JP2013190309A - 欠陥検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】被検査物の欠陥を正確に検出できる欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】欠陥検査装置は、被検査物を照明する照明光学系と、前記照明光学系による前記被検査物の通過光または反射光を複数の光路に分割する光路分割手段を備えて前記被検査物の同一部分の光学像を複数形成する結像光学系と、前記複数の光学像の各々を画像データに変換する変換手段と、前記画像データの各々において周囲に対する特異部を検出する特異部検出手段と前記複数の光路の前記変換手段の撮像面までの光路長を互いに異ならせる光路長調整手段と、前記特異部検出手段が前記複数の画像データのうちのいずれかに特異部を検出すると、前記特異部を欠陥として判定する欠陥判定手段とを備える。
【選択図】図１

Description

本発明の実施形態は、半導体などのパターンの欠陥を検出する欠陥検査装置に関する。

半導体のパターン中の欠陥を検出する欠陥検査装置として、パターンの画像データの注目箇所とその周囲とを比較して欠陥を検出する欠陥検査装置がある。

しかしながら、半導体のパターンが微細になると、欠陥自体の信号レベルが微小になり、欠陥を検出しづらくなる。このため、欠陥を検出するセンサの感度を上げることが提案されている。

しかしながら、欠陥を検出するセンサの感度を上げると、センサが自然界の放射線などを検出し、これを欠陥と認識してしまい、欠陥の誤認識が生じる

特開２００９−１７４９１８号公報 特開平３−５７９４６号公報

パターンなどの被検査物の欠陥を正確に検出できる欠陥検査装置が求められている。

実施形態は、被検査物の欠陥を正確に検出できる欠陥検査装置を提供することを目的とする。

実施形態の欠陥検査装置は、被検査物を照明する照明光学系と、前記照明光学系による前記被検査物の通過光または反射光を複数の光路に分割する光路分割手段を備えて前記被検査物の同一部分の光学像を複数形成する結像光学系と、前記複数の光学像の各々を画像データに変換する変換手段と、前記画像データの各々において周囲に対する特異部を検出する特異部検出手段と前記複数の光路の前記変換手段の撮像面までの光路長を互いに異ならせる光路長調整手段と、前記特異部検出手段が前記複数の画像データのうちのいずれかに特異部を検出すると、前記特異部を欠陥として判定する欠陥判定手段とを備える。

第１の実施形態に係る欠陥検査装置を示す概略図。 同欠陥検査装置の光路分割機構をより明確に示す、同欠陥検査装置の一部を示す概略図。 同欠陥検査装置の第１の蓄積型ラインセンサのセンサ面を示す平面図。 同欠陥検査装置の第１，２の範囲用特異部検出部を示すブロック図。 同第１の蓄積型ラインセンサの第１の範囲の画像データを示す図。 同第１の蓄積型ラインセンサの第２の範囲の画像データを示す図。 同欠陥検査装置が検査するガラス基板を示す平面図。 同第１，２の範囲の画像データを示す図。 同第１，２の範囲の画像データを示す図。 同第１，２の範囲の画像データを示す図。 同第１の範囲の画像データを示す図。 同第２の範囲の画像データを示す図。 第２の実施形態に係る欠陥検査装置の第２の範囲用特異部検出部を示すブロック図。 同欠陥検査装置の第１の蓄積型ラインセンサのセンサ面において、第２の範囲の近傍を示す平面図。 同第２の範囲の画像データを示す図。 第３の実施形態に係る欠陥検査装置を示す概略図。 同欠陥検査装置の第１，２の光路を明確に示す欠陥検査装置の一部を示す概略図。 同欠陥検査装置第１，２の範囲用特異部検出部を示すブロック図。 第４の実施形態に係る欠陥検査装置を示す概略図。 同欠陥検査装置の光路分割機構を明確に示す同欠陥検査装置の一部を示す概略図。 同欠陥検査装置の欠陥判定回路の一部を示すブロック図。 第５の実施形態に係る欠陥検査装置を示す概略図。 同欠陥検査装置の光路を明確に示す同欠陥検査装置の一部を示す概略図。 同欠陥検査装置の第２の蓄積型ラインセンサのセンサ面を示す平面図。 同欠陥検査装置の欠陥判定回路の一部を示すブロック図。 第４の実施形態に係る欠陥検査装置の第４の範囲用特異部検出部を示すブロック図。 同欠陥検査装置の第２の蓄積型ラインセンサのセンサ面において第４の範囲の近傍を示す平面図。 同第４の範囲の画像データを示す図。

第１の実施形態に係る欠陥検査装置を、図１〜４を用いて説明する。図１は、欠陥検査装置１０を示す概略図である。欠陥検査装置１０は、本実施形態では、一例として、ガラス基板５上に形成されるパターンに欠陥があるか否かを検査する。パターンが形成されるガラス基板５は、欠陥検査装置１０によって検査される被検査物の一例である。

図１に示すように、欠陥検査装置１０は、ＸＹテーブル２０と、照明光学系３０と、結像部４０と、変換部５０と、欠陥判定回路９０と、制御部１４０とを備えている。ガラス基板５は、ＸＹテーブル２０上に固定されている。ＸＹテーブル２０は、互いに直交するＸ軸ＸとＹ軸Ｙに沿って移動可能である。ＸＹテーブル２０の動作は、後述される制御部１４０によって制御される。

照明光学系３０は、ガラス基板５を照明する。照明光学系３０は、レーザー光照射装置３１と、ミラー３２と、レンズ３３とを備えている。レーザー光照射装置３１から照射されたレーザー光は、ミラー３２で反射されてレンズ３３にいたる。レーザー光は、レンズ３３で集光されて焦点がガラス基板５上に形成される。レーザー光は、ガラス基板５を照射する。ガラス基板５上においてレーザー光が照射される位置は、ＸＹテーブル２０が移動することによって調整される。

ガラス基板５を照射したレーザー光は、ガラス基板５を通過し、結像部４０に導かれる。結像部４０は、ガラス基板５においてレーザー光が照射された位置の光学像を、後述される変換部５０の撮像面上に結像する。

結像部４０は、対物レンズ４１と、結像レンズ４２と、光路分割機構４３と、光路長調整部４４とを備えている。対物レンズ４１と結像レンズ４２とは、ガラス基板５を通過したレーザー光の光路上に、記載の順番どおりに配置されている。対物レンズ４１と結像レンズ４２とは、後述される変換部５０の撮像面上にレーザー光の焦点位置を合わせるべく機能する。

光路分割機構４３は、対物レンズ４１と結像レンズ４２とを通過したレーザー光を、複数の光路に分割する機能を有する。言い換えると、レーザー光照射装置３１から照射されたレーザー光が光路分割機構４３に到達するまでの光路は、１筋である。

光路分割機構４３は、本実施形態では、レーザー光の光路を２筋に分割する。分割された後の光路を、第１の光路Ｌ１と、第２の光路Ｌ２とする。図２は、光路分割機構４３をより明確に示す欠陥検査装置１０の一部を示す概略図である。図２では、欠陥検査装置１０において、レーザー光照射装置３１から変換部５０までを示している。

図２に示すように、光路分割機構４３は、第１のハーフミラー４３ａと、第１のミラー４３ｂとを備えている。第１のハーフミラー４３ａは、結像レンズ４２を通過したレーザー光の光路上に配置されている。第１のハーフミラー４３ａは、レーザー光の５０パーセントを通過させるとともに残りの５０パーセントを第１のミラー４３ｂに向けて反射する。第１のハーフミラー４３ａを通過したレーザー光の光路が第１の光路Ｌ１となる。第１のミラー４３ｂは、第１のハーフミラー４３ａから反射された光を１００パーセント反射する。第１のミラー４３ｂが反射したレーザー光の光路が第２の光路Ｌ２となる。

光路長調整部４４は、第１のプレーンパラレル４４ａと、第２のプレーンパラレル４４ｂとを備えている。第１のプレーンパラレル４４ａは、第１の光路Ｌ１上に配置されている。第２のプレーンパラレル４４ｂは、第２の光路Ｌ２上に配置されている。第１，２のプレーンパラレル４４ａ，４４ｂを通過したレーザー光は、変換部５０の撮像面に到達する。

第１，２のプレーンパラレル４４ａ，４４ｂは、第１，２の光路Ｌ１，Ｌ２を通って変換部５０の撮像面上に到達するレーザー光の光路長を互いに同じにする。言い換えると、ガラス基板５を通過したレーザー光のうち第１の光路Ｌ１を通って変換部５０の撮像面に到達するレーザー光の光路長と、第２の光路Ｌ２を通って変換部５０の撮像面に到達するレーザー光の光路長とを同じにする。また、第１，２のプレーンパラレル４４ａ，４４ｂは、第１，２の光路Ｌ１，Ｌ２を通るレーザー光の焦点Ｆ１，Ｆ２を変換部５０の撮像面上に形成すべく第１，２の光路Ｌ１、Ｌ２の光路長を調整する。

変換部５０は、第１，２の光路Ｌ１，Ｌ２を通って形成される光学像を画像データに変換する。図１に示すように、変換部５０は、第１の蓄積型ラインセンサ５１と、第１のＡＤ変換回路６０とを備えている。第１，２の光路Ｌ１，Ｌ２を通るレーザー光は、第１の蓄積型ラインセンサ５１のセンサ面５２上に到達する。センサ面５２は、ガラス基板５の光学像が結像される撮像面の一例である。本実施形態では、第１の蓄積型ラインセンサ５１上に、第１の光路Ｌ１を通って形成される光学像が撮像されるとともに、第２の光路Ｌ２を通って形成される光学像が撮像される。

図３は、第１の蓄積型ラインセンサ５１のセンサ面５２を示す平面図である。図３に示すように、センサ面５２には、第１の光路Ｌ１を通るレーザー光が結像される第１の範囲５３と、第２の光路Ｌ２を通るレーザー光が結像される第２の範囲５４とを有している。第１の範囲５３、５４の形状、大きさは、互いに同じである。図３中、第１，２の範囲５３，５４を明確に示すために、第１，２の範囲５３，５４にハッチングを施している。このハッチングは、切断面を示すものではない。

第１の光路Ｌ１を通るレーザー光の光軸は、第１の範囲５３の中心Ｃ１を通る。第２の光路Ｌ２を通るレーザー光の光軸は、第２の範囲５４の中心Ｃ２を通る。このように、本実施形態では、１つの蓄積型ラインセンサのセンサ面上に２つの光学像が結像される。

第１の蓄積型ラインセンサ５１のセンサ面５２上に結像される２つの光学像は、ともに、ガラス基板５上において同じ部分を示している。第１の蓄積型ラインセンサ５１は、センサ面５２上の第１，２の範囲５３，５４内に結像される光学像を電気信号に変換し、第１のＡＤ変換回路６０に出力する。

第１のＡＤ変換回路６０は、第１の蓄積型ラインセンサ５１が出力する電気信号を画像データ７０に変換する。画像データ７０は、第１の範囲５３の画像データ７１と、第２の範囲５４の画像データ７２とを有している。

図１に示すように、第１のＡＤ変換回路６０は、第１の分配回路８０に接続されている。第１の分配回路８０は、画像データ７０を、第１の範囲５３内に結像された光学像の画像データ７１と、第２の範囲５４内に結像された光学像の画像データ７２とに分ける。第１の分配回路８０は、欠陥判定回路９０に接続されている。

欠陥判定回路９０は、第１の範囲用特異部検出部９１と、第２の範囲用特異部検出部１１０と、欠陥判定部１３０とを備えている。第１の分配回路８０は、第１，２の範囲用特異部検出部９１，１１０に接続されている。第１の分配回路８０は、第１の範囲用特異部検出部９１に第１，２の範囲５３，５４の画像データ７１，７２を送信し、第２の範囲用特異部検出部１１０に第１，２の範囲５３，５４の画像データ７１，７２を送信する。

図４は、第１，２の範囲用特異部検出部９１，１１０を示すブロック図である。図４に示すように、第１の範囲用特異部検出部９１は、第１の範囲用出力変位算出部９２と、第１の範囲用閾値判定部１００とを備えている。

第１の範囲用出力変位算出部９２は、第１の範囲５３の画像データ７１の中央部が、その周辺に対して特異である特異部であるか否かを判断するべく、画像データ７１の中央部の周辺領域の出力レベルに対する中央部の出力レベルの大きさを算出する。第１の範囲用出力変位算出部９２は、第１の範囲中央部出力レベル算出部９３と、第１の範囲周辺領域出力レベル算出部９４と、第２の範囲周辺領域出力レベル算出部９５と、周辺領域出力レベル平均値算出部９６と、第１の範囲用出力レベル差算出部９７とを備えている。

第１の範囲中央部出力レベル算出部９３は、第１の範囲５３の画像データ７１が送信される。第１の範囲中央部出力レベル算出部９３には、第２の範囲５４の画像データ７２は、送信されない。

