JP2013222715A - ピックアップ方法およびピックアップ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】コレット13が下降してきてチップ11に接触した際には、押し上げ手段Mにて、チップ11はコレット13の押圧力よりも小さい押し上げ力にて押し上げられている。コレット13の下降とともに、チップ11は押し上げ手段Mによる押し上げ力に抗して、下降する。
【選択図】図1
Description
13 コレット
15 粘着シート
20 ステージ
21 ピン
M 押し上げ手段
Claims (9)
- 粘着シート上のチップを、ピップアップ位置上方のコレットを下降させてこのコレットにて吸着してピップアップするピックアップ方法であって、
コレットが下降して最下点に到達した際に、コレットがチップに接触するときは、コレットがチップに接触する際の押圧力よりも小さい押し上げ力にてチップ側を押し上げた状態で、コレットを下降させてチップに接触させることを特徴とするピックアップ方法。 - コレットが下降して最下点に到達した際に、コレットとチップとの間に隙間が生じたときには、チップ側を押し上げてその隙間を無くすことを特徴とする請求項1に記載のピックアップ方法。
- チップは粘着シートを介して突き上げピンにて押し上げられ、前記突き上げピンが下降することによって、コレットからのチップへの衝撃を緩和することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のピックアップ方法。
- 前記突き上げピンは、粘着シートからのチップの剥離の際に用いるチップ突き上げピンであることを特徴とする請求項3に記載のピックアップ方法。
- チップが粘着されている粘着シートを、押し上げられた状態のステージにて受け、このステージが下降することによって、コレットからのチップへの衝撃を緩和することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のピックアップ方法。
- 粘着シート上のチップを、ピップアップ位置上方のコレットを下降させてこのコレットにて吸着してピップアップするピックアップ装置であって、
チップ側を押し上げる押し上げ手段を備え、この押し上げ手段は、コレットが下降して最下点に到達した際に、コレットがチップに接触するときは、コレットがチップに接触する際の押圧力よりも小さい押し上げ力にてチップ側を押し上げた状態で、コレットを下降させてチップに接触させることを特徴とするピックアップ装置。 - 前記押し上げ手段は、コレットが下降して最下点に到達した際に、コレットとチップとの間に隙間が生じたときには、チップ側を押し上げてその隙間を無くすことを特徴とする請求項6に記載のピックアップ装置。
- 押し上げ手段を、粘着シートからのチップの剥離の際に用いるチップ突き上げピンにて構成し、前記突き上げピンが下降することによって、コレットからのチップへの衝撃を緩和することを特徴とする請求項6又は請求項7に記載のピックアップ装置。
- 前記押し上げ手段を、チップが粘着されている粘着シートを受けるステージと、コレットがチップに接触する際の押圧力よりも小さい押し上げ力にて前記ステージを押し上げる押し上げ機構とで構成し、このステージが下降することによって、コレットからのチップへの衝撃を緩和することを特徴とする請求項6又は請求項7に記載のピックアップ装置。
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JP2016207884A (ja) * | 2015-04-24 | 2016-12-08 | キヤノンマシナリー株式会社 | ボンディングアームの異常検出方法及びボンディングアームの異常検出装置 |
CN110098142A (zh) * | 2019-04-23 | 2019-08-06 | 深圳市安思科电子科技有限公司 | 一种具有缓冲和加固功能的芯片拾取设备 |
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JP2000012570A (ja) * | 1998-06-25 | 2000-01-14 | Toshiba Corp | ダイボンダおよびダイボンディング方法 |
JP2011243797A (ja) * | 2010-05-19 | 2011-12-01 | Canon Machinery Inc | ピックアップ装置 |
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