JP2013164308A - 移動経路作成装置、検査装置および移動経路作成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】回路基板100の表面を枡目状に区画した各第1領域(A1〜A6)に含まれる全てのプロービングポイントPを経由する第1領域毎の移動経路Raを連結順序で連結して回路基板100全体の移動経路を作成する処理部を備え、処理部は、初期位置Lに最も近い第1領域について、第1領域を4つに区画した各第2領域のうちの初期位置Lに最も近い第2領域(Ba1)に含まれる始点Psから、その第2領域の対角に位置する他の第2領域(Bc1)に含まれる終点Peまでの移動経路Raを特定し、連結順序が2番目以降の各第1領域について、直近上位の第1領域の終点Peに最も近い第2領域(Bd2)に含まれる始点Psから、その第2領域の対角に位置する他の第2領域(Bb2)に含まれる終点Peまでの移動経路Raを特定する。
【選択図】図4
Description
3 移動機構
4 測定部
5 記憶部
6 制御部
31 プローブ
100 回路基板
A1〜A12 第1領域
Ba〜Bd 第2領域
L 初期位置
P プロービングポイント
Pe 終点
Ps 始点
Ra 移動経路
Rw 移動経路
Claims (10)
- プロービング対象体の表面に平行な平面に沿ってプローブを移動させて当該表面に設けられている複数のプロービングポイントに当該プローブを順次プロービングさせるための当該プローブの移動経路を作成する処理部を備え、
前記処理部は、前記表面が枡目状に区画された複数の第1領域の各々に含まれる全ての前記プロービングポイントを1回ずつ経由する前記移動経路を特定する特定処理を当該第1領域毎に実行して当該第1領域毎の各移動経路を当該各第1領域について規定された連結順序で連結して前記プロービング対象体についての全体の前記移動経路を作成する移動経路作成装置であって、
前記処理部は、前記各第1領域が4つの第2領域にそれぞれ枡目状に区画されると共に前記プローブの初期位置に最も近い前記第1領域の前記連結順序を1番目として、当該1番目の第1領域についての前記特定処理において、当該第1領域における前記4つの第2領域のうちの前記初期位置に最も近い1つの前記第2領域に含まれるいずれか1つの前記プロービングポイントを始点として規定すると共に当該第2領域の対角に位置する他の1つの前記第2領域に含まれるいずれか1つの前記プロービングポイントを終点として規定して当該始点から当該終点までの前記移動経路を特定し、
前記連結順序が2番目以降の前記各第1領域についての前記特定処理において、当該各第1領域における前記4つの第2領域のうちの前記連結順序が直近上位の前記第1領域における前記終点に最も近い1つの前記第2領域に含まれるいずれか1つの前記プロービングポイントを始点として規定すると共に当該第2領域の対角に位置する他の1つの前記第2領域に含まれるいずれか1つの前記プロービングポイントを終点として規定して当該始点から当該終点までの前記移動経路をそれぞれ特定し、
前記連結順序に従い、前記各第1領域の前記終点と、前記連結順序が直近下位の前記第1領域の前記始点とを連結して前記全体の移動経路を作成する移動経路作成装置。 - 前記処理部は、前記連結順序が1番目の第1領域における前記1つの第2領域に含まれる前記プロービングポイントのうちの前記初期位置に最も近いプロービングポイントを前記始点として規定する請求項1記載の移動経路作成装置。
- 前記処理部は、前記連結順序が1番目の第1領域における前記他の1つの第2領域に含まれる前記プロービングポイントのうちの前記初期位置から最も遠いプロービングポイントを前記終点として規定する請求項1または2記載の移動経路作成装置。
- 前記処理部は、前記連結順序が2番目以降の前記第1領域における前記1つの第2領域に含まれる前記プロービングポイントのうちの前記連結順序が直近上位の前記第1領域における前記終点に最も近いプロービングポイントを前記始点として規定する請求項1から3のいずれかに記載の移動経路作成装置。
- 前記処理部は、前記連結順序が2番目以降の前記第1領域における前記他の1つの第2領域に含まれる前記プロービングポイントのうちの前記連結順序が直近上位の前記第1領域における前記終点から最も遠いプロービングポイントを前記終点として規定する請求項1から4のいずれかに記載の移動経路作成装置。
- 前記処理部は、前記特定処理に先立ち、前記各第1領域を前記4つの第2領域にそれぞれ区画する請求項1から5のいずれかに記載の移動経路作成装置。
- 前記処理部は、前記特定処理に先立ち、前記表面を前記複数の第1領域に区画する請求項1から6のいずれかに記載の移動経路作成装置。
- 前記処理部は、前記各第1領域の配列方向おける縦方向および横方向の少なくとも1つの方向に沿って前記第1領域が奇数個並ぶように前記表面を区画し、
前記連結順序における直近の順位の前記第1領域同士が隣接しかつ前記第1領域が奇数個並ぶ1つの方向に並んだ当該各第1領域の順位が連続するように当該連結順序を規定する請求項7記載の移動経路作成装置。 - 請求項1から8のいずれかに記載の移動経路作成装置と、前記プローブを移動させて前記プロービング対象体に対するプロービングを行う移動機構と、当該移動機構を制御する制御部と、前記プローブを介して入力した電気信号に基づいて前記プロービング対象体を検査する検査部とを備え、
前記制御部は、前記移動経路作成装置によって作成された前記移動経路に沿って前記プローブを移動させる検査装置。 - プロービング対象体の表面に平行な平面に沿ってプローブを移動させて当該表面に設けられている複数のプロービングポイントに当該プローブを順次プロービングさせるための当該プローブの移動経路を作成する際に、前記表面を枡目状に区画した複数の第1領域の各々に含まれる全ての前記プロービングポイントを1回ずつ経由する前記移動経路を特定する特定処理を当該第1領域毎に実行して当該第1領域毎の各移動経路を当該各第1領域について規定された連結順序で連結して前記プロービング対象体についての全体の前記移動経路を作成する移動経路作成方法であって、
前記各第1領域を4つの第2領域にそれぞれ枡目状に区画すると共に前記プローブの初期位置に最も近い前記第1領域の前記連結順序を1番目として、当該1番目の第1領域についての前記特定処理において、当該第1領域における前記4つの第2領域のうちの前記初期位置に最も近い1つの前記第2領域に含まれるいずれか1つの前記プロービングポイントを始点として規定すると共に当該第2領域の対角に位置する他の1つの前記第2領域に含まれるいずれか1つの前記プロービングポイントを終点として規定して当該始点から当該終点までの前記移動経路を特定し、
前記連結順序が2番目以降の前記各第1領域についての前記特定処理において、当該各第1領域における前記4つの第2領域のうちの前記連結順序が直近上位の前記第1領域における前記終点に最も近い1つの前記第2領域に含まれるいずれか1つの前記プロービングポイントを始点として規定すると共に当該第2領域の対角に位置する他の1つの前記第2領域に含まれるいずれか1つの前記プロービングポイントを終点として規定して当該始点から当該終点までの前記移動経路をそれぞれ特定し、
前記連結順序に従い、前記各第1領域の前記終点と、前記連結順序が直近下位の前記第1領域の前記始点とを連結して前記全体の移動経路を作成する移動経路作成方法。
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