第１の範囲中央部出力レベル算出部９３は、第１の範囲５３の画像データ７１に基づいて、中央部７１ａの出力レベルを算出する。図３中、第１の範囲５３の中央部５３ａを明確に示すために、中央部５３ａにハッチングを施している。このハッチングは切断面を示すものではない。図３中、第２の範囲５４の中央部５４ａを明確に示すために、中央部５４ａにハッチングを施している。このハッチングは、切断面を示すものではない。

図５は第１の範囲５３の画像データ７１を示し、図６は第２の範囲５４の画像データ７２を示している。図５，６に示すように、画像データ７１，７２は、複数の画素であらわされる。また、第１，２の範囲５３，５４の画像データ７１，７２の中央部７１ａ，７２ａは、一つの画素で示される。図５，６中において、画像データ７１，７２において第１，２の範囲５３，５４の中央部５３ａ，５４ａに対応する中央部７１ａ，７２ａにハッチングを施す。このハッチングは、中央部７１ａ，７２ａと、その周辺の周辺領域７１ｂ，７２ｂを区別するために施すためのものであり、切断面を示すものではない。なお、図３に示すように、第１，２の範囲５３，５４において中央部５３ａ，５４ａ以外の部分が、周辺領域５３ｂ，５４ｂとなる。画像データ７１，７２において周辺領域５３ｂ，５４ｂに対応する部分が、周辺領域７１ｂ，７２ｂとなる。周辺領域７１ｂ，７２ｂは、図５，６において中央部７１ａ，７２ａ以外の部分である。

上記のように、本実施形態では、第１の範囲５３の中央部５３ａは、画像データ７１では１つの画素に対応している。このため、中央部５３ａの出力レベルを算出することは、画像データ７１において中央部５３ａに対応する中央部７１ａの画素が示す色に応じた出力レベルを算出することである。

第１の範囲周辺領域出力レベル算出部９４は、第１の範囲５３の画像データ７１が送信される。第１の範囲周辺領域出力レベル算出部９４は、第１の範囲５３の画像データ７１に基づいて、第１の範囲５３の周辺領域５３ｂを示す各画素、つまり画像データ７１の周辺領域７１ｂの画素が示す色に応じた出力レベルを算出するとともに、周辺領域５３ｂを示す全ての画素の出力レベルを加算する。第１の範囲周辺領域出力レベル算出部９４の算出結果は、周辺領域出力レベル平均値算出部９６に送信される。

第２の範囲周辺領域出力レベル算出部９５は、第２の範囲５４の画像データ７２が送信される。第２の範囲周辺領域出力レベル算出部９５は、第２の範囲５４の画像データ７２に基づいて、第２の範囲５４の周辺領域５４ｂを示す、つまり周辺領域７２ｂの各画素において画素が示す色に応じた出力レベルを算出するとともに、周辺領域５４ｂを示す全ての画素の出力レベルを加算する。第２の範囲周辺領域出力レベル算出部９５の算出結果は、周辺領域出力レベル平均値算出部９６に送信される。

周辺領域出力レベル平均値算出部９６は、第１，２の範囲５３，５４の周辺領域５３ｂ，５４ｂにおいて第１の範囲５３の中央部５３ａと同じ大きさの範囲の画像データでの出力レベルの平均値を算出する。周辺領域出力レベル平均値算出部９６には、第１，２範囲周辺領域出力レベル算出部９４，９５の算出結果が送信される。

周辺領域出力レベル平均値算出部９６は、第１，２の範囲周辺領域出力レベル算出部９４，９５の算出結果に基づいて、算出結果どうしを加算する。そして、得られた加算値を、周辺領域７１ｂ，７２ｂを示す画素数で除算する。そして、得られた除算値に、中央部５３ａを示す画素数を積算する。

この積算値は、周辺領域７１ｂ，７２ｂにおいて、中央部７１ａと同じ大きさの範囲からの出力レベルの平均値を示す。本実施形態では、中央部７１ａは、１画素で表されるので、上記除算値がそのまま周辺領域出力レベルの平均値になる。

なお、本実施形態では、周辺領域５３ｂ，５４ｂにおいて第１の範囲５３の中央部５３ａと同じ大きさの範囲から出力されるレベルの平均値を算出するために、第１，２の範囲５３，５４の周辺領域５３ｂ，５４ｂを用いている。

第１の範囲中央部出力レベル算出部９３の算出結果と、周辺領域出力レベル平均値算出部９６の算出結果とは、第１の範囲用出力レベル差算出部９７に送信される。第１の範囲用出力レベル差算出部９７は、第１の範囲中央部出力レベル算出部９３の算出結果から、周辺領域出力レベル平均値算出部９６の算出結果をひく。第１の範囲用出力レベル差算出部９７の算出結果は、第１の範囲用閾値判定部１００に送信される。第１の範囲中央部出力レベル算出部９３の算出結果から、周辺領域出力レベル平均値算出部９６の算出結果をひくことは、第１の範囲中央部出力レベル算出部９３の算出結果と、周辺領域出力レベル平均値算出部９６の算出結果との差を算出することである。

第１の範囲用閾値判定部１００は、第１の範囲用出力レベル差算出部９７の算出結果と予め決定されている閾値とを比較し、第１の範囲５３の中央部５３ａが特異部であるか否かを判定する。図４に示すように、第１の範囲用閾値判定部１００は、第１の比較部１０１と、第２の比較部１０２と、第１の範囲用特異部判定部１０３とを備えている。

第１の比較部１０１は、第１の範囲用出力レベル差算出部９７から算出結果が送信される。第１の比較部１０１は、算出結果が第１のＬｖｌ１より大きいか否かを判定する。第２の比較部１０２は、第１の範囲用出力レベル差算出部９７から算出結果が送信される。第２の比較部１０２は、算出結果が第２の閾値Ｌｖｌ２未満であるか否かを判定する。第１の閾値Ｌｖｌ１は、正の値であり、第２の閾値Ｌｖｌ２は、負の値であり、Ｌｖｌ１＞Ｌｖｌ２となる。

第１，２の比較部１０１，１０２の検出結果は、第１の範囲用特異部判定部１０３に送信される。第１の範囲用特異部判定部１０３は、第１，２の比較部１０１，１０２の検出結果に基づいて、第１の範囲５３の画像データ７１の中央部７１ａが特異部であるか否かを判定する。

ここで、特異部について説明する。特異部は、周辺に対して出力レベルが極端に高い、または、極端に低い部分である。ガラス基板５上に欠陥があると、画像データにおいて欠陥に対応する部分の出力レベルは、欠陥がない部分の出力レベルに対して極端に高くなったり、または、極端に低くなる。

なお、特異部は、ガラス基板５上の欠陥以外の原因によっても形成される場合がある。例えば、第１の蓄積型ラインセンサ５１のセンサ面５２上に結像された光学像に欠陥が示されていなくても、第１の蓄積型ラインセンサ５１が、周囲に放射されている放射線や宇宙線を検出することによって、この放射線と宇宙線とを電気信号に変換してしまい画像データ内に特異部が形成される場合がある。このため、周辺領域においても、放射線や宇宙線によって特異部が形成される場合がある。しかしながら、上記したように、第１の範囲用出力レベル差算出部９７においては、第１，２の範囲５３，５４の画像データ７１，７２の周辺領域７１ｂ，７２ｂを用いて算出された周辺領域の出力レベルの平均値と中央部７１ａの出力レベルとが比較される。このため、画像データ７１，７２において周辺領域７１ｂ，７２ｂを示す部分が特異部を有していても、平均値が用いられることによって、特異部の影響を小さくすることができる。さらに、周辺領域の出力レベルの平均値を算出するために、周辺領域７１ｂ，７２ｂを用いることによって、周辺領域での特異部の影響をより一層小さくすることができる。

第１の範囲用閾値判定部１００の説明に戻る。中央部５３ａの出力レベルが第１の閾値Ｌｖｌ１より大きい場合は、中央部７１ａが特異部であることを示す。また、中央部７１ａの出力レベルが第２の閾値Ｌｖｌ２未満の場合は、画像データ７１の中央部７１ａが特異部であることを示す。

第１の範囲用特異部判定部１０３は、第１の範囲用出力レベル差算出部９７の算出結果と、第１，２の比較部１０１，１０２との比較結果に基づいて、第１の範囲５３の中央部７１ａが特異部であるか否かを判定する。具体的には、第１の範囲用出力レベル差算出部９７の算出結果が、第１の閾値Ｌｖｌ１より大きい場合、または、第１の範囲用出力レベル差算出部９７の算出結果が、第２の閾値Ｌｖｌ２未満の場合は、画像データ７１の中央部７１ａが特異部であると判定する。

第１の範囲用特異部検出部９１は、上記ようにして、画像データ７１の中央部７１ａが特異部であるか否かを検出する。図１に示すように、第１の範囲用特異部判定部１０３の判定結果は、欠陥判定部１５０に送信される。

つぎに、第２の範囲用特異部検出部１１０を説明する。図４に示すように、第２の範囲用特異部検出部１１０は、第２の範囲用出力変位算出部１１１と、第２の範囲用閾値判定部１２０とを備えている。

第２の範囲用出力変位算出部１１１は、画像データ７２の中央部が特異部であるか否かを判定するべく、周辺領域に対する中央部の出力レベルの大きさを算出する。第２の範囲用出力変位算出部１１１は、第２の範囲中央部出力レベル算出部１１２と、第１の範囲周辺領域出力レベル算出部９４と、第２の範囲周辺領域出力レベル算出部９５と、周辺領域出力レベル平均値算出部９６と、第２の範囲用出力レベル差算出部１１３とを備えている。

第２の範囲中央部出力レベル算出部１１２は、第２の範囲５４の画像データ７２が送信される。第２の範囲中央部出力レベル算出部１１２には、第１の範囲５３の画像データ７１は、送信されない。

第２の範囲中央部出力レベル算出部１１２は、第２の範囲５４の画像データ７２に基づいて、画像データ７２の中央部７２ａの出力レベルを算出する。図６に示すように、本実施形態では、第２の範囲５４の中央部５４ａは、画像データ７２では１つの画素に対応している。

このため、第２の範囲５４の中央部５４ａの出力レベルを算出するとは、中央部５４ａに対応する中央部７２ａの画素の色に応じた出力レベルを算出することである。

第１の範囲周辺領域出力レベル算出部９４と、第２の範囲周辺領域出力レベル算出部９５と、周辺領域出力レベル平均値算出部９６とは、第１の範囲用特異部検出部９１と同じであるので、ここでの説明を省略する。

第２の範囲中央部出力レベル算出部１１２の算出結果と、周辺領域出力レベル平均値算出部９６の算出結果とは、第２の範囲用出力レベル差算出部１１３に送信される。第２の範囲用出力レベル差算出部１１３は、第２の範囲中央部出力レベル算出部１１２の算出結果から、周辺領域出力レベル平均値算出部９６の算出結果をひく。第２の範囲用出力レベル差算出部１１３の算出結果は、第２の範囲用閾値判定部１２０に送信される。

第２の範囲用閾値判定部１２０は、第２の範囲用出力レベル差算出部１１３の算出結果と予め決定されている閾値とを比較し、画像データ７２の中央部７２ａが特異部であるか否かを判定する。図４に示すように、第２の範囲用閾値判定部１２０は、第１の比較部１２１と、第２の比較部１２２と、第２の範囲用特異部判定部１２３とを備えている。

第１の比較部１２１は、第２の範囲用出力レベル差算出部１１３から算出結果が送信される。第１の比較部１２１は算出結果が第１のＬｖｌ１より大きいか否かを判定する。第２の比較部１２２は、第２の範囲用出力レベル差算出部１１３から算出結果が送信される。第２の比較部１２２は、算出結果が第２の閾値Ｌｖｌ２未満であるか否かを判定する。

第１，２の比較部１２１，１２２の検出結果は、第２の範囲用特異部判定部１２３に送信される。第２の範囲用特異部判定部１２３は、第１，２の比較部１２１，１２２の検出結果に基づいて、画像データ７２の中央部７２ａが特異部であるか否かを判定する。

中央部７２ａの出力レベルが第１の閾値Ｌｖｌ１より大きい場合は、中央部７２ａが特異部であることを示す。また、中央部７２ａの出力レベルが第２の閾値Ｌｖｌ２未満の場合は、中央部７２ａが特異部であることを示す。

第２の範囲用特異部判定部１２３は、第２の範囲用出力レベル差算出部１１３の算出結果と、第１，２の比較部１２１，１２２との比較結果に基づいて、中央部７２ａが特異部であるか否かを判定する。具体的には、第２の範囲用出力レベル差算出部１１３の算出結果が、第１の閾値Ｌｖｌ１より大きい場合、または、第２の範囲用出力レベル差算出部１１３の算出結果が、第２の閾値Ｌｖｌ２未満の場合は、中央部７２ａが特異部であると判定する。

第２の範囲用特異部検出部１１０は、上記ようにして、画像データ７２の中央部７２ａが特異部であるか否かを検出する。図１に示すように、第２の範囲用特異部判定部１２３の判定結果は、欠陥判定部１３０に送信される。

