JP2013157534A - 固体撮像装置、及び固体撮像装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明の固体撮像装置は、光電変換素子と、ゲート電極と、フローティングディフュージョン領域の一部の上に連続的に延在する第1の絶縁膜を有する。そして、固体撮像装置は、第1の絶縁膜の上に設けられた第2の絶縁膜を有する。第1の絶縁膜は、第2の絶縁膜よりも誘電率が高い。そして、ゲート電極の上からフローティングディフュージョン領域の上に延在する第1の絶縁膜の端部は、ゲート電極のフローティングディフュージョン領域側の端部から0.25μm以下の範囲に位置する。
【選択図】 図2
Description
特許文献2には、フォトダイオードの上から転送トランジスタのゲート電極を覆い、FD領域まで延在した部材を有するCMOS型の固体撮像装置が開示されている。
本実施形態の固体撮像装置を図1及び図2を用いて説明する。
第1の実施形態の変形例について、図7及び図8を用いて説明する。図7及び図8は、図1(a)に対応する固体撮像装置の平面模式図であり、第1実施形態のフォトダイオード等や絶縁部材110の配置の変形例を示している。図7及び図8では、図1(a)に示した選択トランジスタ等については省略している。図1(a)と同一の構成には同一の符号を付し、説明を省略する。以下、1つのフォトダイオード103と、1つの転送ゲート電極105と、1つのFD領域104を1つの組として説明を行う。
Claims (12)
- 光電変換素子と、
フローティングディフュージョン領域と、
前記フローティングディフュージョン領域と増幅部の入力ノードとを電気的に接続するコンタクトプラグと、
前記光電変換素子と前記フローティングディフュージョン領域との間に配され、前記光電変換素子と前記フローティングディフュージョン領域との間の電気的導通を制御するゲート電極と、
前記光電変換素子と、前記ゲート電極と、フローティングディフュージョン領域の一部の上に連続的に延在する第1の絶縁膜と、
前記光電変換素子と、前記ゲート電極と、フローティングディフュージョン領域の上に連続的に延在し、前記第1の絶縁膜の上に設けられた第2の絶縁膜と、を有する固体撮像装置において、
前記第1の絶縁膜は、前記第2の絶縁膜よりも誘電率が高く、
前記ゲート電極の上から前記フローティングディフュージョン領域の上に延在する前記第1の絶縁膜の端部は、前記ゲート電極のフローティングディフュージョン領域側の端部から0.25μm以下の範囲に位置することを特徴とする固体撮像装置。 - 前記第1の絶縁膜はシリコン窒化膜を含み、
前記第2の絶縁膜はシリコン酸化膜を含むことを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置。 - 前記フローティングディフュージョン領域と入力ノードが接続した増幅部を有することを特徴とする請求項1あるいは2のいずれかに記載の固体撮像装置。
- 前記フローティングディフュージョン領域は半導体領域であり、
前記半導体領域の不純物濃度は、1×1019個/cm3以下であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記固体撮像装置は、
前記光電変換素子とは別の光電変換素子と、前記フローティングディフュージョン領域とは別のフローティングディフュージョン領域と、前記ゲート電極とは別のゲート電極と、
前記第2の絶縁膜の上に設けられたマイクロレンズと、
を有し、
前記マイクロレンズは、前記光電変換素子と前記別の光電変換素子とを覆う
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 光電変換素子と、フローティングディフュージョン領域と、前記光電変換素子と前記フローティングディフュージョン領域との間の導通を制御するゲート電極と、を有する固体撮像装置の製造方法において、
前記光電変換素子と、前記ゲート電極と、前記フローティングディフュージョン領域との上に絶縁膜を形成する工程と、
前記光電変換素子と、前記ゲート電極と、前記フローティングディフュージョン領域の一部の上を連続的に覆い、前記フローティングディフュージョン領域の一部の上に開口を有するレジストパターンを形成する工程と、
前記レジストパターンをマスクとして前記絶縁膜をエッチングし、第1の絶縁膜を形成する工程と、
前記第1の絶縁膜の上に、前記光電変換素子と、前記ゲート電極と、前記フローティングディフュージョン領域とを覆い、前記第1の絶縁膜よりも誘電率が低い第2の絶縁膜を形成する工程と、を有することを特徴とする固体撮像装置の製造方法。 - 前記レジストパターンの開口の側面は、前記ゲート電極の端部から前記フローティングディフュージョン領域の方向に0.25μmの範囲に位置することを特徴とする請求項6に記載の固体撮像装置の製造方法。
- 前記第1の絶縁膜がシリコン窒化膜を含み、前記第2の絶縁膜がシリコン酸化膜を含むことを特徴とする請求項6あるいは7のいずれかに記載の固体撮像装置の製造方法。
- 前記第1の絶縁膜の前記ゲート電極の上からフローティングディフュージョン領域の上に延在する部分は、前記ゲート電極のフローティングディフュージョン領域側の端部から0.25μm以下の範囲に位置することを特徴とする請求項6乃至8のいずれかに記載の固体撮像装置の製造方法。
- 前記フローティングディフュージョン領域と接続するプラグを形成する工程を有することを特徴とする請求項6乃至9のいずれか1項に記載の固体撮像装置の製造方法。
- 請求項6乃至10のいずれか1項に記載の固体撮像装置の製造方法によって形成された固体撮像装置。
- 請求項1乃至5、及び11のいずれか1項に記載の固体撮像装置と、
前記固体撮像装置からの信号を処理する処理部と、を有するカメラ。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015103606A (ja) * | 2013-11-22 | 2015-06-04 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置の製造方法および光電変換装置 |
WO2016080337A1 (ja) * | 2014-11-17 | 2016-05-26 | 国立大学法人東北大学 | 光センサ及びその信号読み出し方法並びに固体撮像装置及びその信号読み出し方法 |
JP2016116980A (ja) * | 2016-03-30 | 2016-06-30 | 株式会社大都技研 | 遊技台 |
US10154222B2 (en) | 2014-11-17 | 2018-12-11 | Tohoku University | Optical sensor, signal reading method therefor, solid-state imaging device, and signal reading method therefor |
