JP2013219100A - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】処理容器11内に設けられた上部電極42と下部電極13との間に高周波電力を印加して処理ガスをプラズマ化し、当該プラズマにより被処理体をプラズマ処理するプラズマ処理装置1は、上部電極42に直流電圧を印加する直流電源61と、直流電源61に接続されたグランド電極100と、グランド電極100の外方に設けられた環状の遮蔽部材110と、を有し、グランド電極100の外周縁部には、下方に凹に窪んだ溝部101が形成され、遮蔽部材110は、その上端が前記グランド電極の上端より上方に位置するように形成され、遮蔽部材110におけるグランド電極100より上方に位置する部位には、グランド電極100の中心方向に向けて突出する突出部が形成されている。
【選択図】図1
Description
2 マイクロ波供給部
10 ウェハチャック
11 処理容器
12 接地線
13 サセプタ
14 絶縁板
15 支持台
20 補正リング
21 円筒部材
22 伝熱ガス管
30 第1の高周波電源
31 第1の整合器
40 第2の高周波電源
41 第2の整合器
42 上部電極
50 遮蔽部材
51 電極板
52 電極支持板
53 ガス供給口
54、55 ガス拡散室
56 ガス孔
60 ローパスフィルタ
61 直流電源
62 ガス流通路
70 ガス導入口
71 ガス供給管
72 処理ガス供給源
73 流量調整機構
80 ローパスフィルタ
81 直流電源
90 排気口
91 排気室
92 排気管
93 排気装置
100 グランド電極
101 溝部
110 遮蔽部材
110b 突出部
150 制御部
160 スペーサ
170 他の溝部
W ウェハ
T 幅
U 隙間
G 間隔
Claims (9)
- 処理容器内に設けられた上部電極と下部電極との間に高周波電力を印加して処理ガスをプラズマ化し、当該プラズマにより被処理体をプラズマ処理するプラズマ処理装置であって、
前記上部電極に直流電圧を印加する直流電源と、
前記処理容器内に設けられ、前記上部電極に印加された直流電圧に対するグランドとして機能するグランド電極と、
前記グランド電極の外方に設けられた環状の遮蔽部材と、を有し、
前記グランド電極の外周縁部には、第1の縁部を有する下方に凹に窪んだ溝部が形成され、
前記遮蔽部材は、その上端が前記グランド電極の前記第1の縁部の上端より上方に位置するように形成され、
前記遮蔽部材における前記グランド電極より上方に位置する部位には、前記グランド電極の中心方向に向けて突出する突出部が形成されていることを特徴とする、プラズマ処理装置。 - 前記突出部は、その先端が、平面視において前記第1の縁部を跨いで前記グランド電極の溝部の鉛直上方に位置するように形成されていることを特徴とする、請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記突出部の下端面と前記第1の縁部の上面との間には、所定距離の隙間が設けられていることを特徴とする、請求項1または2のいずれかに記載のプラズマ処理装置。
- 前記グランド電極には、前記溝部の外側に更に第2の縁部を有する他の溝部が形成されていることを特徴とする、請求項3に記載のプラズマ処理装置。
- 前記突出部の下端面と前記第1の縁部の上面及び前記第2の縁部の上面との間には、所定距離の隙間が設けられていることを特徴とする、請求項4に記載のプラズマ処理装置。
- 前記突出部の下端面と前記第1の縁部の上面との間の前記隙間と前記突出部の下端面と前記第2の縁部の上面との間の隙間の大きさが異なることを特徴とする、請求項5に記載のプラズマ処理装置。
- 前記溝部には、当該溝部の幅を広げた領域が形成されていることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載のプラズマ処理装置。
- 前記溝部における前記グランド電極の中心側の側面と前記突出部の先端との間の水平方向の距離の長さと、前記溝部の水平方向の幅の長さとの比は1:1〜1:3であることを特徴とする、請求項1〜3に記載のプラズマ処理装置。
- 前記溝部における前記グランド電極の中心側の側面と前記突出部の先端との間の水平方向の距離は3mm〜5mm、前記溝部の水平方向の幅は3〜9mmであることを特徴とする、請求項8に記載のプラズマ処理装置。
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