欠陥判定部１３０は、第１の範囲用特異部検出部９１の検出結果と、第２の範囲用特異部検出部１１０の検出結果とに基づいて、ガラス基板５において第１，２の範囲５３，５４の中央部５３ａ，５４ａに対応する部分が欠陥であるか否かを判定する。

上記したように、第１，２の範囲５３，５４には、ガラス基板５において共通する部分の光学像が結像されている。このため、第１，２の範囲５３，５４の中央部５３ａ，５４ａは、ともに、ガラス基板５において同じ箇所の光学像が結像されている。

欠陥判定部１３０は、第１の範囲用特異部検出部９１の検出結果が、第１の範囲５３の中央部５３ａが特異部であるという結果であり、かつ、第２の範囲用特異部検出部１１０の検出結果が、第２の範囲５４の中央部５４ａが特異部であるという結果であると、ガラス基板５において、中央部５３ａ，５４ａに対応する箇所に欠陥が形成されていると判定する。

上記したように、画像データが示す特異部は、ガラス基板５上に形成される欠陥に起因して形成される場合と、欠陥ではなく、例えば第１の蓄積型ラインセンサ５１のセンサ面５２の周囲に存在する放射線や宇宙線などによっても形成される場合がある。

欠陥は、第１，２の範囲５３，５４に光学像として結像されるので、第１，２の範囲５３，５４の画像データ７１，７２の両方に、特異部として現れる。しかしながら、放射線や宇宙線などは、第１，２の範囲５３，５４に対して互いに対応する箇所に共通して現れるものではない。言い換えると、画像データ７１，７２において、欠陥以外の原因に起因してあらわれる特異部は、ともに共通する位置にあらわれるものではない。

このため、中央部７１ａ，７２ａが特異部である場合、つまり第１，２の範囲５３，５４の中央部５３ａ，５４ａがともに特異部であると判定された場合、ガラス基板５において中央部５３ａ，５４ａに対応する部位に欠陥が形成されていることになるので、欠陥判定部１３０は、第１，２の範囲５３，５４の中央部５３ａ，５４ａがともに特異部であると判定された場合のみ、欠陥であると判定する。欠陥判定部１３０の判定結果は、制御部１４０に送信される。

制御部１４０は、欠陥判定部１３０から送信された結果に基づいて、第１，２の範囲５３，５４の中央部５３ａ，５４ａの位置に対応するガラス基板５の位置を算出し、モニタなどに表示する。モニタに表示することは、作業者などに通知する手段の一例である。

制御部１４０は、ＸＹテーブル２０を移動する際に、ガラス基板５において検査が必要な部位の全域が、第１，２の範囲５３，５４の中央部５３ａ，５４ａに光学像として結像されるように制御される。このことによって、ガラス基板５において検査が必要される範囲のいずれかに欠陥が形成されている場合、この欠陥の光学像は、第１，２の範囲５３，５４の中央部５３ａ，５４ａに結像されるので、欠陥は、欠陥判定部１３０で欠陥として判定される。

つぎに、欠陥検査装置１０の動作を説明する。まず、ガラス基板５に欠陥が形成されている場合について説明する。図７は、ガラス基板５を示す平面図である。図７に示すように、ガラス基板５上にはパターン６が形成されている。パターン６は、一例として、アルファベットのＡの形を有している。パターン６中に欠陥７が形成されている。なお、図７中、欠陥７は、誇張して大きく書かれているが、実際には、非常に小さいものである。

パターン６は、本実施形態では、一例としてアルファベットのＡの形状を有しているが、実際にはとても微細であり、それゆえ、第１，２の範囲５３，５４内にぼやけて結像される。このため、ガラス基板５においてパターン６が形成される部分とパターン６が形成されない部分とは、略同じように結像される。しかしながら、欠陥７は、レーザー光が通過しづらかったり、または、欠陥を通過したレーザー光が欠陥７において屈折するなどして、第１，２の範囲５３，５４内に、パターン６またはパターン６が形成されない部分とは異なった色で結像される。このため、第１のＡＤ変換回路６０において形成される画像データ７１，７２において、欠陥７は、欠陥７以外の部分とは異なる色であらわされる。

図８は、第１，２の範囲５３，５４の画像データ７１，７２を示している。この説明では、図８は、第１，２の範囲５３，５４の画像データ７１，７２を示しており、両符号を付している。図８は、レーザー光照射装置３１から照射されたレーザー光がガラス基板５において欠陥７を照射していない状態を示している。このため、図８に示すように、第１，２の範囲５３，５４の画像データ７１，７２には、特異部は形成されていない。なお、図８において、第１，２の範囲５３，５４の中央部５３ａ，５４ａに対応する中央部７１ａ，７２ａ領域を２点鎖線で示している。なお、画像データ７１，７２において中央部７１ａ，７２ａは、１画素で示されるため実際は小さいが、図８においては、誇張して大きく描いている。

図８に示す状態では、第１，２の範囲５３，５４内に欠陥が結像されていないので、第１，２の範囲５３，５４の画像データ７１，７２の中央部７１ａ，７２ａは特異部にならない。このため、欠陥判定部１３０は、ガラス基板５において第１，２の範囲５３，５４の中央部５３ａ，５４ａに対応する範囲には欠陥が形成されていないと判定する。

図９は、レーザー光照射装置３１から照射されたレーザー光が欠陥７を照射しているが、欠陥７は第１，２の範囲５３，５４の周辺領域５３ｂ，５４ｂ内に結像されており、中央部５３ａ，５４ａ内には結像されていない場合の第１，２の範囲５３，５４の画像データ７１，７２を示している。

図９では、画像データ７１，７２において第１，２の範囲５３，５４の周辺領域５３ｂ，５４ｂに対応する周辺領域７１ｂ，７２ｂ内に、欠陥７に起因して形成される特異部８が形成される。しかしながら、周辺領域出力レベル平均値算出部９６において平均値が求められるので、周辺領域５３ｂ，５４ｂに特異部８が形成されても、周辺領域出力レベル平均値算出部９６の算出結果は、特異部８のあるなしに関わらず大きく変化しない。このため、欠陥判定部１３０は、ガラス基板５において第１，２の範囲５３，５４の中央部５３ａ，５４ａに対応する部分に欠陥は形成されていないと判定する。

図１０は、レーザー光照射装置３１から照射されたレーザー光が欠陥７を照射するとともに、欠陥７が第１，２の範囲５３，５４の中央部５３ａ，５４ａ内に結像された場合の、第１，２の範囲５３，５４の画像データ７１，７２を示している。図１０に示すように、第１，２の範囲５３，５４の中央部５３ａ，５４ａ内に欠陥７が結像されることによって、画像データ７１，７２の中央部７１ａ，７２ａ内には、欠陥７に起因して特異部８が形成される。

中央部７１ａ，７２ａ内に特異部８が形成されることによって、第１，２の範囲用出力レベル差算出部９６，１１２での算出結果が、第１の閾値Ｌｖｌ１より大きい、または、第２の閾値Ｌｖｌ２未満となる。このため、第１，２の範囲用第１の範囲用特異部判定部１０３，１２３は、中央部７１ａ，７２ａ内に特異部が形成されていると判定する。そして、欠陥判定部１３０は、ガラス基板５において第１，２の範囲５３，５４の中央部５３ａ，５４ａに対応する箇所に欠陥が形成されていると判定する。

制御部１４０は、欠陥判定部１３０の判定結果に基づいて、ガラス基板５において第１，２の範囲５３，５４の中央部５３ａ，５４ａに対応する位置の座標を算出するとともに、この中央部５３ａ，５４ａの画像データを記憶する。

このように、制御部１４０は、ＸＹテーブル２０を移動しながらガラス基板５の全面の画像を第１，２の蓄積型ラインセンサ５１，５２で撮像しながら欠陥判定を行い、欠陥判定された位置での座標および画像を記憶している。

制御部１４０は、ガラス基板５の全面の検査後に、欠陥の確認を行うためにＸＹテーブル２０を欠陥位置に移動する。そして、欠陥判定された位置を再度検査する。

つぎに、ガラス基板５に欠陥が形成されていない場合において、第１の蓄積型ラインセンサ５１が欠陥を誤検出した場合について、説明する。図１１は、第１の範囲５３の画像データ７１を示している。図１２は、第２の範囲５４の画像データ７２を示している。

図１１は、第１の範囲５３が、例えば周囲に存在する放射線を検出したことによって、第１の範囲５３の画像データ７１の中央部７１ａ内に特異部９が形成された状態を示している。第２の範囲５４は、第１の範囲５３が検出した放射線を検出していない。このため、図１２に示すように、第２の範囲５４の画像データ７２の中央部７２ａ内には、特異部は形成されていない。

このため、欠陥判定部１３０は、ガラス基板５において第１，２の範囲５３，５４の中央部５３ａ，５４ａに対応する箇所に欠陥は形成されていないと判定する。

このように、本実施形態では、光路を２つに分割してガラス基板５において同一箇所を示す２つの光学像の画像データを形成するとともに、ガラス基板５において同一箇所を示す２つの光学像の画像データから検出される特異部に基づいて欠陥を判定することによって、欠陥を正確に判定することができる。

本実施形態では、ガラス基板５を通過したレーザー光を２つの光路に分割して２つの光学像を第１の蓄積型ラインセンサ５１のセンサ面５２の第１，２の範囲５３，５４内に結像している。そして、第１，２の光路Ｌ１，Ｌ２におけるセンサ面５２までの光路長を互いに同じにしている。さらに、第１，２の範囲５３，５４の中央部５３ａ，５４ａ内の特異部を検出し、両中央部５３ａ，５４ａが特異部である場合のみ、ガラス基板５において中央部５３ａ，５４ａに対応する箇所に欠陥が形成されていると判定し、いずれか一方のみに特異部が形成されている場合には、欠陥以外の要因による特異部であり、欠陥ではないと判定する。

このため、欠陥を正確に検出することができる。この点について、具体的に説明する。ガラス基板５に形成されるパターンは微細になる傾向にある。これに伴い、パターン中に形成される欠陥も微細になる傾向にある。このため、欠陥を検出するために、第１の蓄積型ラインセンサ５１の感度を高くする必要がある。しかしながら、第１の蓄積型ラインセンサ５１の感度を高くすることによって、第１の蓄積型ラインセンサ５１は、放射線や宇宙線など欠陥以外のものを検出してしまうことがある。この検出が、欠陥の誤検出になる場合がある。

しかしながら、本実施形態では、第１の蓄積型ラインセンサ５１の第１，２の範囲５３，５４の中央部５３ａ，５４ａがともに特異部でなければ、この特異部を欠陥とは判定しない。欠陥以外の要因による特異部は、第１，２の範囲５３，５４の画像データ７１，７２に同時に形成されることが起こりにくい。このため、本実施形態では、欠陥を正確に検出することができる。

また、本実施形態では、１つの蓄積型ラインセンサのセンサ面５２上に第１，２の範囲５３，５４を形成している。このため、第１の範囲５３の位置と第２の範囲５４との位置とを対応させやすくなるので、欠陥を正確に検出することができる。この点について、具体的に説明する。

例えば、ガラス基板５を通過したレーザー光を第１，２の光路Ｌ１，Ｌ２に分岐し、第１の光路Ｌ１を結像させる蓄積型ラインセンサと、第２の光路Ｌ２を結像させるラインセンサとを互いに異なるものとすると、一方のセンサの位置が、他方に対してずれる場合が生じえる。

位置がずれたセンサにおいては、当該センサのセンサ面において光学像が結像される範囲と光学像との相対関係がずれてしまう。言い換えると、光路の光軸と光学像が結像される範囲の中心位置とがずれてしまい、光学像の中心と光学像が結像される範囲の中心とがずれてしまう。

このことによって、欠陥に起因して一方のセンサでは中央部に特異部が形成されても、他方のセンサでは周辺領域に特異部が形成されてしまうことがある。この場合、欠陥判定部１３０は、この特異部を欠陥とは判定しない。

しかしながら、本実施形態では、第１，２の光路Ｌ１，Ｌ２を通るレーザー光が、１つの第１の蓄積型ラインセンサ５１のセンサ面５２上の第１，２の範囲５３，５４上に結像されるため、第１の光路Ｌ１に対する第１の範囲５３の相対位置がずれること、または、第２の光路Ｌ２に対する第２の範囲５４の相対位置がずれることが生じにくくなるので、欠陥に起因する特異部は、第１，２の範囲５３，５４の画像データ７１，７２において、互いに対応する位置に形成されることになる。このため、欠陥を正確に検出することができる。

なお、本実施形態では、光路を複数に分割する一例として、２つの光路に分割している。そして、各光路におけるセンサ面までの光路長を互いに等しくしている。光路を２つ以上の複数に分割する場合、各光路に対して、第１，２の特異部検出部８１，１１０と同様に光学像を画像データに変換し、かつ、特異部検出部を設ける。そして、各光路において光学像が結像される撮像面までの光路長を互いに等しくする。欠陥判定部１３０は、各光路に対して設けられる特異部検出部の全てが特異部を検出すると、ガラス基板５において各光路の画像データにおいて中央部に対応する箇所に欠陥が形成されていると判定する。このようにすることによって、本実施形態と同様の作用と効果とが得られる。

