JP2013195432A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2013195432A5
JP2013195432A5 JP2013056864A JP2013056864A JP2013195432A5 JP 2013195432 A5 JP2013195432 A5 JP 2013195432A5 JP 2013056864 A JP2013056864 A JP 2013056864A JP 2013056864 A JP2013056864 A JP 2013056864A JP 2013195432 A5 JP2013195432 A5 JP 2013195432A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
track
region
measuring device
position measuring
extending
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2013056864A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP6278605B2 (ja
JP2013195432A (ja
Filing date
Publication date
Priority claimed from DE102012204572A external-priority patent/DE102012204572A1/de
Application filed filed Critical
Publication of JP2013195432A publication Critical patent/JP2013195432A/ja
Publication of JP2013195432A5 publication Critical patent/JP2013195432A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6278605B2 publication Critical patent/JP6278605B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2013056864A 2012-03-22 2013-03-19 位置測定装置とこのような位置測定装置を備えた構造体 Active JP6278605B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102012204572.4 2012-03-22
DE102012204572A DE102012204572A1 (de) 2012-03-22 2012-03-22 Positionsmesseinrichtung und Anordnung mit einer derartigen Positionsmesseinrichtung

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2013195432A JP2013195432A (ja) 2013-09-30
JP2013195432A5 true JP2013195432A5 (enExample) 2016-01-07
JP6278605B2 JP6278605B2 (ja) 2018-02-14

Family

ID=47827024

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013056864A Active JP6278605B2 (ja) 2012-03-22 2013-03-19 位置測定装置とこのような位置測定装置を備えた構造体

Country Status (6)

Country Link
US (1) US9389065B2 (enExample)
EP (1) EP2642254B1 (enExample)
JP (1) JP6278605B2 (enExample)
KR (1) KR101864770B1 (enExample)
CN (1) CN103322910B (enExample)
DE (1) DE102012204572A1 (enExample)

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102088685B1 (ko) 2012-12-19 2020-03-13 바스프 에스이 적어도 하나의 물체를 광학적으로 검출하기 위한 검출기
US9989623B2 (en) 2013-06-13 2018-06-05 Basf Se Detector for determining a longitudinal coordinate of an object via an intensity distribution of illuminated pixels
KR20160019067A (ko) 2013-06-13 2016-02-18 바스프 에스이 적어도 하나의 물체의 배향을 광학적으로 검출하기 위한 검출기
CN105637320B (zh) 2013-08-19 2018-12-14 巴斯夫欧洲公司 光学检测器
JP6483127B2 (ja) 2013-08-19 2019-03-13 ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピアＢａｓｆ Ｓｅ 少なくとも１つの対象物の位置を求めるための検出器
JP6660931B2 (ja) 2014-07-08 2020-03-11 ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピアＢａｓｆ Ｓｅ 少なくとも１つの物体の位置を決定するための検出器
JP6578006B2 (ja) * 2014-09-29 2019-09-18 ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピアＢａｓｆ Ｓｅ 少なくとも１個の物体の位置を光学的に求めるための検出器
WO2016092451A1 (en) 2014-12-09 2016-06-16 Basf Se Optical detector
CN107438775B (zh) 2015-01-30 2022-01-21 特里纳米克斯股份有限公司 用于至少一个对象的光学检测的检测器
KR102644439B1 (ko) 2015-07-17 2024-03-07 트리나미엑스 게엠베하 하나 이상의 물체를 광학적으로 검출하기 위한 검출기
KR102539263B1 (ko) 2015-09-14 2023-06-05 트리나미엑스 게엠베하 적어도 하나의 물체의 적어도 하나의 이미지를 기록하는 카메라
JP2019523562A (ja) 2016-07-29 2019-08-22 トリナミクス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 光学的検出のための光センサおよび検出器
WO2018077870A1 (en) 2016-10-25 2018-05-03 Trinamix Gmbh Nfrared optical detector with integrated filter
KR102431355B1 (ko) 2016-10-25 2022-08-10 트리나미엑스 게엠베하 적어도 하나의 대상체의 광학적 검출을 위한 검출기
EP3571522B1 (en) 2016-11-17 2023-05-10 trinamiX GmbH Detector for optically detecting at least one object
US11860292B2 (en) 2016-11-17 2024-01-02 Trinamix Gmbh Detector and methods for authenticating at least one object
JP7204667B2 (ja) 2017-04-20 2023-01-16 トリナミクス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 光検出器
US11067692B2 (en) 2017-06-26 2021-07-20 Trinamix Gmbh Detector for determining a position of at least one object
JP7141313B2 (ja) * 2018-11-06 2022-09-22 Dmg森精機株式会社 変位検出装置
CN111721210B (zh) * 2020-06-19 2021-11-12 深圳市汉森软件有限公司 变换逻辑光栅分辨率后的初始化方法、装置、设备及介质

