JP2013175582A - 固体撮像装置、及び撮像システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 第1光電変換部と、第1トランジスタと、を含む撮像用の画素と、第2光電変換部と第2トランジスタと、遮光部とを含む焦点検出用の画素と、を有する固体撮像装置において、遮光部の下面側に反射防止部を設ける。
【選択図】 図1
Description
特許文献1には、焦点検出用の画素の遮光部が複数の階部材による金属部材のうち最下部材の金属部材で形成されているCMOS型の固体撮像装置が開示されている。
本発明は、光電変換部の上に延在する遮光部における反射を低減した固体撮像装置、及びそれを用いた撮像システムを提供することを目的とする。
本実施形態の固体撮像装置を、図1から図4を用いて説明する。図1は本実施形態の固体撮像装置の模式的な断面図を示し、図2は本実施形態の固体撮像装置の模式的な平面図を示している。図1及び図2では、固体撮像装置の撮像領域に配された、2つの第1画素101と1つの第2画素102を示している。本実施形態においては、第1画素101は撮像用の画素であり、第2画素102を焦点検出用の画素である。この第1画素101と第2画素102は、遮光部以外は等価な構造を有している。以下、等価な構造については同一の符号を付し、説明を省略する。なお、撮像領域とは、画素が複数配された領域である。また、遮光部は焦点検出のための遮光部材であり、それ以外にも光電変換部以外の領域を遮光するための部材、配線等が存在する。以下の説明では、遮光部とは、一般の撮像用の固体撮像装置において設けられる遮光部材に対して、焦点検出のために、更に設けられる部分を指している。なお、一般の撮像装置において、遮光部は配線を兼ねている場合も多い。
本実施形態の固体撮像装置は、第1実施形態の固体撮像装置と異なり、遮光部122及び遮光部123の下面側に、反射防止部に加えて、密着部を有している。このような密着部を有することで、遮光部122及び遮光部123と絶縁膜109との剥がれの発生を低減することが可能となる。また、本実施形態の固体撮像装置は、第1実施形態の固体撮像装置と異なり、遮光部122及び遮光部123の上面側に、別の反射防止部を有している。このような構成によって、入射光の上面での反射を低減することが可能となる。また、上面側の反射防止部は、遮光部を形成する際のフォトリソグラフィーにおける反射防止としても機能しうる。
本実施形態の固体撮像装置は、第2実施形態の固体撮像装置の構成に加えて保護部を有していることが特徴である。遮光部122の上面401と反射防止部402との間に保護部501が設けられている。また、遮光部123の上面403と反射防止部404との間に保護部502が設けられている。このような保護部を有することで、遮光部122及び遮光部123の材料と反射防止部402及び反射防止部404との反応を抑制することが可能となる。例えば、遮光部122及び遮光部123がアルミニウムからなり、反射防止部402及び反射防止部404は窒化チタンからなる場合には、保護部501及び保護部502はチタンからなる。仮に保護部501及び保護部502がない場合には、窒化チタンを形成する際に、アルミニウムが変質し、抵抗が大きくなる場合がある。第1、第2実施形態にて説明してきたように、配線と共通のプロセスで遮光部を形成する場合には、配線の抵抗が大きくなってしまう可能性がある。
Claims (15)
- 第1光電変換部と、前記光電変換部で生じた電荷に基づく信号を読み出すための第1トランジスタと、を含む撮像用の画素と、
第2光電変換部と前記第2光電変換部で生じた電荷に基づく信号を読み出すための第2トランジスタと、遮光部とを含む焦点検出用の画素と、を有する固体撮像装置において、
前記遮光部の下面側に、反射防止部を有することを特徴とする固体撮像装置。 - 前記遮光部は、アルミニウムからなり、
前記反射防止部は、窒化チタンからなる請求項1に記載の固体撮像装置。 - 前記遮光部は、前記第2光電変換部を覆う絶縁膜の上に設けられており、
前記絶縁膜と前記反射防止部との間に、チタンからなる部材が設けられている請求項2に記載の固体撮像装置。 - 前記チタンからなる部材の膜厚は、8nm以上15nm以下である請求項3に記載の固体撮像装置。
- 前記絶縁膜は、BPSGからなる請求項3あるいは4のいずれかに記載の固体撮像装置。
- 前記遮光部の上面側に、別の反射防止部が設けられている請求項1乃至5のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
- 前記別の反射防止部は、窒化チタンからなる請求項6に記載の固体撮像装置。
- 前記遮光部と前記別の反射防止部との間に、チタンからなる部材が設けられている請求項7に記載の固体撮像装置。
- 前記遮光部は、銅からなり、
前記反射防止部は、窒化タンタルからなる請求項1または2のいずれかに記載の固体撮像装置。 - 前記遮光部の上面側に、別の反射防止部が設けられており、
前記別の反射防止部は、窒化タンタルからなる請求項9に記載の固体撮像装置。 - 前記遮光部は、タングステンからなり、
前記反射防止部は、窒化チタンからなる請求項1または2のいずれかに記載の固体撮像装置。 - 前記遮光部の上面側に、別の反射防止部が設けられており、
前記別の反射防止部は、窒化チタンからなる請求項11に記載の固体撮像装置。 - 前記遮光部は、前記第2光電変換部を覆う絶縁膜の上に設けられており、
前記絶縁膜は、BPSGからなる請求項9乃至12のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記遮光部は、前記光電変換部の一部に対応する開口を有し、
前記開口の中心は前記光電変換部の中心からオフセットしている請求項1乃至13のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 請求項1乃至14のいずれか1項に記載の固体撮像装置と、
前記固体撮像装置からの信号を処理する処理部と、有する撮像システム。
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