JP2013201295A - 有機薄膜トランジスタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ゲート電極と、ゲート絶縁層と、ソース電極と、ドレイン電極と、有機半導体層と、を備える有機薄膜トランジスタであって、
前記ゲート絶縁層および/または前記有機半導体層に捕獲された対極キャリアを有し、かつ、前記捕獲された対極キャリアと極性の異なる動作キャリアにより駆動することを特徴とする、有機薄膜トランジスタ。
【選択図】なし
Description
前記ゲート絶縁層および/または前記有機半導体層に捕獲された対極キャリアを有し、かつ、前記捕獲された対極キャリアと極性の異なる動作キャリアにより駆動することを特徴とする、有機薄膜トランジスタ。
[2] 前記ゲート電極の電位および前記ソース電極の電位を同電位とし、前記ドレイン電極の電位を、前記ゲート電極の電位および前記ソース電極の電位と異なる電位とすることで、
前記捕獲された対極キャリアを発生させることを特徴とする、[1]に記載の有機薄膜トランジスタ。
[3] 前記ゲート電極の電位に対する、前記ソース電極の電位および前記ドレイン電極の電位の極性を同じとすることで、
前記捕獲された対極キャリアを発生させることを特徴とする、[1]に記載の有機薄膜トランジスタ。
[4] 前記ソース電極の電位と前記ドレイン電極の電位が異なる電位とすることを特徴とする、[3]に記載の有機薄膜トランジスタ。
[5] 前記ゲート絶縁層内にフローティングゲート電極を更に備え(但し、フローティングゲート電極は、前記有機半導体層の厚み方向において、前記ソース電極と重ならない領域に備えられる。)、
前記ゲート電極の電位および前記ソース電極の電位を同電位とし、前記ドレイン電極の電位を、前記ゲート電極の電位および前記ソース電極の電位と異なる電位とすることで、
前記捕獲された対極キャリアをフローティングゲート電極に発生させることを特徴とする、[1]に記載の有機薄膜トランジスタ。
[6] 前記ゲート絶縁層を構成するゲート絶縁膜材料が電荷を捕獲する機能を有する官能基を有し、
前記ゲート電極の電位および前記ソース電極の電位を同電位とし、前記ドレイン電極の電位を、前記ゲート電極の電位および前記ソース電極の電位と異なる電位とすることで、
前記捕獲された対極キャリアを前記官能基に発生させることを特徴とする、[1]に記載の有機薄膜トランジスタ。
[7] 前記捕獲された対極キャリアが、前記有機半導体層の厚み方向において、前記ソース電極と重ならない領域に存在することを特徴とする、[1]〜[6]のいずれか一項に記載の有機薄膜トランジスタ。
[8] 前記有機半導体層が、共役系高分子化合物を含むことを特徴とする、[1]〜[7]のいずれか一項に記載の有機薄膜トランジスタ。
[9] 前記共役系高分子化合物が、式(1)で表される構造単位を有することを特徴とする、[8]に記載の有機薄膜トランジスタ。
Ar1およびAr2は、それぞれ独立に、3価の芳香族炭化水素基または3価の複素環基を表し、これらの基は置換基を有していてもよい。
X1は、−O−、−S−、−C(=O)−、−S(=O)−、−SO2−、−C(R50)(R51)−、−Si(R52)(R53)−、−N(R54)−、−B(R55)−、−P(R56)−又は−P(=O)(R57)−を表す。R50、R51、R52、R53、R54、R55、R56及びR57は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルキルオキシ基、アルキルチオ基、カルボキシル基又はシアノ基を表す。)
[10] 前記共役系高分子化合物が、式(2)で表される構造単位を有することを特徴とする、[8]または[9]に記載の有機薄膜トランジスタ。
Ar3およびAr4は、それぞれ独立に、3価の芳香族炭化水素基または3価の複素環基を表し、これらの基は置換基を有していてもよい。
X2及びX3は、それぞれ独立に、−O−、−S−、−C(=O)−、−S(=O)−、−SO2−、−C(R50)(R51)−、−Si(R52)(R53)−、−N(R54)−、−B(R55)−、−P(R56)−又は−P(=O)(R57)−を表す。R50、R51、R52、R53、R54、R55、R56及びR57は、前記と同じ意味を表す。)
本発明の有機薄膜トランジスタは、ゲート電極と、ゲート絶縁層と、ソース電極と、ドレイン電極と、有機半導体層と、を備える有機薄膜トランジスタであって、前記ゲート絶縁層および/または前記有機半導体層に捕獲された対極キャリアを有し、かつ、前記捕獲された対極キャリアと極性の異なる動作キャリアにより駆動することを特徴とする。
