JP2013166945A - アルコキシ化フェノール樹脂型架橋剤の製造方法 - Google Patents
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- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 title claims abstract description 92
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 33
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 31
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims abstract description 33
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 32
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 32
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 22
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 claims abstract description 21
- 229920003987 resole Polymers 0.000 claims abstract description 21
- 125000004183 alkoxy alkyl group Chemical group 0.000 claims abstract description 9
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 7
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 claims description 69
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 60
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 36
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 35
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 34
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 claims description 25
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 18
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims description 18
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims description 18
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 18
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims description 16
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 15
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 claims description 14
- ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N Triethylamine Chemical compound CCN(CC)CC ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 11
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 claims description 10
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 claims description 9
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 238000006482 condensation reaction Methods 0.000 claims description 8
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 claims description 8
- 125000004464 hydroxyphenyl group Chemical group 0.000 claims description 7
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 6
- 125000002485 formyl group Chemical class [H]C(*)=O 0.000 claims description 5
- 239000011541 reaction mixture Substances 0.000 claims description 5
- KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-6-methylphenol Chemical compound [CH]OC1=CC=CC([CH])=C1O KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 claims description 4
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 claims description 4
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 claims description 3
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 claims description 3
- 125000001449 isopropyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 claims description 3
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 claims description 3
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 claims description 3
- DVUVKWLUHXXIHK-UHFFFAOYSA-N tetraazanium;tetrahydroxide Chemical compound [NH4+].[NH4+].[NH4+].[NH4+].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-] DVUVKWLUHXXIHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 125000000532 dioxanyl group Chemical group 0.000 claims description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 2
- 125000004108 n-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 claims description 2
- 125000000999 tert-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 claims description 2
- 239000003513 alkali Substances 0.000 abstract description 21
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 17
- 150000001299 aldehydes Chemical class 0.000 abstract description 13
- 239000000203 mixture Substances 0.000 abstract description 13
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 abstract description 6
- 239000003377 acid catalyst Substances 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 77
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 61
- -1 quinonediazide compound Chemical class 0.000 description 43
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 description 41
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 32
- YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 4-Butyrolactone Chemical compound O=C1CCCO1 YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 26
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 23
- RLSSMJSEOOYNOY-UHFFFAOYSA-N m-cresol Chemical compound CC1=CC=CC(O)=C1 RLSSMJSEOOYNOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 16
- 125000005429 oxyalkyl group Chemical group 0.000 description 15
- 239000002966 varnish Substances 0.000 description 15
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 14
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 11
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 11
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 11
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Chemical compound CC(C)CC(C)=O NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Natural products CCC(C)C(C)=O UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 8
