JP2013173661A - ガラス基板用エッチング剤 - Google Patents
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Abstract
【課題】薄膜太陽電池用のガラス基板に、発電効率を高めるためのテクスチャリングを施すための有効な手段を提供すること。
【解決手段】フッ化物、酸、水およびポリエチレングリコールからなる組成物でガラス表面をウエットエッチング処理することで、ガラス表面の微細な凹凸が小さいに関わらず高いヘイズ率を有するガラス基板が得られ、薄膜太陽電池の製造コストダウンと性能を向上することができる。
【選択図】なし
【解決手段】フッ化物、酸、水およびポリエチレングリコールからなる組成物でガラス表面をウエットエッチング処理することで、ガラス表面の微細な凹凸が小さいに関わらず高いヘイズ率を有するガラス基板が得られ、薄膜太陽電池の製造コストダウンと性能を向上することができる。
【選択図】なし
Description
本発明は、薄膜型太陽電池のガラス基板の加工に関する。
シリコン系太陽電池は、結晶型と薄膜型に大別される。結晶型の太陽電池では、シリコンの単結晶あるいは多結晶を用いるため、変換効率は高いが、材料の価格が高いという欠点がある。
一方薄膜型の太陽電池では、ガラスなどの基板上に薄膜のシリコンを蒸着法などで堆積させるため、変換効率は結晶型に劣るものの、材料の厚さが結晶の100分の1程度と非常に薄いため、材料コストが安いという利点がある。
一方薄膜型の太陽電池では、ガラスなどの基板上に薄膜のシリコンを蒸着法などで堆積させるため、変換効率は結晶型に劣るものの、材料の厚さが結晶の100分の1程度と非常に薄いため、材料コストが安いという利点がある。
シリコン系薄膜型太陽電池では、シリコンの発電層に多くの光を導くことによって変換効率が高まるため、シリコン層を堆積させるガラス基板で光を散乱させ、薄膜のシリコン層内部に光を閉じ込めておく必要がある。すなわち、高いヘイズ率(全透過率に占める拡散透過率の割合)を実現させる必要がある。
そのため、ガラス基板上に形成される酸化インジウムや酸化スズなどから成る透明導電膜に凹凸のテクスチャ構造を形成させ、その上にシリコンを蒸着させて太陽電池を作製している。透明導電膜に凹凸のテクスチャ構造を付与する方法としては、ウエットエッチングで透明導電膜表面を曇りガラスのように粗面化する方法が提案されている(特許文献1)。
しかしこの方法では、製造工程が複雑化し、生産性が低下するとか、薬液による透明導電膜の変質等の問題がある。
そのため現在は、化学気相堆積法やスパッタ法などでテクスチャリング構造を形成させながら透明導電膜を作製する方法(特許文献2)が提案され、この方法が主流となっている。
しかしながらこの方法では膜厚分布による斑が発生しやすいとか、製造コストが高いことが問題となっている。
特開平11−233800公報 特開2009−275273公報
そのため、ガラス基板上に形成される酸化インジウムや酸化スズなどから成る透明導電膜に凹凸のテクスチャ構造を形成させ、その上にシリコンを蒸着させて太陽電池を作製している。透明導電膜に凹凸のテクスチャ構造を付与する方法としては、ウエットエッチングで透明導電膜表面を曇りガラスのように粗面化する方法が提案されている(特許文献1)。
しかしこの方法では、製造工程が複雑化し、生産性が低下するとか、薬液による透明導電膜の変質等の問題がある。
そのため現在は、化学気相堆積法やスパッタ法などでテクスチャリング構造を形成させながら透明導電膜を作製する方法(特許文献2)が提案され、この方法が主流となっている。
しかしながらこの方法では膜厚分布による斑が発生しやすいとか、製造コストが高いことが問題となっている。
本発明は、製造コストの高い透明導電膜のテクスチャリングに代わる手段として、薬液によるウエットエッチングにより、高ヘイズ率ガラス基板を安価に製造する手法を提供することにある。
ガラス基板をテクスチャリングする方法として、一例をあげればローラーを使って板状の薄いガラス基板を製造する際、レリーフを組み込んだローラーでガラスを押付け、レリーフの型をガラス基板に付与することが報告されている(特許文献3)。
しかしこの方法では薄膜太陽電池が要求するミクロン単位の細かい凹凸の形成は難しいのが実態である。
特開2010−528483公報
ガラス基板をテクスチャリングする方法として、一例をあげればローラーを使って板状の薄いガラス基板を製造する際、レリーフを組み込んだローラーでガラスを押付け、レリーフの型をガラス基板に付与することが報告されている(特許文献3)。
しかしこの方法では薄膜太陽電池が要求するミクロン単位の細かい凹凸の形成は難しいのが実態である。
ガラス基板表面を粗面化させる簡便な方法としては、フッ素化合物の水溶液に水溶性有機物であるグリセリンなどを混合したウエットエッチング剤が提供されている。しかしこうした従来のウエットエッチング剤で高いヘイズ率を実現させようとすると、ガラス基板表面の粗さが大きくなり、その上に形成される薄膜太陽電池に電気的及び機械的な欠陥を生じさせる原因となり、太陽電池の光変換効率が低下するという別の問題が生じる。
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、安価で発電効率の高い薄膜太陽電池用ガラス基板を提供することを目的としている。
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、安価で発電効率の高い薄膜太陽電池用ガラス基板を提供することを目的としている。
上記の課題を解決するため、本発明は次のようなウエットエッチング剤を提供した。すなわち、フッ化物、酸、水およびポリエチレングリコールを主組成とするエッチング剤によりガラス基板をエッチングし、ガラス表面の粗さを表す二乗平均平方根粗さ(Rq)として60nm以上100nm以下の範囲において、光の波長400nm〜800nmにおける平均ヘイズ率40%以上を実現させた。
本発明は、フッ化物、酸、水およびポリエチレングリコールからなるガラスエッチング組成物に関するものである。
フッ化物に特に制限はなく、フッ化物がフッ化アンモニウム、フッ化ナトリウム、フッ化カリウム、フッ化水素アンモニウム、フッ化水素ナトリウム、フッ化水素カリウムから適宜選択して使用できる。またその濃度は3〜9重量%が好ましく、さらに好ましくは4〜7重量%である。
フッ化物に特に制限はなく、フッ化物がフッ化アンモニウム、フッ化ナトリウム、フッ化カリウム、フッ化水素アンモニウム、フッ化水素ナトリウム、フッ化水素カリウムから適宜選択して使用できる。またその濃度は3〜9重量%が好ましく、さらに好ましくは4〜7重量%である。
本発明におけるエッチング組成物中の酸としては、硫酸、塩酸、硝酸、酢酸、リン酸から適宜選択して使用でき、またその濃度は2〜7重量%が好ましく、さらに好ましくは3〜5重量%である。
本発明におけるエッチング組成物中のポリエチレングリコールの種類に特に制限はなく、平均分子量100から400程度のものを適宜選択して使用でき、またその濃度は35〜50重量%が好ましい。
本発明におけるエッチング組成物中の水に特に制限はなく、水道水、イオン交換水、蒸留水を適宜選択して利用でき、またその濃度は40〜55重量%が好ましい。
平均分子量200のポリエチレングリコール44.2重量パーセント、フッ化アンモニウム5.5重量パーセント、硫酸3.1重量パーセントおよび水47.2重量パーセントからなるガラスエッチング用の組成物を調整した。このエッチング剤200gをポリプロピレンの容器に入れ、その液に保護テープを片側に貼った厚さ1mmで50mm×50mmのコーニング社製の1737ガラスを浸漬させ、60分間放置した。片側に保護テープを貼ったのは、ヘイズ率を測定するため片側のみ粗面化するための処置である。
エッチング終了後にガラスの表面粗さとヘイズ率を測定した結果、二乗平均平方根粗さ(Rq)は89nm、またヘイズ率は波長400nmから波長800nm間の平均で48%であった。
エッチング終了後にガラスの表面粗さとヘイズ率を測定した結果、二乗平均平方根粗さ(Rq)は89nm、またヘイズ率は波長400nmから波長800nm間の平均で48%であった。
実施例1と全く同様の条件でガラスのエッチングを行った。ただしエッチング時間は45分とした。エッチング終了後にガラスの表面粗さとヘイズ率を測定した結果、表面の二乗平均平方根粗さ(Rq)は61nm、またヘイズ率は波長400nmから波長800nm間の平均で41%であった。
実施例1と全く同様の条件でガラスのエッチングを行った。ただしエッチング剤として平均分子量200のポリエチレングリコール33.3重量パーセント、フッ化アンモニウム7.8重量パーセント、硫酸4.0重量パーセントおよび水54.9重量パーセント組成物を調整した。エッチング終了後にガラスの表面粗さとヘイズ率を測定したが、その結果、表面の二乗平均平方根粗さ(Rq)は26nm、またヘイズ率は波長400nmから波長800nm間の平均で15%であった。
グリセリン59.6重量パーセント、フッ化アンモニウム9.0重量パーセント、硫酸4.6重量パーセントおよび水26.8重量パーセントからなる組成物を調整し、他は実施例1と全く同様の条件でガラスをエッチングした。エッチング終了後にガラスの表面粗さとヘイズ率を測定した結果、表面の二乗平均平方根粗さ(Rq)は107nm、またヘイズ率は波長500nmから波長800nm間の平均で34%であった。
エッチング時間を90分とした他は、比較例2と全く同様の条件でガラスをエッチングした。エッチング終了後にガラスの表面粗さとヘイズ率を測定した結果、表面の二乗平均平方根粗さ(Rq)は165nm、またヘイズ率は波長400nmから波長800nm間の平均で46%であった。
本発明によれば、表面粗さが小さいにも関わらず、高いヘイズ率を有する薄膜太陽電池用ガラス基板を加工製造するためのウエットエッチング剤が提供される。
Claims (4)
- ガラス表面の片側をウエットエッチング処理し、粗面化されたガラス表面の二乗平均平方根粗さ(Rq)が60nm以上100nm以下の範囲において、波長400nmから800nmにおけるガラスのヘイズ率の平均が40%以上を達成しうる、フッ化物、酸、水およびポリエチレングリコールからなることを特徴とするウエットエッチング組成物。
- 請求項1に記載のウエットエッチング組成物が3〜9重量%のフッ化物、2〜7重量%の酸、40〜55重量%の水および35〜50重量%のポリエチレングリコールからなることを特徴とするウエットエッチング組成物。
- フッ化物がフッ化アンモニウム、フッ化ナトリウム、フッ化カリウム、フッ化水素アンモニウム、フッ化水素ナトリウム、フッ化水素カリウムから選ばれる少なくとも1つの化合物であることを特徴とする、請求項1および請求項2のいずれかに記載されるウエットエッチング組成物。
- 酸が硫酸、塩酸、硝酸、酢酸、リン酸、フッ化水素酸の酸から選ばれる少なくとも1つの化合物である、請求項1ないし請求項3のいずれかに記載されるウエットエッチング組成物。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN104724943A (zh) * | 2015-03-17 | 2015-06-24 | 蚌埠玻璃工业设计研究院 | 一种用于触摸屏边缘强化工艺的强化剂 |
KR101539907B1 (ko) | 2015-01-22 | 2015-08-06 | 성균관대학교산학협력단 | 패턴화된 태양전지용 유리기판 제조방법 및 이를 이용한 박막태양전지 |
JP2017066004A (ja) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | AvanStrate株式会社 | ディスプレイ用ガラス基板の製造方法、ディスプレイ用ガラス基板製造装置 |
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2012
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