WO2005117051A1 - マイクロマシンスイッチ - Google Patents

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WO2005117051A1
WO2005117051A1 PCT/JP2005/010299 JP2005010299W WO2005117051A1 WO 2005117051 A1 WO2005117051 A1 WO 2005117051A1 JP 2005010299 W JP2005010299 W JP 2005010299W WO 2005117051 A1 WO2005117051 A1 WO 2005117051A1
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WO
WIPO (PCT)
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connection terminal
fixed
movable
support member
fixed connection
Prior art date
Application number
PCT/JP2005/010299
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Tsuyoshi Ukyo
Koji Ishikawa
Hiroki Mamiya
Takahiro Miki
Original Assignee
Yokohama Tlo Company Ltd.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yokohama Tlo Company Ltd. filed Critical Yokohama Tlo Company Ltd.
Priority to JP2006514027A priority Critical patent/JPWO2005117051A1/ja
Publication of WO2005117051A1 publication Critical patent/WO2005117051A1/ja

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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H59/00—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays
    • H01H59/0009—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays making use of micromechanics

Definitions

  • the present invention relates to a micromachine switch, and more particularly, to a micromachine switch adapted to a wide range of signal frequencies from DC level to tens of gigahertz.
  • a semiconductor switch is known as an on / off switch that can operate at high speed and frequently.
  • Semiconductor switches require operating signals of relatively high power levels, which tend to increase power consumption.
  • a propagation signal signal on the controlled side
  • RF Radiofrequency
  • micro-machine switches have attracted particular attention in recent years as on / off switches that are excellent in performance such as low power consumption, low operating voltage, and space saving, and have relatively good RF characteristics.
  • Micromachine switches are known as microswitches manufactured using surface micromachining, park micromachining or semiconductor processing technology. According to the micromachine switch, it is thought that efficient switching can be reliably provided, and the micromachine switch is used for switching the RF front-end chip of a mobile phone.
  • a mechanical contact structure having a substrate provided with a signal line or an electrode and a vertically movable contact electrode disposed above the substrate
  • Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-17300, U.S. Pat.No. 5,578,976 , JP-A-2001-143595, and Patent No. 3119255 Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-17300, U.S. Pat.No. 5,578,976 , JP-A-2001-143595, and Patent No. 3119255.
  • the signal lines or electrodes on the board constitute fixed connection terminals fixed to the board, and the contact electrodes above the board which can move up and down constitute movable connection terminals which can contact the fixed connection terminals.
  • a flexible member having a cantilever structure or a membrane structure is disposed above a substrate, and a base or a leg of the flexible member is fixed to the substrate.
  • the flexible member supports the movable connection terminal at a position separated by a predetermined distance from the fixed connection terminal on the substrate, and the movable connection terminal and the fixed connection terminal are arranged in a vertical direction (ie, in a direction perpendicular to the plane of the substrate). It is always kept at a predetermined distance.
  • An upper electrode and a lower electrode for driving a switch are provided on the flexible member and the substrate, respectively, and a driving voltage is applied between the upper and lower electrodes during a switching operation.
  • the upper and lower electrodes are attracted to each other by electrostatic attraction.
  • the flexible member is deformed, and the movable connection terminal comes into contact with the fixed connection terminal.
  • the contact electrode movable connection terminal
  • contacts the signal line so as to short-circuit the signal line (fixed connection terminal) on the board.
  • Such a micromachine switch is desirable as an RF switch because it has better RF characteristics such as insulation performance, insertion loss, linearity, crosstalk, reflection, dynamic range, and operating wavelength band, as compared to conventional semiconductor switches. It has been considered to achieve performance.
  • the contact portion is susceptible to fatigue breakage and the fatigue life or switch life is shorter than that of semiconductor switches in recent years. Use tends to be constrained by the particular environment. Therefore, measures are needed to improve the reliability of micromachine switches.
  • the conventional micromachine switch employs a mechanical switching method in which a flexible member is vertically displaced by electrostatic attraction and a movable connection terminal is moved up and down. Contact The members are peculiar to the micromachine switch, where Phenomenon) are likely to occur, and malfunction or malfunction of the switch is likely to occur. Such sticking phenomena also impair the reliability of the micromachine switch and constrain the use of the micromachine switch to certain environments, and need to be improved.
  • the present invention provides a high-reliability and long-life micromachine switch that prevents fatigue damage and sticking phenomena at the contact portion, thereby adapting to a wide range of signal frequencies from DC level to tens of gigahertz. It is intended to do so.
  • Another object of the present invention is to provide a micromachine switch capable of securing the insulation properties of the separated contacts, preventing the sticking phenomenon or contact welding, and reducing the impact force at the time of contacting the contacts.
  • the present invention has a fixed connection terminal fixed to a substrate, and a movable connection terminal capable of contacting the fixed connection terminal, wherein the driving force acting on a support member of the movable connection terminal causes the movable connection terminal to rotate.
  • a microphone port machine switch configured to displace a support member and to contact or separate the fixed connection terminal and the movable connection terminal,
  • the fixed connection terminal and the movable connection terminal are separated from each other in a direction substantially parallel to the plane of the substrate, and the movable connection terminal contacts the fixed terminal by displacement of the support member in this direction.
  • a micromachine switch characterized by being arranged. According to the above configuration of the present invention, the fixed connection terminal and the movable connection terminal are not separated in the direction (vertical direction) orthogonal to the plane of the substrate, but in the direction substantially parallel to the plane of the substrate (horizontal or horizontal). The movable connection terminal comes into contact with the fixed connection terminal by the displacement of the support member in this direction.
  • Such a switch structure enables the arrangement of a plurality of fixed connection terminals and movable connection terminals dispersed in a plane without significantly changing or enlarging the three-dimensional structure of the micromachine switch. Therefore, in the micromachining switch of the present invention, the shape and number of the fixed repetitive terminals and the movable connection terminals can be appropriately set, and the number of contacts and the contact area can be optimized. Compared with the conventional micromachine switch, the load on the contact portion can be reduced, the fatigue failure of the contact portion can be prevented, and the occurrence of the sticking phenomenon can be prevented.
  • the present invention includes a fixed connection terminal fixed to a substrate, and a movable connection terminal capable of contacting the fixed connection terminal, wherein the support member is driven by a driving force acting on the support member of the movable connection terminal. Displacing the fixed connection terminal and the movable connection terminal into or out of contact with each other;
  • a plurality of the fixed connection terminals are fixed to the substrate, and a plurality of the movable connection terminals that can be in contact with each of the fixed connection terminals are arranged so as to simultaneously contact the predetermined fixed connection terminals according to the displacement of the support member.
  • the present invention provides a micromachine switch characterized in that:
  • the contact area between the movable connection terminal and the fixed connection terminal is significantly increased as compared with the one provided with the single movable connection terminal and the fixed connection terminal. Therefore, as compared with a conventional micromachine switch having only one contact portion, the load on each contact portion is reduced, so that fatigue destruction of the contact portion can be prevented and occurrence of a stiction phenomenon can be prevented. .
  • the number of movable connection terminals and fixed connection terminals increases, the number of contact portions of the micromachine switch increases. Even if a failure occurs, the micromachine switch can be designed to maintain the desired switching operation and performance, thereby improving the reliability or failsafeness of the micromachine switch. Can be.
  • the present invention includes a fixed connection terminal fixed to a substrate and a movable connection terminal capable of contacting the fixed connection terminal, wherein the movable connection terminal is supported by a driving force acting on a support member of the movable connection terminal.
  • a micromachine switch configured to displace a member and contact or separate the fixed connection terminal and the movable connection terminal
  • the movable connection terminal is positioned between the fixed connection terminals, and is arranged so as to be selectively contacted with the fixed connection terminals on both sides by bidirectional displacement of the support member. provide.
  • the support member be forcibly displaced to the side where the movable connection terminal comes into contact with the fixed connection terminal, but also the forcible displacement can be performed in the direction in which the movable connection terminal is separated from the fixed connection terminal. Therefore, the stiction phenomenon of the movable connection terminal and the fixed connection terminal can be positively eliminated. Moreover, since the two surfaces of the movable connection terminal are used as independent contacts, the use frequency of each contact can be reduced by increasing the number of contacts.
  • the movable connection terminal has a point-symmetric or line-symmetric shape, or the movable connection terminal and the fixed connection terminal have a point-symmetric or line-symmetric shape as a whole. More preferably, the overall shape including the movable connection terminal, the fixed connection terminal, and the support member is designed to be point-symmetric or line-symmetric. According to such a configuration, the motion balance (movement, restoration, or holding) of the movable connection terminal can be balanced by making the load balance uniform. This will enable optimization of the biasing means (springs, etc.) and improve strength or formability, and will contribute to extending the life of micromachine switches and improving durability.
  • the biasing means springs, etc.
  • the micromachine switch has an urging means for holding the support member in the initial position, and the support member opposes the holding force of the urging means by the action of the electrostatic force. And return to the initial position by the restoring force of the biasing means when the electrostatic force is released.
  • the micromachine switch has a fixed electrode and a movable electrode that generate electrostatic attraction by applying a voltage, wherein the movable electrode is integrally connected to the support member, When an electrostatic attractive force is generated, it approaches the fixed electrode and displaces the support member horizontally or laterally.
  • a plurality of fixed electrodes are arranged on the substrate so as to displace the movable electrode in both directions, and a stopper for restricting approach of the movable electrode to the fixed electrode is arranged on the substrate.
  • the support member is disposed on the substrate so as to be rotatable or linearly movable in both directions, and the movable connection terminal is attached to a protruding member that protrudes radially outward from an outer peripheral portion of the support member.
  • the dynamic connection terminals are arranged so that the surface on each side selectively contacts the fixed connection terminals.
  • the present invention further includes a fixed connection terminal fixed to the substrate, and a movable connection terminal capable of contacting the fixed connection terminal, wherein the support member is displaced by driving force acting on the support member of the movable connection terminal.
  • a micromachine switch configured to contact or separate a fixed connection terminal and a movable connection terminal
  • a micromachine switch comprising a driving means for displacing the movable connection terminal stepwise or simultaneously in two directions to contact the fixed connection terminal.
  • the driving means displaces the movable connection terminal in the first direction in which the movable connection terminal approaches the fixed connection terminal, and in the second direction in which the movable connection terminal contacts the fixed connection terminal. Displace the movable connection terminal. Therefore, the micromachine switch can secure the insulation of the contacts in the contact open state and reduce the impact force at the time of contact with the contacts.
  • the driving means initially displaces the movable connection terminal in the first direction when the contact is separated, and then applies a shearing force to a contact portion between the movable connection terminal and the fixed connection terminal.
  • the sticking phenomenon or contact welding can be effectively prevented.
  • the first direction is set to a horizontal direction
  • the second direction is set to a vertical direction or a rotation direction around a horizontal axis
  • the driving means is configured to apply a voltage It has a movable electrode for generating electrostatic attraction and a fixed electrode having a two-layer structure.
  • the fixed electrode is disposed below the first fixed electrode and a first fixed electrode horizontally separated from the movable electrode. And a second fixed electrode.
  • the driving means can be incorporated into the micromachine switch without greatly enlarging the three-dimensional structure of the micromachine switch.
  • FIG. 1 is a plan view showing a structure of a micromachine switch according to a preferred embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a side view of the micromachine switch shown in FIG.
  • FIG. 3 is a longitudinal sectional view showing the structure of the micromachine switch shown in FIGS. 1 and 2.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view showing an operation mode of the micromachine switch, and shows a first switching position of the micromachine switch.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view showing an operation mode of the micromachine switch, and shows a second switching position of the micromachine switch.
  • FIG. 6 is a plan view showing a modification of the micromachine switch.
  • FIG. 7 is a plan view showing a structure of a micromachine switch according to another embodiment of the present invention.
  • FIG. 8 is a cross-sectional view showing an operation mode of the micromachine switch shown in FIG. FIG. 3 shows a first switching position of the micromachine switch.
  • FIG. 9 is a cross-sectional view showing an operation mode of the micromachine switch shown in FIG. 7, showing a second switching position of the micromachine switch.