つぎに、第２の実施形態に係る欠陥検査装置を、図１３〜１５を用いて説明する。なお、第１の実施形態と同様の機能を有する構成は、第１の実施形態と同一の符号を付して説明を省略する。本実施形態では、第２の範囲用特異部検出部が、第１の実施形態と異なる。他は、第１の実施形態と同じである。上記異なる点について、説明する。

図１３は、本実施形態の第２の範囲用特異部検出部１１０を示している。本実施形態では、第２の範囲用特異部検出部１１０は、第２の範囲５４の画像データ７２の中央部７２ａが特異部であるか否かを検出するとともに、さらに、中央部７２ａの周辺において所定の範囲が特異部であるか否かを判定する。

図１４は、第１の蓄積型ラインセンサ５１のセンサ面５２において、第２の範囲５４の近傍を示している。図１４は、第２の範囲５４の中央部５４ａと、中央部５４ａの周辺において所定の範囲である所定領域５４ｃとを示している。図１４に示すように、所定領域５４ｃは、周辺領域５４ｂの一部である。図１５は、第２の範囲５４の画像データ７２を示している。図１５に示すように、所定領域５４ｃは、本実施形態では、中央部５４ａを示す１つの画素を中心とする３×３の画素によって示されている。

上記したように、本実施形態では、第２の範囲用特異部検出部１１０は、所定領域５４ｃ内の特異部も検出する。このため、本実施形態の第２の範囲用特異部検出部１１０は、図１３に示すように、第２の範囲中央部出力レベル算出部１１２に加えて、所定領域５４ｃを示す各画素が特異部であるか否かを判定するべく、所定領域出力レベル算出部を備えている。本実施形態では、画像データ７２内において所定領域５４ｃに対応する所定領域７２ｃは、中央部７２ａを示す１つの画素の周囲に配置される８個の画素によって示されている。この８個の画素を第１〜８の画素１４１，１４２，１４３，１４４，１４５，１４６，１４７，１４８とする。

本実施形態の第２の範囲用特異部検出部１１０は、第１〜８の画素１４１〜１４８が特異部であるか否かを、中央部が特異部であるか否かを判定するのと同様に判定する。このため、図１３に示すように、本実施形態の第２の範囲用特異部検出部１１０は、第１〜８の画素１４１〜１４８の各々に対して第２の範囲用出力変位算出部と第２の範囲用閾値判定部とが形成される。

第１の画素１４１が特異部であるか否かを検出するために、第２の範囲用出力変位算出部１１１ａと、第２の範囲用閾値判定部１２０とが用いられる。第２の画素１４２が特異部であるか否かを検出するために、第２の範囲用出力変位算出部１１１ｂと、第２の範囲用閾値判定部１２０とが用いられる。第３の画素１４３が特異部であるか否かを検出するために、第２の範囲用出力変位算出部１１１ｃと、第２の範囲用閾値判定部１２０とが用いられる。第４の画素１４４が特異部であるか否かを検出するために、第２の範囲用出力変位算出部１１１ｄと、第２の範囲用閾値判定部１２０とが用いられる。第５の画素１４５が特異部であるか否かを検出するために、第２の範囲用出力変位算出部１１１ｅと、第２の範囲用閾値判定部１２０とが用いられる。第６の画素１４６が特異部であるか否かを検出するために、第２の範囲用出力変位算出部１１１ｆと、第２の範囲用閾値判定部１２０とが用いられる。第７の画素１４７が特異部であるか否かを検出するために、第２の範囲用出力変位算出部１１１ｇと、第２の範囲用閾値判定部１２０とが用いられる。第８の画素１４８が特異部であるか否かを検出するために、第２の範囲用出力変位算出部１１１ｈと、第２の範囲用閾値判定部１２０とが用いられる。

第１〜８の画素１４１〜１４８に対して用いられる第２の範囲用出力変位算出部１１１ａ〜１１１ｈと第２の範囲用閾値判定部１２０について、第１の画素１４１に対して用いられる第２の範囲用出力変位算出部１１１ａと第２の範囲用閾値判定部１２０ａとを代表して説明する。

図１３に示すように、第１の画素１４１に対して用いられる第２の範囲用出力変位算出部１１１ａは、第２の範囲中央部出力レベル算出部１１２に代えて、第１の画素出力レベル算出部１１２ａを備えている。第１の画素出力レベル算出部１１２ａは、第２の範囲５４の画像データ７２が送信される。第１の画素出力レベル算出部１１２ａは、第２の範囲５４の画像データ７２に基づいて、第１の画素１４１が示す色に応じた出力レベルを算出する。

第２の範囲用出力変位算出部１１１ａは、第２の範囲周辺領域出力レベル算出部９５に代えて、第２の範囲周辺領域出力レベル算出部９５ａを備えている。第２の範囲周辺領域出力レベル算出部９５ａは、画像データ７２が送信されるとともに、画像データ７２において第１の画素１４１以外を周辺領域とし、第１の画素１４１以外の各画素の出力レベルを算出して全て加算する。第１の範囲周辺領域出力レベル算出部９４は、第１の実施形態と同じである。

第２の範囲用出力変位算出部１１１ａは、周辺領域出力レベル平均値算出部９６に代えて、周辺領域出力レベル平均値算出部９６ａを備えている。周辺領域出力レベル平均値算出部９６ａは、第２の範囲周辺領域出力レベル算出部９５ａの算出結果と、第１の範囲周辺領域出力レベル算出部９４の算出結果とが送信される。周辺領域出力レベル平均値算出部９６ａは、第１，２の範囲周辺領域出力レベル算出部９４ａ，９５の算出結果に基づいて、算出結果どうしを加算する。そして、得られた加算値を、画像データ７２において第１の画素１４１以外の部分と周辺領域７１ｂとを示す画素数で除算する。そして、得られた除算値に、中央部７２ａを示す画素数を積算する。

この積算値は、画像データ７２において第１の画素１４１以外の部分と周辺領域７１ｂとを組み合わせたものにおいて、中央部７２ａと同じ大きさの範囲からの出力レベルの平均値を示す。本実施形態では、中央部７２ａは、１画素で表されるので、上記除算値がそのまま周辺領域出力レベルの平均値になる。

第２の範囲用出力変位算出部１１１ａは、第２の範囲用出力レベル差算出部１１３に代えて、第２の範囲用出力レベル差算出部１１３ａを備えている。第２の範囲用出力レベル差算出部１１３ａは、第１の画素出力レベル算出部１１２ａの算出結果から、周辺領域出力レベル平均値算出部９６ａの算出結果をひく。第２の範囲用出力レベル差算出部１１３ａの算出結果は、第２の範囲用閾値判定部１２０に送信される。

第２の範囲用閾値判定部１２０は、第１の実施形態と同じである。第１の比較部１２１とは、第２の範囲用出力レベル差算出部１１３ａの算出結果が第１の閾値Ｌｖｌ１より大きさ否かを判定し、第２の比較部１２２は、第２の範囲用出力レベル差算出部１１３ａの算出結果が第２の閾値Ｌｖｌ２未満であるか否かを判定する。

このように、第１の画素１４１に対する第２の範囲用出力変位算出部１１１ａは、第１の実施形態で説明された第２の範囲用出力変位算出部１１１と略同様であり、異なる点としては、第２の範囲用出力変位算出部１１１の処理として中央部７２ａのデータを用いていたところを、第１の画素１４１のデータを用いることに置き換えるとともに、周辺領域７２ｂのデータを用いていたところを、第１の画素１４１以外の部分のデータを用いることに置き換える点である。

同様に、第２〜８の画素１４２〜１４８に対して用いられる第２の範囲用出力変位算出部１１１ｂ〜１１１ｈにおいても、第２の範囲用出力変位算出部１１１ａと同様である。具体的には、各々、第１の実施形態で説明された第２の範囲用出力変位算出部１１１と略同様であり、異なる点としては、第２の範囲用出力変位算出部１１１において中央部７１ａのデータを用いてところを、第２〜８の画素１４２〜１４８のデータを用いることに置き換えるとともに、周辺領域７２ｂのデータを用いていたところを、第２〜８の画素１４２〜１４８以外の部分のデータを用いることに置き換える点である。

なお、図１３中では、第２の範囲用出力変位算出部１１１，１１１ａ，１１１ｈを示しており、１１１ｂ〜１１１ｇは、省略している。第２の範囲用出力変位算出部１１１ｈは、第８の画素出力レベル算出部１１２ｈと、第２の範囲周辺領域出力レベル算出部９５ｈと、出力レベル平均値算出部９６ｈとを備えている。このように、第２の範囲用出力レベル算出部１１１ｂ〜１１１ｇは、各々、第２〜７の画素１４２〜１４７のうち対応する画素の出力レベルを算出する出力レベル算出部１１２ｂ〜１１２ｇのうち対応するものと、第２の範囲周辺領域出力レベル算出部９５ｂ〜９５ｇのうち対応するものと、出力レベル平均値算出部９６ｂ〜９６ｇのうち対応するものとを有する。

中央部７２ａと第１〜８の画素１４１〜１４８に対して設定される特異部判定部１２３の判定結果は、欠陥判定部１３０に送信される。

本実施形態では、欠陥判定部１３０は、第１の範囲用特異部判定部１０３の判定結果が、中央部７１ａが特異部であるという結果であるとともに、中央部７２ａに対して設けられる第２の範囲用特異部判定部１２３の検出結果と第１〜８の画素１４１〜１４８に対して設けられる第２の範囲用特異部判定部１２３の検出結果とのいずいれか１つが特異部を検出すると、特異部を欠陥と判定する。このときの特異部は、中央部７１ａ，７２ａである。

例えば、第１の範囲用特異部判定部１０３が、第１の範囲５３の画像データ７１の中央部７１ａに特異部が形成されていると判定するとともに、第２の範囲用特異部検出部１１０において中央部７２ａに対して設けられる第２の範囲用特異部判定部１２３が中央部７２ａが特異部であると判定すると、ガラス基板５において第１，２の範囲５３，５４の中央部５３ａ，５４ａに対応する箇所に欠陥が形成されていると判定する。また、第１の範囲用特異部判定部１０３が、第１の範囲５３の画像データ７１の中央部７１ａに特異部が形成されていると判定するとともに、第１の画素１４１に対して設けられる第２の範囲用特異部判定部１２３が第１の画素１４１が特異部であると判定すると、ガラス基板５において第１，２の範囲５３，５４の中央部５３ａ，５４ａに対応する位置に欠陥が形成されていると判定する。

本実施形態では、第２の範囲５４の中央部５４ａを中心として周囲に設定される所定領域５４ｃにおいても特異部を検出する。このため、欠陥を正確に検出することができる。この点について具体的に説明する。

例えば、第２の光路Ｌ２を通るレーザー光の光軸と第２の範囲５４の中心Ｃ２とがずれる場合がある。この場合、第２の範囲５４に対する光学像の相対位置関係が変化する。この結果、ガラス基板５に欠陥が形成されていても、第１，２の範囲５３，５４において欠陥が結像される位置が互いに異なるので、欠陥が検出されなくなる。例えば、第１の範囲５３では、ガラス基板５の欠陥の光学像が中央部５３ａ内に形成されるとともに、第２の範囲５４では、ガラス基板５の欠陥の光学像が周辺領域５４ｂ内に形成される場合がある。この場合では、欠陥は、欠陥として判定されない。

しかしながら、本実施形態のように、第２の範囲５４において中央部５４ａに加えて中央部５４ａを中心とする周囲の所定領域５４ｃにおいても欠陥を検出することによって、第１，２の範囲５３，５４において特異部の位置がずれていても、このずれを吸収することができるので、欠陥を正確に検出することができる。

なお、本実施形態では、第２の範囲用特異部検出部１１０において、画像データ７２の所定領域７２ｃの特異部を検出することを行っている。他の例としては、所定領域７２ｃと同様に、第１の範囲５３の画像データ７１において中央部７１ａに対して設定される所定領域内の特異部を検出するようにしてもよい。中央部７１ａに対する所定領域の位置、大きさ、形状は、中央部７２ａに対する所定領域７２ｃ位置、大きさ、形状と同じである。

本実施形態の第１，２の光路Ｌ１，Ｌ２は、複数の光路の一例である。光路が３つ以上に分割される場合、各光路に対して、光学像を画像データに変換するとともに、第１，２の特異部検出部９１，１１０と同様の特異部検出部を設ける。そして、１つの光路に対して設けられる特異部検出部は、画像データの中央部のみ特異部を検出し、この１つの光路以外の残りの光路に対して設けられる特異部検出部は、画像データの中央部と所定領域との特異部を検出するようにする。そして、欠陥判定部は、中央部のみ特異部を検出する特異部検出部が特異部を検出し、かつ、残りの特異部検出部全てが中央部または所定領域に特異部を検出した場合に、ガラス基板５において画像データの中央部に対応する箇所に欠陥が形成されていると判定する。