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 8
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 8
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 8
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 8
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 8
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 7
- 125000003367 polycyclic group Chemical group 0.000 description 7
- KBPLFHHGFOOTCA-UHFFFAOYSA-N 1-Octanol Chemical compound CCCCCCCCO KBPLFHHGFOOTCA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229930040373 Paraformaldehyde Natural products 0.000 description 6
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 6
- IWDCLRJOBJJRNH-UHFFFAOYSA-N p-cresol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1 IWDCLRJOBJJRNH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229920002866 paraformaldehyde Polymers 0.000 description 6
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 6
- 229920002577 polybenzoxazole Polymers 0.000 description 6
- 239000000047 product Substances 0.000 description 6
- SMQUZDBALVYZAC-UHFFFAOYSA-N salicylaldehyde Chemical compound OC1=CC=CC=C1C=O SMQUZDBALVYZAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- OGRAOKJKVGDSFR-UHFFFAOYSA-N 6-Oxy-pseudocumol Natural products CC1=CC(C)=C(C)C(O)=C1 OGRAOKJKVGDSFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000004971 Cross linker Substances 0.000 description 5
- WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N Formaldehyde Chemical compound O=C WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 5
- 239000012295 chemical reaction liquid Substances 0.000 description 5
- 238000011161 development Methods 0.000 description 5
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 5
- 238000005227 gel permeation chromatography Methods 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 5
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 5
- RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 1,4-Dioxane Chemical compound C1COCCO1 RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- TUAMRELNJMMDMT-UHFFFAOYSA-N 3,5-xylenol Chemical compound CC1=CC(C)=CC(O)=C1 TUAMRELNJMMDMT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 4
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N ethylene glycol Natural products OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N hexanoic acid Chemical compound CCCCCC(O)=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N monopropylene glycol Natural products CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ZWRUINPWMLAQRD-UHFFFAOYSA-N nonan-1-ol Chemical compound CCCCCCCCCO ZWRUINPWMLAQRD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- AZQWKYJCGOJGHM-UHFFFAOYSA-N para-benzoquinone Natural products O=C1C=CC(=O)C=C1 AZQWKYJCGOJGHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 4
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical group CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- DKGAVHZHDRPRBM-UHFFFAOYSA-N Tert-Butanol Chemical compound CC(C)(C)O DKGAVHZHDRPRBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-hydroxypropanoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)O LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 3
- 125000004184 methoxymethyl group Chemical group [H]C([H])([H])OC([H])([H])* 0.000 description 3
- NMRPBPVERJPACX-UHFFFAOYSA-N octan-3-ol Chemical compound CCCCCC(O)CC NMRPBPVERJPACX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 3
- 125000001436 propyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 3
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 3
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XFRVVPUIAFSTFO-UHFFFAOYSA-N 1-Tridecanol Chemical compound CCCCCCCCCCCCCO XFRVVPUIAFSTFO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BBMCTIGTTCKYKF-UHFFFAOYSA-N 1-heptanol Chemical compound CCCCCCCO BBMCTIGTTCKYKF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 1-methoxypropan-2-ol Chemical compound COCC(C)O ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JOLVYUIAMRUBRK-UHFFFAOYSA-N 11',12',14',15'-Tetradehydro(Z,Z-)-3-(8-Pentadecenyl)phenol Natural products OC1=CC=CC(CCCCCCCC=CCC=CCC=C)=C1 JOLVYUIAMRUBRK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QWBBPBRQALCEIZ-UHFFFAOYSA-N 2,3-dimethylphenol Chemical compound CC1=CC=CC(O)=C1C QWBBPBRQALCEIZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VXSCPERJHPWROZ-UHFFFAOYSA-N 2,4,5-trimethylphenol Chemical compound CC1=CC(C)=C(O)C=C1C VXSCPERJHPWROZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OJVAMHKKJGICOG-UHFFFAOYSA-N 2,5-hexanedione Chemical compound CC(=O)CCC(C)=O OJVAMHKKJGICOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NKTOLZVEWDHZMU-UHFFFAOYSA-N 2,5-xylenol Chemical compound CC1=CC=C(C)C(O)=C1 NKTOLZVEWDHZMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NXXYKOUNUYWIHA-UHFFFAOYSA-N 2,6-Dimethylphenol Chemical compound CC1=CC=CC(C)=C1O NXXYKOUNUYWIHA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SBASXUCJHJRPEV-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxyethoxy)ethanol Chemical compound COCCOCCO SBASXUCJHJRPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CETWDUZRCINIHU-UHFFFAOYSA-N 2-heptanol Chemical compound CCCCCC(C)O