JP2013152888A - プラズマディスプレイパネルおよびプラズマディスプレイパネルの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】維持電圧のマージンを確保した高性能なＰＤＰを提供することを目的とする。
【解決手段】基板に導電性の第１電極および第２電極を間に放電ギャップを設けて配置して表示電極を構成するとともにその表示電極を行方向に複数本配列して設け、第１電極および第２電極は、放電ギャップを介して対向する第１部分と、第１部分から間隔をあけて平行に配置された第２部分と、第１部分と第２部分とを接続しかつセル毎に設けた第３部分とが形成されるプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、第１電極および第２電極が形成される電極ペーストが背面基板上に塗布される塗布ステップと、第１電極および第２電極が形成されるようにマスクを介して露光される露光ステップと、を有し、露光ステップは、第３部分が第１部分の端部から放電ギャップの形成される方向に０μｍ以上８．０μｍ未満の範囲で突出する形状に露光されることを特徴とする。
【選択図】図６

Description

本発明は、表示デバイスとしてのプラズマディスプレイパネルに関するものである。

プラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰと示す）は、現状では、ＰＤＰの主流は、３電極構造の面放電型のものが主流である。

この面放電型のＰＤＰ構造は、少なくとも前面側が透明な一対の基板を基板間に放電空間が形成されるように対向配置される。そして、放電空間を複数に仕切るための隔壁が基板に配置され、かつ隔壁により仕切られた放電空間で放電が発生するように基板に電極群が配置される。そして、放電により発光する赤色、緑色、青色に発光する蛍光体が形成されて複数の放電セルが構成されている。そして、放電により発生する波長の短い真空紫外光によって蛍光体を励起し、赤色、緑色、青色の放電セルからそれぞれ赤色、緑色、青色の可視光を発することによりカラー表示を行っている。

ところで、ＰＤＰにおいては、今日では、省電力化を実現させる技術への要望が高くなっており、安定した画像表示性能を得ることも基本的に望まれる。

このようなことから、ＰＤＰの安定した駆動と発光輝度を維持しながら消費電力を低減させること、すなわち発光効率の向上が望まれる。

たとえば、ＰＤＰにおいては、走査電極および維持電極を間に放電ギャップを設けて行方向に複数本配列して設けた前面板と、この前面板に間に放電空間を設けて対向配置した背面板と、前記放電空間を前記放電セル毎に区画する隔壁とを有し、前記走査電極および維持電極は、放電ギャップを介して対向する第１部分と、この第１部分から間隔をあけて平行に配置された第２部分と、第１部分と第２部分とを接続する第３部分とを備え、かつ前記第１部分および第２部分の幅を第３部分の幅より細くした構造が開示されている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１１−１５９６１３号公報

しかし、電極の製造過程で電極構造が収縮し、所望の電極構造が得られない場合があり、その結果、維持電圧のマージンが狭くなってしまう。

そこで、本発明は、維持電圧のマージンを確保した高性能なＰＤＰを提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明は、基板に導電性の第１電極および第２電極を間に放電ギャップを設けて配置して表示電極を構成するとともにその表示電極を行方向に複数本配列して設け、第１電極および第２電極は、放電ギャップを介して対向する第１部分と、この第１部分から間隔をあけて平行に配置された第２部分と、第１部分と第２部分とを接続しかつセル毎に設けた第３部分とが形成されるプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、第１電極および第２電極が形成される電極ペーストが背面基板上に塗布される塗布ステップと、第１電極および第２電極が形成されるようにマスクを介して露光される露光ステップとを有し、露光ステップは、第３部分が第１部分の端部から放電ギャップの形成される方向に０μｍ以上８．０μｍ未満の範囲で突出する形状に露光されることを特徴とする。

また、本発明は、基板に導電性の第１電極および第２電極を間に放電ギャップを設けて配置して表示電極を構成するとともにその表示電極を行方向に複数本配列して設けた前面板と、この前面板に間に放電空間を設けて対向配置されかつ前記表示電極と交差する列方向に複数本のデータ電極を形成して交差部分にセルを設けた背面板と、この背面板に設けられかつ放電空間を前記セル毎に区画する隔壁とを有し、第１電極および第２電極は、放電ギャップを介して対向する第１部分と、この第１部分から間隔をあけて平行に配置された第２部分と、第１部分と第２部分とを接続しかつセル毎に設けた第３部分とを備えるプラズマディスプレイパネルであって、第３部分が第１部分の端部から放電ギャップの形成される方向に０μｍ以上４．７μｍ未満の範囲で突出する形状であることを特徴とする。