このことによって、本実施形態と同様の効果が得られる。

つぎに、第３の実施形態に係る欠陥検査装置を、図１６〜１８を用いて説明する。なお、本実施形態において、第１の実施形態と同様の機能を有する構成は、第１の実施形態と同一の符号を付して説明を省略する。

本実施形態では、第１の蓄積型ラインセンサ５１に加えて、第の第２の蓄積型ラインセンサ５５が用いられる点と、光路長調整部４４が第１の実施形態と異なる。他は、第１の実施形態と同じである。上記異なる点について、説明する。

図１６は、本実施形態の欠陥検査装置１０を示す概略図である。図１６に示すように、本実施形態では、変換部５０は、第１の蓄積型ラインセンサ５１に加えて、第２の蓄積型ラインセンサ５５が用いられる。第１の蓄積型ラインセンサ５１と第２の蓄積型ラインセンサ５５とは、同じものである。

本実施形態では、第１の蓄積型ラインセンサ５１のセンサ面５２には、第１の光路Ｌ１を通るレーザー光が結像され、第２の光路Ｌ２を通るレーザー光は、第２の蓄積型ラインセンサ５５のセンサ面５６に結像される。このため、本実施形態では、第１の蓄積型ラインセンサ５１のセンサ面５２には第２の範囲５４は形成されず、第２の蓄積型ラインセンサ５５のセンサ面５６に第２の範囲５４が形成される。第２の蓄積型ラインセンサ５５のセンサ面５６の第２の範囲５４に第２の光路Ｌ２を通るレーザー光が結像される。第２の蓄積型ラインセンサ５５においても、第２の光路Ｌ２の光軸は、第２の範囲５４の中心Ｃ２を通る。図１６中、２点鎖線で囲む範囲１６ａに、第１の範囲５３を示す第１の蓄積型ラインセンサ５１のセンサ面５２を示す。図１６中、２点鎖線で示す範囲１６ｂに、第２の範囲５４を示す第２の蓄積型ラインセンサ５５のセンサ面５６の平面図を示す。

図１７は、第１，２の光路Ｌ１，Ｌ２を明確に示す欠陥検査装置１０の一部を示す概略図である。図１７に示すように、本実施形態では、光路長調整部４４は、第２のプレーンパラレル４４ｂが第１の実施形態と異なる。第１のプレーンパラレル４４ａは、第１の実施形態と同じであり、第１の光路Ｌ１を通るレーザー光の焦点Ｆ１は、第１の範囲５３上に設けられる。第２のプレーンパラレル４４ｂは、第２の光路Ｌ２を通るレーザー光の焦点Ｆ２を、第２の蓄積型ラインセンサ５５のセンサ面５６上ではなく、センサ面５６よりも前に形成するように第２の光路Ｌ２の光路長を調整する。

第２の光路Ｌ２を通るレーザー光の焦点Ｆ２が第２の蓄積型ラインセンサ５５のセンサ面５６上に位置していないことによって、第１の範囲５３内で結像される光学像と、第２の範囲５４内で結像される光学像とは、異なるものになる。このため、画像データ７１，７２は、互いに異なるものになる。

図１８は、本実施形態の第１，２の範囲用特異部検出部９１，１１０を示すブロック図を示している。図１８に示すように、本実施形態では、第１の範囲用特異部検出部９１は、第２の範囲周辺領域出力レベル算出部９５を有していない。また、第２の範囲用特異部検出部１１０は、第１の範囲周辺領域出力レベル算出部９４を有していない。

これは、第１の光路Ｌ１を通るレーザー光の焦点Ｆ１が第１の範囲５３上に位置するとともに第２の光路Ｌ２を通るレーザー光の焦点Ｆ２が第２の範囲５４上に位置しないことによって、画像データ７１，７２とが異なるものになるため、周辺領域７１ｂ，７２ｂの出力レベルの平均値を算出する際に画像データ７１の周辺領域７１ｂと画像データ７２の周辺領域７２ｂとを組み合わせることができないためである。

本実施形態では、第１の範囲用特異部検出部９１では、周辺領域出力レベル平均値算出部９６は、第１の範囲周辺領域出力レベル算出部９４の算出結果に基づいて周辺領域７１ｂの出力レベルの平均値を算出する。第２の範囲用特異部検出部１１０では、周辺領域出力レベル平均値算出部９６は、第２の範囲周辺領域出力レベル算出部９５の算出結果に基づいて周辺領域７２ｂの出力レベルの平均値を算出する。

本実施形態では、欠陥判定部１３０は、第１の範囲用特異部検出部９１の第１の範囲用特異部判定部１０３が中央部７１ａに特異部が形成されていると判定するか、または、第２の範囲用特異部検出部１１０の特異部判定部１２３が中央部７２ａ内に特異部が形成されていると判定すると、ガラス基板５において第１，２の範囲５３，５４の中央部５３ａ，５４ａに対応する部位に欠陥が形成されていると判定する。

この点について具体的に説明する。上記のように、第１の光路Ｌ１を通るレーザー光の焦点Ｆ１は、第１の蓄積型ラインセンサ５１のセンサ面５２の第１の範囲５３上に形成され、第２の光路Ｌ２を通るレーザー光の焦点Ｆ２は、第２の蓄積型ラインセンサ５５のセンサ面５６より前に位置に形成される。このことによって、第１，２の範囲５３，５４に形成される光学像が互いに異なるものになるので、画像データ７１，７２は互いに異なるものになる。

一方、微細な欠陥の場合、光学像の焦点位置をセンサ面からずらすことによって、センサ面上での欠陥を示す光学像の形成のされかたが変わり、欠陥を示す画像データが異なるようになる。このため、光学像の焦点がセンサ面上に形成される場合では欠陥を認識しづらい場合であっても、センサ面に対するレーザー光の焦点の位置を変更することによって、欠陥が認識されやすくなる場合がある。

第２の蓄積型ラインセンサ５５と第２の光路Ｌ２とは、第１の蓄積型ラインセンサ５１に対して、センサ面５２に対するレーザー光の焦点Ｆ１の位置を変更したものとなる。つまり、第１，２の光路Ｌ１，Ｌ２の、センサ面５２，５６までの光路長を互いに異なるものにしている。このため、第１の範囲用特異部検出部９１が欠陥を特異部として検出できなくても、第２の範囲用特異部検出部１１０が欠陥を特異部として検出する場合があり、または、第２の範囲用特異部検出部１１０が欠陥を特異部として検出できなくても、第１の範囲用特異部検出部９１が欠陥を特異部として検出する場合がある。

このため、欠陥判定部１３０が、第１，２の範囲用特異部検出部９１，１１０のいずれか一方が特異部を検出すると、ガラス基板５において特異部に対応する位置に欠陥が形成されていると判定することによって、欠陥を正確に検出できる。

なお、本実施形態の第１，２の光路Ｌ１，Ｌ２は、分割された複数の光路の各々において光学像が結像される撮像面までの光路長が互いに異なることの一例である。３つ以上の光路を有し、これら光路において撮像面までの光路長が互いに異なる場合は、各光路に対して、光学像を画像データに変換するとともに第１，２の特異部検出部９１，１１０と同様の特異部検出部を設ける。そして、欠陥判定部は、各光路に対して設けられる特異部検出部の少なくとも１つが特異部を検出すると、ガラス基板５において画像データの中央部に対応する箇所に欠陥が形成されていると判定する。

また、本実施形態であっても、第２の実施形態と同様に、中央部７１ａ，７２ａに対して所定領域を設定し、これら所定領域内の特異部を検出してもよい。そして、所定領域内の特異部も用いて欠陥を判定してもよい。

例えば、第１の範囲用特異部検出部９１が、中央部７１ａに対して設定される所定領域内の特異部も検出する場合、欠陥判定部１３０は、第１の範囲用特異部検出部９１の中央部７１ａに対して設けられる特異部判定部１０３が中央部７１ａが特異部であると判定した場合、第１の範囲用特異部検出部９１の中央部７１ａに対して設定される所定領域内に対して設けられる特異部判定部が所定領域内に特異部が形成されていると判定した場合、または、第２の範囲用特異部検出部１１０の特異部判定部１２３が中央部７２ａが特異部であると判定した場合の少なくとも１つの場合に、ガラス基板５において中央部７２ａに対応する箇所を欠陥と判定する。

同様に、第２の範囲用特異部検出部１１０が、中央部７２ａに対して設定される所定領域内の特異部も検出する場合、欠陥判定部１３０は、第２の範囲用特異部検出部１１０の中央部７２ａに対して設けられる特異部判定部１２３が中央部７２ａが特異部であると判定した場合、第２の範囲用特異部検出部１１０の中央部７２ａに対して設定される所定領域内に対して設けられる特異部判定部が所定領域内に特異部が形成されていると判定した場合、または、第１の範囲用特異部検出部９１の特異部判定部１０３が中央部７１ａが特異部であると判定した場合の少なくとも１つの場合に、ガラス基板５において中央部７１ａに対応する箇所を欠陥と判定する。このことによって、ガラス基板５の欠陥をより一層正確に検出できる。

または、第１，２の範囲用特異部検出部９１，１１０の両方において、それぞれ、中央部７１ａ，７２ａに対して設定される所定領域内の特異部も検出してもよい。この場合、欠陥判定部１３０は、第１の範囲用特異部検出部９１において中央部７１ａまたは所定領域に対して設けられる特異部判定部１０３の少なくとも１つが特異部を検出し、または、第２の範囲用特異部検出部１１０において中央部７２ａまたは所定領域に対して設けられる特異部判定部１２３の少なくとも１つが特異部を検出すると、ガラス基板５において、中央部７１ａ，７２ａに対応する箇所に欠陥が形成されていると判定する。

このように、光路分割機構によって分割された全ての光路の撮像面までの光路長が全て異なる場合、各光路に対して設けられる特異部検出部の少なくとも１つは、画像データの中央部の特異部を検出することに加えて中央部に対して設定される所定領域の特異部を検出してもよい。そして、中央部の特異部のみ検出する特異部検出部のいずれか１つが特異部を検出し、または、中央部に加えて所定流域の特異部を検出する特異部検出部のいずれか１つが特異部を検出すると、欠陥判定部は、画像データの中央部を欠陥として判定する。

つぎに、第４の実施形態に係る欠陥検査装置を、図１９〜２１を用いて説明する。なお、第１の実施形態と同様の機能を有する構成は、第１の実施形態と同一の符号を付して説明を省略する。本実施形態では、光路分割機構４３は、光路を、第１，２の光路Ｌ１，Ｌ２に加えて、さらに第３の光路Ｌ３に分割する。さらに、光路を３つに分けることにともない、欠陥検査装置１０が第１の実施形態に対して異なる。他は、第１の実施形態と同じである。上記異なる点について、説明する。

図１９は、本実施形態の欠陥検査装置１０を示す概略図である。図２０は、本実施形態の光路分割機構４３を明確に示す欠陥検査装置１０の一部を示す概略図である。図１９に示すように、本実施形態の欠陥検査装置１０は、さらに、第２の蓄積型ラインセンサ５５と、第２のＡＤ変換回路６１と、第３の範囲用特異部検出部１７０とを備える。図２０に示すように、光路分割機構４３は、さらに、第２のハーフミラー４３ｃと、第２のミラー４３ｄとを備える。

第２のハーフミラー４３ｃは、第１のハーフミラー４３ａよりも光路上においてガラス基板５側に配置されている。第２のハーフミラー４３ｃは、結像レンズ４２を通過したレーザー光の２／３を通過し、１／３を反射する。第２のハーフミラー４３ｃを通過したレーザー光は、第１のハーフミラー４３ａに到達する。第２のハーフミラー４３ｃは、第２のミラー４３ｄに向かってレーザー光を反射する。第２のミラー４３ｄは、レーザー光を第２の蓄積型ラインセンサ５５に向かって反射する。第２のハーフミラー４３ｃで分岐される光路を、第３の光路Ｌ３とする。

光路長調整部４４は、さらに、第３のプレーンパラレル４４ｃを備えている。第３のプレーンパラレル４４ｃは、第３の光路Ｌ３中に設けられており、第３の光路Ｌ３を通るレーザー光の焦点Ｆ３が第２の蓄積型ラインセンサ５５のセンサ面５６よりも前に形成されるように第３の光路Ｌ３の光路長を調整する。

このように、本実施形態では、光路長調整部４４は、第１，２の光路Ｌ１，Ｌ２のセンサ面５２までの光路長を互いに同じにするとともに、第３の光路Ｌ３のセンサ面５６までの光路長を、第１，２の光路Ｌ１，Ｌ２のセンサ面５２までの光路長に対して異なるものにしている。