CETWDUZRCINIHU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLLIQLLCWZCATF-UHFFFAOYSA-N 2-methoxyethyl acetate Chemical compound COCCOC(C)=O XLLIQLLCWZCATF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NGDNVOAEIVQRFH-UHFFFAOYSA-N 2-nonanol Chemical compound CCCCCCCC(C)O NGDNVOAEIVQRFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QQOMQLYQAXGHSU-UHFFFAOYSA-N 236TMPh Natural products CC1=CC=C(C)C(O)=C1C QQOMQLYQAXGHSU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FDQQNNZKEJIHMS-UHFFFAOYSA-N 3,4,5-trimethylphenol Chemical compound CC1=CC(O)=CC(C)=C1C FDQQNNZKEJIHMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YCOXTKKNXUZSKD-UHFFFAOYSA-N 3,4-xylenol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1C YCOXTKKNXUZSKD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PRNCMAKCNVRZFX-UHFFFAOYSA-N 3,7-dimethyloctan-1-ol Chemical compound CC(C)CCCC(C)CCO PRNCMAKCNVRZFX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YLKVIMNNMLKUGJ-UHFFFAOYSA-N 3-Delta8-pentadecenylphenol Natural products CCCCCCC=CCCCCCCCC1=CC=CC(O)=C1 YLKVIMNNMLKUGJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HMNKTRSOROOSPP-UHFFFAOYSA-N 3-Ethylphenol Chemical compound CCC1=CC=CC(O)=C1 HMNKTRSOROOSPP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HXDOZKJGKXYMEW-UHFFFAOYSA-N 4-ethylphenol Chemical compound CCC1=CC=C(O)C=C1 HXDOZKJGKXYMEW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YQUQWHNMBPIWGK-UHFFFAOYSA-N 4-isopropylphenol Chemical compound CC(C)C1=CC=C(O)C=C1 YQUQWHNMBPIWGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BKQICAFAUMRYLZ-UHFFFAOYSA-N 4-methylheptan-3-ol Chemical compound CCCC(C)C(O)CC BKQICAFAUMRYLZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FCOUHTHQYOMLJT-UHFFFAOYSA-N 6-methylheptan-2-ol Chemical compound CC(C)CCCC(C)O FCOUHTHQYOMLJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N Butyl acetate Natural products CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JOLVYUIAMRUBRK-UTOQUPLUSA-N Cardanol Chemical compound OC1=CC=CC(CCCCCCC\C=C/C\C=C/CC=C)=C1 JOLVYUIAMRUBRK-UTOQUPLUSA-N 0.000 description 2
- FAYVLNWNMNHXGA-UHFFFAOYSA-N Cardanoldiene Natural products CCCC=CCC=CCCCCCCCC1=CC=CC(O)=C1 FAYVLNWNMNHXGA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N Chloroform Chemical compound ClC(Cl)Cl HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N Dimethylsulphoxide Chemical compound CS(C)=O IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RZKSECIXORKHQS-UHFFFAOYSA-N Heptan-3-ol Chemical compound CCCCC(O)CC RZKSECIXORKHQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATHHXGZTWNVVOU-UHFFFAOYSA-N N-methylformamide Chemical compound CNC=O ATHHXGZTWNVVOU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004962 Polyamide-imide Substances 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- HUMNYLRZRPPJDN-UHFFFAOYSA-N benzaldehyde Chemical compound O=CC1=CC=CC=C1 HUMNYLRZRPPJDN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QUKGYYKBILRGFE-UHFFFAOYSA-N benzyl acetate Chemical compound CC(=O)OCC1=CC=CC=C1 QUKGYYKBILRGFE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- PTFIPECGHSYQNR-UHFFFAOYSA-N cardanol Natural products CCCCCCCCCCCCCCCC1=CC=CC(O)=C1 PTFIPECGHSYQNR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MWKFXSUHUHTGQN-UHFFFAOYSA-N decan-1-ol Chemical compound CCCCCCCCCCO MWKFXSUHUHTGQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 2
- MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol Chemical class OCCOCCO MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LQZZUXJYWNFBMV-UHFFFAOYSA-N dodecan-1-ol Chemical compound CCCCCCCCCCCCO LQZZUXJYWNFBMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 2
- GFUIDHWFLMPAGY-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-hydroxy-2-methylpropanoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)(C)O GFUIDHWFLMPAGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MTZQAGJQAFMTAQ-UHFFFAOYSA-N ethyl benzoate Chemical compound CCOC(=O)C1=CC=CC=C1 MTZQAGJQAFMTAQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 2
- 229920006015 heat resistant resin Polymers 0.000 description 2
- GOQYKNQRPGWPLP-UHFFFAOYSA-N heptadecan-1-ol Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCO GOQYKNQRPGWPLP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BXWNKGSJHAJOGX-UHFFFAOYSA-N hexadecan-1-ol Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCO BXWNKGSJHAJOGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FVDRFBGMOWJEOR-UHFFFAOYSA-N hexadecan-2-ol Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCC(C)O FVDRFBGMOWJEOR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZSIAUFGUXNUGDI-UHFFFAOYSA-N hexan-1-ol Chemical compound CCCCCCO ZSIAUFGUXNUGDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QNVRIHYSUZMSGM-UHFFFAOYSA-N hexan-2-ol Chemical compound CCCCC(C)O QNVRIHYSUZMSGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZOCHHNOQQHDWHG-UHFFFAOYSA-N hexan-3-ol Chemical compound CCCC(O)CC ZOCHHNOQQHDWHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004128 high performance liquid chromatography Methods 0.000 description 2
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BTFJIXJJCSYFAL-UHFFFAOYSA-N icosan-1-ol Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCCCO BTFJIXJJCSYFAL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 2