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08247790A (ja) * 1995-03-10 1996-09-27 Sefuto Kenkyusho:Kk 位置検出装置
DE19633337A1 (de) * 1996-08-07 1998-02-12 Harry Prof Dr Ing Trumpold Positionsmeßsystem
JP4576014B2 (ja) * 1999-12-21 2010-11-04 オリンパス株式会社 光学式エンコーダー
DE10144659A1 (de) * 2000-09-14 2002-05-02 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmesseinrichtung
US7102729B2 (en) * 2004-02-03 2006-09-05 Asml Netherlands B.V. Lithographic apparatus, measurement system, and device manufacturing method
DE102005029917A1 (de) * 2005-06-28 2007-01-04 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Positionsmesseinrichtung
CN101189488B (zh) * 2005-09-21 2010-05-19 松下电器产业株式会社 角度测定装置及方法
JP4932284B2 (ja) * 2006-03-03 2012-05-16 株式会社ミツトヨ 光電式エンコーダ
JP4601006B2 (ja) * 2006-09-29 2010-12-22 本田技研工業株式会社 エアクリーナ装置
JP2008108906A (ja) * 2006-10-25 2008-05-08 Canon Inc 位置決め装置
JP5147368B2 (ja) * 2006-11-20 2013-02-20 ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング エンコーダ
DE102007035345A1 (de) * 2006-11-20 2008-05-21 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Positionsmesseinrichtung
DE102008008873A1 (de) * 2007-05-16 2008-11-20 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Positionsmesseinrichtung
US8174671B2 (en) * 2007-06-21 2012-05-08 Asml Netherlands B.V. Lithographic projection apparatus and method for controlling a support structure
US7804579B2 (en) * 2007-06-21 2010-09-28 Asml Netherlands B.V. Control system, lithographic projection apparatus, method of controlling a support structure, and a computer program product
WO2009098891A1 (ja) * 2008-02-08 2009-08-13 Nikon Corporation 位置計測システム及び位置計測方法、移動体装置、移動体駆動方法、露光装置及び露光方法、パターン形成装置、並びにデバイス製造方法
KR20100041024A (ko) * 2008-10-13 2010-04-22 한국표준과학연구원 2차원 회절 격자를 이용한 6 자유도 측정 장치
JP4283878B2 (ja) * 2008-10-24 2009-06-24 キヤノンアネルバ株式会社 マグネトロンスパッタリング装置
JP2010205867A (ja) * 2009-03-03 2010-09-16 Canon Inc 位置検出装置及び露光装置
KR101078781B1 (ko) * 2010-02-01 2011-11-01 주식회사 고영테크놀러지 3차원 형상 검사방법
WO2011126610A2 (en) * 2010-03-30 2011-10-13 Zygo Corporation Interferometric encoder systems
JP5656467B2 (ja) * 2010-06-17 2015-01-21 Dmg森精機株式会社 位置検出装置
JP5754971B2 (ja) * 2011-02-14 2015-07-29 キヤノン株式会社 形状測定装置及び形状測定方法
DE102012201393A1 (de) 2012-02-01 2013-08-01 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Positionsmesseinrichtung und Anordnung mit mehreren Positionsmesseinrichtungen

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2013195432A5 (enExample)
JP2012199534A5 (enExample)
JP2018523191A5 (enExample)
JP2015521701A5 (enExample)
JP2016200526A5 (enExample)
JP2016046393A5 (enExample)
CN302511216S (zh) 笔（518）
CN302371365S (zh) 摆闸（s1）
CN302267637S (zh) A柱上护板（a08）
CN302509247S (zh) 开罐器（1022）
CN302487713S (zh) 开罐器（1020）
CN302371956S (zh) 仪表板（w03 3）
CN302350289S (zh) 仪表板（w03 2）
CN302589269S (zh) U盘笔（20130428）
CN302534136S (zh) 传感器（cayd063v）
CN302371961S (zh) 后门护板（w03）
CN302490551S (zh) 扣板（ls-a03金香）
CN302527112S (zh) 冰箱（202）
CN302564725S (zh) 牙刷（y013）
CN302564702S (zh) 牙刷（522）
CN302564691S (zh) 牙刷（512）
CN302382924S (zh) 服务器
CN302350288S (zh) 副仪表板（w03）
CN302371960S (zh) 前门护板（w03）
CN302455257S (zh) 仪表台（lck6127h世纪）