JP2014068523A5 - - Google Patents

Claims (22)

1. 位置指令と移動体の位置データとの差分に基づいて、第１の方向及び前記第１の方向に交差する第２の方向について、それぞれ第１の偏差信号及び第２の偏差信号を出力するように構成された偏差算出部と、
   前記第１の偏差信号及び前記第２の偏差信号に基づいて、それぞれ第１の制御信号及び第２の制御信号を出力する補償部と、
   前記第１の制御信号及び前記第２の制御信号に基づいて、少なくとも第１のモータに対する駆動パラメータに関する第１の信号と、第２のモータに対する駆動パラメータに関する第２の信号と、を出力する制御量演算部と、
   を有することを特徴とする制御装置。
2. 前記制御量演算部は、前記位置指令に対してフィードバック制御する制御系の経路中に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の制御装置。
3. 前記補償部は、前記位置指令に対する前記移動体の位置データの、位相遅れ、またはゲインを補償する演算部であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の制御装置。
4. 前記移動体は、前記第１のモータの駆動力と前記第２のモータの駆動力とを合成した駆動力によって駆動され、
   少なくとも前記第１のモータ及び前記第２のモータの１つは、前記第１の方向及び前記第２の方向と交差する方向に駆動力発生軸を有し、
   前記制御量演算部は、前記第１の制御信号及び前記第２の制御信号を用いた演算結果に基づいて、前記第１の信号及び前記第２の信号を出力することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の制御装置。
5. 前記補償部は、前記第１のモータの駆動力と前記第２のモータの駆動力とを合成した駆動力の伝達特性の、前記第１の方向と前記第２の方向との間での違いに応じて、
   前記第１の偏差信号及び前記第２の偏差信号の制御ゲインを調整することで、前記第１の制御信号及び前記第２の制御信号を出力するように構成されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の制御装置。
6. 前記第１の方向及び前記第２の方向は、１平面内における２つの直行座標であるＸＹ座標のＸ方向及びＹ方向であり、
   前記移動体は、前記第１の方向及び前記第２の方向に移動可能に構成されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の制御装置。
7. 前記制御量演算部は、
   前記制御ゲインが調整された前記第１の方向及び前記第２の方向の制御量と、前記各モータの駆動力発生軸と前記移動体の駆動方向軸との相対角度で決まる係数と、を演算し、前記第１の信号及び前記第２の信号を出力するように構成されていることを特徴とする請求項５に記載の制御装置。
8. 前記制御量演算部は、
   前記第１のモータと前記第２のモータと、前記移動体との相対位置に基づいて演算することを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の制御装置。
9. 前記制御量演算部は、
   回転行列を用いて演算することを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の制御装置。
10. 前記偏差算出部は、更に位置指令と前記移動体の位置データとの差分に基づいて、前記第１の方向及び前記第２の方向と交差する第３の方向について、第３の偏差信号を出力するように構成され、
    前記補償部は、更に前記第３の偏差信号に基づいて、第３の制御信号を出力するように構成され、
    前記制御量演算部は、前記第３の制御信号に基づいて、前記第１および第２のモータ毎に駆動パラメータに関する信号を出力するように構成されていることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の制御装置。
11. 前記第１の方向及び前記第２の方向は、１平面内における２つの直行座標であるＸＹ座標のＸ方向及びＹ方向であり、前記第３の方向は、前記ＸＹ座標の中心点を回転中心とするθ方向であり、
    前記移動体は、前記第１の方向、前記第２の方向、及び前記第３の方向に移動可能に構成されていることを特徴とする請求項１０に記載の制御装置。
12. 前記移動体は、前記第１のモータ及び前記第２のモータに加え、更に、第３のモータ及び第４のモータによって駆動されることを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の制御装置。
13. 前記制御手段は、前記第１の方向及び前記第２の方向において制御ゲインが調整可能なＰＩＤ補償器によって構成され、
    前記制御量演算部から出力される前記第１の信号及び前記第２の信号に応じて駆動信号を生成する駆動回路をさらに備えることを特徴とする請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の制御装置。
14. 前記第１のモータ及び前記第２のモータは、それぞれ振動子であり、
    前記それぞれの振動子には、それぞれ交番電圧の印加によって振動が励起され、
    前記移動体は、前記複数の振動子との摩擦力による駆動力によって駆動されることを特徴とする請求項１乃至１３のいずれか１項に記載の制御装置。
15. 前記第１のモータ及び前記第２のモータは、それぞれボイスコイルモータであることを特徴とする請求項１乃至１３のいずれか１項に記載の制御装置。
16. 請求項１乃至１５のいずれか１項に記載の制御装置と、
    前記第１および第２のモータと、
    前記移動体と、
    前記移動体の位置を検出する位置センサと、を備えることを特徴とするアクチュエータ。
17. 請求項１６に記載のアクチュエータと、レンズと、を備え、
    前記アクチュエータの前記移動体を移動させることによりレンズを動かすことを特徴とする画像振れ補正装置。
18. レンズと、前記移動体を駆動することで前記レンズを保持するレンズ保持部材を駆動する請求項１６項に記載のアクチュエータと、を備えたことを特徴とする交換用レンズ。
19. 撮像素子と、レンズと、前記移動体を駆動することで前記レンズを保持するレンズ保持部材を前記移動体として駆動する請求項１６に記載のアクチュエータと、を備えたことを特徴とする撮像装置。
20. レンズと、撮像素子と、前記移動体を駆動することで前記撮像素子を前記移動体として駆動する請求項１６に記載のアクチュエータと、を備えたことを特徴とする撮像装置。
21. ステージと、前記移動体を駆動することで前記ステージを駆動する請求項１６に記載のアクチュエータと、を備えたことを特徴とする自動ステージ。
22. 請求項１乃至１５のいずれか１項に記載の制御装置を備えた機器。