- HJOVHMDZYOCNQW-UHFFFAOYSA-N isophorone Chemical compound CC1=CC(=O)CC(C)(C)C1 HJOVHMDZYOCNQW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- XGFDHKJUZCCPKQ-UHFFFAOYSA-N nonadecan-1-ol Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCCO XGFDHKJUZCCPKQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QWVGKYWNOKOFNN-UHFFFAOYSA-N o-cresol Chemical compound CC1=CC=CC=C1O QWVGKYWNOKOFNN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GLDOVTGHNKAZLK-UHFFFAOYSA-N octadecan-1-ol Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCO GLDOVTGHNKAZLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SJWFXCIHNDVPSH-UHFFFAOYSA-N octan-2-ol Chemical compound CCCCCCC(C)O SJWFXCIHNDVPSH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WWZKQHOCKIZLMA-UHFFFAOYSA-N octanoic acid Chemical compound CCCCCCCC(O)=O WWZKQHOCKIZLMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 2
- REIUXOLGHVXAEO-UHFFFAOYSA-N pentadecan-1-ol Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCO REIUXOLGHVXAEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002312 polyamide-imide Polymers 0.000 description 2
- LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N propylene glycol methyl ether acetate Chemical compound COCC(C)OC(C)=O LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 2
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 2
- 150000003333 secondary alcohols Chemical class 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 2
- 150000003509 tertiary alcohols Chemical class 0.000 description 2
- VZGDMQKNWNREIO-UHFFFAOYSA-N tetrachloromethane Chemical compound ClC(Cl)(Cl)Cl VZGDMQKNWNREIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HLZKNKRTKFSKGZ-UHFFFAOYSA-N tetradecan-1-ol Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCO HLZKNKRTKFSKGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- KJIOQYGWTQBHNH-UHFFFAOYSA-N undecanol Chemical compound CCCCCCCCCCCO KJIOQYGWTQBHNH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 2
- 239000005968 1-Decanol Substances 0.000 description 1
- BPIUIOXAFBGMNB-UHFFFAOYSA-N 1-hexoxyhexane Chemical compound CCCCCCOCCCCCC BPIUIOXAFBGMNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DMFAHCVITRDZQB-UHFFFAOYSA-N 1-propoxypropan-2-yl acetate Chemical compound CCCOCC(C)OC(C)=O DMFAHCVITRDZQB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XRUGBBIQLIVCSI-UHFFFAOYSA-N 2,3,4-trimethylphenol Chemical compound CC1=CC=C(O)C(C)=C1C XRUGBBIQLIVCSI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RLEWTHFVGOXXTN-UHFFFAOYSA-N 2,3-diethylphenol Chemical compound CCC1=CC=CC(O)=C1CC RLEWTHFVGOXXTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZNRVRWHPZZOTIE-UHFFFAOYSA-N 2,4,4-trimethylpentan-1-ol Chemical compound OCC(C)CC(C)(C)C ZNRVRWHPZZOTIE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HVRFWRROUIDGQO-UHFFFAOYSA-N 2,4-dimethylheptan-1-ol Chemical compound CCCC(C)CC(C)CO HVRFWRROUIDGQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KUFFULVDNCHOFZ-UHFFFAOYSA-N 2,4-xylenol Chemical compound CC1=CC=C(O)C(C)=C1 KUFFULVDNCHOFZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AQFCDVGUEQOTAC-UHFFFAOYSA-N 2,5-diethylphenol Chemical compound CCC1=CC=C(CC)C(O)=C1 AQFCDVGUEQOTAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ACUZDYFTRHEKOS-SNVBAGLBSA-N 2-Decanol Natural products CCCCCCCC[C@@H](C)O ACUZDYFTRHEKOS-SNVBAGLBSA-N 0.000 description 1
- WOFPPJOZXUTRAU-UHFFFAOYSA-N 2-Ethyl-1-hexanol Natural products CCCCC(O)CCC WOFPPJOZXUTRAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IXQGCWUGDFDQMF-UHFFFAOYSA-N 2-Ethylphenol Chemical compound CCC1=CC=CC=C1O IXQGCWUGDFDQMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QNVRIHYSUZMSGM-LURJTMIESA-N 2-Hexanol Natural products CCCC[C@H](C)O QNVRIHYSUZMSGM-LURJTMIESA-N 0.000 description 1
- XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 2-METHOXYETHANOL Chemical compound COCCO XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XZXYQEHISUMZAT-UHFFFAOYSA-N 2-[(2-hydroxy-5-methylphenyl)methyl]-4-methylphenol Chemical compound CC1=CC=C(O)C(CC=2C(=CC=C(C)C=2)O)=C1 XZXYQEHISUMZAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethyl acetate Chemical compound CCOCCOC(C)=O SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YIWUKEYIRIRTPP-UHFFFAOYSA-N 2-ethylhexan-1-ol Chemical compound CCCCC(CC)CO YIWUKEYIRIRTPP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YEGNTQBFSQBGJT-UHFFFAOYSA-N 2-heptylundecan-1-ol Chemical compound CCCCCCCCCC(CO)CCCCCCC YEGNTQBFSQBGJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZRUOTKQBVMWMDK-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxy-6-methylbenzaldehyde Chemical compound CC1=CC=CC(O)=C1C=O ZRUOTKQBVMWMDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZTMADXFOCUXMJE-UHFFFAOYSA-N 2-methylbenzene-1,3-diol Chemical compound CC1=C(O)C=CC=C1O ZTMADXFOCUXMJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QCDWFXQBSFUVSP-UHFFFAOYSA-N 2-phenoxyethanol Chemical compound OCCOC1=CC=CC=C1 QCDWFXQBSFUVSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LASHFHLFDRTERB-UHFFFAOYSA-N 2-propylpentan-1-ol Chemical compound CCCC(CO)CCC LASHFHLFDRTERB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BODRLKRKPXBDBN-UHFFFAOYSA-N 3,5,5-Trimethyl-1-hexanol Chemical compound OCCC(C)CC(C)(C)C BODRLKRKPXBDBN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NMRPBPVERJPACX-QMMMGPOBSA-N 3-Octanol Natural products CCCCC[C@@H](O)CC NMRPBPVERJPACX-QMMMGPOBSA-N 0.000 description 1
- UNDXPKDBFOOQFC-UHFFFAOYSA-N 4-[2-nitro-4-(trifluoromethyl)phenyl]morpholine Chemical compound [O-][N+](=O)C1=CC(C(F)(F)F)=CC=C1N1CCOCC1 UNDXPKDBFOOQFC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MNVMYTVDDOXZLS-UHFFFAOYSA-N 4-methoxyguaiacol Natural products COC1=CC=C(O)C(OC)=C1 MNVMYTVDDOXZLS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FNYDIAAMUCQQDE-UHFFFAOYSA-N 4-methylbenzene-1,3-diol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1O FNYDIAAMUCQQDE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QDTDKYHPHANITQ-UHFFFAOYSA-N 7-methyloctan-1-ol Chemical compound CC(C)CCCCCCO QDTDKYHPHANITQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RSWGJHLUYNHPMX-UHFFFAOYSA-N Abietic-Saeure Natural products C12CCC(C(C)C)=CC2=CCC2C1(C)CCCC2(C)C(O)=O RSWGJHLUYNHPMX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005635 Caprylic acid (CAS 124-07-2) Substances 0.000 description 1
- IEPRKVQEAMIZSS-UHFFFAOYSA-N Di-Et ester-Fumaric acid Natural products CCOC(=O)C=CC(=O)OCC IEPRKVQEAMIZSS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IEPRKVQEAMIZSS-WAYWQWQTSA-N Diethyl maleate Chemical compound CCOC(=O)\C=C/C(=O)OCC IEPRKVQEAMIZSS-WAYWQWQTSA-N 0.000 description 1
- HXQPUEQDBSPXTE-UHFFFAOYSA-N Diisobutylcarbinol Chemical compound CC(C)CC(O)CC(C)C HXQPUEQDBSPXTE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KMTRUDSVKNLOMY-UHFFFAOYSA-N Ethylene carbonate Chemical compound O=C1OCCO1 KMTRUDSVKNLOMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004439 Isononyl alcohol Substances 0.000 description 1
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical compound CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OHLUUHNLEMFGTQ-UHFFFAOYSA-N N-methylacetamide Chemical compound CNC(C)=O OHLUUHNLEMFGTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004693 Polybenzimidazole Substances 0.000 description 1
- KHPCPRHQVVSZAH-HUOMCSJISA-N Rosin Natural products O(C/C=C/c1ccccc1)[C@H]1[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H](O)[C@@H](CO)O1 KHPCPRHQVVSZAH-HUOMCSJISA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007983 Tris buffer Substances 0.000 description 1
- IKHGUXGNUITLKF-XPULMUKRSA-N acetaldehyde Chemical compound [14CH]([14CH3])=O IKHGUXGNUITLKF-XPULMUKRSA-N 0.000 description 1
- 229940022663 acetate Drugs 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 229910000272 alkali metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910001860 alkaline earth metal hydroxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 229940007550 benzyl acetate Drugs 0.000 description 1
- 229960000541 cetyl alcohol Drugs 0.000 description 1
- 239000007810 chemical reaction solvent Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- HPXRVTGHNJAIIH-UHFFFAOYSA-N cyclohexanol Chemical compound OC1CCCCC1 HPXRVTGHNJAIIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VSSAZBXXNIABDN-UHFFFAOYSA-N cyclohexylmethanol Chemical compound OCC1CCCCC1 VSSAZBXXNIABDN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ACUZDYFTRHEKOS-UHFFFAOYSA-N decan-2-ol Chemical compound CCCCCCCCC(C)O ACUZDYFTRHEKOS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DEFUSPNGFCCTEU-UHFFFAOYSA-N dicyclohexylmethanol Chemical compound C1CCCCC1C(O)C1CCCCC1 DEFUSPNGFCCTEU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WYACBZDAHNBPPB-UHFFFAOYSA-N diethyl oxalate Chemical compound CCOC(=O)C(=O)OCC WYACBZDAHNBPPB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XXJWXESWEXIICW-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol monoethyl ether Chemical compound CCOCCOCCO XXJWXESWEXIICW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940075557 diethylene glycol monoethyl ether Drugs 0.000 description 1
- SBZXBUIDTXKZTM-UHFFFAOYSA-N diglyme Chemical compound COCCOCCOC SBZXBUIDTXKZTM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- XSWSEQPWKOWORN-UHFFFAOYSA-N dodecan-2-ol Chemical compound CCCCCCCCCCC(C)O XSWSEQPWKOWORN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 150000002170 ethers Chemical class 0.000 description 1
- CKSRFHWWBKRUKA-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-ethoxyacetate Chemical compound CCOCC(=O)OCC CKSRFHWWBKRUKA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BHXIWUJLHYHGSJ-UHFFFAOYSA-N ethyl 3-ethoxypropanoate Chemical compound CCOCCC(=O)OCC BHXIWUJLHYHGSJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IJUHLFUALMUWOM-UHFFFAOYSA-N ethyl 3-methoxypropanoate Chemical compound CCOC(=O)CCOC IJUHLFUALMUWOM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000219 ethylidene group Chemical group [H]C(=[*])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 239000000706 filtrate Substances 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 238000001879 gelation Methods 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 125000002768 hydroxyalkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- 150000002596 lactones Chemical class 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 238000006198 methoxylation reaction Methods 0.000 description 1
- YSGBMDFJWFIEDF-UHFFFAOYSA-N methyl 2-hydroxy-3-methylbutanoate Chemical compound COC(=O)C(O)C(C)C YSGBMDFJWFIEDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HSDFKDZBJMDHFF-UHFFFAOYSA-N methyl 3-ethoxypropanoate Chemical compound CCOCCC(=O)OC HSDFKDZBJMDHFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BDJSOPWXYLFTNW-UHFFFAOYSA-N methyl 3-methoxypropanoate Chemical compound COCCC(=O)OC BDJSOPWXYLFTNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001570 methylene group Chemical group [H]C([H])([*:1])[*:2] 0.000 description 1
- 150000007522 mineralic acids Chemical class 0.000 description 1
- QQZOPKMRPOGIEB-UHFFFAOYSA-N n-butyl methyl ketone Natural products CCCCC(C)=O QQZOPKMRPOGIEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001280 n-hexyl group Chemical group C(CCCCC)* 0.000 description 1
- JIKUXBYRTXDNIY-UHFFFAOYSA-N n-methyl-n-phenylformamide Chemical compound O=CN(C)C1=CC=CC=C1 JIKUXBYRTXDNIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VKGMUJJGIHYISW-UHFFFAOYSA-N naphthalene-1,5-dione diazide Chemical compound [N-]=[N+]=[N-].[N-]=[N+]=[N-].C1(C=CC=C2C(C=CC=C12)=O)=O VKGMUJJGIHYISW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960002446 octanoic acid Drugs 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 1
- 235000005985 organic acids Nutrition 0.000 description 1
- QNGNSVIICDLXHT-UHFFFAOYSA-N para-ethylbenzaldehyde Natural products CCC1=CC=C(C=O)C=C1 QNGNSVIICDLXHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 1
- WVDDGKGOMKODPV-ZQBYOMGUSA-N phenyl(114C)methanol Chemical compound O[14CH2]C1=CC=CC=C1 WVDDGKGOMKODPV-ZQBYOMGUSA-N 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 239000003504 photosensitizing agent Substances 0.000 description 1
- 229920002480 polybenzimidazole Polymers 0.000 description 1
- CHWRSCGUEQEHOH-UHFFFAOYSA-N potassium oxide Chemical compound [O-2].[K+].[K+] CHWRSCGUEQEHOH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001950 potassium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 150000003138 primary alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- RUOJZAUFBMNUDX-UHFFFAOYSA-N propylene carbonate Chemical compound CC1COC(=O)O1 RUOJZAUFBMNUDX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000035484 reaction time Effects 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- BDHFUVZGWQCTTF-UHFFFAOYSA-M sulfonate Chemical compound [O-]S(=O)=O BDHFUVZGWQCTTF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 150000003512 tertiary amines Chemical class 0.000 description 1
- BRGJIIMZXMWMCC-UHFFFAOYSA-N tetradecan-2-ol Chemical compound CCCCCCCCCCCCC(C)O BRGJIIMZXMWMCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KHPCPRHQVVSZAH-UHFFFAOYSA-N trans-cinnamyl beta-D-glucopyranoside Natural products OC1C(O)C(O)C(CO)OC1OCC=CC1=CC=CC=C1 KHPCPRHQVVSZAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Materials For Photolithography (AREA)
- Phenolic Resins Or Amino Resins (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
Description
xは1,2または3であり、
yは1または2であり、
R1は、炭素数1〜20のアルキル基、例えばメチル基、エチル基、プロピル基を示し、フェノール環の2、4、6位には0または1つ、3、5位には0または1つもしくは2つが含まれ(但し、2〜6位の何れにも含まれない場合を除く)、
R2は、レゾール化反応に用いたアルデヒド由来のメチレン基側鎖で、水素または炭素数1〜2のアルキル基、フェニル基、ヒドロキシフェニル基を示し、
R3は、R1と同じく炭素数1〜20のアルキル基、例えばメチル基、エチル基、プロピル基、好ましくはメチル基、エチル基を示し、フェノール環の3,5位に1つまたは2つ含まれ、
R4は、水素またはR5であり、
R5は、炭素数1〜20のアルキル基、例えばメチル基、エチル基、プロピル基を示し、ここでのR5は、R4が水素である繰り返し単位(B)のアルカノール基(CH(R2)―OH)をアルコキシ化するために使用したアルコールに由来するものであり、
GPCポリスチレン換算の重量平均分子量は、2000〜20000であり、
フェノール骨格1モル当たりの−CH(R2)―O−R4のモル数は0.3以上、即ち、繰り返し単位(A)および(B)のモル数をそれぞれaおよびbで表したときに、
b/(a+b)≧0.3であり、
また、繰り返し単位(B)におけるアルコキシ化率は95モル%以上、即ち、繰り返し単位(B)において(OR5のモル数)/(OR4のモル数)≧0.95である。
(I)アルキルフェノール類(R1PhOHおよびR3PhOH)およびアルデヒド類(R2CHO)を溶媒中で混合し、更に塩基性触媒を加えて加熱し、レゾール化反応を起こさせることにより、既述の繰り返し単位(A)および(B)を含んでなるレゾール樹脂を生成させる工程と、
(II)水との共沸混合物を形成する溶媒を上記で得た反応混合物中に加え、上記反応により生じた水を前記溶媒との共沸混合物として除去し、更にアルコール(R5OH)および酸性触媒を加えて加熱することにより、繰り返し単位(B)のアルカノール基(−CH(R2)―OH)とアルコール(R5OH)を縮合反応させて、前記レゾール樹脂に含まれる繰り返し単位(B)におけるアルカノール基の95モル%以上をアルコキシアルキル基(−CH(R2)―OR5)に変換する工程
を具備したことを特徴とする。なお、工程(I)および(II)におけるR1、R2、R3、R4およびR5は、繰り返し単位(A)および(B)について述べた通りである。
本発明の樹脂型架橋剤において、既述した一般式(A)および(B)の繰り返し様式は、ランダム型、ブロック型およびグラフト型の何れでもよいが、通常はランダム型である。これら3種類の繰り返し単位を含んでなるレゾールタイプの高分子構造をもった本発明のフェノール樹脂型架橋剤の重量平均分子量は、2000〜20000であり、好ましくは2000〜10000、より好ましくは3000〜9000である。分子量2000未満のものは揮発性のある低核体成分が残存し膜特性を劣化する問題がある。また、レジスト用途としてのアルカリ溶解特性が速く、レジスト解像性、残膜率が低下する問題がある。分子量20000を超えるものは、製造上ゲル化等の不溶化を起こしやすく、製造安定性が取りづらくなる問題があること、また、本用途におけるアルカリ溶解特性が遅くなりすぎる、溶剤溶解性が悪くなることから好ましくない。
次に、本発明によるフェノール樹脂型架橋剤の製造方法について、反応条件等を含めてより詳細に説明する。
本発明の架橋剤は、一般式(B)の繰り返し単位に含まれるアルカノール基(−CH(R2)―OH)およびアルコキシアルキル基(−CH(R2)―O−R5)の作用により架橋され得る樹脂組成物に混合し、該樹脂組成物を硬化させるために使用することができる。特に好ましい使用の態様は、アルカリ可溶性ノボラック樹脂組成物、特に感光性樹脂組成物に混合して使用するものである。なかでも、感光剤および溶解抑止剤として、光酸発生剤であるナフトキノンジアジドスルホン酸エステル化合物を使用したポジ型フォトレジスト組成物の架橋剤として使用したときに、従来は得られなかった優れた効果を得ることができる。
窒素置換した三口フラスコ1000ml中にm−クレゾール108.0g、メタノール108.0g、水酸化ナトリウム40.0gを仕込み、攪拌しながら、67℃まで昇温後、30分間還流反応を行なった。その後、反応液を40℃まで冷却し、92質量%パラホルムアルデヒド65.2gを仕込み、再び67℃まで昇温後、5時間還流反応を行なった。反応終了後、反応液を30℃以下にまで冷却し、30質量%硫酸140.0gを反応液が35℃以上にならない様に30分かけて滴下した。得られた反応液のpHは4.9であった。さらに反応液中にイオン交換水540.0gを添加し、20分攪拌して20分静置後、分離した水層を除去した。水層除去後、ジオキサン108.0gを添加し、40℃、圧力を0.08MPaにて残留水分を3質量%未満まで除去した。反応液にメタノール432.0g、96質量%硫酸2.0gを加えた。得られた反応液のpHは0.8であった。反応液を60℃まで昇温し、60℃にて3時間アルコキシ化反応を行なった。反応終了後、反応液を30℃以下まで冷却し、10質量%水酸化ナトリウム水溶液を、反応液の温度が35℃以上にならない様に30分かけて反応液のpHが9.0になるまで滴下した。反応液に洗浄用分離溶剤であるメチルイソブチルケトン(MIBK)216.0g、イオン交換水324.0gを加え、30℃で20分攪拌し、20分静置し、分離した水層を除去した。更にイオン交換水324.0gを加え、除去水の電気伝導度が100μScm以下になるまでイオン交換水で洗浄操作を繰り返した。洗浄終了後、γ―ブチロラクトン300gを加え、70℃、圧力を0.08MPaにてイオン交換水及びMIBKの留去を行い、固形分50質量%のアルコキシ化フェノール樹脂型架橋剤溶液1を得た。
上記実施例1の製法において、アルコキシ化反応を60℃にて2時間行ったものをアルコキシ化フェノール樹脂型架橋剤溶液2とした。
上記実施例1の製法において、92質量%パラホルムアルデヒド55.4gを使用したものをアルコキシ化フェノール樹脂型架橋剤溶液3とした。
上記実施例1の製法において、92質量%パラホルムアルデヒド50.4gを使用したものをアルコキシ化フェノール樹脂型架橋剤溶液4とした。
上記実施例1の製法において、m−クレゾール108.0gの代わりにm−クレゾール64.8g、p−クレゾール43.2gを使用したものをアルコキシ化フェノール樹脂型架橋剤溶液5とした。
上記実施例1の製法において、m−クレゾール108.0gの代わりに3,5−キシレノール122.0gを使用したものをアルコキシ化フェノール樹脂型架橋剤溶液6とした。
上記実施例1の製法において、m−クレゾール108.0gの代わりに2,3,5−トリメチルフェノール136.0gを使用したものをアルコキシ化フェノール樹脂型架橋剤溶液7とした。
上記実施例1の製法において、m−クレゾール108.0gの代りにカルダノール300.0gを使用したものをアルコキシ化フェノール樹脂型架橋剤溶液8とした。
上記実施例1の製法において、アルコキシ化反応においてメタノールの代わりにノルマルブタノールを使用したものをアルコキシ化フェノール樹脂型架橋剤溶液9とした。
上記実施例1の製法において、アルコキシ化反応においてメタノールの代わりにターシャルブタノールを使用したものをアルコキシ化フェノール樹脂型架橋剤溶液10とした。
上記実施例1の製法において、92質量%パラホルムアルデヒドの代わりにサリチルアルデヒド(SA)を使用したものをアルコキシ化フェノール樹脂型架橋剤溶液11とした。
窒素置換した三口フラスコ1000ml中にm−クレゾールを108.0g、メタノール108.0g、水酸化ナトリウム40.0gを仕込み、攪拌しながら、67℃まで昇温後、30分間還流反応を行なった。その後、反応液を40℃まで冷却し、92質量%パラホルムアルデヒド65.2gを仕込み、再び67℃まで昇温後、5時間還流反応を行なった。反応終了後、反応液を30℃以下にまで冷却し、30質量%硫酸140.0gを反応液が35℃以上にならない様に30分かけて滴下した。得られた反応液のpHは4.9であった。さらに反応液中にイオン交換水540.0gを添加し、20分攪拌、20分静置後、分離した水層を除去した。反応液に洗浄分離溶剤であるメチルイソブチルケトン(MIBK)216.0g、イオン交換水324.0gを加え、30℃にて、20分攪拌、20分静置し、分離した水層を除去した。更にイオン交換水324.0gを加え、除去水の電気伝導度が100μScm以下になるまで洗浄操作を繰り返した。洗浄終了後、γ―ブチロラクトン300gを加え、70℃、圧力を0.08MPaにてイオン交換水及びMIBKの留去を行い、固形分50質量%のレゾール型フェノール樹脂溶液を得た。得られたレゾール型フェノール樹脂溶液のMwは3000、Mw/Mnは4.3、2.38質量%テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液に対するADRが約12000Å/sであった。13CNMRによる前記化1におけるオキシアルキル基導入率は59モル%であり、アルコキシ化率は35モル%であった。
4,4’,4”−エチリデントリス[2,6−(メトキシメチル)フェノール](HMOM−TPHAP)250.0gにγ―ブチロラクトン250.0gを加え、50質量%γ―ブチロラクトン溶液500.0gを得た。本溶液を多環型モノマー型架橋剤溶液1とした。東ソー株式会社製の高速液体クロマトグラフィーで、カラムにODSを、展開溶媒にメタノール/水=90/10と水=100のグラジエントを用い、254nmで分析したところ、得られたHMOM−TPHAPの純度は97面積%であった。得られた多環型モノマー型フェノール樹脂溶液のMw/Mnは1.3、2.38質量%テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液に対するADRが約17000Å/sであった。13CNMRによる前記化1におけるオキシアルキル基導入率は190モル%であり、アルコキシ化率は100モル%であった。その構造を下に示す。
4,4’−[1−[4−[1−[4−ヒドロキシ−3,5−ビス(メトキシメチル)フェニル]−1−メチルエチル]フェニル]エチリデン]ビス[2,6−ビス(メトキシメチル)フェノール](HMOM−TPPA)250.0gにγ―ブチロラクトン250.0gを加え、50質量%γ―ブチロラクトン溶液500.0gを得た。本溶液を多環型モノマー型架橋剤溶液2とした。東ソー株式会社製の高速液体クロマトグラフィーで、カラムにODSを、展開溶媒にメタノール/水=90/10と水=100のグラジエントを用い、254nmで分析したところ、得られたHMOM−TPPAの純度は98面積%であった。得られた多環型モノマー型フェノール樹脂溶液のMw/Mnは1.2、2.38質量%テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液に対するADRが約13000Å/sであった。13CNMRによる前記化1におけるオキシアルキル基導入率は191モル%であり、アルコキシ化率は100モル%であった。その構造を下に示す。
以下、上記実施例および比較例になる架橋剤を、ポジ型フォトレジスト組成物中に使用した例を説明する。
群栄化学工業株式会社製ノボラックPSF−2808(m−クレゾールーホルムアルデヒド樹脂)500gにγ―ブチロラクトン500gを加え、固形分50質量%溶液に調整した。得られたノボラックの50質量%γ―ブチロラクトン溶液をアルカリ可溶性ノボラック溶液とした。
乾燥窒素気流下、4,4’,4”−エチリデントリスフェノール30.6g(0.1モル)と5−ナフトキノンジアジドスルホニルクロリド53.7g(0.2モル)をテトラヒドロフラン300.0gに溶解させ、室温にした。ここに、テトラヒドロフラン70.0gと混合させたトリエチルアミン42.0gを系内が30℃以上にならないように滴下した。滴下後30℃で4時間撹拌した。トリエチルアミン塩を濾過し、濾液をイオン交換水に投入させた。その後、析出した沈殿を濾過で集め、さらに1質量%塩酸1000gで洗浄した。その後、さらにイオン交換水1000gで4回洗浄した。この沈殿を40℃48時間真空乾燥させ、Xのうち平均して65モル%が5−ナフトキノンジアジドスルホン酸エステル化された下記式で表されるキノンジアジド化合物を得た。
架橋剤として実施例1で合成されたアルコキシ化フェノール樹脂型架橋剤溶液1を10.0g、アルカリ可溶性ノボラック溶液を20.0g、光酸発生剤としてキノンアジド化合物2.0g、γ―ブチロラクトン10.0gを加えて、室温にて約1時間混合し、得られたワニスを感光性樹脂組成物のワニス1とした。得られたワニス1はフィルム物性試験及び現像性評価試験を実施した。
実施例1における架橋剤を実施例2〜11で合成されたアルコキシ化フェノール樹脂型架橋剤溶液2〜11を用い、使用例1と同様な手法で感光性樹脂組成物のワニス2〜11を得た。得られたワニス2〜11は使用例1同様にフィルム物性試験及び現像性評価試験を実施した。
架橋剤として実施例1で合成されたアルコキシ化フェノール樹脂型架橋剤溶液1を15.0g、アルカリ可溶性ノボラック溶液を15.0g、光酸発生剤としてキノンアジド化合物2.0g、γ―ブチロラクトン10.0gを加えて、室温にて約1時間混合し、得られたワニスを感光性樹脂組成物のワニス12とした。得られたワニス12はフィルム物性試験及び現像性評価試験を実施した。
架橋剤として実施例1で合成されたアルコキシ化フェノール樹脂型架橋剤溶液1を20.0g、アルカリ可溶性ノボラック溶液を10.0g、光酸発生剤としてキノンアジド化合物2.0g、γ―ブチロラクトン10.0gを加えて、室温にて約1時間混合し、得られたワニスを感光性樹脂組成物のワニス13とした。得られたワニス13はフィルム物性試験及び現像性評価試験を実施した。
使用例1における架橋剤の代りに、比較例1〜3で合成されたレゾール型フェノール樹脂溶液及び多環型モノマー型架橋剤溶液1、2を用い、使用例1と同様な手法で感光性樹脂組成物のワニス14〜16を得た。得られたワニス14〜16について、使用例1と同様にフィルム物性試験及び現像性評価試験を実施した。
3.5インチシリコンウェハー上に、感光性樹脂組成物のワニス1〜16をプリベーク後の膜厚が所定の膜厚5μmになるようにスピンコーターを用いて塗布し、ついでホットプレートを用いて、120℃で3分間プリベークすることにより、感光性樹脂組成物被膜をそれぞれ得た。
露光機(i線ステッパー)に、パターンの切られたレチクルをセットし、感光性樹脂組成物被膜を水銀灯のi線(365nm)により500mJ/cm2の露光量で露光した。これらを2.38質量%テトラメチルアンモニウムヒドロキシド(TMAH)水溶液に含浸し、取り出し純水にて洗浄を行なった。120秒未満でパターン形成した場合は◎、120秒以上300秒未満でパターンを形成したものを○、300秒以上600秒未満でパターンを形成したものを△、600秒以上のものを×とした。
前記露光パターニングテストにおいて、パターン形成時間/2(秒後)の膜厚から、以下の式に従って溶解速度比を算出した。
溶解速度比は500以上を◎、150以上500未満を○、50以上150未満を△、50未満を×とした。
前記記載の現像方法において、パターン形成後または前記露光パターニングテストで×の物については600秒現像時点での膜厚から、以下の式に従って未露光部残膜率を算出した。
未露光部残膜率は95.0%以上を◎、90.0%以上95.0未満を○、85.0%以上90.0%未満を△、85.0%未満を×とした。
感光性樹脂組成物のワニス1〜16を膜厚10μmになるようPET上に塗膜し、80℃にて10分、120℃にて30分、200℃にて60分、乾燥機にて乾燥し、硬化物フィルムを得た。
得られた硬化物フィルムのガラス転移温度はSII社製の粘弾性スペクトロメーターSII DMS 110にて測定した。温度条件20〜400℃、昇温速度2℃/分、周波数1、10Hz: 300℃以上のものを◎、250℃以上300℃未満のものを○、250℃未満のものを×とした。
得られた硬化物フィルムの熱分解温度はSII社製 示差熱熱重量同時測定装置 SII TG/DTA 6300にて温度条件30〜800℃、昇温速度 10℃/分で測定した。
得られた硬化物フィルムを180°に折り曲げ、割れないものを屈曲性良好○とし、折り曲げて割れたものを屈曲性不良×とした。
ポリマー鎖が下記一般式(A)および(B)で示される2種類の繰り返し単位を含んでなる、レゾールタイプの高分子構造を有するアルコキシ化フェノール樹脂型架橋剤を製造する方法であって、
xは1,2または3であり、
yは1または2であり、
R 1 は、炭素数1〜20のアルキル基であり、フェノール環の2、4、6位には0または1つ、3、5位には0または1つもしくは2つが含まれ(但し、2〜6位の何れにも含まれない場合を除く)、
R 2 は、水素または炭素数1〜2のアルキル基、フェニル基、またはヒドロキシフェニル基を示し、
R 3 は、炭素数1〜20のアルキル基を示し、フェノール環の3,5位に1つまたは2つ含まれ、
R 4 は、水素またはR 5 を示し、
R 5 は、炭素数1〜20のアルキル基を示し、
重量平均分子量は、2000〜20000であり、
フェノール骨格1モル当たりの−CH(R 2 )―O−R 4 のモル数は0.3以上、即ち、繰り返し単位AおよびBのモル数をそれぞれaおよびbで表したときに、
b/(a+b)≧0.3であり、
繰り返し単位(B)において、(OR 5 のモル数)/(OR 4 のモル数)≧0.95であり、
各繰り返し単位における波線は、隣接する繰り返し単位との結合部位であることを示し、
各繰り返し単位がポリマー鎖の末端に位置する場合、隣接する繰り返し単位に結合していない前記結合部位は水素で飽和される。)
(I)アルキルフェノール類(R1PhOHおよびR3PhOH)およびアルデヒド類(R2CHO)を溶媒中で混合し、更に塩基性触媒を加えて加熱し、レゾール化反応を起こさせることにより、既述の繰り返し単位(A)および(B)を含んでなるレゾール樹脂を生成させる工程と、
(II)水との共沸混合物を形成する溶媒を上記で得た反応混合物中に加え、上記反応により生じた水を前記溶媒との共沸混合物として除去し、更にアルコール(R5OH)および酸性触媒を加えて加熱することにより、繰り返し単位(B)のアルカノール基(−CH(R2)―OH)とアルコール(R5OH)を縮合反応させて、前記レゾール樹脂に含まれる繰り返し単位(B)におけるアルカノール基の95モル%以上をアルコキシアルキル基(−CH(R2)―OR5)に変換する工程
を具備したことを特徴とする。なお、工程(I)および(II)におけるR1、R2、R3、R4およびR5は、繰り返し単位(A)および(B)について述べた通りである。
以下に、本願出願の当初の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
[1] ポリマー鎖が下記一般式(A)および(B)で示される2種類の繰り返し単位を含んでなる、レゾールタイプの高分子構造を有するアルコキシ化フェノール樹脂型架橋剤:
式中の波線は、隣接する繰り返し単位との結合部位であることを示し、
xは1,2または3であり、
yは1または2であり、
R 1 は、炭素数1〜20のアルキル基であり、フェノール環の2、4、6位には0または1つ、3、5位には0または1つもしくは2つが含まれ(但し、2〜6位の何れにも含まれない場合を除く)、
R 2 は、水素または炭素数1〜2のアルキル基、フェニル基、またはヒドロキシフェニル基を示し、
R 3 は、炭素数1〜20のアルキル基を示し、フェノール環の3,5位に1つまたは2つ含まれ、
R 4 は、水素またはR 5 を示し、
R 5 は、炭素数1〜20のアルキル基を示し、
重量平均分子量は、2000〜20000であり、
フェノール骨格1モル当たりの−CH(R 2 )―O−R 4 のモル数は0.3以上、即ち、繰り返し単位AおよびBのモル数をそれぞれaおよびbで表したときに、
b/(a+b)≧0.3であり、
繰り返し単位(B)において、(OR 5 のモル数)/(OR 4 のモル数)≧0.95であり、
各繰り返し単位における波線は、隣接する繰り返し単位との結合部位であることを示し、
各繰り返し単位がポリマー鎖の末端に位置する場合、隣接する繰り返し単位に結合していない前記結合部位は水素で飽和される。
[2] R 1 がメチル基、エチル基およびイソプロピル基からなる群より選ばれる少なくとも1種である、[1]に記載のアルコキシ化フェノール樹脂型架橋剤。
[3] R 2 が水素、メチル基、フェニル基およびヒドロキシフェニル基からなる群より選ばれる少なくとも1種である、[1]または[2]に記載のアルコキシ化フェノール樹脂型架橋剤。
[4] R 4 がメチル基、n−ブチル基およびt−ブチル基からなる群より選ばれる少なくとも1種である、[1]〜[3]の何れか1項に記載のアルコキシ化フェノール樹脂型架橋剤。
[5] GPCポリスチレン換算の重量平均分子量の範囲が2000〜10000である、[1]〜[4]の何れか1項に記載のアルコキシ化フェノール樹脂型架橋剤。
[6] 2.38質量%のテトラアンモニウムハイドロオキサイド水溶液に対する溶解速度の範囲が、200〜8000Å/sである[1]〜[5]の何れか1項に記載のアルコキシ化フェノール樹脂型架橋剤。
[7] [1]に記載のアルコキシ化フェノール樹脂型架橋剤を製造する方法であって、
(I)アルキルフェノール類(R 1 PhOHおよびR 3 PhOH)およびアルデヒド類(R 2 CHO)を溶媒中で混合し、更に塩基性触媒を加えて加熱し、レゾール化反応を起こさせることにより、[1]における繰り返し単位(A)および(B)を含んでなるレゾール樹脂を生成させる工程と、
(II)水との共沸混合物を形成する溶媒を上記で得た反応混合物中に加え、上記反応により生じた水を前記溶媒との共沸混合物として除去し、更にアルコール(R 5 OH)および酸性触媒を加えて加熱することにより、繰り返し単位(B)のアルカノール基とアルコール(R 5 OH)を縮合反応させて、前記レゾール樹脂に含まれる繰り返し単位(B)におけるアルカノール基(−CH(R 2 )―OH)の95モル%以上をアルコキシアルキル基(−CH(R 2 )―OR 5 )に変換する工程を具備したことを特徴とする方法。
但し、R 1 、R 2 、R 3 、R 4 およびR 5 は[1]で定義した通りである。
[8] 前記工程(I)のレゾール化に用いる塩基性触媒が水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、またはトリエチルアミンである、[7]に記載の方法。
[9] 前記工程(II)の縮合反応に用いる酸性触媒が塩酸、硫酸、シュウ酸、または酢酸である、[7]または[8]に記載の方法。
[10] 前記工程(II)の縮合反応に用いるアルコールがメタノールであり、共沸溶媒がジオキサンである[7]〜[9]の何れか1項に記載の方法。
Claims (10)
- ポリマー鎖が下記一般式(A)および(B)で示される2種類の繰り返し単位を含んでなる、レゾールタイプの高分子構造を有するアルコキシ化フェノール樹脂型架橋剤:
式中の波線は、隣接する繰り返し単位との結合部位であることを示し、
xは1,2または3であり、
yは1または2であり、
R1は、炭素数1〜20のアルキル基であり、フェノール環の2、4、6位には0または1つ、3、5位には0または1つもしくは2つが含まれ(但し、2〜6位の何れにも含まれない場合を除く)、
R2は、水素または炭素数1〜2のアルキル基、フェニル基、またはヒドロキシフェニル基を示し、
R3は、炭素数1〜20のアルキル基を示し、フェノール環の3,5位に1つまたは2つ含まれ、
R4は、水素またはR5を示し、
R5は、炭素数1〜20のアルキル基を示し、
重量平均分子量は、2000〜20000であり、
フェノール骨格1モル当たりの−CH(R2)―O−R4のモル数は0.3以上、即ち、繰り返し単位AおよびBのモル数をそれぞれaおよびbで表したときに、
b/(a+b)≧0.3であり、
繰り返し単位(B)において、(OR5のモル数)/(OR4のモル数)≧0.95であり、
各繰り返し単位における波線は、隣接する繰り返し単位との結合部位であることを示し、
各繰り返し単位がポリマー鎖の末端に位置する場合、隣接する繰り返し単位に結合していない前記結合部位は水素で飽和される。 - R1がメチル基、エチル基およびイソプロピル基からなる群より選ばれる少なくとも1種である、請求項1に記載のアルコキシ化フェノール樹脂型架橋剤。
- R2が水素、メチル基、フェニル基およびヒドロキシフェニル基からなる群より選ばれる少なくとも1種である、請求項1または2に記載のアルコキシ化フェノール樹脂型架橋剤。
- R4がメチル基、n−ブチル基およびt−ブチル基からなる群より選ばれる少なくとも1種である、請求項1〜3の何れか1項に記載のアルコキシ化フェノール樹脂型架橋剤。
- GPCポリスチレン換算の重量平均分子量の範囲が2000〜10000である、請求項1〜4の何れか1項に記載のアルコキシ化フェノール樹脂型架橋剤。
- 2.38質量%のテトラアンモニウムハイドロオキサイド水溶液に対する溶解速度の範囲が、200〜8000Å/sである請求項1〜5の何れか1項に記載のアルコキシ化フェノール樹脂型架橋剤。
- 請求項1に記載のアルコキシ化フェノール樹脂型架橋剤を製造する方法であって、
(I)アルキルフェノール類(R1PhOHおよびR3PhOH)およびアルデヒド類(R2CHO)を溶媒中で混合し、更に塩基性触媒を加えて加熱し、レゾール化反応を起こさせることにより、請求項1における繰り返し単位(A)および(B)を含んでなるレゾール樹脂を生成させる工程と、
(II)水との共沸混合物を形成する溶媒を上記で得た反応混合物中に加え、上記反応により生じた水を前記溶媒との共沸混合物として除去し、更にアルコール(R5OH)および酸性触媒を加えて加熱することにより、繰り返し単位(B)のアルカノール基とアルコール(R5OH)を縮合反応させて、前記レゾール樹脂に含まれる繰り返し単位(B)におけるアルカノール基(−CH(R2)―OH)の95モル%以上をアルコキシアルキル基(−CH(R2)―OR5)に変換する工程を具備したことを特徴とする方法。
但し、R1、R2、R3、R4およびR5は請求項1で定義した通りである。 - 前記工程(I)のレゾール化に用いる塩基性触媒が水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、またはトリエチルアミンである、請求項7に記載の方法。
- 前記工程(II)の縮合反応に用いる酸性触媒が塩酸、硫酸、シュウ酸、または酢酸である、請求項7または8に記載の方法。
- 前記工程(II)の縮合反応に用いるアルコールがメタノールであり、共沸溶媒がジオキサンである請求項7〜9の何れか1項に記載の方法。
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JP2013055260A JP5659259B2 (ja) | 2013-03-18 | 2013-03-18 | アルコキシ化フェノール樹脂型架橋剤の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013055260A JP5659259B2 (ja) | 2013-03-18 | 2013-03-18 | アルコキシ化フェノール樹脂型架橋剤の製造方法 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011023732A Division JP5286375B2 (ja) | 2011-02-07 | 2011-02-07 | フェノール樹脂型架橋剤 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013166945A true JP2013166945A (ja) | 2013-08-29 |
JP5659259B2 JP5659259B2 (ja) | 2015-01-28 |
Family
ID=49177577
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013055260A Active JP5659259B2 (ja) | 2013-03-18 | 2013-03-18 | アルコキシ化フェノール樹脂型架橋剤の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5659259B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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2013
- 2013-03-18 JP JP2013055260A patent/JP5659259B2/ja active Active
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP5659259B2 (ja) | 2015-01-28 |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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