本発明の有機薄膜トランジスタとしては、電界効果型有機薄膜トランジスタが好ましい。電界効果型有機薄膜トランジスタは、ソース電極およびドレイン電極、これらの間の電流経路となる有機半導体層、電流経路を通る電流量を制御するゲート電極、並びに、有機半導体層とゲート電極との間に配置される絶縁層を備える。ソース電極およびドレイン電極は、有機半導体層に接して設けられており、かつ、有機半導体層に接した絶縁層を挟んでゲート電極が設けられていることが特に好ましい。
図1の電界効果型有機薄膜トランジスタは、基板1と、基板1上に形成されたゲート電極4と、ゲート電極4を覆うようにして基板1上に形成された絶縁層3と、絶縁層3上に形成されたソース電極5およびドレイン電極6と、ソース電極5の少なくとも一部およびドレイン電極6の少なくとも一部を覆うようにして形成された有機半導体材料を含む有機半導体層2とを備える。
例えば、ヒドロキシル基等の極性基は電荷を捕獲する官能基として働き、アルキル基やアリール基等は電荷を捕獲しにくい官能基として働くため、これらの官能基を選択的に形成することで、対極キャリアの捕獲領域を制御したり、官能基の密度を制御することで対極キャリアの捕獲量を制御したりすることができる。
有機シラン化合物としては、ハロゲン化有機シランやアルコキシ有機シランなどがある。官能基の密度を高める場合には、ヒドロキシル基と結合する基が三つあるトリハロゲン化有機シランやトリアルコキシ有機シランを使うと、より高密度に集積した有機シラン単分子膜を形成することができる。ヒドロキシル基を有する絶縁膜としては、シリコンや各種金属の酸化膜を用いることができる。またポリビニルフェノールのようなヒドロキシル基を有する有機絶縁膜や、シルセスキオキサンのようなヒドロキシル基を有する有機・無機複合材料も用いることができる。
A、BおよびCは、それぞれ独立に、芳香環または複素環を表す。
nは、2〜8の整数を表す。Aが複数存在する場合、それらは同一でも異なっていてもよい。
R1およびR2は、それぞれ独立に、ハロゲン原子または1価の基を表す。
sおよびtは、それぞれ独立に、0〜4の整数である。R1が複数個ある場合、それらは同一でも異なっていてもよい。R2が複数個ある場合、それらは同一でも異なっていてもよい。
これらの1価の基は置換基によって置換されていてもよい。該置換基としては、R1やR2で表されるアルキル基、脂肪族不飽和炭化水素基、アリール基、ヘテロアリール基、アルコキシ基、アミノ基、カルボニル基、ニトロ基、ヒドロキシル基、シアノ基、アリールアルキル基、ヘテロアリールアルキル基、アリールオキシ基、ヘテロアリールオキシ基、アルキルシリル基が挙げられる。
アミノ基が有していてもよい置換基としては、アルキル基、アリール基、ヘテロアリール基等が挙げられる。置換基を有するアミノ基の具体例としては、メチルアミノ基、ジメチルアミノ基、ジエチルアミノ基、ジイソプロピルアミノ基、ジシクロヘキシルアミノ基、ピロリジル基、ピペリジル基、フェニルアミノ基、ジフェニルアミノ基、1−ナフチルアミノ基、2−ナフチルアミノ基、ピリジルアミノ基等が挙げられる。
BおよびCで表される芳香環または複素環は、置換基を有していてもよいベンゼン環が好ましい。
R1、R2、sおよびtは、前述と同じ意味を表す。
R5およびR6は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子または1価の基を表す。R5が複数存在する場合、それらは同一でも異なっていてもよい。R6が複数存在する場合、それらは同一でも異なっていてもよい。R5およびR6で表されるハロゲン原子および1価の基の具体例は、前述のR1およびR2で表されるハロゲン原子および1価の基の具体例と同じである。
Xは、硫黄原子、酸素原子またはセレン原子を表す。式(c)で表される基または式(d)で表される基を表す。Xが複数存在する場合、それらは同一でも異なっていてもよい。式(4)〜(9)で表される化合物の製造を簡便化する観点からは、Xは全て同一であることが好ましい。
R7およびR8は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子または1価の基を表す。R7とR8は、互いに結合して、それぞれが結合する炭素原子またはケイ素原子とともに環を形成してもよい。R5およびR6で表されるハロゲン原子および1価の基の具体例は、前述のR1およびR2で表されるハロゲン原子および1価の基の具体例と同じである。