第２の蓄積型ラインセンサ５５のセンサ面５６上には、第３の光路Ｌ３を通るレーザー光が結像される第３の範囲５７が形成されている。第３の範囲５７は、第１，２の範囲５３，５４と同じ大きさであり、かつ、同じ形状である。第３の光路Ｌ３の光軸は、第３の範囲５７の中心Ｃ３を通る。第３の範囲５７は、第１，２の範囲５３，５４と同じ形状であり、かつ、同じ大きさである。図１９中、２点鎖線で囲む範囲Ｆ１９ａ内に、第２の蓄積型ラインセンサ５５のセンサ面５６と、第３の範囲５７とを示している。

第２の蓄積型ラインセンサ５５は、第３の範囲５７上に結像された光学像を電気信号に変換する。第２のＡＤ変換回路６１は、第２の蓄積型ラインセンサ５５の出力した電気信号を画像データに変換する。図１９中、２点鎖線で囲む範囲１９ｂ内に第３の範囲５７の画像データ７３を示している。

図２１は、欠陥判定回路９０の一部を示すブロック図である。図２１に示すように、欠陥判定回路９０は、第３の範囲用特異部検出部１７０を備えている。第３の範囲用特異部検出部１７０の構成は、第１，２の範囲用特異部検出部９１，１１０と同様であり、第３の範囲用出力変位算出部１７１と、第３の範囲用閾値判定部１８０とを備えている。

第３の範囲用出力変位算出部１７１は、第３の範囲５７の画像データ７３の中央部が特異部であるか否かを判定するために、周辺領域に対する中央部の出力レベルの大きさを算出する。

第３の範囲用出力変位算出部１７１は、第３の範囲中央部出力レベル算出部１７２と、第３の範囲周辺領域出力レベル算出部１７３と、周辺領域出力レベル平均値算出部１７４と、第３の範囲用出力レベル差算出部１７５とを備えている。

第３の範囲中央部出力レベル算出部１７２には、第２のＡＤ変換回路６１から第３の範囲５７の画像データ７３が送信される。第３の範囲中央部出力レベル算出部１７２は、画像データ７３において第３の範囲５７の中央部５７ａに対応する中央部７３ａの出力レベルを算出する。第３の範囲５７に対する中央部５７ａの位置、大きさ、形状は、第１，２の範囲５３，５４に対する中央部５３ａ，５４ａの位置、大きさ、形状と同じである。第３の範囲５７の中央部５７ａは、画像データ７３において、画像データ７１，７２と同様に、１つの画素に対応している。

第３の範囲周辺領域出力レベル算出部１７３は、第２のＡＤ変換回路６１から第３の範囲５７の画像データ７３が送信される。第３の範囲周辺領域出力レベル算出部１７３は、画像データ７３において第３の範囲５７の周辺領域５７ｂに対応する周辺領域７３ｂの出力レベルを、第１，２の範囲周辺領域出力レベル算出部９４，９５と同様に算出する。具体的には、周辺領域７３ｂの各画素の出力レベルを算出するとともに、周辺領域７３ｂの各画素の出力レベルを加算する。周辺領域５７ｂは、第３の範囲５７において中央部５７ａ以外の部分である。

第３の範囲周辺領域出力レベル算出部１７３は、算出結果を周辺領域出力レベル平均値算出部１７４に送信する。周辺領域出力レベル平均値算出部１７４は、画像データ７３の周辺領域７３ｂにおいて中央部７３ａと同じ範囲の出力レベルの平均値を算出する。周辺領域出力レベル平均値算出部１７４の算出結果は、第３の範囲用出力レベル差算出部１７５に送信される。

第３の範囲用出力レベル差算出部１７５は、第３の範囲中央部出力レベル算出部１７２の算出結果から、周辺領域出力レベル平均値算出部１７４の算出結果を減算する。第３の範囲用出力レベル差算出部１７５の算出結果は、第３の範囲用閾値判定部１８０に送信される。

第３の範囲用閾値判定部１８０は、第３の範囲用出力レベル差算出部の算出結果と閾値とを比較し、中央部７３ａが特異部であるか否かを判定する。第３の範囲用閾値判定部１８０は、第１の比較部１８１と、第２の比較部１８２と、第３の範囲用特異部判定部１８３とを備えている。

第１の比較部１８１は、第３の範囲用出力レベル差算出部１７５の算出結果が送信される。第１の比較部１８１は、第３の範囲用出力レベル差算出部１７５の算出結果と、第１の閾値Ｌｖｌ１より大きいか否かを判定する。第２の比較部１８２は、第３の範囲用出力レベル差算出部１７５の算出結果が送信される。第２の比較部１８２は、第３の範囲用出力レベル差算出部１７５の算出結果が第２の閾値Ｌｖｌ２未満であるか否かを判定する。

第１，２の比較部１８１，１８２の比較結果は、第３の範囲用特異部判定部１８３に送信される。第３の範囲用特異部判定部１８３は、第１の比較部１８１の比較結果が第３の範囲用出力レベル差算出部１７５の算出結果が第１の閾値Ｌｖｌ１より大きいという比較結果である場合、または、第２の比較部１８２の比較結果が第３の範囲用出力レベル差算出部１７５の算出結果が第２の閾値Ｌｖｌ２未満であるという比較結果である場合、画像データ７３の中央部７３ａは、特異部であると判定する。第３の範囲用特異部判定部１８３の判定結果は、欠陥判定部１３０に送信される。

本実施形態では、欠陥判定部１３０は、第１〜３の範囲用第１の範囲用特異部判定部１０３，１２３，１８３の判定結果が送信される。欠陥判定部１３０は、第１，２の第１の範囲用特異部判定部１０３，１２３がともに画像データ７１，７２の中央部７１ａ，７２ａが特異部であると判定した場合に、ガラス基板５において、第１，２，３の範囲５３，５４，５７の中央部５３ａ，５４ａ，５７ａに対応する箇所に欠陥が形成されていると判定する。または、第３の範囲用第３の範囲用特異部判定部１８３が画像データ７３の中央部７３ａが特異部であると判定すると、ガラス基板５において第１〜３の範囲５３，５４，５７の中央部５３ａ，５４ａ，５７ａに対応する箇所に欠陥が形成されていると判定する。

これは、第２の実施形態で説明したように、第３の光路Ｌ３を通るレーザー光の焦点を第２の蓄積型ラインセンサ５５のセンサ面５６の前に形成することによって、第１，２の範囲５３，５４に結像される光学像と、第３の範囲５７に結像される光学像とが異なるものになるためである。

このため、第１，２の範囲用特異部検出部９１，１１０が欠陥を特異部として検出できない場合であっても、第３の範囲用特異部検出部１７０が欠陥を特異部として検出できる場合があり、逆に、第３の範囲用特異部検出部１７０が欠陥を特異部として検出できなくても、第１，２の範囲用特異部検出部９１，１１０が欠陥を特異部として検出できる場合があるためである。

本実施形態では、ガラス基板５の欠陥を正確に検出することができる。

なお、本実施形態は、第１，２の光路Ｌ１，Ｌ２が撮像面までの光路長が互いに等しく、第３の光路Ｌ３の光路長が第１，２の光路Ｌ１，Ｌ２の光路長に対して異なる。これは、光路分割機構が３つ以上の光路に分割し、かつ、これら３つ以上の光路において光学像が結像される撮像面までの光路長を複数設定し、少なくとも２つの光路長を互いに等しくすることの一例である。

例えば、光路分割機構が５つの光路に分割した場合、これら５つの光路のうち、３つの光路の撮像面までの光路長を互いに等しく、残りの２つの光路は互いに光路長が異なるとともに上記３つの光路の光路長とも異なるものとしてもよい。そして、各光路に対して、光学像を画像データに変換するとともに第１〜３の欠陥検出部９１，１１０，１７０と同様の欠陥検出部を設ける。そして、互いに光路長が等しい３つの光路を有するグループの各光路に対して設けられる特異部検出部が全て特異部を検出した場合、または、残りの２つの光路に対して設けられる特異部検出部のいずれか一方が特異部を検出した場合、欠陥判定部１３０は、ガラス基板５において画像データの中央部に対応する箇所に欠陥が形成されている判定する。

このように、撮像面までの光路長が互いに等しい光路を有するグループが複数ある場合は、それらグループの少なくとも１つにおいてそのグループを構成する光路に対して設けられる特異部検出部の全てが特異部を検出した場合に、欠陥判定部は、ガラス基板５において画像データの注す員流域に対応する箇所に欠陥が形成されていると判定する。さらに、加えて、他の光路に対して異なる光路長を有する１つの光路が複数ある場合、これらの光路に対して設けられる特異部検出部の少なくとも１つが特異部を判定した場合でも、欠陥判定部は、ガラス基板５において画像データの中央部に対応する箇所に欠陥が形成されていると判定する。

また、本実施形態においても、第２、３の実施形態と同様に、第１〜３の範囲用特異部検出部９１，１１０，１７０の少なくとも１つが、第１，２，３の範囲５３，５４，５７の中央部５３ａ，５４ａ，５７ａの周囲に設定される所定領域５３ｂ，５３ｂ，５７ｂ内の特異部を検出するようにしてもよい。

例えば、第１の範囲用特異部検出部９１が中央部７１ａに加えて、中央部７１ａに対して設定される所定領域内の特異部を検出する場合、欠陥判定部は、第１の範囲用特異部検出部９１において、中央部７１ａまたは所定領域に対して設けられる特異部判定部１０３の少なくともいずれか１つが特異部を検出し、かつ、第２の範囲用特異部検出部１１０の特異部判定部１２３が特異部を検出すると、ガラス基板５において中央部７１ａ，７２ａ，７３ａに対応する箇所に欠陥が形成されていると判定する。または、第３の範囲用欠陥検出部１７０が欠陥を検出すると、欠陥判定部１３０は、ガラス基板５において中央部７１ａ，７２ａ，７３ａに対応する箇所に欠陥が形成されていると判定する。

同様に、第２の範囲用特異部検出部１１０が中央部７２ａに加えて所定領域の特異部を検出する場合、欠陥判定部は、第２の範囲用特異部検出部１１０において、中央部７２ａまたは所定領域に対して設けられる特異部判定部１２３の少なくともいずれか１つが特異部を検出し、かつ、第１の範囲用特異部検出部９１の特異部判定部１０３が特異部を検出すると、ガラス基板５において中央部７１ａ，７２ａ，７３ａに対応する箇所に欠陥が形成されていると判定する。または、第３の範囲用欠陥検出部１７０が欠陥を検出すると、欠陥判定部１３０は、ガラス基板５において中央部７１ａ，７２ａ，７３ａに対応する箇所に欠陥が形成されていると判定する。

このように、光路分割機構によって分割される光路が３つ以上であって、これら３つ以上の光路において光学像が結像される撮像面までの光路長を複数種類設定するとともに、少なくとも２つの光路の光路長を互いに同じとする場合、各光路に対して、光学像を画像データに変換するとともに第１〜３の特異部検出部９１，１１０，１７０と同様の特異部検出部を設ける。そして、撮像面までの光路長が等しい複数の光路の組み合わせの少なくとも１組において、１つの光路に対して設けられる特異部検出部が特異部を検出し、かつ、残りの光路に対して設けられた特異部検出部が画像データにおいて特異部に対応する位置に対して設定される所定範領域内に特異部を検出すると、欠陥判定部１３０は、特異部を欠陥と判定し、または、他の光路に対して異なる光路長を有する１つの光路がある場合は、この光路に対して設けられる特異部検出部が特異部を検出すると、欠陥判定部１３０は、特異部を欠陥と判定する。

つぎに、第５の実施形態に係る欠陥検査装置を、図２２〜２５を用いて説明する。なお、第４の実施形態と同様の機能を有する構成は、第４の実施形態と同一の符号を付して説明を省略する。本実施形態では、光路分割機構４３が、さらに、第４の光路Ｌ４を分割する。さらに、第４の光路Ｌ４を備えることにともなって、欠陥検査装置１０の構成が第４の実施形態と異なる。異なる点について説明する。

図２２は、本実施形態の欠陥検査装置１０を示す概略図である。図２２に示すように、本実施形態では、欠陥検査装置１０は、さらに、第２の分配回路８１と、第４の範囲用特異部検出部１９０と備えている。

図２３は、光路を明確に示す欠陥検査装置１０の一部を示す概略図である。図２３に示すように、光路分割機構４３は、さらに、第３のハーフミラー４３ｅと、第３のミラー４３ｆとを備える。第３のハーフミラー４３ｅは、第３の光路中Ｌ３に設けられている。本実施形態では、第２のハーフミラー４３ｃは、５０パーセントのレーザー光を通過し、５０パーセントのレーザー光を第２のミラー４３ｄに向かって反射する。

第３のハーフミラー４３ｅは、５０パーセントのレーザー光を通過し、５０パーセントのレーザー光を第３のミラー４３ｆに反射する。第３のミラー４３ｆは、第２の蓄積型ラインセンサ５５のセンサ面５６に向かってレーザー光を反射する。第３のハーフミラー４３ｅでレーザー光が反射されることによって、第４の光路Ｌ４が分岐される。第２の蓄積型ラインセンサ５５のセンサ面５６上には、第３の範囲５７に加えて、第４の光路Ｌ４を通るレーザー光が結像される第４の範囲５８が形成される。

