JP2013183153A5 - - Google Patents

Description

θテーブル３１は、一組のθ軸リニアモータ（回転駆動手段）３５，３５によってピボット軸２７を回転中心として回転駆動される。θ軸リニアモータ３５は、θ方向移動子３６とθ方向レール３７を備えて構成されている。θ方向レール３７は、Ｙ軸方向に延び、Ｘ軸ステージ２１の上面に固定されている。θ方向移動子３６は、θテーブル３１の下面に固定されている。θ方向レール３７は、Ｘ軸ステージ２１の上面に対して直立する２面を有して構成されており、その２面の間にθ方向移動子３６が挿入されている。θ方向移動子３６は、θ方向レール３７の対向する２面の間をＹ軸方向に移動し、これによりθテーブル３１がピボット軸２７の周りに回転駆動される。

以上のように構成されるステージ装置１によれば、θテーブル３１の移動量を、θテーブル３１の回転中心を間に挟む対称な位置に各々設けられた一対のリニアセンサ３８により検出し、各リニアセンサ３８によって検出した移動量を加算または減算した値を用いてθ軸リニアモータ３５を制御することによりθテーブル３１の位置を制御する。このとき、リニアセンサ３８各々が、θテーブル３１が平面視において時計回りの回転をした場合に正の値を検出する場合には、ステージの移動により生じるθテーブル３１の変形に起因したリニアセンサ３８各々の検出値は、絶対値が等しく、また、一方が正の値で、他方が負の値となる。そのため、リニアセンサ３８各々が検出した移動量を加算することにより、Ｘ軸ステージ２１の移動によるθテーブル３１の変形の影響をキャンセルすることができ、その結果、θテーブル３１の移動量を正確に検出でき、正確なθテーブル３１の移動量に基づいてθテーブル３１の位置を制御することができる。また、センサ各々が、θテーブル３１がＸ軸ステージ２１に対してある方向に並進移動した場合に正の値を検出する場合には、Ｘ軸ステージ２１の移動により生じるθテーブル３１の変形に起因したリニアセンサ３８各々の検出値は、絶対値が等しく、また、同じプラスマイナス符号を有する。そのため、リニアセンサ３８各々が検出した移動量を減算することにより、Ｘ軸ステージ２１の移動によるθテーブル３１の変形の影響をキャンセルすることができ、その結果、θテーブル３１の移動量を正確に検出でき、正確なθテーブル３１の移動量に基づいてθテーブル３１の位置を制御することができる。このようにして、リニアセンサ３８の検出する値のプラスマイナス符号がいずれの場合でも、θテーブル３１の回転位置を正確に制御することができる。

ステージ装置５がステージ装置１と異なる点は、θテーブル３１をピボット軸２７の周囲に回転駆動する機構である。すなわち、ステージ装置１においては、θ軸リニアモータ３５がθテーブル３１を回転駆動する回転駆動手段であったが、ステージ装置５においては、モータ６４とボールねじ６１が、θテーブル３１を回転駆動する回転駆動手段となる。以下、詳細に説明する。

なお、本発明の実施形態は、上記の実施形態に限定されるものではない。例えば、第１〜第４実施形態に係るステージ装置１〜４において、θテーブル３１の駆動手段として、θ軸リニアモータ３５に代えて、第５実施形態で説明したボールねじ６１を用いてもよい。