R7とR8とが形成する環は、単環でも縮合環でもよく、環状炭化水素でも複素環でもよいが、単環の炭化水素環またはヘテロ原子として酸素原子または硫黄原子を含む単環の複素環が好ましい。これらの環は置換基を有していてもよい。該置換基としては、ハロゲン原子および1価の基が挙げられる。ハロゲン原子および1価の基の具体例は、前述のR1およびR2で表されるハロゲン原子および1価の基の具体例と同じである。
R20およびR21は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数1〜16のアルキル基、トリイソプロピルシリルエチニル基、フェニル基、または、炭素数1〜16のアルキル基で置換されたフェニル基を表し、アルキル基およびトリイソプロピルシリルエチニル基が好ましい。
R11、R12およびR14は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子または1価の基を表し、
R13は、ハロゲン原子または1価の基を表す。
uは、0以上の整数を表す。R11が複数個ある場合、それらは同一でも異なっていてもよい。R13が複数個ある場合、それらは同一でも異なっていてもよい。
R11、R12、R13およびR14で表されるハロゲン原子および1価の基の具体例は、前述のR1およびR2で表されるハロゲン原子および1価の基の具体例と同じである。
R11、R12、R13およびR14から選ばれる、同じ炭素原子または隣接する炭素原子に結合している2個の基は、互いに結合して、それぞれが結合する炭素原子とともに環を形成していてもよい。形成される環としては、単環でも縮合環でもよく、環状炭化水素でも複素環でもよいが、単環の環状炭化水素、および、ヘテロ原子として酸素原子または硫黄原子を含む単環の複素環が好ましい。これらの環は置換基を有していてもよい。該置換基としては、ハロゲン原子および1価の基が挙げられる。ハロゲン原子および1価の基の具体例は、前述のR1およびR2で表されるハロゲン原子および1価の基の具体例と同じである。
単環または多環の複素環構造の中でも、より高い移動度が得られるという観点からは、式(12a)で表される構造、式(12a)で表される構造が複数結合した縮合構造、および、式(12a)で表される構造の二つ以上が渡環したが構造が好ましく、Zが硫黄原子である式(12a)で表される構造、Zが硫黄原子である式(12a)で表される構造が複数結合した縮合構造、および、Zが硫黄原子である式(12a)で表される構造の二つ以上が渡環したが構造が特に好ましい。
式(12a)で表される構造が複数結合した縮合構造としては、例えば、式(12f)で表される構造が挙げられる。式(12a)で表される構造の二つ以上が渡環したが構造としては、例えば、式(12c)で表される構造および式(12n)で表される構造が挙げられる。
なお、下記の式において、置換基が付されていない結合手は、他の構造単位との結合を形成している結合手であることを意味している。
R11、R12、R13、R14およびuは、前記と同じ意味を表す。R14が複数ある場合、それらは同一でも異なっていてもよい。特にR13およびR14は水素原子であると好ましい。
Zは、酸素原子、硫黄原子、窒素原子、リン原子、ホウ素原子、ケイ素原子等のヘテロ原子を表し、酸素原子もしくは硫黄原子であると好ましく、硫黄原子であると特に好ましい。
キャリア輸送性高分子化合物は、上述した条件1および、条件2の少なくとも1個を満たすと高分子化合物中の共役不飽和構造が良好に形成され、キャリア輸送性高分子化合物のキャリア輸送性が更に良好となる傾向がある。
塗布法の中でも、スピンコート法、インクジェット印刷法、フレキソ印刷法、スクリーン印刷法、マイクロコンタクト印刷法、グラビアコート法、オフセット印刷法およびグラビア・オフセット印刷法が好ましい。
以下、図1に示される第1実施形態の有機薄膜トランジスタを一例として、有機薄膜トランジスタの製造方法を説明する。