  • FIG. 10 is a plan view showing the structure of a micromachine switch according to still another embodiment of the present invention.
  • FIG. 11 is a perspective view of the micromachine switch shown in FIG.
  • FIG. 12 is a cross-sectional view taken along the line II shown in FIG.
  • FIG. 13 is a cross-sectional view taken along line ⁇ - ⁇ shown in FIG.
  • FIG. 14 is a perspective view schematically showing a relative positional relationship and operation principle of the first drive unit and the second drive unit.
  • FIG. 15 is a cross-sectional view taken along line ⁇ - ⁇ shown in FIG.
  • FIG. 16 is a perspective view showing a mode of movement of the movable connection terminal.
  • FIG. 17 is a perspective view showing an operation mode of the micromachine switch. BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
  • FIGS. 1 and 2 are a plan view and a side view, respectively, showing the structure of a micromachine switch according to a preferred embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a longitudinal section showing the structure of the micromachine switch shown in FIGS. FIG.
  • the micromachine switch 1 has a stationary pin 2, a movable support member 3, a movable connection part 4, a fixed connection part 5, an urging means 6, and a drive part 7.
  • the movable connection part 4 is displaced in both directions according to the bidirectional rotation of the support member 3 about the stationary pin 2.
  • the fixed connection section 5 includes a plurality of fixed connection terminals 50 fixed to the substrate 9.
  • the movable connection portion 4 includes a plurality of movable connection terminals 40, and each of the movable connection terminals 40 comes into contact with the fixed connection terminal 50 in accordance with a change in the angle of the support member 3 about the stationary pin 2, or Separate.
  • the stationary pin 2 is arranged on the shaft 21 fixed to the substrate 9 and on the top of the shaft 21. And an enlarged head portion 22 disposed thereon.
  • the shaft portion 21 vertically penetrates the center hole 31 of the support member 3 and rotatably supports the support member 3.
  • the support member 3 has a circular planar contour with the axis of the shaft portion 21 as the center of rotation.
  • the plurality of arms 41 are fixed to the outer peripheral surface 32 of the support member 3 and extend radially outward from the outer peripheral surface 32.
  • Each movable connection terminal 40 is fixed to the outer end of each arm section 41.
  • the movable connection terminal 40 has a shape and size in which the tip of each arm portion 41 is enlarged.
  • Each of the movable connection terminals 40 extends into the corresponding recess 51 of the fixed connection terminal 50.
  • the left and right side surfaces 42 of the movable connection terminal 40 are positioned so as to be able to contact the side surfaces 52 of each fixed connection terminal 50 located in the recess 51.
  • FIG. 1 shows an initial state in which the side surfaces 42 and 52 are separated.
  • Each biasing means 6 includes an elastic member 60 for elastically holding the support member 3 at an initial position (the position shown in FIG. 1) and a mooring portion 61 for mooring the elastic member 60 to the substrate 9. It is.
  • the elastic member 60 is a leaf spring having one end locked to the mooring portion 61 and the other end locked to the outer peripheral surface 32 of the support member 3.
  • the elastic member 60 is disposed at a point-symmetric position and shape with respect to the center of the support member 3, and the support member 3 is held at the initial position shown in FIG. 1 by an elastically deformable elastic member 60. Is done.
  • a pair of drive units 7 are arranged point-symmetrically before and after the support member 3.
  • the driving section 7 is composed of a comb-shaped movable electrode 70, a comb-shaped fixed electrode 71, and a stopper 72, respectively.
  • the linear base 74 of the movable electrode 70 is fixed to the outer peripheral surface 32 of the support member 3.
  • the linear base 74 extends linearly outward in the radial direction of the support member 3.
  • a number of extensions 75 are equally spaced along the base 74 and project symmetrically on either side of the base 74. Each extension 75 has an arc profile concentric with the support member 3.
  • the enlarged outer end 76 of the base 74 is positioned between the left and right stoppers 72.
  • Each of the stoppers 72 is fixed to the substrate 9 and comes out when the support member 3 rotates. It abuts against the ends 76 and regulates the rotation of the support member 3.
  • the fixed electrode 71 has a linear base 77 fixed to the substrate 9, and the linear base 77 is symmetrically arranged on both sides of the movable electrode 70.
  • a number of extensions 78 are arranged at equal intervals on one side of the base 77 and project from the base 77 toward the movable electrode 70.
  • Each extension 78 has a circular arc profile concentric with the support member 3.
  • the extensions 75 and 78 are arranged alternately in the radial direction of the support member 3, and thus, a non-contact comb electrode pair is formed before and after the support member 3 in parallel with the plane of the substrate 9. .
  • the center lines C 1 and C 2 in the XY direction of the micromachine switch 1 intersect at the rotation center of the support member 3.
  • the fixed connection parts 5 are respectively arranged in four regions of the micromachine switch 1 separated by the center lines C l and C 2.
  • Each of the fixed connection portions 5 includes a fixed connection pad 55 fixed to the substrate 9.
  • the fixed connection terminal 50 extends radially inward from the fixed connection pad 55 to form a recess 51 into which the movable connection terminal 40 extends.
  • the side surface 52 of the fixed connection terminal 50 located in the recess 51 contacts the side surface 42 of the movable connection terminal 40 when the support member 3 rotates.
  • the substrate 9 is made of, for example, a 500-m-thick silicon substrate whose surface is covered with a 0.5-nm-thick silicon nitride (Si 3 N 4 ) electrical insulating film (not shown). Electrical insulating film of silicon oxide (Si0 2), alumina (A1 2 0 3) other may be formed by ceramics materials or the like.
  • the fixed connection portion 5 and the comb-shaped fixed electrode 71 are made of polycrystalline silicon doped with phosphorus (P), and are similar to semiconductor manufacturing processes such as a film forming process by a CVD method or a photolithography (exposure and development) process. Through the steps described above, it is formed on the substrate 9.
  • the material of the fixed connection portion 5 and the comb-shaped fixed electrode 71 a conductive material other than silicon, for example, copper, aluminum, gold, or the like may be used. Alternatively, the surface of the comb-shaped fixed electrode 71 may be coated.
  • the plane dimensions (external dimensions) of the micromachine switch 1 are set to, for example, 1 mm, and the height (thickness) of the micromachine switch 1 is set to, for example, 10 to 25. Determined.
  • the support member 3, the movable connection part 4, and the comb-shaped movable electrode 70 are formed of substantially the same material and the same manufacturing method as the fixed connection part 5 and the comb-shaped fixed electrode 71.
  • the support member 3 is rotatably supported by the stationary pin 2, and the movable connection portion 4 and the comb-shaped movable electrode 70 are supported by the support member 3, and both are suspended on the substrate 9 in a non-contact state with the substrate 9.
  • the stationary pin 2 and the urging means 6 are formed from single crystal or polycrystalline silicon.
  • a circuit section 90 having a predetermined electric wiring pattern is formed on the substrate 9.
  • the circuit section 90 is electrically connected to the fixed connection section 5 via the electric connection pins 91 and the conductive means 92.
  • the circuit section 90 is also operatively connected to the movable connection section 4 via similar electrical connection pins and conductive means.
  • other current supply means or power supply means such as through-hole connection may be employed.
  • FIG. 4 and FIG. 5 are cross-sectional views showing the operation mode of the micromachine switch 1.
  • FIG. FIG. 4 shows a first switching position of the micromachine switch 1
  • FIG. 5 shows a second switching position of the micromachine switch 1.
  • each part of the comb-shaped movable electrode 70 is a pair of left and right fixed electrodes 7 constituting the comb-shaped fixed electrode 71. It is arranged at a predetermined distance from 1a, 71b, for example, at a distance of 2 m.
  • power is supplied from an external power supply to the micromachine switch 1 via the circuit section 90 and a voltage is applied between the movable electrode ⁇ 0 and the fixed electrode 71a, static electricity is generated between the movable electrode 70 and the fixed electrode 71a. An electromotive force is generated, and the movable electrode 70 is attracted to the fixed electrode 71a. As shown in FIG.
  • the support member 3 rotates around the stationary pin 2 by electrostatic attraction acting on the movable electrode 70, and the movable electrode 70 comes close to the fixed electrode 71a.
  • the angle changes.
  • the enlarged outer end portion 76 of the movable electrode 70 is brought into contact with the stopper 72 a before the movable electrode 70 and the fixed electrode 71 a come into contact with each other, and becomes static.
  • the movable connection terminal 40 formed integrally with the support member 3 rotates together with the support member 3, and the side surface 4 2 a of the movable connection terminal 40 becomes a fixed connection terminal 5 when the rotation of the support member 3 is stopped.
  • the side surface 42a and the side surface 52a are formed on the movable connection terminal 40 and the fixed connection terminal 50 so as to face each other in a substantially parallel state at the initial position (FIG. 1). Makes surface contact when the rotation stops.
  • the side surface 4 2b and the side surface 5 2b are also formed into a movable connection terminal 40 and a fixed connection terminal 50 so as to face each other in a substantially parallel state at the initial position (FIG. 1).
  • 50 rotation stops surface contact.
  • the short circuit between the movable electrode 70 and the fixed electrode 71b is reliably prevented by the stopper 72b as described above.
  • the plurality of terminals 40 and 50 can be dispersedly arranged in a plane without greatly enlarging or increasing the three-dimensional structure of the micromachine switch 1. .
  • the side surfaces 42a and 42b of the movable connection terminal 40 are fixed by alternately or selectively switching the micromachine switch 1 to the first switching position or the second switching position under the control of the circuit section 90.
  • the contacts of the micromachine switch 1 can be connected by alternately or selectively contacting the side surfaces 52a, 52b of the connection terminal 50. Therefore, the number or frequency of contact between the same side surface 42 of the movable connection terminal 40 and the same side surface 52 of the fixed connection terminal 50 should be greatly reduced. Can do. For example, if a simple alternating control is executed,
  • the contact components 3, 4, and 5 can be prevented from fatigue fracture and the life of the micromachine switch 1 can be extended.
  • the side surfaces 42a, 42b on both sides of the movable connection terminal 40 are selectively brought into contact with the side surfaces 52a, 52b on both sides of the fixed connection terminal 50.
  • the micromachine switch 1 provided with 0, the number of contacts is doubled and the contact area is greatly increased. Therefore, even if any of the terminals 40, 50 is abnormal or defective, the other terminals 4 The micromachine switch 1 maintains the desired switching behavior and performance because 0, 50 functions normally. Therefore, the reliability of the micromachine switch 1 is improved.
  • the electrostatic attraction is reduced to the fixed connection terminal 50. Acts so as to separate the side surface 42 of the movable connection terminal 40 in contact with the side surface 52 from the side surface 52. Therefore, the occurrence of the sticking phenomenon at the terminals 40 and 50 can be positively prevented.
  • FIG. 6 is a plan view showing a modified example of the micromachine switch 1.
  • FIG. The micromachine switch 1 shown in FIG. 6 has a hollow cylindrical support member 3, and the vertical shaft 21 of the stationary pin 2 is disposed at the center of the support member 3.
  • the biasing means 6 is composed of a plurality of leaf springs that can be elastically deformed. Each leaf spring extends radially from the shaft portion 21 and integrally connects the shaft portion 21 and the support member 3.
  • the stationary pin 2 and the urging means 6 are formed from single crystal or polycrystalline silicon.
  • the micromachine switch is controlled under the control of the circuit section 90 (Fig. 3).
  • the side surface 42 of the movable connection terminal 40 crosses the side surface 52 of the fixed connection terminal 50. Contact each other or selectively.
  • FIG. 7 is a plan view and a side view showing a structure of a micromachine switch according to another embodiment of the present invention.
  • FIGS. 8 and 9 are cross-sectional views showing an operation mode of the micromachine switch 1.
  • FIG. 8 shows the first switching position of the micro machine switch 1
  • FIG. 9 shows the second switching position of the micro machine switch 1.
  • components that are substantially the same as or equivalent to the components of the embodiment shown in FIGS. 1 to 5 are denoted by the same reference numerals.
  • the micromachine switch 1 of the above-described embodiment has a switching structure using the rotational movement of the support member 3
  • the micromachine switch 1 of the present embodiment has a linear or horizontal linear shape of the support member 3. It has a switching structure using motion.
  • the micromachine switch 1 includes a movable support member 3, a movable connection part 4, a fixed connection part 5, an urging means 6, and a driving part 7.
  • the movable connection portion 4 has a plurality of movable connection terminals 40 that are displaced in accordance with the movement of the support member 3 in the front-rear direction
  • the fixed connection portion 5 has a plurality of fixed connection terminals fixed to a substrate (not shown). Has 50.
  • the movable connection terminal 40 comes into contact with or separates from the fixed connection terminal 50 due to the reciprocating motion of the support member 3.
  • the support member 3 is formed of a plate or a shaft member extending along the center line C2, and the comb-shaped movable electrodes 70 of the drive unit 7 are connected to both ends of the support member 3, respectively.
  • Each drive unit 7 is composed of a comb-shaped movable electrode 70, a comb-shaped fixed electrode 71, and a stopper 72, and each of the components 70, 71, and 72 is arranged with respect to the center lines C1, C2. They are arranged symmetrically.
  • a linear base 74 of the movable electrode 70 is integrally connected to an end of the support member 3 and extends in a direction orthogonal to the support member 3.
  • a number of extensions 75 are arranged at equal intervals on the outer surface of the base 74 and project in the direction of the center line C2.
  • the stoppers 72 are arranged adjacent to both ends of the base 7, and the urging means 6 are connected to both ends of the base 74.
  • the urging means 6 includes an elastic member 60 for elastically holding the support member 3 and a mooring the elastic member 60 to the substrate. Mooring section 61.
  • the elastic member 60 is composed of a leaf spring having one end locked to the mooring portion 61 and the other end locked to the end surface of the linear base 74, and the support member 3 is elastically deformable elastically. The member 60 is held at the initial position shown in FIG.
  • the linear base 77 of the fixed electrode 71 fixed to the substrate is arranged at a position facing the movable electrode 71, and a number of extensions 78 are arranged at equal intervals on the inner surface of the base 77.
  • the extension part 78 protrudes from the base part 77 toward the movable electrode 70 and extends between the extension parts 75, so that a non-contact comb electrode pair is formed before and after the support member 3.
  • a plurality of arm portions 41 constituting the movable connection portion 4 are fixed to the side surface 32 of the support member 3 and extend outward from the side surface 32 in parallel with the center line C1.
  • a movable connection terminal 40 having a rectangular cross section is fixed to the outer end of each arm portion 41, and each movable connection terminal 40 extends into the corresponding recess 51 of the fixed connection terminal 50.
  • the side surface 52 of the fixed connection terminal 50 faces the side surface 42 of the movable connection terminal 40 in the recess 51 and is positioned so as to be able to contact the side surface 42. In the initial position shown in FIG. 7, the side surfaces 42 and 52 are apart from each other.
  • the support member 3 is normally held at the initial position (FIG. 7) by the elastic member 60, and each part of the comb-shaped movable electrode 70 is formed of the comb-shaped movable electrode 70 constituting the comb-shaped fixed electrode 71. It is arranged at a predetermined distance from each part, for example, at a distance of 2 m.
  • the support member 3 is moved in the direction of the center line C 2.
  • the movable connection terminal 40 and the fixed connection terminal 50 come into contact with each other.
  • the plurality of terminals 40 and 50 are dispersed and arranged in a plane without greatly enlarging the three-dimensional structure of the micromachine switch 1. can do.
  • the micromachine switch 1 is controlled to be switched under the control of the circuit section 90, and a first switching position for applying a voltage between the movable electrode 70a and the fixed electrode 71a, and the movable electrode 70b and By alternately or selectively switching the micromachine switch 1 to either the second switching position for applying a voltage between the fixed electrodes 71b, the side surfaces 42a, 42 of each side of the movable connection terminal 40 b can be alternately or selectively contacted with the side surfaces 52a, 52b of the fixed connection terminal 50, and the contact of the micromachine switch 1 can be connected.
  • the frequency at which the same side surface 42 of the movable connection terminal 40 contacts the same side surface 52 of the fixed connection terminal 50 is greatly reduced, and as a result, the fatigue of the contact members 3, 4, and 5 is reduced. Can be prevented, and the life of the micromachine switch 1 can be extended.
  • the micromachine switch 1 is moved from the first switching position to the initial position or the second position.
  • the support member 3 is in contact with the side surface 4 2 a, 52 a or the side surface 42 b, 52 b. To force separation. Therefore, the stiction phenomenon at the terminals 40 and 50 can be reliably prevented.
  • FIGS. 10 and 11 are a plan view and a perspective view showing a structure of a micromachine switch according to still another embodiment of the present invention.
  • FIGS. 12 and 13 are I-I lines of the micromachine switch.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view and a cross-sectional view taken along line H- ⁇ .
  • components that are substantially the same as or equivalent to the components of the embodiment shown in FIGS. 1 to 9 are denoted by the same reference numerals.
  • the micromachine switch 1 shown in FIGS. 10 to 14 has a support member 3, a movable connection part 4, a fixed connection part 5, a biasing means 6, and a driving part 7, as in the above-described embodiment. 4 is configured to be displaced in a predetermined direction in a plane.
  • the micromachine switch 1 further has a second drive unit 8 (FIG. 13) disposed below the drive unit 7, and the second drive unit 8 moves the movable connection unit 4 up and down (vertically). It is configured to be displaced.
  • the fixed connection section 5 includes a base 55 fixed to a substrate (not shown), and a pair of fixed connection terminals 50 formed on the upper surface of the base 55.
  • the fixed connection terminal 50 has fixed contacts 50a separated by a predetermined distance.
  • the movable connection part 4 has a pair of movable connection terminals 40 fixed to the side surface of the support member 3, and the movable connection terminal 40 is arranged at a position facing the contact 50a.
  • Linear bases 74 constituting the first drive unit 7 are integrally connected to both ends of the support member 3.
  • the base 74 and the support member 3 constitute an integral shaft member connected in series on the center line C2.
  • the first drive unit 7 includes a comb-shaped movable electrode 70 and a comb-shaped fixed electrode 71.
  • the comb-shaped movable electrode 70 has a base 74 and a base.
  • the comb-shaped fixed electrode 71 has a linear base 77 and an extension 78 arranged on one side of the base 77.
  • the biasing means 6 is composed of an elastic member 60 connected to the end of the base 74 and an anchoring portion 61 for anchoring the elastic member 60 to the substrate.
  • the elastic member 60 is a leaf spring having one end locked to the mooring portion 61 and the other end locked to the end face of the linear base 74.
  • the support member 3 is held in the initial position shown in FIGS. 10 and 1 ′ 1 by the elastic member 60, and the movable connection terminal 40 and the contact 50a are separated from each other in the horizontal direction and the vertical direction. Held in position.
  • the second driving section 8 has four comb-shaped movable electrodes 81.
  • the fixed electrode 81 has the same structure and shape as the fixed electrode 71, and is arranged at the same plane position.
  • Each fixed electrode 81 includes a linear base 87 and an extension 88, and the base 87 is fixed to a substrate (not shown).
  • An insulating layer 89 is interposed between the bases 77,87.
  • FIG. 14 is a perspective view schematically showing a relative positional relationship between the first driving unit 7 and the second driving unit 8 and an operation principle.
  • the operation when the switch is ON-OFF is set as follows.
  • a voltage is applied between the fixed electrode 71 located on the side of the fixed connection terminal 5 (the fixed electrode 71 shown on the left side in FIG. 10) and the movable electrode 70, and the movable connection terminal 40 is displaced in the horizontal direction. Let it. Next, a voltage is applied between the fixed electrode 81 and the movable electrode 70 to displace the movable connection terminal 40 downward.
  • a voltage is applied between the fixed electrode 7 1 (the fixed electrode 7 1 shown on the right side in FIG. 10) located on the side opposite to the fixed connection terminal 5 and the movable electrode 70, and the movable connection terminal 40 is connected. Displace horizontally. The voltage between the fixed electrode 81 and the movable electrode 70 is extinguished, and the movable connection terminal 40 is displaced upward by the repulsive force of the elastic member 60 to return to the initial position.
  • FIG. 15 is a cross-sectional view taken along the line ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ of the micromachine switch 1.
  • FIGS. 15 (A) to 15 (C) show the displacement of the movable electrode 70 shown in FIGS. 14 (A) to 14 (C). The displacement of the movable connection terminal 40 corresponding to FIG.
  • the movable contact 40a of the movable connection terminal 40 and the fixed contact 50a are separated by a distance L and H in the horizontal and vertical directions at the initial position shown in FIG. 15 (A). In this state, the contacts 40a and 50a do not face each other, and therefore, sufficient insulation can be ensured even though the distance H at the time of facing is set to a relatively small dimension. .
  • the movable connection terminal 40 moves horizontally by the horizontal distance L.
  • the movable contact 40a located on the lower surface of the tip of the movable connection terminal 40 Moves above the fixed contact 50a and faces the fixed contact 50a as shown in FIG. 15 (B). In this state, the contacts 40a and 50a are separated by a distance H in the vertical direction.
  • FIG. 16 is a perspective view showing a mode of movement of the movable connection terminal 40.
  • the movable connection terminal 40 In the initial position shown in Fig. 16 (A), the movable connection terminal 40 is separated from the fixed contact 50a, and the fixed connection terminal 50 cuts the conductive path by separating the fixed contact 50a. Have been.
  • the movable connection terminal 40 moves horizontally just above the fixed contact 50a as shown in FIG. 16 (B), and then displaces downward as shown in FIG. 16 (C).
  • 40 a contacts fixed contact 50 a.
  • the conductive path is closed as shown by the imaginary line in FIG. 16 (C).
  • the movable connection terminal 40 moves horizontally as shown by the dashed arrow in Fig. 16 (B), and then moves as shown by the dashed arrow in Fig. 16 (C). Displace upward. Due to the horizontal movement of the movable connection terminal 40, a shear force acts on the interface between the contacts 40a and 50a. This facilitates the separation of the contacts 40a, 50a by the subsequent upward displacement of the movable connection terminal 40.
  • FIG. 17 is a perspective view of the micromachine switch 1.
  • FIGS. 17 (A) to 17 (C) show the displacement of the movable electrode 70 shown in FIGS. 14 (A), (B) and (D). The corresponding displacement of the movable connection terminal 40 is shown.
  • the movable connection terminal 40 In the initial position shown in Fig. 17 (A), the movable connection terminal 40 is separated from the fixed contact 50a, and the fixed connection terminal 50 cuts the conductive path by separating the fixed contact 50a. Have been. Between movable electrode 70 and fixed electrode 71 When a voltage is applied, the movable connection terminal 40 moves horizontally just above the fixed contact 50a as shown in FIG. 17 (B). When a voltage is applied only between the two fixed electrodes 81 and the movable electrode 70 located on the side of the fixed connection terminal 50, the movable electrode 70 becomes a center line as shown in Fig. 17 (C). It rotates about C2, and as a result, the movable contact 40a contacts the fixed contact 50a. Thus, the fixed connection terminal 50 is closed, and a conductive path indicated by a virtual line in FIG. 16 (C) is formed.
  • the fixed electrode 71 having a two-layer structure or a three-dimensional structure in which the movable electrode 70 is displaced stepwise in two directions, that is, the horizontal direction and the vertical direction (or the rotation direction), 8 Equipped with 1. Therefore, the insulation property at the time of contact opening (at the time of switch OFF) can be ensured without increasing the distance between the fixed contact 50a and the movable contact 40a.
  • the number, arrangement, and shape of the support members, the movable connection terminals, and the fixed connection terminals can be arbitrarily changed according to the present invention.
  • the structure and arrangement of the drive unit for driving the support member can also be arbitrarily changed according to the present invention.
  • the movable electrode 70 can be simultaneously displaced in two directions (horizontal direction and vertical direction).
  • the movable contact 40a is displaced diagonally downward or diagonally upward.
  • the contacts 40a and 50a In order to facilitate separation of a, it is desirable to displace the movable electrode 70 stepwise in two directions when the contacts are separated.
  • the micromachine switch of the present invention is used as a micromachine switch adapted to a wide range of signal frequencies from DC level to several tens gigahertz.
  • the present invention relates to a micromachine switch required to have high reliability, low power consumption, low operating voltage, space saving, efficient switching, etc., for example, a gain control of an RF front-end chip of a mobile phone. It can be preferably applied to a micromachine switch that can be used for switching between transmission / reception modes or between bands.

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Abstract

本発明は、接点部の疲労破壊およびスティクション現象を防止し、広範な信号周波数に適応した高い信頼性且つ長寿命のマイクロマシンスイッチを提供する。固定接続端子(50)及び可動接続端子(40)は、基板(9)の平面と実質的に平行な方向に離間し、可動接続端子は、この方向の支持部材(3)の変位によって固定接続端子と接触するように配置される。基板には、複数の固定接続端子が固定され、複数の可動接続端子が、支持部材の変位に従って所定の固定接続端子と同時に接触する。

Description

明 細 書 マイクロマシンスィツチ ' 技術分野
本発明は、 マイクロマシンスィッチに関するものであり、 より詳細に は、 D Cレベルから数十ギガへルツに至る広範な信号周波数に適応する マイクロマシンスィッチに関するものである。 背景技術
高速多頻度に作動可能なオンノオフ ·スィツチとして、 半導体スィッ チが知られている。 半導体スィッチは、 比較的高いパワーレベルの動作 信号を要することから、 消費電力が増加する傾向があり、 また、 ギガへ ルツ以上の高い周波数域の伝搬信号（被制御側の信号）を制御する場合、 挿入損失の増大や、 クロストークの発生等の現象が生じ易く、 このよう な R F (Radiofrequency)特性の悪化に伴ってノイズ発生等の障害も発生 し易いという課題が指摘されている。
これに対し、 低電力消費、 低動作電圧、 省スペース性等の性能面で優 れ、 R F特性も比較的良好なオンノオフ ·スイッチとして、 マイクロマ シンスィツチが近年殊に注目されている。 マイクロマシンスィツチは、 表面マイクロマシニング、 パルクマイクロマシニング又は半導体加工技 術を利用して製造される微小なスィッチとして知られている。 マイクロ マシンスィツチによれば、 効率的なスィツチングを確実に提供できると 考えられており、 マイクロマシンスィッチは、 携帯電話の R Fフロント エンド ·チップのスィツチング等に利用されている。
マイクロマシンスィッチとして、 信号線又は電極を備えた基板と、 基 板上方に配置した上下動可能な接触電極とを有する機械的接触構造のも のが知られている （特開平 9-17300号公報、 米国特許第 5,578,976号公 報、 特開平 2001-143595号公報、 特許第 3119255号公報） 。 基板上の信 号線又は電極は、 基板に固定した固定接続端子を構成し、 上下動可能な 基板上方の接触電極は、 固定接続端子と接触可能な可動接続端子を構成 する。
この種のマイクロマシンスィッチでは、 片持ち梁構造又はメンブレン 構造の可撓性部材が基板上方に配置され、可撓性部材の基部又は脚部が、 基板に固定される。 可撓性部材は、 基板上の固定接続端子から所定距離 だけ離間した位置に可動接続端子を支持し、 可動接続端子及び固定接続 端子は、 上下方向 （即ち、 基板の平面と直交する方向） に所定距離だけ 離間した状態に常時保持される。 スィッチ駆動用の上部電極及び下部電 極が可撓性部材及び基板に夫々配設され、 駆動電圧がスィツチング動作 時に上下の電極の間に印加される。 上下の電極は、 静電引力によって互 いに引きつけられ、 この結果、 可撓性部材は変形し、 可動接続端子は、 固定接続端子と接触する。 例えば、 接触電極 （可動接続端子） は、 基板 上の信号線 （固定接続端子） を短絡するように信号線に接触する。
このようなマイクロマシンスィッチは、 従来の半導体スィツチと比較 すると、 絶縁性能、 挿入損失、 線形性、 クロストーク、 反射、 ダイナミ ックレンジ及び使用波長帯等の R F特性において優れていることから、 R Fスィツチとして望ましい性能を達成すると考えられてきた。
しかしながら、 マイクロマシンスィッチに関しては、 接点部の疲労破 壊が生じ易く、 疲労寿命又はスィツチ寿命が半導体スイツ に比べて短 いことが、 近年、 報告されており、 このような事情より、 マイクロマシ ンスィッチの使用は、 特定の環境に制約されてしまう傾向がある。 この ため、 マイクロマシンスィツチの信頼性を向上する対策が要望される。 また、 従来のマイクロマシンスィッチは、 静電引力によって可撓性部 材を上下変位させ、 可動接続端子を上下動させる機械的スィツチング方 式を採用したものであることから、 接点部のスティクシヨン現象 （接点 部材同士が密着状態にくつついてしまうマイクロマシンスィツチ特有の 現象） が発生し易く、 スィッチとして機能不良又は機能不全の状態が生 じ易い。 このようなスティクシヨン現象も又、 マイクロマシンスィッチ の信頼性を損ない、 マイクロマシンスィツチの使用を特定の環境に制約 する結果を招くので、 これを改善すべき必要がある。
更に、 マイクロマシンスィッチの設計においては、 開離した接点の絶 縁性や、 ステイクション現象又は接点溶着を防止する反発力を確保する ために接点間距離を大きな値に設定することが望ましく、 他方、 接点接 触時の衝撃力を軽減するためには、 接点間距離を小さい値に設定するこ とが望ましい。 しかし、 このような相反する条件を両立させることはで きないと考えられてきた。
本発明は、 接点部の疲労破壊およびスティクシヨン現象を防止し、 こ れにより、 D Cレベルから数十ギガへルツに至る広範な信号周波数に適 応した高い信頼性且つ長寿命のマイクロマシンスィツチを提供すること を目的とする。
本発明は又、 開離した接点の絶縁性を確保するとともに、 スティクシ ヨン現象又は接点溶着を防止し、 しかも、 接点接触時の衝撃力を軽減す ることができるマイクロマシンスィツチを提供することを目的とする。 発明の開示
本発明は、 上記目的を達成すべく、 基板に固定した固定接続端子と、 固定接続端子と接触可能な可動接続端子とを有し、 該可動接続端子の支 持部材に作用する駆動力によって該支持部材を変位させ、 前記固定接続 端子及び可動接続端子を接触又は離間させるように構成されたマイク口 マシンスィッチにおいて、
前記固定接続端子及び可動接続端子は、 前記基板の平面と実質的に平 行な方向に離間し、 前記可動接続端子は、 この方向の前記支持部材の変 位によって前記固定端子と接触するように配置されることを特徴とする マイクロマシンスィツチを提供する。 本発明の上記構成によれば、 固定接続端子及び可動接続端子は、 基板 平面と直交する方向 （上下方向） に離間するのではなく、 基板平面と実 質的に平行な方向 （横方向又は水平方向） に離間しており、 可動接続端 子は、 この方向の支持部材の変位によって固定接続端子と接触する。 こ のようなスィツチ構造は、 マイクロマシンスィツチの三次元構造を大き く変更し又は拡大することなく、 平面的に分散した複数の固定接続端子 及び可動接続端子の配置を可能にする。 従って、 本発明のマイクロマシ ンスィツチでは、 固定揆続端子及び可動接続端子の形状及び数を適切に 設定し、 接点数及び接触面積を最適化することができるので、 唯一の接 点部を備えた従来のマイクロマシンスィツチに比べ、 接点部の負荷を軽 減し、 接点部の疲労破壊を防止するとともに、 スティクシヨン現象の発 生を防止することができる。
他の観点より、 本発明は、 基板に固定した固定接続端子と、 固定接続 端子と接触可能な可動接続端子とを有し、 該可動接続端子の支持部材に 作用する駆動力によって該支持部材を変位させ、 前記固定接続端子及び 可動接続端子を接触又は離間させるように構成されたマイクロマシンス イッチにおいて、
複数の前記固定接続端子が前記基板に固定され、 各固定接続端子と接 触可能な複数の前記可動接続端子が、 前記支持部材の変位に従って所定 の固定接続端子と同時に接触するように配置されることを特徴とするマ イクロマシンスィツチを提供する。
このような構成によれば、 可動接続端子及び固定接続端子の接触面積 は、 単一の可動接続端子及び固定接続端子を備えたものに比べ、 大幅に 増大する。 従って、 唯一の接点部を備えた従来のマイクロマシンスイツ チに比べ、 各々の接点部の負荷が軽減するので、 接点部の疲労破壊を防 止するとともに、 ステイクション現象の発生を防止することができる。 また、 可動接続端子及び固定接続端子の数の増加に伴い、 マイクロマシ ンスィツチの接点部の数が増加するので、 いずれかの接点に異常又は不 良等が発生した場合であっても、 所望のスィツチング動作及び性能を維 持するようにマイクロマシンスィツチを設計することができ、 これによ り、 マイクロマシンスィツチの信頼性又はフェイルセーフ性を向上する ことができる。
更に他の観点より、 本発明は、 基板に固定した固定接続端子と、 固定 接続端子と接触可能な可動接続端子とを有し、 該可動接続端子の支持部 材に作用する駆動力によって該支持部材を変位させ、 前記固定接続端子 及び可動接続端子を接触又は離間させるように構成されたマイクロマシ ンスィッチにおいて、
前記可動接続端子は、 前記固定接続端子の間に位置決めされ、 前記支 持部材の双方向の変位によって両側の固定接続端子と選択的に接触する ように配置されることを特徴とするマイクロマシンスィツチを提供する。
このような構成によれば、 可動接続端子を固定接続端子と接触する側 に支持部材を強制変位させるだけではなく、 可動接続端子を固定接続端 子から離間させる方向にも強制変位させることができるので、 可動接続 端子及び固定接続端子のスティクション現象を積極的に解消することが 可能となる。 しかも、 可動接続端子の 2つの面は、 独立した接点として 使用されるので、 接点数の増加により、 各接点の使用頻度を低下するこ とができる。
好ましくは、 上記可動接続端子は、 点対称又は線対称の形状を有し、 或いは、 上記可動接続端子及び固定接続端子は、 全体的に点対称又は線 対称の形状を有する。 更に好ましくは、 上記可動接続端子、 固定接続端 子及び支持部材を含めた全体形状が点対称又は線対称に設計される。 こ のような構成によれば、 荷重バランスの均一化によって可動接続端子の 運動 （駆動、 復元又は保持） の力学的均衡を図ることができる。 これは、 付勢手段 （スプリング等） の最適化や、 強度又は成形性の向上を可能に し、 マイクロマシンスィッチの寿命延長や、 耐久性の向上等に寄与する であろう。 本発明の好適な実施形態によれば、 マイクロマシンスィッチは、 支持 部材を初期位置に保持する付勢手段を有し、 支持部材は、 静電気力の作 用により、 付勢手段の保持力に抗して変位し、 静電気力の解放時に付勢 手段の復元力によって初期位置に復帰する。
本発明の更に好適な実施形態によれば、 マイクロマシンスィッチは、 電圧を印加することにより静電引力を発生させる固定電極及び可動電極 を有し、 可動電極は、 支持部材に一体的に連結され、 静電引力の発生時 に固定電極に接近し、 支持部材を水平方向又は横方向に変位させる。 好 ましくは、 複数の固定電極が、 可動電極を双方向に変位させるように基 板に配置されるとともに、 固定電極に対する可動電極の接近を制限する ストツバが基板に配置される。 更に好ましくは、 上記支持部材は、 双方 向に回転可能又は線型運動可能に基板上に配置され、 可動接続端子は、 支持部材の外周部から径方向外方に突出する突出部材に取付けられ、 可 動接続端子の各側の面が固定接続端子に選択的に接触するように配置さ れる。
本発明は更に、 基板に固定した固定接続端子と、 固定接続端子と接触 可能な可動接続端子とを有し、 該可動接続端子の支持部材に作用する駆 動力によって該支持部材を変位させ、 前記固定接続端子及び可動接続端 子を接触又は離間させるように構成されたマイクロマシンスィッチにお いて、
前記可動接続端子を段階的又は同時に二方向に変位させて前記固定接 続端子に接触させる駆動手段を備えたことを特徴とするマイクロマシン スィツチを提供する。
本発明の上記構成によれば、 駆動手段は、 可動接続端子を固定接続端 子に接近させる第 1方向に可動接続端子を変位させるとともに、 可動接 続端子を固定接続端子に接触させる第 2方向に可動接続端子を変位させ る。 従って、 マイクロマシンスィツチは、 接点開離状態において接点の 絶縁性を確保するとともに、 接点接触時の衝撃力を軽減することができ る
好ましくは、 駆動手段は、 接点開離時に初期的に可動接続端子を第 1 方向に変位させ、 次いで、 可動接続端子と固定接続端子との接触部に剪 断力を与える。 これにより、 スティクシヨン現象又は接点溶着を効果的 に防止することができる。
更に好ましくは、 上記第 1方向は、 水平方向に設定され、 上記第 2方 向は、 鉛直方向、 或いは、 水平軸線廻りの回転方向に設定され、 上記駆 動手段は、 電圧を印加することにより静電引力を発生させる可動電極と 二層構造の固定電極とを有し、 固定電極は、 可動電極から水平方向に離 間した第 1固定電極と、 第 1固定電極の下側に配置された第 2固定電極 とから構成される。 このような構成によれば、 マイクロマシンスィッチ の三次元構造を大きく拡大することなく、 駆動手段をマイクロマシンス ィツチに組込むことができる。 図面の簡単な説明
図 1は、 本発明の好適な実施形態に係るマイクロマシンスィッチの構 造を示す平面図である。
図 2は、 図 1に示すマイクロマシンスィツチの側面図である。
図 3は、 図 1及び図 2に示すマイクロマシンスィツチの構造を示す縦 断面図である。
図 4は、 マイクロマシンスィツチの作動態様を示す横断面図であり、 マイクロマシンスィッチの第 1切換位置が示されている。
図 5は、 マイクロマシンスィツチの作動態様を示す横断面図であり、 マイクロマシンスィッチの第 2切換位置が示されている。
図 6は、 マイクロマシンスィッチの変形例を示す平面図である。
図 7は、 本発明の他の実施形態に係るマイクロマシンスィツチの構造 を示す平面図である。
図 8は、 図 7に示すマイクロマシンスィツチの作動態様を示す横断面 図であり、 マイクロマシンスィッチの第 1 ·切換位置が示されている。 図 9は、 図 7に示すマイクロマシンスィツチの作動態様を示す横断面 図であり、 マイクロマシンスィッチの第 2切換位置が示されている。 図 1 0は、 本発明の更に他の実施形態に係るマイクロマシンスィッチ の構造を示す平面図である。
図 1 1は、 図 1 0に示すマイクロマシンスィツチの斜視図である。 図 1 2は、 図 1 0に示す I― I線における断面図である。
図 1 3は、 図 1 2に示す Π - Π線における断面図である。
図 1 4は、 第 1駆動部及び第 2駆動部の相対的な位置関係及び作動原 理を概略的に示す斜視図である。
図 1 5は、 図 1 2は、 図 1 0に示す ΠΙ-ΙΠ線における断面図である。 図 1 6は、 可動接続端子の移動の態様を示す斜視図である。
図 1 7は、 マイクロマシンスィッチの作動態様を示す斜視図である。 発明を実施するための最良の形態
以下、 添付図面を参照して、 本発明の好適な実施形態について詳細に 説明する。
図 1及び図 2は、 本発明の好適な実施形態に係るマイクロマシンスィ ツチの構造を示す平面図及び側面図であり、 図 3は、 図 1及び図 2に示 すマイクロマシンスィツチの構造を示す縦断面図である。
マイクロマシンスィッチ 1は、 静止ピン 2、 可動支持部材 3、 可動接 続部 4、 固定接続部 5、 付勢手段 6及び駆動部 7を有する。 可動接続部 4は、 静止ピン 2を中心とした支持部材 3の双方向の回転に従って双方 向に変位する。 固定接続部 5は、 基板 9に固定された複数の固定接続端 子 5 0を備える。 可動接続部 4は、 複数の可動接続端子 4 0を備え、 各 可動接続端子 4 0は、 静止ピン 2を中心とした支持部材 3の角度変化に 相応して固定接続端子 5 0と接触し又は離間する。
静止ピン 2は、 基板 9に固定された軸部 2 1と、 軸部 2 1の頂部に配 置された拡大へッ ド部 2 2とから構成される。 軸部 2 1は、 支持部材 3 の中心孔 3 1を垂直に貫通し、 支持部材 3を回転可能に支持する。
支持部材 3は、 軸部 2 1の軸芯を回転中心とした円形の平面輪郭を有 する。 複数のアーム部 4 1が支持部材 3の外周面 3 2に固定され、 外周 面 3 2から径方向外方に延びる。 各可動接続端子 4 0は、 各アーム部 4 1の外端部に固定される。 可動接続端子 4 0は、 各アーム部 4 1の先端 を拡大した形状及び寸法を有する。 可動接続端子 4 0は夫々、 対応する 固定接続端子 5 0の凹所 5 1内に延入する。 可動接続端子 4 0の左右の 側面 4 2が、 凹所 5 1内に位置する各固定接続端子 5 0の側面 5 2と接 触可能に位置決めされる。 図 1には、 側面 4 2 、 5 2が離間した初期状 態が示されている。
一対の付勢手段 6が、 支持部材 3の両側に配置される。 各付勢手段 6 は、 支持部材 3を初期位置 （図 1に示す位置） に弾力的に保持する弾性 部材 6 0と、 弾性部材 6 0を基板 9に係留する係留部 6 1とから構成さ れる。 弾性部材 6 0は、 一端を係留部 6 1に係止し、 他端を支持部材 3 の外周面 3 2に係止したリーフスプリングからなる。 弹性部材 6 0は、 支持部材 3の中心に対して点対称の位置及び形状に配設され、 支持部材 3は、 弾力的に変形可能な弾性部材 6 0によって、 図 1に示す初期位置 に保持される。
一対の駆動部 7が、 支持部材 3の前後に点対称に配置される。 駆動部 7は夫々、 櫛形可動電極 7 0、 櫛形固定電極 7 1及びストツパ 7 2から 構成される。 可動電極 7 0の線型基部 7 4が、 支持部材 3の外周面 3 2 に固定される。 線型基部 7 4は、 支持部材 3の径方向外方に直線的に延 びる。 多数の延長部 7 5が、 基部 7 4に沿って等間隔に配置され、 基部 7 4の両側に対称に突出する。 各延長部 7 5は、 支持部材 3と同心状の 円弧輪郭を有する。
基部 7 4の拡大外端部 7 6が、 左右のス卜ッパ 7 2の間に位置決めさ れる。 各ストッパ 7 2は、 基板 9に固定され、 支持部材 3の回転時に外 端部 7 6と衝合し、 支持部材 3の回転を規制する。
固定電極 7 1は、 基板 9に固定した線型基部 7 7を有し、 線型基部 7 7は、 可動電極 7 0の両側に対称に配置される。 多数の延長部 7 8が、 基部 7 7の片側に等間隔に配置され、 基部 7 7から可動電極 7 0に向か つて突出する。 各延長部 7 8は、 支持部材 3と同心状の円弧輪郭を有す る。 延長部 7 5、 7 8は、 支持部材 3の径方向に交互に配置され、 かく して、 非接触状態の櫛形電極対が、 基板 9の平面と平行に支持部材 3の 前後に形成される。
マイクロマシンスィッチ 1の X Y方向の中心線 C 1、 C 2は、 支持部 材 3の回転中心において交差する。 固定接続部 5は、 中心線 C l、 C 2 によって区分されるマイクロマシンスィッチ 1の 4つの領域に夫々配置 される。 固定接続部 5は夫々、 基板 9に固定した固定接続パッド 5 5を 備える。 固定接続端子 5 0は、 固定接続パッド 5 5から径方向内方に延 出し、 可動接続端子 4 0が延入する凹所 5 1を形成する。 凹所 5 1内に 位置する固定接続端子 5 0の側面 5 2は、 支持部材 3の回転時に可動接 続端子 4 0の側面 4 2と接触する。
基板 9は、 例えば、 厚さ 0 . 5 の窒化珪素 (Si3N4)の電気絶縁膜 (図示せず）で表面を被覆した厚さ 5 0 0 mのシリコン基板からなる。 電気絶縁膜を酸化シリコン（Si02)、 アルミナ (A1203)等の他のセラミック ス材料で形成しても良い。 固定接続部 5及び櫛形固定電極 7 1は、 燐 (P) をドーピングした多結晶シリコンからなり、 CVD法等による製膜工程 や、 フォトリソグラフィ （露光現像） 工程等の如く、 半導体製造工程と 同様の工程を経て基板 9上に成形される。 固定接続部 5及び櫛形固定電 極 7 1の素材として、 シリコン以外の導電性材料、 例えば、 銅、 アルミ 二ゥム、 金等を使用しても良く、 また、 導電性材料を固定接続部 5及び 櫛形固定電極 7 1の表面にコーティングしても良い。 マイクロマシンス イッチ 1の平面寸法 （外形寸法） は、 例えば、 1 mmに設定され、 マイ クロマシンスィツチ 1の高さ （厚さ） は、 例えば、 1 0〜 2 5 に設 定される。 支持部材 3、 可動接続部 4及び櫛形可動電極 7 0は、 固定接 続部 5及び櫛形固定電極 7 1 と実質的に同じ素材及び製造方法で成形さ れる。
支持部材 3は、 静止ピン 2に回転可能に支持され、 可動接続部 4及び 櫛形可動電極 7 0は、 支持部材 3に支持され、 いずれも基板 9と非接触 の状態で基板 9上に懸架される。 静止ピン 2及び付勢手段 6は、 単結晶 又は多結晶シリコンより成形される。
図 3に示すように、 基板 9には、 所定の電気配線パターンを有する回 路部 9 0が形成される。 回路部 9 0は、 電気接続ピン 9 1及び導電手段 9 2を介して固定接続部 5に通電可能に接続される。 回路部 9 0は又、 同様な電気接続ピン及び導電手段を介して可動接続部 4に通電可能に接 続される。 なお、 回路部 9 0と接続部 4、 5とを接続する手段として、 他の通電手段又は給電手段 （スルーホール接続等） を採用しても良い。
図 4及び図 5は、 マイクロマシンスィツチ 1の作動態様を示す横断面 図である。 図 4には、 マイクロマシンスィッチ 1の第 1切換位置が示さ れ、 図 5には、 マイクロマシンスィッチ 1の第 2切換位置が示されてい る。
前述の如く、 支持部材 3は、 常時は、 弾性部材 6 0によって初期位置 (図 1 ) に保持され、 櫛形可動電極 7 0の各部は、 櫛形固定電極 7 1を 構成する左右一対の固定電極 7 1 a、 7 1 bから所定距離、 例えば、 2 mの間隔を隔てた位置に配置される。 外部電源より回路部 9 0を介し てマイクロマシンスィッチ 1に給電し、 可動電極 Ί 0と固定電極 7 1 a との間に電圧を印加すると、 可動電極 7 0及び固定電極 7 1 aの間に静 電引力が発生し、 可動電極 7 0は、 固定電極 7 1 aに引きつけられる。 支持部材 3は、 図 4に示す如く、 可動電極 7 0に作用する静電引力によ つて静止ピン 2を中心に回転し、 可動電極 7 0は、 固定電極 7 1 aと接 近するように角度変化する。 可動電極 7 0の拡大外端部 7 6は、 可動電 極 7 0及び固定電極 7 1 aが接触する前にストツパ 7 2 aと衝合して静 止するので、 可動電極 7 0及び固定電極 7 1 aの短絡は、 確実に阻止さ れる。 支持部材 3に一体的に形成された可動接続端子 4 0は、 支持部材 3と一緒に回転し、 可動接続端子 4 0の側面 4 2 aは、 支持部材 3の回 転停止時に固定接続端子 5 0の側面 5 2 aと接触する。 側面 4 2 a及び 側面 5 2 aは、 初期位置 （図 1 ) において略平行な状態で対向するよう に可動接続端子 4 0及び固定接続端子 5 0に形成されており、端子 4 0 、 5 0の回転停止時に面接触する。
外部電源より回路部 9 0を介してマイクロマシンスィッチ 1に給電し て、 可動電極 7 0と固定電極 7 1 bとの間に電圧を印加すると、 可動電 極 7 0を固定電極 7 1 bに引きつける静電引力が、 可動電極 7 0及び固 定電極 7 1 bの間に発生し、 支持部材 3は、 静止ピン 2を中心に逆方向 に回転する。 可動電極 7 0は、 図 5に示す如く、 可動電極 7 0及び固定 電極 7 1 bが接触する前に反対側のストッパ 7 2 bと衝合して静止し、 可動接続端子 4 0の反対側の側面 4 2 bが、 反対側の側面 5 2 bと接触 する。 側面 4 2 b及び側面 5 2 bも又、 初期位置 （図 1 ) において略平 行な状態で対向するように可動接続端子 4 0及び固定接続端子 5 0に形 成されており、 端子 4 0、 5 0の回転停止時に面接触する。 可動電極 7 0及び固定電極 7 1 bの短絡は、 前述の如く、 ス卜ッパ 7 2 bによって 確実に阻止される。
このように構成されたマイクロマシンスィッチ 1によれば、 マイクロ マシンスィッチ 1の三次元構造を大きく拡大し又は大型化することなく、 複数の端子 4 0 、 5 0を平面的に分散配置することができる。 しかも、 回路部 9 0の制御下にマイクロマシンスィッチ 1を第 1切換位置又は第 2切換位置に交互又は選択的に切換えることにより、 可動接続端子 4 0 の側面 4 2 a、 4 2 bを、 固定接続端子 5 0の側面 5 2 a、 5 2 bと交 互又は選択的に接触せしめ、 マイクロマシンスィッチ 1の接点を接続す ることができる。 従って、 可動接続端子 4 0の同一側面 4 2が固定接続 端子 5 0の同一側面 5 2と接触する回数又は頻度を大きく低減すること ができる。 例えば、 単純な交互切換制御を実行した場合、 接触回数は、
1 / 2に半減するので、 接点構成部材 3、 4、 5の疲労破壊を防止し、 マイクロマシンスィッチ 1の寿命を延長することができる。
また、 可動接続端子 4 0の両側の側面 4 2 a、 4 2 bを固定接続端子 5 0の両側の側面 5 2 a、 5 2 bと選択的に接触させ、 しかも、 複数の 可動接続端子 4 0を設けたマイクロマシンスィッチ 1では、 接点数が倍 増し、 接触面積も大きく拡大することから、 いずれかの端子 4 0、 5 0 に異常又は不良が発生した場合であっても、 他の端子 4 0、 5 0が正常 に機能するので、 マイクロマシンスィッチ 1は、 所望のスイッチング動 作及び性能を維持する。従って、 マイクロマシンスィッチ 1の信頼性は、 向上する。
更に、 マイクロマシンスィッチ 1を第 1切換位置から初期位置又は第 2切換位置に切り換える際、 或いは、 第 2切換位置から初期位置又は第 1切換位置に切り換える際、 静電引力は、 固定接続端子 5 0の側面 5 2 に接触した可動接続端子 4 0の側面 4 2を側面 5 2から引き離すように 作用する。 従って、 端子 4 0、 5 0のスティクシヨン現象の発生を積極 的に防止することができる。
図 6は、上記マイクロマシンスィッチ 1の変形例を示す平面図である。 図 6に示すマイクロマシンスィッチ 1は、 中空円筒形の支持部材 3を 有し、 静止ピン 2の垂直軸部 2 1は、 支持部材 3の中心部に配置される。 付勢手段 6は、 弾力的に変形可能な複数のリーフスプリングからなり、 各リーフスプリングは、 軸部 2 1から放射状に延び、 軸部 2 1 と支持部 材 3とを一体的に連結する。 静止ピン 2及び付勢手段 6は、 単結晶又は 多結晶シリコンより成形される。
前述の如く、 回路部 9 0 (図 3 ) の制御下にマイクロマシンスィッチ
1を切換制御し、 付勢手段 6の弾性復元力に抗して第 1切換位置又は第
2切換位置のいずれかにマイクロマシンスィッチ 1を切換えることによ り、 可動接続端子 4 0の側面 4 2は、 固定接続端子 5 0の側面 5 2と交 互又は選択的に接触する。
図 7は、 本発明の他の実施形態に係るマイクロマシンスィツチの構造 を示す平面図及び側面図であり、 図 8及び図 9は、 マイクロマシンスィ ツチ 1の作動態様を示す横断面図である。 なお、 図 8には、 マイクロマ シンスィッチ 1の第 1切換位置が示され、 図 9には、 マイクロマシンス イッチ 1の第 2切換位置が示されている。 また、 各図において、 図 1乃 至図 5に示す実施形態の各構成要素と実質的に同一又は同等の構成要素 については、 同一の参照符号が付されている。
前述の実施形態のマイクロマシンスィッチ 1が支持部材 3の回転運動 を用いた切換構造のものであつたのに対し、 本実施形態のマイクロマシ ンスィッチ 1は、 支持部材 3の水平方向又は横方向の線型運動を用いた 切換構造を有する。
マイクロマシンスィツチ 1は、 可動支持部材 3、 可動接続部 4、 固定 接続部 5、 付勢手段 6及び駆動部 7を備える。 可動接続部 4は、 支持部 材 3の前後方向の移動に従って変位する複数の可動接続端子 4 0を有し、 固定接続部 5は、 基板 （図示せず） に固定された複数の固定接続端子 5 0を有する。 可動接続端子 4 0は、 支持部材 3の往復動によって固定接 続端子 5 0と接触し又は離間する。
支持部材 3は、 中心線 C 2に沿って延びる板体又は軸部材からなり、 駆動部 7の櫛形可動電極 7 0が支持部材 3の両端に夫々連結される。 各 駆動部 7は、 櫛形可動電極 7 0、 櫛形固定電極.7 1及びストッパ 7 2か ら構成され、 各構成要素 7 0、 7 1、 7 2は、 中心線 C 1、 C 2に対し て線対称に配置される。 可動電極 7 0の線型基部 7 4が、 支持部材 3の 端部に一体的に連結され、 支持部材 3と直交する方向に延びる。 多数の 延長部 7 5が、 基部 7 4の外側面に等間隔に配置され、 中心線 C 2の方 向に突出する。 ストッパ 7 2は、 基部 7 の両端部に隣接して配置され、 付勢手段 6は、 基部 7 4の両端部に接続される。 付勢手段 6は、 支持部 材 3を弾力的に保持する弾性部材 6 0と、 弾性部材 6 0を基板に係留す る係留部 6 1 とから構成される。 弾性部材 6 0は、 一端を係留部 6 1に 係止し、 他端を線型基部 7 4の端面に係止したリ一フスプリングからな り、 支持部材 3は、 弾力的に変形可能な弾性部材 6 0によって、 図 7に 示す初期位置に保持される。
基板に固定した固定電極 7 1の線型基部 7 7が、 可動電極 7 1と対向 する位置に配置され、 多数の延長部 7 8が、 基部 7 7の内側面に等間隔 に配置される。 延長部 7 8は、 基部 7 7から可動電極 7 0に向かって突 出し、 延長部 7 5の間に延び、 かくして、 非接触状態の櫛形電極対が支 持部材 3の前後に形成される。
可動接続部 4を構成する複数のアーム部 4 1が支持部材 3の側面 3 2 に固定され、 中心線 C 1と平行に側面 3 2から外方に延びる。 方形断面 の可動接続端子 4 0が、 各アーム部 4 1の外端部に固定され、 各可動接 続端子 4 0は夫々、対応する固定接続端子 5 0の凹所 5 1内に延入する。 固定接続端子 5 0の側面 5 2が凹所 5 1内において可動接続端子 4 0の 側面 4 2と対向し、 側面 4 2と接触可能に位置決めされる。 なお、 図 7 に示す初期位置では、 側面 4 2、 5 2は、 離間している。
前述の如く、 支持部材 3は、 常時は、 弾性部材 6 0によって初期位置 (図 7 ) に保持され、 櫛形可動電極 7 0の各部は、 櫛形固定電極 7 1を 構成する櫛形可動電極 7 0の各部から所定距離、 例えば、 2 ^ mの間隔 を隔てた位置に配置される。 外部電源より回路部 （図示せず） を介して マイクロマシンスィッチ 1に給電し、 片側の可動電極 7 0及び固定電極 7 1の間に電圧を印加すると、 支持部材 3は、 中心線 C 2の方向に移動 し、 可動接続端子 4 0と固定接続端子 5 0とが接触する。
例えば、 図 8に示す如く、 片側の可動電極 7 0 a及び固定電極 7 1 a の間に電圧を印加すると、 可動電極 7 0 a及び固定電極 7 1 aは、 静電 引力によって互いに接近する。 支持部材 3、 可動接続部 4及び可動電極 7 0 bは、 可動電極 7 0 aの両端部がストツパ 7 2 aと衝合して移動を 規制されるまで、 可動電極 7 0 aと一体的に移動し、 可動接続端子 4 0 の側面 4 2 aは、 固定接続端子 5 0の側面 5 2 aと接触する。
逆に、 図 9に示す如く、 反対側の可動電極 7 0 b及び固定電極 7 1 b の間に電圧を印加すると、 可動電極 7 0 b及び固定電極 7 1 bは、 静電 引力によって互いに接近する。 支持部材 3、 可動接続部 4及び可動電極 7 0 aは、 可動電極 7 0 bの両端部がストツパ 7 2 bと衝合して移動を 規制されるまで、 可動電極 7 0 bと一体的に移動し、 可動接続端子 4 0 の側面 4 2 bは、 固定接続端子 5 0の側面 5 2 bと接触する。
従って、 本実施形態のマイクロマシンスィッチ 1によれば、 前述の実 施形態と同様、 マイクロマシンスィッチ 1の三次元構造を大きく拡大す ることなく、 複数の端子 4 0、 5 0を平面的に分散配置することができ る。 しかも、 回路部 9 0の制御下にマイクロマシンスィッチ 1を切換制 御し、 可動電極 7 0 a及び固定電極 7 1 aの間に電圧を印加する第 1切 換位置と、 可動電極 7 0 b及び固定電極 7 1 bの間に電圧を印加する第 2切換位置とのいずれかにマイクロマシンスィッチ 1を交互又は選択的 に切換えることにより、 可動接続端子 4 0の各側の側面 4 2 a、 4 2 b を固定接続端子 5 0の側面 5 2 a、 5 2 bと交互又は選択的に接触させ、 マイクロマシンスィッチ 1の接点を接続することができる。 従って、 可 動接続端子 4 0の同一側面 4 2が固定接続端子 5 0の同一側面 5 2と接 触する頻度を大きく低減し、 これにより、 接点構成部材 3、. 4、 5の疲 労破壊を防止し、 マイクロマシンスィッチ 1の寿命を延長することがで きる。
また、複数の可動接続端子 4 0を設けることにより、 接点数が増加し、 接触面積も拡大するので、 いずれかの端子 4 0、 5 0に異常又は不良が 発生した場合であっても、 他の端子 4 0、 5 0が正常に機能する。 従つ て、 マイクロマシンスィッチ 1は、 このような場合にも所望のスィッチ ング動作及び性能を維持するので、 マイクロマシンスィツチ 1の信頼性 は、 向上する。
更に、 マイクロマシンスィッチ 1を第 1切換位置から初期位置又は第 2切換位置に切り換える際、 或いは、 第 2切換位置から初期位置又は第 1切換位置に切り換える際、 支持部材 3は、 接触状態の側面 4 2 a、 5 2 a又は側面 4 2 b、 5 2 bを強制的に分離する。 従って、 端子 4 0、 5 0のステイクション現象を確実に防止することができる。
図 1 0及び図 1 1は、 本発明の更に他の実施形態に係るマイクロマシ ンスィツチの構造を示す平面図及び斜視図であり、図 1 2及び図 1 3は、 マイクロマシンスィッチの I ― I線断面図及び H - Π線断面図である。 各図において、 図 1〜図 9に示す実施形態の各構成要素と実質的に同一 又は同等の構成要素については、 同一の参照符号が付されている。
図 1 0〜図 1 4に示すマイクロマシンスィッチ 1は、 前述の実施例と 同様、 支持部材 3、 可動接続部 4、 固定接続部 5、 付勢手段 6及び駆動 部 7を有し、 可動接続部 4を平面内で所定方向に変位させるように構成 される。 マイクロマシンスィッチ 1は更に、 駆動部 7の下側に配置され た第 2駆動部 8 (図 1 3 ) を有し、 第 2駆動部 8は、 可動接続部 4を上 下方向 （鉛直方向） に変位させるように構成される。
図 1 0及び図 1 1を参照して、 マイクロマシンスィッチ 1の全体構成 を説明する。
固定接続部 5は、 基板 （図示せず） に固定された基台 5 5と、 基台 5 5の上面に形成された一対の固定接続端子 5 0とを備える。 固定接続端 子 5 0は、 所定間隔を隔てて離間した固定接点 5 0 aを有する。 可動接 続部 4は、 支持部材 3の側面に固定された一対の可動接続端子 4 0を有 し、 可動接続端子 4 0は、 接点 5 0 aと対向する位置に配置される。 第 1駆動部 7を構成する線型基部 7 4が支持部材 3の両端部に一体的に接 続される。 基部 7 4及び支持部材 3は、 中心線 C 2上に直列連結した一 体的な軸部材を構成する。 第 1駆動部 7は、 櫛形可動電極 7 0及び櫛形 固定電極 7 1から構成される。 櫛形可動電極 7 0は、 基部 7 4と、 基部
7 4の両側に配置された延長部 7 5とを有し、 櫛形固定電極 7 1は、 線 型基部 7 7と、 基部 7 7の片側に配置された延長部 7 8とを有する。 付 勢手段 6は、 基部 7 4の端部に接続した弾性部材 6 0と、 弹性部材 6 0 を基板に係留する係留部 6 1とから構成される。 弾性部材 6 0は、 一端 を係留部 6 1に係止し、 他端を線型基部 7 4の端面に係止したリーフス プリングからなる。 支持部材 3は、 弾性部材 6 0によって、 図 1 0及び 図 1' 1に示す初期位置に保持され、可動接続端子 4 0と接点 5 0 aとは、 水平方向及び鉛直方向に距離を隔てた位置に保持される。
図 1 2及び図 1 3に示す如く、 第 2駆動部 8は、 4体の櫛形可動電極 8 1を有する。 固定電極 8 1は、 固定電極 7 1 と同一の構造及び形状を 有し、 同一の平面位置に配置される。 各固定電極 8 1は、 線型基部 8 7 及び延長部 8 8からなり、 基部 8 7は、 基板 （図示せず） に固定される。 絶縁層 8 9が基部 7 7、 8 7の間に介挿される。
図 1 4は、 第 1駆動部 7及び第 2駆動部 8の相対的な位置関係及び作 動原理を概略的に示す斜視図である。
図 1 4 (A) に示す初期位置において、 可動電極 7 0及び固定電極 7 1の間に電圧を印加すると、 可動電極 7 0と固定電極 7 1との間に静電 引力が発生する。 可動電極 7 0は、 固定電極 7 1に接近するように水平 移動する。 可動電極 7 0の水平移動に相応して弾性部材 6 0 (図 1 0及 び図 1 1 ) の弹性復元力が増大するので、 可動電極 7 0の水平変位は、 弾性部材 6 0によって制限され、 図 1 4 (B) に示す如く、 所定位置で 静止する。可動電極 7 0及び固定電極 8 1の間に更に電圧を印加すると、 可動電極 7 0及び固定電極 8 1の間に静電引力が発生し、 可動電極 7 0 は、 固定電極 8 1に接近するように鉛直方向に変位する。 可動電極 7 0 の鉛直変位に相応して弹性部材 6 0 (図 1 0及び図 1 1 ) の弾性復元力 が増大し、 可動電極 7 0の鉛直変位は、 弾性部材 6 0によって制限され、 可動電極 7 0は、 図 1 4 (C) 又は図 1 4 (D) に示す如く、 所定位置 で静止する。
全ての固定電極 8 1及び可動電極 7 0の間に均一に電圧を印加した場 合、 可動電極 7 0を均一に下方変位させる静電引力が発生するので、 可 動電極 7 0は、 図 1 4 (C) に示す如く、 全体的に鉛直変位する。 これ に対し、 片側の固定電極 8 1及び可動電極 7 0の間にのみ電圧を印加す ると、 可動電極 7 0は、 図 1 4 (D) に示す如く、 中心線 C 2を中心に 回動する。
本実施形態のマイクロマシンスィッチ 1では、 スィッチ ON— O F F 時の動作は、 次の通り設定される。
(1)スィツチ ON時
固定接続端子 5の側に位置する固定電極 7 1 (図 1 0において左側に 示す固定電極 7 1 ) と、 可動電極 7 0との間に電圧を印加し、 可動接続 端子 40を水平方向に変位させる。 次いで、 固定電極 8 1及び可動電極 7 0の間に電圧を印加し、 可動接続端子 4 0を下方変位させる。
(2)スィツチ〇 F F時
固定接続端子 5と反対の側に位置する固定電極 7 1 (図 1 0において 右側に示す固定電極 7 1 ) と、 可動電極 7 0との間に電圧を印加し、 可 動接続端子 4 0を水平方向に変位させる。 固定電極 8 1及び可動電極 7 0の間の電圧を消勢し、 弾性部材 6 0の反発力によって可動接続端子 4 0を上方変位させ、 初期位置に復帰させる。
図 1 5は、 マイクロマシンスィッチ 1の ΠΙ-ΙΙΙ線断面図であり、 図 1 5 (A) 〜 （C) には、 図 1 4 (A) 〜 （C) に示す可動電極 7 0の変 位に対応した可動接続端子 40の変位が示されている。
可動接続端子 4 0の可動接点 40 aと、 固定接点 5 0 aとは、 図 1 5 (A) に示す初期位置において、 水平方向及び鉛直方向に距離 L、 Hを 隔てて離間している。 この状態では、 接点 40 a、 5 0 aは対面せず、 従って、 対面時の距離 Hが比較的小さい寸法に設定されているにもかか わらず、 十分な絶縁性を確保することができる。 可動電極 7 0及び固定 電極 7 1の間に電圧を印加し、 図 1 4 (B) に示すように可動電極 7 0 を水平変位させると、 可動接続端子 4 0は、 水平距離 Lだけ水平移動す る。 この結果、 可動接続端子 4 0の先端下面に位置する可動接点 40 a は、 固定接点 5 0 aの上方に移動し、 図 1 5 (B) に示すように固定接 点 5 0 aと対面する。 この状態では、 接点 4 0 a、 5 0 aは、 鉛直方向 の距離 Hを隔てて離間している。
可動電極 7 0及び固定電極 8 1の間に更に電圧を印加し、 図 1 4 (C) に示すように可動電極 7 0を下方変位させると、 可動接続端子 4 0は、 下方変位する。 この結果、 可動接点 4 0 aは、 図 1 5 (C) に示すよう に固定接点 5 0 aと接触する。 接点 4 0 a、 5 0 aは、 比較的小さい寸 法 （鉛直距離 H) をだけ吸着時に変位するにすぎないことから、 接点接 触時の衝撃は、 軽減する。
図 1 6は、 可動接続端子 4 0の移動の態様を示す斜視図である。
図 1 6 (A) に示す初期位置において、 可動接続端子 4 0は、 固定接 点 5 0 aから離間し、 固定接続端子 5 0は、 固定接点 5 0 aの離間によ つて導電経路を切断されている。 可動接続端子 4 0は、 図 1 6 (B) に 示すように固定接点 5 0 aの直上に水平移動した後、 図 1 6 (C) に示 すように下方変位し、 この結果、 可動接点 4 0 aは固定接点 5 0 aと接 触する。 この結果、 導電経路は、 図 1 6 (C) に仮想線で示す如く、 閉 成する。
閉成した導電経路を切断する場合、 可動接続端子 4 0は、 図 1 6 (B) に破線の矢印で示すように水平移動した後、 図 1 6 (C) に破線の矢印 で示すように上方変位する。 可動接続端子 4 0の水平移動により、 接点 4 0 a、 5 0 aの界面に剪断力が作用する。 これは、 引き続く可動接続 端子 4 0の上方変位による接点 4 0 a、 5 0 aの分離を容易にする。
図 1 7は、 マイクロマシンスィツチ 1の斜視図であり、 図 1 7 (A) 〜 （C) には、 図 1 4 (A) , (B) 及び （D) に示す可動電極 7 0の 変位に相応する可動接続端子 4 0の変位が示されている。
図 1 7 (A) に示す初期位置において、 可動接続端子 4 0は、 固定接 点 5 0 aから離間し、 固定接続端子 5 0は、 固定接点 5 0 aの離間によ つて導電経路を切断されている。 可動電極 7 0及び固定電極 7 1の間に 電圧を印加すると、 可動接続端子 4 0は、 図 1 7 ( B ) に示すように固 定接点 5 0 aの直上に水平移動する。 固定接続端子 5 0の側に位置する 2組の固定電極 8 1及び可動電極 7 0の間にのみ電圧を印加すると、 可 動電極 7 0は、 図 1 7 ( C ) に示す如く、 中心線 C 2を中心に回動し、 この結果、 可動接点 4 0 aは固定接点 5 0 aに接触する。 かくして、 固 定接続端子 5 0は閉成し、 図 1 6 ( C ) に仮想線で示す導電経路が形成 される。
このような構成のマイクロマシンスィッチ 1によれば、 可動電極 7 0 を水平方向及び鉛直方向 （又は回転方向） の二方向に段階的に変位させ る二層構造又は三次元構造の固定電極 7 1 、 8 1を備える。 従って、 固 定接点 5 0 aと可動接点 4 0 aとの間の距離を拡大することなく、 接点 開離時 （スィッチ O F F時） の絶縁性を確保することができる。
また、 接触状態 （スィッチ O N ) の接点を開離する際、 固定接点 5 0 aと可動接点 4 0 aとの界面に剪断力が作用するので、 マイクロマシン スィッチ 1は、 比較的容易に接点開離動作を行うことができる。 このよ うな接点開離動作は又、 スティクション現象又は接点溶着を防止する上 で有効に働く。
以上、 本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、 本発明は 上記実施形態に限定されるものではなく、 特許請求の範囲に記載された 本発明の範囲内で種々の変形又は変更が可能である。
例えば、 支持部材、 可動接続端子及び固定接続端子の数、 配置及び形 状は、 本発明に従って任意に設計変更することができる。
また、 支持部材を駆動する駆動部の構造及び配置も又、 本発明に従つ て任意に設計変更することが可能である。
更に、 図 1 0〜図 1 7に示す実施形態において、 可動電極 7 0を二方 向 （水平方向及び鉛直方向） に同時に変位させることも可能である。 こ の場合、 可動接点 4 0 aは、 斜め下方又は斜め上方に変位する。 但し、 接点 4 0 a、 5 0 aの界面に剪断力を作用せしめて、 接点 4 0 a、 5 0 aの分離を容易にするためには、 接点開離時に可動電極 7 0を二方向に 段階的に変位させることが望ましい。 産業上の利用可能性
本発明のマイクロマシンスィツチは、 D Cレベルから数十ギガへルツ に至る広範な信号周波数に適応するマイクロマシンスィツチとして使用 される。 殊に、 本発明は、 高い信頼性、 低電力消費、 低動作電圧、 省ス ペース性、効率的スィツチング等を要求されるマイクロマシンスィッチ、 例えば、 携帯電話の R Fフロントェンド ·チップのゲイン · コント口一 ルゃ、 送受信モード間又はバンド間のスイッチング等に利用可能なマイ クロマシンスィッチに好ましく適用し得る。

Claims

請 求 の 範 囲
1 . 基板に固定した固定接続端子と、 固定接続端子と接触可能な可動 接続端子とを有し、 該可動接続端子の支持部材に作用する駆動力によつ て該支持部材を変位させ、 前記固定接続端子及び可動接続端子を接触又 は離間させるように構成されたマイクロマシンスィッチにおいて、 前記固定接続端子及び可動接続端子は、 前記基板の平面と実質的に平 行な方向に離間し、 前記可動接続端子は、 この方向の前記支持部材の変 位によって前記固定端子と接触するように配置されることを特徴とする マイクロマシンスィッチ。
2. 複数の前記固定接続端子が前記基板に固定され、 各固定接続端子と 接触可能な複数の前記可動接続端子が、 前記支持部材の変位に従って所 定の固定接続端子と接触するように配置されることを特徴とする請求項 1に記載のマイクロマシンスィッチ。
3. 前記可動接続端子は、 前記固定接続端子の間に位置決めされ、 前記 支持部材の双方向の変位によって両側の固定接続端子と選択的に接触す るように構成されることを特徴とする請求項 1又は 2に記載のマイク口 マシンスィツチ。
4. 前記支持部材を初期位置に保持する付勢手段を有し、 前記支持部材 は、 静電気力の作用により、 前記付勢手段の保持力に抗して変位し、 静 電気力の解放時に付勢手段の復元力によって初期位置に復帰することを 特徴とする請求項 1〜 3のいずれか 1項に記載されたマイクロマシンス イッチ。
5. 電圧を印加することにより静電引力を発生させる固定電極及び可動 電極を有し、 該可動電極は、 前記支持部材に一体的に連結され、 前記静 電引力の発生時に前記固定電極に接近し、 前記支持部材を前記方向に変 位させることを特徴とする請求項 1〜 4のいずれか 1項に記載されたマ イクロマシンスィッチ。
6. 複数の前記固定電極が、 前記可動電極を双方向に変位させるように 前記基板に配置されることを特徴とする請求項 5に記載のマイクロマシ ンスィッチ。
7. 前記固定電極に対する前記可動電極の接近を制限するストッパを有 することを特徴とする請求項 6に記載のマイクロマシンスィッチ。
8. 前記支持部材は、 双方向に回転可能に前記基板上に配置され、 前記 可動接続端子は、 前記支持部材の外周部から径方向外方に突出する突出 部材に取付けられ、 前記可動接続端子の各側の面が前記固定接続端子に 選択的に接触するように配置されることを特徴とする請求項 2〜4のい
2
ずれか 1項に記載のマイクロマシン4ス . ィッチ。
9. 前記支持部材は、 双方向に線型運動可能に前記基板上に配置され、 前記可動接続端子は、 前記支持部材の側方に突出する突出部材に取付け られ、 前記可動接続端子の各側の面が前記固定接続端子に選択的に接触 するように配置されることを特徴とする請求項 2〜4のいずれか 1項に 記載のマイクロマシンスィッチ。
10. 基板に固定した固定接続端子と、 固定接続端子と接触可能な可動 接続端子とを有し、 該可動接続端子の支持部材に作用する駆動力によつ て該支持部材を変位させ、 前記固定接続端子及び可動接続端子を接触又 は離間させるように構成されたマイクロマシンスィッチにおいて、 複数の前記固定接続端子が前記基板に固定され、 各固定接続端子と接 触可能な複数の前記可動接続端子が、 前記支持部材の変位に従って所定 の固定接続端子と同時に接触するように配置されることを特徴とするマ イクロマシンスィッチ。
11. 基板に固定した固定接続端子と、 固定接続端子と接触可能な可動 接続端子とを有し、 該可動接続端子の支持部材に作用する駆動力によつ て該支持部材を変位させ、 前記固定接続端子及び可動接続端子を接触又 は離間させるように構成されたマイクロマシンスィッチにおいて、 前記可動接続端子は、 前記固定接続端子の間に位置決めされ、 前記支 持部材の双方向の変位によって両側の固定接続端子と選択的に接触する ように配置されることを特徴とするマイクロマシンスィッチ。
12. 可動接続端子が点対称又は線対称の形状を有することを特徴とす る請求項 1、 1 0又は 1 1に記載のマイクロマシンスィッチ。
13. 前記可動接続端子及び前記固定接続端子が全体的に点対称又は線 対称の形状を有することを特徴とする請求項 1、 1 0又は 1 1に記載の マイクロマシンスィツチ。
14. 前記可動接続端子、 前記支持部材及び前記固定接続端子が全体的 に点対称又は線対称の形状を有することを特徴とする請求項 1、 1 0又 は 1 1に記載のマイクロマシンスィッチ。
15. 基板に固定した固定接続端子と、 固定接続端子と接触可能な可動 接続端子とを有し、 該可動接続端子の支持部材に作用する駆動力によつ て該支持部材を変位させ、 前記固定接続端子及び可動接続端子を接触又 は離間させるように構成されたマイクロマシンスィッチにおいて、 前記可動接続端子を段階的又は同時に二方向に変位させて前記固定接 続端子に接触させる駆動手段を備えたことを特徴とするマイクロマシン スィッチ。
16. 前記駆動手段は、 接点開離時に初期的に前記可動接続端子を第 1 方向に変位させ、 該可動接続端子と前記固定接続端子との接触部に剪断 力を与えることを特徴とする請求項 1 5に記載のマイクロマシンスイツ チ。
17. 前記第 1方向は、 水平方向に設定され、 前記第 2方向は、 鉛直方 向、 或いは、 水平軸線廻りの回転方向に設定され、 前記駆動手段は、 電 圧を印加することにより静電引力を発生させる可動電極と二層構造の固 定電極とを有し、 該固定電極は、 前記可動電極から水平方向に離間した 第 1固定電極と、 第 1固定電極の下側に配置された第 2固定電極とから 構成されることを特徴とする請求項 1 6に記載のマイクロマシンスイツ チ。
18. 前記支持部材を初期位置に保持する付勢手段を有し、 前記支持部 材は、 前記駆動手段が発生させる静電気力の作用により、 前記付勢手段 の保持力に抗して変位し、 前記静電気力の解放時に前記付勢手段の復元 力によって初期位置に復帰することを特徴とする請求項 1 5〜 1 7のい ずれか 1項に記載されたマイクロマシンスィッチ。
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Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1850360A1 (en) * 2006-04-26 2007-10-31 Seiko Epson Corporation Microswitch with a first actuated portion and a second contact portion
WO2007125969A1 (ja) * 2006-04-28 2007-11-08 Panasonic Corporation マイクロマシンスイッチ、フィルタ回路、共用器回路、及び通信機器
JP2010199214A (ja) * 2009-02-24 2010-09-09 Oki Semiconductor Co Ltd Ｍｅｍｓチューナブルキャパシタ
JP2011146403A (ja) * 2006-09-12 2011-07-28 Alcatel-Lucent Usa Inc 湾曲バイレイヤーによるメカニカルスイッチ
CN102142337A (zh) * 2010-02-01 2011-08-03 索尼公司 接触开关
JP2013232391A (ja) * 2011-07-29 2013-11-14 General Electric Co <Ge> 電気分配システム
WO2016047011A1 (ja) * 2014-09-26 2016-03-31 ソニー株式会社 スイッチ装置および電子機器
WO2017153773A1 (en) * 2016-03-11 2017-09-14 The University Of Bristol Electromechanical relay device
WO2017189806A1 (en) * 2016-04-27 2017-11-02 The Regents Of The University Of California Rf-powered micromechanical clock generator
US10257002B2 (en) 2016-04-27 2019-04-09 The Regents Of The University Of California Zero-quiescent power receiver

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5840723A (ja) * 1981-09-03 1983-03-09 オムロン株式会社 リレ−
JPH04306520A (ja) * 1990-11-01 1992-10-29 Hughes Aircraft Co マイクロ機械加工スイッチおよびその製造方法
JPH05274953A (ja) * 1992-03-25 1993-10-22 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 静電駆動式トグルスイッチ
JPH09251834A (ja) * 1996-03-15 1997-09-22 Omron Corp 静電リレー
JP2001084884A (ja) * 1999-07-13 2001-03-30 Trw Inc 平面エアブリッジｍｅｍｓスイッチ
JP2003282359A (ja) * 2002-03-25 2003-10-03 Murata Mfg Co Ltd 可変容量素子

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5840723A (ja) * 1981-09-03 1983-03-09 オムロン株式会社 リレ−
JPH04306520A (ja) * 1990-11-01 1992-10-29 Hughes Aircraft Co マイクロ機械加工スイッチおよびその製造方法
JPH05274953A (ja) * 1992-03-25 1993-10-22 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 静電駆動式トグルスイッチ
JPH09251834A (ja) * 1996-03-15 1997-09-22 Omron Corp 静電リレー
JP2001084884A (ja) * 1999-07-13 2001-03-30 Trw Inc 平面エアブリッジｍｅｍｓスイッチ
JP2003282359A (ja) * 2002-03-25 2003-10-03 Murata Mfg Co Ltd 可変容量素子

Cited By (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7745747B2 (en) 2006-04-26 2010-06-29 Seiko Epson Corporation Microswitch with a first actuated portion and a second contact portion
EP1850360A1 (en) * 2006-04-26 2007-10-31 Seiko Epson Corporation Microswitch with a first actuated portion and a second contact portion
WO2007125969A1 (ja) * 2006-04-28 2007-11-08 Panasonic Corporation マイクロマシンスイッチ、フィルタ回路、共用器回路、及び通信機器
US8022794B2 (en) 2006-04-28 2011-09-20 Panasonic Corporation Micromachine switch, filter circuit, duplexer circuit, and communication device
JP2011146403A (ja) * 2006-09-12 2011-07-28 Alcatel-Lucent Usa Inc 湾曲バイレイヤーによるメカニカルスイッチ
JP2010199214A (ja) * 2009-02-24 2010-09-09 Oki Semiconductor Co Ltd Ｍｅｍｓチューナブルキャパシタ
CN102142337B (zh) * 2010-02-01 2015-02-18 索尼公司 接触开关
CN102142337A (zh) * 2010-02-01 2011-08-03 索尼公司 接触开关
JP2011159504A (ja) * 2010-02-01 2011-08-18 Sony Corp 有接点スイッチ
JP2013232391A (ja) * 2011-07-29 2013-11-14 General Electric Co <Ge> 電気分配システム
WO2016047011A1 (ja) * 2014-09-26 2016-03-31 ソニー株式会社 スイッチ装置および電子機器
CN107077999A (zh) * 2014-09-26 2017-08-18 索尼公司 开关装置和电子设备
US10074491B2 (en) 2014-09-26 2018-09-11 Sony Corporation Rapid micro electro mechanical system switching apparatus
CN107077999B (zh) * 2014-09-26 2019-05-31 索尼公司 开关装置和电子设备
WO2017153773A1 (en) * 2016-03-11 2017-09-14 The University Of Bristol Electromechanical relay device
US10727016B2 (en) 2016-03-11 2020-07-28 The University Of Bristol Electromechanical relay device
WO2017189806A1 (en) * 2016-04-27 2017-11-02 The Regents Of The University Of California Rf-powered micromechanical clock generator
US10257002B2 (en) 2016-04-27 2019-04-09 The Regents Of The University Of California Zero-quiescent power receiver
US10867757B2 (en) 2016-04-27 2020-12-15 The Regents Of The University Of California RF-powered micromechanical clock generator

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