電子顕微鏡用試料、電子顕微鏡画像形成方法及び電子顕微鏡装置 - Google Patents
電子顕微鏡用試料、電子顕微鏡画像形成方法及び電子顕微鏡装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013235801A JP2013235801A JP2012109268A JP2012109268A JP2013235801A JP 2013235801 A JP2013235801 A JP 2013235801A JP 2012109268 A JP2012109268 A JP 2012109268A JP 2012109268 A JP2012109268 A JP 2012109268A JP 2013235801 A JP2013235801 A JP 2013235801A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- region
- electron microscope
- marker
- rotation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【解決手段】試料を回転させて透過電子顕微鏡画像の回転像シリーズを撮影して、試料の三次元像を得る電子顕微鏡画像形成方法であって、試料は、観察対象が存在する観察領域と独立させて、マーカー領域を設けた構造であり、マーカー領域には複数のマーカーが試料回転軸方向の位置が異なるように並んで配置されている。マーカー領域のマーカーを用いて、試料の回転角度、及び撮影視野の中心軸に対する試料の回転軸の傾斜角度と偏心角度、並びに観察領域の平行移動量を算出して、観察領域の三次元再構築処理を行って三次元像を形成する。
【選択図】図1
Description
針状試料の場合について図1を参照して説明する。本実施の形態の針状試料10は、観察対象物4が存在する観察領域1と、観察領域1と独立させて設けたマーカー領域2を有する。図中、Bは試料の回転軸を示す。マーカー領域2には、複数のマーカー21が、針状試料の外周に亘って、ドット形状で、ドットの整列が螺旋状になるように付着されている。即ち、複数のマーカーが試料の回転軸方向及び回転方向において異なる位置に並んで配置されている。全てマーカの位置が、試料回転軸方向及び回転方向において異なる位置に並んでいることが好ましい。複数のマーカーは、試料の回転方向において回転角180度を超える範囲に亘って配置されていることが望ましい。図1は、複数のマーカー21が螺旋状に並んでいる様子を透過して見えるように模式的に示したものである。マーカーの位置は、試料の回転方向において回転角180度を超える範囲に亘って配置されていれば、螺旋状のように回転角の小さい(または大きい)順番に回転軸方向に並んでいなくてもよい。
試料が板状又は薄膜形状の場合について図2を参照して説明する。本実施の形態では、第1の実施の形態とは試料形状が異なるが、形状以外は第1の実施の形態と同様である。本実施の形態の薄膜形状試料20は、観察対象物4が存在する観察領域1と、観察領域1と独立させて設けたマーカー領域2を有する。図中、Bは試料の回転軸を示す。マーカー領域2には、複数のマーカー21が存在する。マーカー領域において、複数のマーカーは、試料回転軸の方向の位置が異なるように配置されている。複数のマーカーは試料回転軸上以外の位置に配置されているが、試料回転軸上にもマーカーが設けられていてもよい。マーカーの形状はドット形状で、ドットが試料回転機構の回転軸と平行でかつマーカー領域の中心を通る特定の軸(試料の回転軸)からの距離ができるだけ離れた位置に並んで配置されていることが好ましい。図2は、複数のマーカー21が並んでいる様子を透過して見えるように模式的に示したものである。
2 マーカー領域
3 コントラストの濃い領域
4 観察対象物
6 撮影視野
10 針状試料
11 マーカー
20 薄膜形状試料
21 マーカー
Claims (11)
- 試料を回転させて透過電子顕微鏡画像の回転像シリーズを撮影して、試料の三次元像を得る電子顕微鏡画像形成方法であって、
前記試料は、観察対象が存在する観察領域と独立させて、マーカー領域を設けた試料であり、試料回転機構の回転軸と平行で前記観察領域と前記マーカー領域とを貫く軸を、前記試料の回転軸とし、前記マーカー領域において、複数のマーカーを前記試料回転軸方向の位置が異なるように位置制御して配置し、前記マーカー領域のマーカーを用いて、前記試料の回転角度、及び撮影視野の中心軸に対する前記試料の回転軸の傾斜角度と偏心角度、並びに前記観察領域の平行移動量を算出して、前記観察領域の三次元再構築処理を行うことを特徴とする電子顕微鏡画像形成方法。 - 前記試料が針状形状または円柱状形状であり、前記マーカー領域において、前記複数のマーカーが前記試料回転軸方向の位置及び前記試料回転軸を中心をする回転方向の位置が異なるように並んで配置されていることを特徴とする請求項1記載の電子顕微鏡画像形成方法。
- 前記試料は、板状であり、同一板上に、観察対象が存在する観察領域と独立させて、マーカー領域を設けた試料であり、板面内の観察領域とマーカー領域とを貫く軸を試料の回転軸とし、前記マーカー領域において、前記複数のマーカーが、前記試料回転軸上以外に配置され、かつ前記回転軸方向の位置が異なるように並んで配置されていることを特徴とする請求項1記載の電子顕微鏡画像形成方法。
- 前記観察領域にも、1つ以上のマーカーを配置することを特徴とする請求項1記載の電子顕微鏡画像形成方法。