図２４は、第２の蓄積型ラインセンサ５５のセンサ面５６を示している。図２４に示すように、第４の範囲５８は、第１〜３の範囲５３，５４，５７と同じ大きさであり同じ形状である。第４の光路Ｌ４の光軸は、第４の範囲５８の中心Ｃ４を通る。第４の範囲５８に対する中央部５８ａの位置、大きさ、形状は、第１〜３の範囲５３，５４，５７に対する中央部５３，５４，５７の位置、大きさ、形状と同じである。図２４中、第４の範囲５８の中央部５８ａに、明確にするために、ハッチングを施している。このハッチングは、切断面を示すものではない。中央部５８ａは、第１〜３の範囲５３，５４，５７の中央部５３ａ，５４ａ，５７ａと同様である。図中、第４の葉に５８の周辺領域５８ｂに、明確にするために、ハッチングを施している。このハッチングは切断面を示すものではない。同様に、図２４中、第３の範囲５７の中央部５７ａと周辺領域５７ｂとを、明確に示すためにハッチングを施している。このハッチングは切断面を示すものではない。

図２３に示すように、第４の光路Ｌ４を通るレーザー光の焦点Ｆ４は、第３の光路Ｌ３を通るレーザー光の焦点Ｆ３と同じ位置である。ここで言う同じ位置とは、第２の蓄積型ラインセンサ５５のセンサ面５６に対して、同じ距離離れた位置に焦点Ｆ３，Ｆ４があることである。つまり、第３の光路Ｌ３にそってセンサ面５６から焦点Ｆ３までの距離Ｍ３と、第４の光路Ｌ４にそってセンサ面５６焦点Ｆ４までの距離Ｍ４とは、同じである。なお、本実施形態では、第４の光路Ｌ４上に光路長を調整するプレーンパラレルを設けてなくても、第３，４の光路Ｌ３，Ｌ４を通るレーザー光の焦点Ｆ３，Ｆ４の位置が同じになるため、第４の光路Ｌ４上にプレーンパラレルは設けられていない。他の例としては、第４の光路Ｌ４中にプレーンパラレルのように光路長を調整できる装置を設けてもよい。

図２２に示すように、第２の蓄積型ラインセンサ５５の第４の範囲５８は、第４の範囲５８に結像される光学像を電気信号に変換する。第２のＡＤ変換回路６１は、第３，４の範囲５７、５８に結像された光学像を画像データに変換する。

第２の分配回路８１は、第２のＡＤ変換回路６１の形成した画像データから第３の範囲５７の画像データ７３と第４の範囲５８の画像データ７４とに分配し、第３，４の範囲５７，５８の画像データ７３，７４を第３，４の範囲用特異部検出部１７０，１９０に送信する。

図２５は、欠陥判定回路９０の一部を示すブロック図である。図２５に示すように、本実施形態の欠陥判定回路９０は、さらに、第４の範囲用特異部検出部１９０を備えている。本実施形態では、第３の範囲用特異部検出部１７０は、さらに、第４の範囲周辺領域出力レベル算出部１９４を備えている。第４の範囲周辺領域出力レベル算出部１９４は、第４の範囲５８の画像データ７４が送信される。第４の範囲周辺領域出力レベル算出部１９４は、第３の範囲周辺領域出力レベル算出部１７３と同様に、画像データ７４において第４の範囲５８の周辺領域５８ｂに対応する周辺領域７４ｂの出力レベルを算出する。具体的には、周辺領域７４ｂを示す各画素の出力レベルを算出するとともに全てを加算する。第４の範囲周辺領域出力レベル算出部１９４の算出結果は、周辺領域出力レベル平均値算出部１７４に送信される。

本実施形態では、周辺領域出力レベル平均値算出部１７４は、第１の範囲用特異部検出部９１と同様に、第３の範囲周辺領域出力レベル算出部１７３の算出結果と第４の範囲周辺領域出力レベル算出部１９４の算出結果とから、周辺領域７３ｂ，７４ｂにおいて中央部７３ａと同じ範囲の出力レベルの平均値を算出する。具体的には、第３の範囲周辺領域出力レベル算出部１７３の算出結果と第４の範囲周辺領域出力レベル算出部１９４の算出結果とを加算し、中央部７３ａと同じ大きさつまり１画素当たりの平均出力レベルを算出する。

第４の範囲用特異部検出部１９０は、第４の範囲用出力変位算出部１９１と、第４の範囲用閾値判定部２００とを備えている。第４の範囲用出力変位算出部１９１は、画像データ７４の中央部７４ａが特異部であるかを判定するために、周辺領域７４ｂに対する中央部７４ａの出力レベルの大きさを算出する。

第４の範囲用出力変位算出部１９１は、第４の範囲中央部出力レベル算出部１９２と、第３の範囲周辺領域出力レベル算出部１７３と、第４の範囲周辺領域出力レベル算出部１９４、周辺領域出力レベル平均値算出部１７４と、第４の範囲用出力レベル差算出部１９５とを備えている。

第４の範囲中央部出力レベル算出部１９２は、第４の範囲５８の画像データ７４が送信される。第４の範囲中央部出力レベル算出部１９２は、第３の範囲中央部出力レベル算出部１７２と同様に、第４の範囲５８の中央部５８ａに対応する中央部７４ａの出力レベルを算出する。

第３の範囲周辺領域出力レベル算出部１７３と第４の範囲周辺領域出力レベル算出部１９４とは、上記した第３の範囲用出力変位算出部１７１の第３の範囲周辺領域出力レベル算出部１７３と第４の範囲周辺領域出力レベル算出部１９４と同じである。

周辺領域出力レベル平均値算出部１７４は、上記のように、第３の範囲周辺領域出力レベル算出部１７３と第４の範囲周辺領域出力レベル算出部１９４との算出結果が送信され、これら算出結果に基づいて、中央部７３ａ，７４ａと同じ範囲の出力レベルの平均値を算出する。

第４の範囲用出力レベル差算出部１９５は、第４の範囲中央部出力レベル算出部１９２の算出結果と、周辺領域出力レベル平均値算出部１７４の算出結果とが送信される。第４の範囲用出力レベル差算出部１９５は、第４の範囲中央部出力レベル算出部１９２の算出結果から周辺領域出力レベル平均値算出部１７４の算出結果を減算する。

第４の範囲用閾値判定部２００は、第４の範囲用出力レベル差算出部１９５の算出結果と閾値とを比較して、画像データ７４の中央部７４ａが特異部であるか否かを判定する。第４の範囲用閾値判定部２００は、第１の比較部２０１と、第２の比較部２０２と、特異部判定部２０３とを備えている。

第１の比較部２０１は、第４の範囲用出力レベル差算出部１９５の算出結果が送信される。第１の比較部２０１は、第４の範囲用出力レベル差算出部１９５の算出結果が第１の閾値Ｌｖｌ１より大きいか否かを判定する。第２の比較部２０２は、第４の範囲用出力レベル差算出部１９５の算出結果が送信される。第２の比較部２０２は、第４の範囲用出力レベル差算出部１９５の算出結果が第２の閾値Ｌｖｌ２未満であるか否かを判定する。

特異部判定部２０３は、第１，２の比較部２０１，２０２の比較結果が送信される。特異部判定部２０３は、第１の比較部２０１の比較結果が第４の範囲用出力レベル差算出部１９５の算出結果が第１の閾値Ｌｖｌ１より大きいという比較結果であり、または、第２の比較部２０２の比較結果が第４の範囲用出力レベル差算出部１９５の算出結果が第２の閾値Ｌｖｌ２未満であるという比較結果である場合、画像データ７４の中央部７４ａは特異部であると判定する。

図２２に示すように、本実施形態では、第１〜４の範囲用第１の範囲用特異部判定部１０３，１２３，１８３，２０３は、欠陥判定部１３０に送信される。欠陥判定部１３０は、第１，２の範囲用特異部検出部９１，１１０の検出結果がともに画像データ７１，７２の中央部７１ａ，７２ａが特異部であるという検出結果であった場合、または、第３，４の範囲用特異部検出部１７０，１９０の検出結果がともに画像データ７３，７４の中央部７３ａ，７４ａが特異部であるという検出結果であると、ガラス基板５において、第１〜４の範囲５３，５４，５７，５８の中央部５３ａ，５４ａ，５７ａ，５８ａに対応する位置に欠陥が形成されていると判定する。

本実施形態では、第１，２の実施形態と同様に、ガラス基板５の欠陥を正確に検出することができる。

これは、第２の実施形態で説明したように、第１の蓄積型ラインセンサ５１の第１，２の範囲５３，５４に結像される光学像が互いに同じであるとともに第２の蓄積型ラインセンサ５５の第３，４の範囲５７，５８に結像される光学像が互いに同じであり、かつ、第１の蓄積型ラインセンサ５１のセンサ面５２に対する第１，２の光路Ｌ１，Ｌ２の焦点Ｆ１，Ｆ２の位置の相対関係と、第２の蓄積型ラインセンサ５５のセンサ面５６に対する第３，４の光路Ｌ３，Ｌ４の焦点Ｆ３，Ｆ４の位置の相対関係が異なることによって、第１，２の範囲５３，５４に形成される光学像と、第３，４の範囲５７，５８に形成される光学像とが異なるためである。

つまり、互いに焦点位置が異なる光学像の画像データの一方が特異部を検出したとき、この特異部を欠陥として判定することによって、欠陥を正確に検出することができる。

また、第１〜４の光路Ｌ１〜Ｌ４を、第１，２の光路Ｌ１，Ｌ２のグループと、第３，４の光路Ｌ３，Ｌ４のグループとに分けて、各グループではセンサ面に対する焦点の相対位置関係を同じにするとともに、この相対位置関係をグループごとに異なるものにすることによって、各グループにおいてグループを構成する光路によって形成される光学像の画像データの全てに特異部が形成されていないと、特異部を欠陥と判定しないこととすることによって、欠陥をより一層正確に検出することができる。

なお、本実施形態においても、第１〜４の範囲用出力変位算出部は、第２の実施形態と同様に、中央部７１ａ，７２ａ，７３ａ，７４ａに対して所定領域を設定し、この設定領域内の特異部を検出してもよい。そして、所定領域内の特異部を用いて欠陥を判定してもよい。

つぎに、第６の実施形態に係る欠陥検査装置を、図１３〜１５，２６〜２８を用いて説明する。なお、第５の実施形態と同様の機能を有する構成は、第５の実施形態と同一の符号を付して説明を省略する。本実施形態では、第２の範囲用特異部検出部１１０と、第４の範囲用特異部検出部１９０とが、第２の実施形態と同様に、中央部７２ａ，７４ａが特異部であるか否かを判定するとともに、中央部７２ａ，７４ａに対して設定される所定領域が特異部であるか否かを判定する点が、第５の実施形態に対して異なる。さらに、この相違点に応じて、欠陥検査装置１０の構成が異なる。異なる点を説明する。

本実施形態では、第２の範囲用特異部検出部１１０は、第２の実施形態と同様に、画像データ７２の中央部７２ａが特異部であるか否かを検出するとともに、画像データ７２の中央部７２ａに対して設定される所定領域７２ｃが特異部であるか否かを判定する。このため、図１３に示すように、第２の範囲用特異部検出部１１０は、第２の実施形態と同じである。つまり、画像データ７２において所定領域７２ｃを示す第１〜８の画像１４１〜１４８において、これらが特異部であるか否かを判定する。

また、図１４に示すように、第２の範囲５４は、第２の実施形態と同じに、所定領域５４ｃが設定されている。図１５に示すように、画像データ７２は、第２の実施形態と同じに、所定領域７２ｃが設定されている。

図２６は、本実施形態の第４の範囲用特異部検出部１９０を示している。第４の範囲用特異部検出部１９０は、第２の範囲用特異部検出部１１０と同様に、画像データ７４の中央部７４ａが特異部であるか否かを判定するとともに、中央部７４ａに対して設定される所定領域７４ｃが特異部であるか否かを判定する。

図２７は、本実施形態の第２の蓄積型ラインセンサ５５のセンサ面５６において第４の範囲５８の近傍を示す平面図である。図３０に示すように、第４の範囲５８には、所定領域５８ｃが設定されている。第４の範囲５８に対する所定領域５８ｃの位置、形状、大きさは、第２の範囲５４に対する所定領域５４ｃの位置、形状、大きさをと同じである。所定領域５８ｃは、周辺領域５８ｂの一部である。なお、図３０中、中央部５８ａと所定領域５８ｃとは、明確になるようにハッチングを施している。このハッチングは切断面を示すものではない。

図２８は、画像データ７４を示している。図３１に示すように、画像データ７４には、所定領域５８ｃに対応する所定領域７４ｃが設定されている。所定領域７４ｃは、中央部７４ａを囲む８つの画素で示される。所定領域７４ｃを示す画素を、第１〜８の画素２１１，２１２，２１３，２１４，２１５，２１６，２１７とする。

図２６に示すように、第４の範囲用特異部検出部１９０は、本実施形態の第２の範囲用特異部検出部１１０と同様に構成を有している。つまり、第４の範囲用特異部検出部１９０は、中央部７４ａが特異部であるか否かを検出するための第４の範囲用出力変位算出部１９１に加えて、第１〜８の画素２１１〜２１８が特異部であるか否かを判定するための第４の範囲用出力変位算出部１９１ａ，１９１ｂ，１９１ｃ，１９１ｄ，１９１ｅ，１９１ｆ，１９１ｇ，１９１ｈと、閾値判定部２００とを備えている。図２９中では、第４の範囲用出力変位算出部１９１，１９１ａ，１９１ｈを示しており、第４の範囲用出力変位算出部１９１ｂ〜１９１ｇは省略されている。

第４の範囲用出力変位算出部１９１ａ，１９１ｂ，１９１ｃ，１９１ｄ，１９１ｅ，１９１ｆ，１９１ｇ，１９１ｈは、第２の範囲用出力変位算出部１１１ａ〜１１１ｈと同様である。

具体的に説明する。第１の画素２１１が特異部であるか否かを検出するために、第４の範囲用出力変位算出部１９１ａと、第４の範囲用閾値判定部２００とが用いられる。第２の画素２１２が特異部であるか否かを検出するために、第４の範囲用出力変位算出部１９１ｂと、第４の範囲用閾値判定部２００とが用いられる。第３の画素２１３が特異部であるか否かを検出するために、第４の範囲用出力変位算出部１９１ｃと、第２の範囲用閾値判定部１２０とが用いられる。第４の画素２１４が特異部であるか否かを検出するために、第４の範囲用出力変位算出部１９１ｄと、第４の範囲用閾値判定部２００とが用いられる。第５の画素２１５が特異部であるか否かを検出するために、第４の範囲用出力変位算出部１９１ｅと、第４の範囲用閾値判定部２００とが用いられる。第６の画素２１６が特異部であるか否かを検出するために、第４の範囲用出力変位算出部１９１ｆと、第４の範囲用閾値判定部２００とが用いられる。第７の画素２１７が特異部であるか否かを検出するために、第４の範囲用出力変位算出部１９１ｇと、第４の範囲用閾値判定部２００とが用いられる。第８の画素２１８が特異部であるか否かを検出するために、第４の範囲用出力変位算出部１９１ｈと、第４の範囲用閾値判定部２００とが用いられる。

第１〜８の画素２１１〜２１８に対して用いられる第４の範囲用出力変位算出部１９１ａ〜１９１ｈと第４の範囲用閾値判定部２００について、第１の画素２１１に対して用いられる第４の範囲用出力変位算出部１９１ａと第４の範囲用閾値判定部２００とを代表して説明する。

図２６に示すように、第１の画素２１１に対して用いられる第４の範囲用出力変位算出部１９１ａは、第４の範囲中央部出力レベル算出部１９２に代えて、第１の画素出力レベル算出部１９２ａを備えている。第１の画素出力レベル算出部１９２ａは、第４の範囲５８の画像データ７４が送信される。第１の画素出力レベル算出部１９２ａは、第４の範囲５８の画像データ７４に基づいて、第１の画素２１１が示す色に応じた出力レベルを算出する。

第４の範囲用出力変位算出部１９１ａは、第４の範囲周辺領域出力レベル算出部１９４に代えて、第４の範囲周辺領域出力レベル算出部１９４ａを備えている。第４の範囲周辺領域出力レベル算出部１９４ａは、画像データ７４が送信されるとともに、画像データ７４において第１の画素２１１以外を周辺領域とし、第１の画素２１１以外の各画素の出力レベルを算出して全て加算する。第３の範囲周辺領域出力レベル算出部１７３は、第５の実施形態と同じである。

第４の範囲用出力変位算出部１９１ａは、周辺領域出力レベル平均値算出部１７４に代えて、周辺領域出力レベル平均値算出部１７４ａを備えている。周辺領域出力レベル平均値算出部１７４ａは、第４の範囲周辺領域出力レベル算出部１９４ａの算出結果と、第３の範囲周辺領域出力レベル算出部１７３の算出結果とが送信される。周辺領域出力レベル平均値算出部１７４ａは、第３，４の範囲周辺領域出力レベル算出部１７３，１９４ａの算出結果に基づいて、算出結果どうしを加算する。そして、得られた加算値を、画像データ７４において第１の画素２１１以外の部分と周辺領域７３ｂとを示す画素数で除算する。そして、得られた除算値に、中央部７４ａを示す画素数を積算する。

この積算値は、画像データ７４において第１の画素２１１以外の部分と周辺領域７３ｂとを組み合わせたものにおいて、中央部７４ａと同じ大きさの範囲からの出力レベルの平均値を示す。本実施形態では、中央部７４ａは、１画素で表されるので、上記除算値がそのまま周辺領域出力レベルの平均値になる。

第４の範囲用出力変位算出部１９１ａは、第４の範囲用出力レベル差算出部１９５に代えて、第４の範囲用出力レベル差算出部１９５ａを備えている。第４の範囲用出力レベル差算出部１９５ａは、第１の画素出力レベル算出部１９２ａの算出結果から、周辺領域出力レベル平均値算出部１７４ａの算出結果をひく。第４の範囲用出力レベル差算出部１９５ａの算出結果は、第４の範囲用閾値判定部２００に送信される。

第４の範囲用閾値判定部２００は、第５の実施形態と同じである。第１の比較部２０１は、第４の範囲用出力レベル差算出部１９５ａの算出結果が第１の閾値Ｌｖｌ１より大きいか否かを判定し、第２の比較部２０２は、第４の範囲用出力レベル差算出部１９５ａの算出結果が第２の閾値Ｌｖｌ２未満であるか否かを判定する。

このように、第１の画素２１１に対する第４の範囲用出力変位算出部１９１ａは、第５の実施形態で説明された第４の範囲用出力変位算出部１９１と略同様であり、異なる点としては、第４の範囲用出力変位算出部１９１の処理として中央部７４ａのデータを用いていたところを、第１の画素２１１のデータを用いることに置き換えるとともに、周辺領域７４ｂのデータを用いていたところを、第１の画素２１１以外の部分のデータを用いることに置き換える点である。

同様に、第２〜８の画素２１２〜２１８に対して用いられる第４の範囲用出力変位算出部１９１ｂ〜１９１ｈにおいても、第４の範囲用出力変位算出部１９１ａと同様である。具体的には、各々、第５の実施形態で説明された第４の範囲用出力変位算出部１９１と略同様であり、異なる点としては、第４の範囲用出力変位算出部１９１において中央部７４ａのデータを用いてところを、第２〜８の画素２１２〜２１８のデータを用いることに置き換えるとともに、周辺領域７４ｂのデータを用いていたところを、第２〜８の画素２１２〜２１８以外の部分のデータを用いることに置き換える点である。

なお、図２９中では、第４の範囲用出力変位算出部１９１，１９１ａ，１９１ｈを示しており、１９１ｂ〜１９１ｇは、省略している。第４の範囲用出力変位算出部１９１ｈは、第８の画素出力レベル算出部１９２ｈと、第４の範囲周辺領域出力レベル算出部１９４ｈと、出力レベル平均値算出部１７４ｈとを備えている。このように、第２の範囲用出力変位算出部１９１ｂ〜１９１ｇは、各々、第２〜７の画素２１２〜２１７のうち対応する画素の出力レベルを算出する出力レベル算出部１９２ｂ〜１９２ｇのうち対応するものと、第４の範囲周辺領域出力レベル算出部１９４ｂ〜１９４ｇのうち対応するものと、出力レベル平均値算出部１７４ｂ〜１７４ｇのうち対応するものと、第４の範囲用出力変位算出部１９５ｂ〜１９５はのうち対応するものを有する。

第１の範囲用特異部検出部９１の検出結果と、第２の範囲用特異部検出部１１０の中央部７２ａと第１〜８の画素１４１〜１４８に対して設定される特異部判定部１２３の判定結果と、第３の範囲用特異部検出部１７０の検出結果と、第４の範囲用特異部検出部１９０の中央部７４ａと第１〜８の画素２１１〜２１８に対して設定される特異部判定部１２３の判定結果は、欠陥判定部１３０に送信される。

本実施形態では、欠陥判定部１３０は、第１の範囲用特異部判定部１０３の判定結果が、中央部７１ａが特異部であるという結果であるとともに、中央部７２ａに対して設けられる第２の範囲用特異部判定部１２３の検出結果と第１〜８の画素１４１〜１４８に対して設けられる第２の範囲用特異部判定部１２３の検出結果とのいずいれか１つが特異部を検出すると、特異部を欠陥と判定する。または、第３の範囲用特異部判定部１８３の判定結果が、中央部７３ａが特異部であるという結果であるとともに、中央部７４ａに対して設けられる第４の範囲用特異部判定部２０３の検出結果と第１〜８の画素２１１〜２１８に対して設けられる第４の範囲用特異部判定部２０３の検出結果とのいずいれか１つが特異部を検出すると、特異部を欠陥と判定する。

本実施形態では、ガラス基板５の欠陥を正確に判定することができる。さらに、第２，４の範囲５４，５８の画像データ７２，７４の所定領域７２ｃ，７４ｃの特異部を検出し、この検出結果を用いて欠陥を判定することによって、ガラス基板５の欠陥をより一層正確に検出することができる。

なお、第１〜６の実施形態では、ガラス基板５は、被検査物の一例である。照明光学系３０は、被検査物を照明する照明光学系の一例である。結像部４０は、照明光学系による被検査物の通過光または通過光を複数の光路に分割する光路分割手段を備えて被検査物の同一部分の光学像を複数形成する結像光学系の一例である。光路分割機構４３は、光路分割手段の一例である。変換部５０は、複数の光学像の各々を画像データに変換する変換手段の一例である。第１〜４の範囲用特異部検出部９１，１１０，１７０，１９０は、画像データの各々において周囲に対する特異部を検出する特異部検出手段の一例である。欠陥判定部１３０は、特異部検出手段の検出結果に基づいて欠陥を判定する欠陥判定手段の一例である。

第１，２の実施形態において、光路長調整部４４は、変換手段での撮像面までの複数の光路の光路長を全て互いに同じにする光路長調整手段の一例である。第３の実施形態において、光路長調整手段４４は、複数の光路の変換手段の撮像面までの光路長を互いに異ならせる光路長調整手段の一例である。第４〜６の実施形態において、光路長調整手段４４は、３つ以上の光路において変換手段の撮像面までの光路長を複数種類設定するとともに、少なくとも２つの光路の光路長を互いに同じとする光路長調整手段の一例である。

なお、第１〜６の実施形態では、結像部４０の光路分割機構４４は、ガラス基板５を通過した光を複数の光路に分割する構成である。他の例としては、結像部４０は、ガラス基板５にレーザー光を照射し、この反射光を複数の光路に分割し、光学像を形成してもよい。

第１〜６の実施形態では、変換手段の一部として、第１，２の蓄積型ラインセンサ５１，５５を用いている。他の例としては、ＣＣＤのエリアセンサを用いて光学像を電気信号に変換してもよい。

また、第１〜６の実施形態では、一例として、欠陥検査装置は、ガラス基板５に形成されるパターンの検査を行った。他の例としては、ウェハ、ナノインプリントの検査、ＥＶＵマスクのブランクス検査、パターンが形成される前のガラス基板の検査を行ってもよい。

この発明は、上述した実施の形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上述した実施の形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより種々の発明を形成できる。例えば、上述した実施の形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除しても良い。さらに、異なる実施形態の構成を組み合わせてもよい。

５…ガラス基板（被検査物）、３０…照明光学系、４０…結像部（結合光学系）、４３…光路分割機構（光路分割手段）、４４…光路調整部（光路長調整手段）、９１…第１の範囲用特異部検出部（特異部検出手段）、１１０…第２の範囲用特異部検出部（特異部検出手段）、１３０…欠陥判定部（欠陥判定手段）、１７０…第３の範囲用特異部検出部（特異部検出手段）、１９０…第４の範囲用特異部検出部（特異部検出手段）、

Claims (1)

1. 被検査物を照明する照明光学系と、
   前記照明光学系による前記被検査物の通過光または反射光を複数の光路に分割する光路分割手段を備えて前記被検査物の同一部分の光学像を複数形成する結像光学系と、
   前記複数の光学像の各々を画像データに変換する変換手段と、
   前記画像データの各々において周囲に対する特異部を検出する特異部検出手段と
   前記複数の光路の前記変換手段の撮像面までの光路長を互いに異ならせる光路長調整手段と、
   前記特異部検出手段が前記複数の画像データのうちのいずれかに特異部を検出すると、前記特異部を欠陥として判定する欠陥判定手段と
   を具備する
   ことを特徴とする欠陥検査装置。

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