JP2013233793A - スクライビングホイール及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】円板状のスクライビングホイール基材の中心を回転軸とし、円周部分に断面V字形の刃先を形成し、刃先にダイヤモンド膜を形成する。このときダイヤモンドの核を付着し化学気相成長法により成長させることにより膜厚10〜30μmの単層のダイヤモンド膜とする。ダイヤモンドの粒径は2〜10μmの平均粒径となるようにする。その後稜線部分を研磨し、先端を鋭くなるように修正する。これによって稜線部分の粗さを細かくすることができる。このスクライビングホイールを用いて脆性材料基板をスクライブし分断したときに、分断された基材の端面精度が増し、端面強度を向上させることができる。
【選択図】図2B
Description
A:双晶粒界を結晶粒界とし、平均(算術平均)を算出する場合
B:双晶粒界を結晶粒界とし、面積比による加重平均を算出する場合
C:双晶粒界を結晶粒界とせず、平均(算術平均)を算出する場合
D:双晶粒界を結晶粒界とせず、面積比による加重平均を算出する場合
によって大きく測定結果が異なる。このとき粒径として得られた結果は、解析方法によりほぼA<C<B<Dとなっているが、いずれの場合であっても2.5μm以下であった。この結果からEBSD法によると、膜表面で粒径を観察した場合より小さな数値が算出される。これは、おそらくダイヤモンド結晶が成長して膜を形成する際に、成長に従って粒径が大きくなっていくことから、膜表面には小さな結晶が現れないためと考えられる。
11,31 円板
12,32 貫通孔
13,33 研磨面
14,34 ダイヤモンド膜
16 円周面
35 溝
Claims (4)
- 円周部に沿って稜線が形成され、前記稜線と前記稜線の両側の傾斜面からなる刃先を有するスクライビングホイール基材と、
前記スクライビングホイール基材の刃先表面にダイヤモンド粒子の平均粒径2〜10μmのダイヤモンド膜を成長させることによって形成された単層のダイヤモンド膜と、
前記ダイヤモンド膜の稜線を含む帯状の領域を研磨し、稜線付近の膜厚を5〜25μmとした研磨領域と、を具備するスクライビングホイール。 - 前記研磨領域の稜線部分を所定間隔で切り欠いた溝を有し、その間を突起とした請求項1記載のスクライビングホイール。
- 円板の円周部に沿って稜線が形成され、前記稜線と前記稜線の両側の傾斜面からなる刃先を有するスクライビングホイールの製造方法であって、
円板状のスクライビングホイール基材の円周に沿って側面の両側より互いに斜めに削り込むよう研磨して円周部分に斜面と稜線からなる刃先部分を形成し、
前記スクライビングホイール基材の刃先部分にダイヤモンドの核を生成し、平均粒径2〜10μmのダイヤモンド粒子から成るダイヤモンド膜を化学気相成長法によって成長させることによって単層のダイヤモンド膜を形成し、
前記ダイヤモンド膜の稜線から成る円を含む面が前記スクライビングホイール基材の回転軸に垂直となるように研磨し、稜線付近の膜厚を5〜25μmとしたスクライビングホイールの製造方法。 - 前記研磨領域の稜線部分に所定間隔で切り欠かれた溝を形成し、その間を突起とした請求項3記載のスクライビングホイールの製造方法。
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