- 試料回転機構を備えた電子顕微鏡を用い、前記電子顕微鏡内に設置した前記試料の、前記マーカー領域と前記観察領域とを個別の画像として撮影するものであり、個別撮影と、前記試料を所定角度で回転させる試料回転操作とを繰り返し行い、回転像シリーズを撮影することを特徴とする請求項4記載の電子顕微鏡画像形成方法。
- 試料回転機構を備えた電子顕微鏡を用い、前記電子顕微鏡内に設置した前記試料の、前記マーカー領域と前記観察領域の両方の領域が含まれる画像を撮影するものであり、該画像の撮影と、前記試料を所定角度で回転させる試料回転操作とを繰り返し行い、回転像シリーズを撮影することを特徴とする請求項1記載の電子顕微鏡画像形成方法。
- 試料の三次元像を形成するための電子顕微鏡用の試料であって、
前記試料は、観察対象が存在する観察領域と独立させて、マーカー領域を設けた試料であり、前記マーカー領域には、前記試料回転軸方向の位置が異なるように1〜20nmの分解能で位置制御して配置された複数のマーカーが存在することを特徴とする電子顕微鏡用試料。 - 前記試料が針状形状または円柱状形状であり、前記マーカー領域において、前記複数のマーカーが、前記試料回転軸方向の位置及び前記試料回転軸を中心をする回転方向の位置が異なるように並んで配置されていることを特徴とする請求項7記載の電子顕微鏡用試料。
- 前記試料は、板状であり、同一板上に、前記観察対象が存在する前記観察領域と独立させて前記マーカー領域を設けた試料であり、板面内の前記観察領域と前記マーカー領域とを貫く軸を、前記試料の回転軸とし、前記マーカー領域に、前記複数のマーカーが前記試料回転軸上以外にも配置されていることを特徴とする請求項7記載の電子顕微鏡用試料。
- 前記観察領域にも、1つ以上のマーカーを配置することを特徴とする請求項7乃至9のいずれか1項記載の電子顕微鏡用試料。
- 試料を回転させて透過電子顕微鏡画像の回転像シリーズを撮影して、試料の三次元像を再構築する電子顕微鏡装置であって、
観察対象が存在する観察領域と独立して位置するマーカー領域に、複数のマーカーが試料回転軸方向の位置が異なるように並んで配置された試料を、前記マーカー領域と前記観察領域を双方含む画像又は個別の画像として撮影し、該撮影と、前記試料を所定角度で回転させる試料回転操作とを繰り返し行うことにより、回転像シリーズを得る装置と、
前記マーカー領域の複数のマーカーを用いて、前記試料の回転角度、及び撮影視野の中心軸に対する前記試料の回転軸の傾斜角度と偏心角度、並びに前記観察領域の平行移動量を算出して、算出した値を用いて前記観察領域の三次元再構築処理を行う処理装置とを備えることを特徴とする電子顕微鏡装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012109268A JP5939627B2 (ja) | 2012-05-11 | 2012-05-11 | 電子顕微鏡用試料、電子顕微鏡画像形成方法及び電子顕微鏡装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012109268A JP5939627B2 (ja) | 2012-05-11 | 2012-05-11 | 電子顕微鏡用試料、電子顕微鏡画像形成方法及び電子顕微鏡装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013235801A true JP2013235801A (ja) | 2013-11-21 |
JP5939627B2 JP5939627B2 (ja) | 2016-06-22 |
Family
ID=49761754
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012109268A Expired - Fee Related JP5939627B2 (ja) | 2012-05-11 | 2012-05-11 | 電子顕微鏡用試料、電子顕微鏡画像形成方法及び電子顕微鏡装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5939627B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105810543A (zh) * | 2016-05-07 | 2016-07-27 | 南京理工大学 | 一种用于观察三维原子探针试样的透射电镜样品台 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002270126A (ja) * | 2001-03-06 | 2002-09-20 | Topcon Corp | 電子線装置、電子線装置用データ処理装置、電子線装置のステレオデータ作成方法 |
JP2009277536A (ja) * | 2008-05-15 | 2009-11-26 | Sii Nanotechnology Inc | 複合荷電粒子ビーム装置を用いた断面画像取得方法および複合荷電粒子ビーム装置 |
JP2012002552A (ja) * | 2010-06-15 | 2012-01-05 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 電子顕微鏡用試料作製方法 |
-
2012
- 2012-05-11 JP JP2012109268A patent/JP5939627B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002270126A (ja) * | 2001-03-06 | 2002-09-20 | Topcon Corp | 電子線装置、電子線装置用データ処理装置、電子線装置のステレオデータ作成方法 |