ゲート電極となる高濃度にドーピングされたn型シリコン基板の表面を熱酸化し、膜厚が50nmのシリコン酸化膜をゲート絶縁層として形成した。次に、フォトリソグラフィー工程によりシリコン酸化膜上にチャネル長100μm、チャネル幅1mmのソース電極およびドレイン電極を作製した。ソース電極およびドレイン電極は、シリコン酸化膜側から、クロムおよび金をこの順に積層して形成した。ソース電極およびドレイン電極まで形成した基板をアセトンで10分間超音波洗浄した後、オゾンUVを20分間照射することにより、ゲート絶縁膜にヒドロキシル基を設けた。その後、フェニルエチルトリクロロシランのトルエン希釈液に該基板を2分間浸漬することにより、該基板の表面をシラン処理し、ゲート絶縁膜にフェニルエチル基を設けた。
ゲート電極となる高濃度にドーピングされたn型シリコン基板の表面を熱酸化し、膜厚が50nmのシリコン酸化膜をゲート絶縁層として形成した。次に、フォトリソグラフィー工程によりシリコン酸化膜上にチャネル長100μm、チャネル幅1mmのソース電極およびドレイン電極を作製した。ソース電極およびドレイン電極は、シリコン酸化膜側から、クロムおよび金をこの順に積層して形成した。ソース電極およびドレイン電極まで形成した基板をアセトンで10分間超音波洗浄した後、オゾンUVを20分間照射することにより、ゲート絶縁膜にヒドロキシル基を設けた。その後、フェニルエチルトリクロロシランのトルエン希釈液に該基板を2分間浸漬することにより、該基板の表面をシラン処理し、ゲート絶縁膜にフェニルエチル基を設けた。
Claims (10)
- ゲート電極と、ゲート絶縁層と、ソース電極と、ドレイン電極と、有機半導体層と、を備える有機薄膜トランジスタであって、
前記ゲート絶縁層および/または前記有機半導体層に捕獲された対極キャリアを有し、かつ、前記捕獲された対極キャリアと極性の異なる動作キャリアにより駆動することを特徴とする、有機薄膜トランジスタ。 - 前記ゲート電極の電位および前記ソース電極の電位を同電位とし、前記ドレイン電極の電位を、前記ゲート電極の電位および前記ソース電極の電位と異なる電位とすることで、
前記捕獲された対極キャリアを発生させることを特徴とする、請求項1に記載の有機薄膜トランジスタ。 - 前記ゲート電極の電位に対する、前記ソース電極の電位および前記ドレイン電極の電位の極性を同じとすることで、
前記捕獲された対極キャリアを発生させることを特徴とする、請求項1に記載の有機薄膜トランジスタ。 - 前記ソース電極の電位と前記ドレイン電極の電位が異なる電位とすることを特徴とする、請求項3に記載の有機薄膜トランジスタ。
- 前記ゲート絶縁層内にフローティングゲート電極を更に備え(但し、フローティングゲート電極は、前記有機半導体層の厚み方向において、前記ソース電極と重ならない領域に備えられる。)、
前記ゲート電極の電位および前記ソース電極の電位を同電位とし、前記ドレイン電極の電位を、前記ゲート電極の電位および前記ソース電極の電位と異なる電位とすることで、
前記捕獲された対極キャリアをフローティングゲート電極に発生させることを特徴とする、請求項1に記載の有機薄膜トランジスタ。 - 前記ゲート絶縁層を構成するゲート絶縁膜材料が電荷を捕獲する機能を有する官能基を有し、
前記ゲート電極の電位および前記ソース電極の電位を同電位とし、前記ドレイン電極の電位を、前記ゲート電極の電位および前記ソース電極の電位と異なる電位とすることで、
前記捕獲された対極キャリアを前記官能基に発生させることを特徴とする、請求項1に記載の有機薄膜トランジスタ。 - 前記捕獲された対極キャリアが、前記有機半導体層の厚み方向において、前記ソース電極と重ならない領域に存在することを特徴とする、請求項1〜6のいずれか一項に記載の有機薄膜トランジスタ。
- 前記有機半導体層が、共役系高分子化合物を含むことを特徴とする、請求項1〜7のいずれか一項に記載の有機薄膜トランジスタ。
- 前記共役系高分子化合物が、式(1)で表される構造単位を有することを特徴とする、請求項8に記載の有機薄膜トランジスタ。
Ar1及びAr2は、それぞれ独立に、3価の芳香族炭化水素基または3価の複素環基を表し、これらの基は置換基を有していてもよい。
X1は、−O−、−S−、−C(=O)−、−S(=O)−、−SO2−、−C(R50)(R51)−、−Si(R52)(R53)−、−N(R54)−、−B(R55)−、−P(R56)−又は−P(=O)(R57)−を表す。R50、R51、R52、R53、R54、R55、R56及びR57は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルキルオキシ基、アルキルチオ基、カルボキシル基又はシアノ基を表す。)
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