JP2020074445A (ja) * | 2020-01-22 | 2020-05-14 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置 |
US11688748B2 (en) | 2014-12-16 | 2023-06-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Solid-state imaging apparatus |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI685959B (zh) * | 2019-01-07 | 2020-02-21 | 力晶積成電子製造股份有限公司 | 影像感測器及其製造方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06260513A (ja) * | 1993-03-08 | 1994-09-16 | Nec Corp | 電荷検出装置 |
JP2000012822A (ja) * | 1998-04-23 | 2000-01-14 | Matsushita Electron Corp | 固体撮像装置およびその製造方法 |
JP2004095636A (ja) * | 2002-08-29 | 2004-03-25 | Fujitsu Ltd | 半導体装置 |
JP2006261355A (ja) * | 2005-03-17 | 2006-09-28 | Fujitsu Ltd | 半導体撮像装置 |
JP2007027311A (ja) * | 2005-07-14 | 2007-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 固体撮像装置、その製造方法及びそれを用いたカメラ |
JP2007127746A (ja) * | 2005-11-02 | 2007-05-24 | Nikon Corp | 焦点検出用信号の生成機能を有する固体撮像装置 |
JP2008218756A (ja) * | 2007-03-05 | 2008-09-18 | Canon Inc | 光電変換装置及び撮像システム |
JP2011243747A (ja) * | 2010-05-18 | 2011-12-01 | Canon Inc | 光電変換装置およびカメラ |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009038309A (ja) | 2007-08-03 | 2009-02-19 | Sharp Corp | 固体撮像素子およびその製造方法、電子情報機器 |
JP5446280B2 (ja) * | 2009-01-16 | 2014-03-19 | ソニー株式会社 | 固体撮像素子とその製造方法、及び撮像装置 |
JP2010182764A (ja) * | 2009-02-04 | 2010-08-19 | Sony Corp | 半導体素子とその製造方法、及び電子機器 |
JP5428395B2 (ja) | 2009-03-04 | 2014-02-26 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置およびその製造方法、および撮像装置 |
JP2010232284A (ja) | 2009-03-26 | 2010-10-14 | Sony Corp | 固体撮像装置、および、その製造方法、電子機器 |
JP5246218B2 (ja) | 2010-07-26 | 2013-07-24 | 富士通セミコンダクター株式会社 | 固体撮像装置の製造方法 |
JP4866972B1 (ja) * | 2011-04-20 | 2012-02-01 | パナソニック株式会社 | 固体撮像装置及びその製造方法 |
WO2013054535A1 (ja) * | 2011-10-13 | 2013-04-18 | パナソニック株式会社 | 固体撮像装置及びその製造方法 |
-
2012
- 2012-01-31 JP JP2012018418A patent/JP5955005B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2013
- 2013-01-25 US US13/750,410 patent/US9013614B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06260513A (ja) * | 1993-03-08 | 1994-09-16 | Nec Corp | 電荷検出装置 |
JP2000012822A (ja) * | 1998-04-23 | 2000-01-14 | Matsushita Electron Corp | 固体撮像装置およびその製造方法 |
JP2004095636A (ja) * | 2002-08-29 | 2004-03-25 | Fujitsu Ltd | 半導体装置 |
JP2006261355A (ja) * | 2005-03-17 | 2006-09-28 | Fujitsu Ltd | 半導体撮像装置 |
JP2007027311A (ja) * | 2005-07-14 | 2007-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 固体撮像装置、その製造方法及びそれを用いたカメラ |
JP2007127746A (ja) * | 2005-11-02 | 2007-05-24 | Nikon Corp | 焦点検出用信号の生成機能を有する固体撮像装置 |
JP2008218756A (ja) * | 2007-03-05 | 2008-09-18 | Canon Inc | 光電変換装置及び撮像システム |
JP2011243747A (ja) * | 2010-05-18 | 2011-12-01 | Canon Inc | 光電変換装置およびカメラ |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015103606A (ja) * | 2013-11-22 | 2015-06-04 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置の製造方法および光電変換装置 |
WO2016080337A1 (ja) * | 2014-11-17 | 2016-05-26 | 国立大学法人東北大学 | 光センサ及びその信号読み出し方法並びに固体撮像装置及びその信号読み出し方法 |
JP6085733B2 (ja) * | 2014-11-17 | 2017-03-01 | 国立大学法人東北大学 | 光センサ及びその信号読み出し方法並びに固体撮像装置及びその信号読み出し方法 |
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