JP2009277536A (ja) * | 2008-05-15 | 2009-11-26 | Sii Nanotechnology Inc | 複合荷電粒子ビーム装置を用いた断面画像取得方法および複合荷電粒子ビーム装置 |
JP2012002552A (ja) * | 2010-06-15 | 2012-01-05 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 電子顕微鏡用試料作製方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105810543A (zh) * | 2016-05-07 | 2016-07-27 | 南京理工大学 | 一种用于观察三维原子探针试样的透射电镜样品台 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5939627B2 (ja) | 2016-06-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Holler et al. | X-ray ptychographic computed tomography at 16 nm isotropic 3D resolution | |
JP5321918B2 (ja) | 電子顕微鏡用試料作製方法 | |
US7186023B2 (en) | Slice image and/or dimensional image creating method | |
JP5048596B2 (ja) | 試料台,試料回転ホルダ,試料台作製方法,及び試料分析方法 | |
CN104897696B (zh) | 用于关联原子分辨率层析成像分析的可延展薄片的制作 | |
US8345817B2 (en) | Apparatus and method for non-rotational computer tomography | |
JP6393448B2 (ja) | Tem/stemトモグラフィ連続傾斜の取得および位置合せのための基準マーク形成 | |
CN104224216B (zh) | 用于电子断层成像术的方法 | |
TW201015057A (en) | Method for manufacturing an electron tomography specimen with fiducial markers and method for constructing 3D image | |
KR20170005781A (ko) | 마이크로칩 x선 단층촬영 시스템 및 이를 이용한 검사방법 | |
CN105277576B (zh) | Tem样品安放布局 | |
JP2005019218A (ja) | 電子顕微鏡装置 | |
JP2006012795A (ja) | 透過型電子顕微鏡 | |
JP5939627B2 (ja) | 電子顕微鏡用試料、電子顕微鏡画像形成方法及び電子顕微鏡装置 | |
JP4537090B2 (ja) | トモシンセシス装置 | |
JP3304681B2 (ja) | 電子顕微鏡及び3次元原子配列観察方法 | |
JP2006078251A (ja) | 木材又は木造文化財の年輪幅又は密度測定装置並びに測定方法 | |
JP2011065912A (ja) | 電子顕微鏡における三次元像構築画像処理方法 | |
US10784078B2 (en) | Electron diffraction imaging system for determining molecular structure and conformation | |
JP2022010384A (ja) | X線ct装置 | |
JP2002286660A (ja) | X線回折を用いた結晶の観察方法及びその観察装置 | |
JPH03209117A (ja) | X線ct装置 | |
WO2021125010A1 (ja) | 立体像観察方法及びこれに用いる試料グリッド | |
JP5492115B2 (ja) | 電子顕微鏡用針状試料の作製方法 | |
Kandel | Determination of current density distribution in an electron beam |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20141211 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20151007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20151013 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151214 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160510 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160512 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5939627 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |