JP2013232391A5 - - Google Patents

Claims (14)

1. 第１の導体と、
   第２の導体と、
   接続スパンに沿って前記第１の導体と第２の導体の間に並列電気接続を形成する複数の伝導経路と
   を備える装置であって、前記伝導経路の各々がそれぞれ同様な公称電気抵抗を有し、
   前記第１の導体および第２の導体のそれぞれの断面積が、前記接続スパンに沿って反対方向に減少している、装置。
2. 前記複数の伝導経路が、Ｎ個の伝導経路から成り、前記第１の導体および第２の導体のそれぞれの断面積が、前記接続スパンに沿って１つの伝導経路から隣接する伝導経路に移るとき大きさＡ／Ｎだけ減少し、Ａが、前記接続スパンの端における前記第１の導体および第２の導体のそれぞれの断面積の大きさである、請求項１記載の装置。
3. 前記第１の導体および第２の導体および前記伝導経路が、電流が前記第１の導体から前記第２の導体へ選択的に流れるように電流を選択的に伝導するように構成されており、さらに、前記第１の導体の断面積が、前記接続スパンに沿って電流の流れの方向に減少し、さらに前記第２の導体の断面積が、前記接続スパンに沿って電流の流れの方向に増加している、請求項１または２に記載の装置。
4. 前記第１の導体および第２の導体の各々が、それぞれ第１および第２の抵抗率を有し、前記伝導経路の少なくとも１つの経路抵抗率が、前記第１の抵抗率の約１０倍以下でかつ前記第２の抵抗率の約１０倍以下である、請求項１乃至３のいずれかに記載の装置。
5. 前記第１の導体および第２の導体が、長さ方向に沿って細長く、前記伝導経路の各々が、前記長さ方向に直交する成分を有する方向にそれぞれ延びている、請求項１乃至４のいずれかに記載の装置。
6. 前記伝導経路の各々が、一緒に駆動されるように構成されているスイッチをそれぞれ含む、請求項１乃至５のいずれかに記載の装置。
7. 第１のトレースと、
   第２のトレースと、
   接続スパンに沿って前記第１のトレースと第２のトレースの間に並列電気接続を形成する複数の伝導経路と
   を備える装置であって、前記伝導経路の各々がそれぞれ同様な公称電気抵抗を有し、
   前記第１のトレースおよび第２のトレースのそれぞれの断面積が、前記接続スパンに沿って反対方向に減少している、装置。
8. 前記伝導経路各々が、電気的に直列に接続されかつ一緒に駆動されるように構成された一対の実質的に同様なＭＥＭＳスイッチをそれぞれ含む、請求項７記載の装置。
9. 各対のＭＥＭＳスイッチをそれぞれ相互接続する中間導体をさらに備え、前記中間導体が、より高い抵抗の領域によってそれぞれ分離されている、請求項８記載の装置。
10. 前記ＭＥＭＳスイッチが、カンチレバーをそれぞれ含み、前記中間導体がアンカ構造を含み、このアンカ構造から前記カンチレバーが延びている、請求項９の装置。
11. 主表面を有する基板をさらに備え、前記第１のトレースおよび第２のトレースおよび前記伝導経路が、前記主表面によって支持されている、請求項７乃至１０のいずれかに記載の装置。
12. 前記第１のトレースおよび第２のトレースの各々が、前記主表面に平行な長さ方向に沿って細長く、前記トレースの各々が、前記主表面に対して垂直な実質的に等しい厚さを有し、さらに前記トレースが、前記主表面に対して平行でかつ前記長さ方向に対して横方向のそれぞれの幅を有し、前記幅が前記接続スパンに沿って反対方向に減少している、請求項１１記載の装置。
13. 前記複数の伝導経路が、Ｎ個の伝導経路から成り、前記第１のトレースおよび第２のトレースの幅が、前記接続スパンに沿って１つの伝導経路から隣接する伝導経路に移るとき大きさＡ／Ｎだけ減少し、Ａが、前記接続スパンから離れた前記第１のトレースおよび第２のトレースのそれぞれの断面積の大きさである、請求項１２記載の装置。
14. 膜を基板上に堆積させるステップと、
    前記膜をパターニングして第１および第２のトレースを形成するステップと、
    複数のスイッチが、接続スパンに沿って前記第１のトレースと第２のトレースの間に並列電気接続を形成するように構成されるように、前記基板上に前記複数のスイッチを同時に微差加工するステップと
    を含む方法であって、
    前記第１のトレースおよび第２のトレースのそれぞれの断面積が前記接続スパンに沿って反対方向に減少するように、前記膜がパターニングされる、方法。