本発明によれば、維持電圧のマージンを確保することができ、高性能なＰＤＰを提供することが可能となる。

本発明の実施の形態によるＰＤＰを示す分解斜視図 本発明の実施の形態によるＰＤＰの放電セル部分の構成を示す断面図 本発明の実施の形態によるＰＤＰの電極配列図 本発明の実施の形態によるＰＤＰを用いたＰＤＰ装置の全体構成を示すブロック図 本発明の実施の形態によるＰＤＰの各電極に印加する駆動電圧波形を示す図 本発明の実施の形態によるＰＤＰの表示電極を構成する走査電極および維持電極とデータ電極と隔壁との配置関係を示す平面図 （ａ）従来の形態によるＰＤＰの表示電極を構成する走査電極および維持電極を形成する露光時のマスクを示す拡大図と形成された走査電極および維持電極を示す拡大図、（ｂ）本発明の実施の形態によるＰＤＰの表示電極を構成する走査電極および維持電極を形成する露光時のマスクを示す拡大図と形成された走査電極および維持電極を示す拡大図 本実施の形態によるＰＤＰの電極構造における効果を示した図

＜実施の形態１＞
以下、本発明の実施の形態１によるＰＤＰについて、図を用いて説明する。しかし、本発明の実施の態様は実施の形態１に限定されるものではない。

まず、本発明の実施の形態１によるＰＤＰの全体構成について、図を用いて説明する。

１、ＰＤＰの構成
図１は本発明の実施の形態１によるＰＤＰにおいて、前面板と背面板とを分離した状態で示す分解斜視図、図２は前面板と背面板とを貼り合わせてＰＤＰとしたときの放電セル構造を示す断面図である。この図１、図２に示すように、ＰＤＰは、ガラス製の前面板１と背面板２とを、その間に放電空間３を形成するように対向配置することにより構成されている。

前面板１は、ガラス製の前面基板４上に導電性の第１電極である走査電極５および第２電極である維持電極６を、間に放電ギャップＭＧを設けて互いに平行に配置して表示電極７を構成するとともに、その表示電極７を行方向に複数本配列して設け、そして走査電極５および維持電極６を覆うようにガラス材料からなる誘電体層８が形成され、その誘電体層８上にはＭｇＯからなる保護膜９が形成されている。

走査電極５および維持電極６は、それぞれＩＴＯなどの透明電極を用いず、Ａｇからなる膜厚が数μｍ程度の導電性金属から構成され、しかも走査電極５および維持電極６は、図２に示すように、少なくとも２層構造（図示のものは２層）とし、そして前面基板４側の下層５ａ、６ａは黒色系の金属酸化物を含有する材料により構成するとともに、上層５ｂ、６ｂは下層５ａ、６ａより比抵抗が小さくなるようにＡｇの含有量を増やした白色系の材料により構成することにより、前面基板４の下層５ａ、６ａが上層５ｂ、６ｂより明度が低くなるように構成している。すなわち、走査電極５および維持電極６からなる表示電極７は、前面基板４側の表示面から見たとき前記走査電極５および維持電極６からなる表示電極７の明度が低くなるように構成することにより、表示電極７間に遮光部材が存在しない構成としている。

また、背面板２は、ガラス製の背面基板１０上に、ガラス材料からなる絶縁体層１１で覆われかつ列方向にストライプ状に配列したＡｇからなる複数本のデータ電極１２が設けられ、そして絶縁体層１１上には、前面板１と背面板２との間の放電空間３を放電セル毎に区画するためのガラス材料からなる井桁状の隔壁１３が設けられている。また、絶縁体層１１の表面および隔壁１３の側面には、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の蛍光体層１４Ｒ、１４Ｇ、１４Ｂが設けられている。そして、走査電極５および維持電極６とデータ電極１２とが交差するように前面板１と背面板２とが対向配置され、前記走査電極５および維持電極６とデータ電極１２が交差する交差部分には、図３に示すように、放電セル１５が設けられている。また、放電空間３には、放電ガスとして、例えばネオンとキセノンの混合ガスが封入されている。なお、ＰＤＰの構造は上述したものに限られるわけではなく、例えばストライプ状の隔壁を備えたものであってもよい。

ここで、図２に示すように、放電セル１５を形成する井桁形状の隔壁１３は、データ電極１２に平行に形成された縦隔壁１３ａと、この縦隔壁１３ａに直交するように形成した横隔壁１３ｂとから構成されている。また、この隔壁１３内に塗布して形成される蛍光体層１４Ｒ、１４Ｇ、１４Ｂは、縦隔壁１３ａに沿ってストライプ状に青色蛍光体層１４Ｂ、赤色蛍光体層１４Ｒ、緑色蛍光体層１４Ｇの順に配列して形成されている。

図３はこの図１、図２に示すＰＤＰの電極配列図である。行方向に長いｎ本の走査電極Ｙ１、Ｙ２、Ｙ３・・・Ｙｎ（図１の５）およびｎ本の維持電極Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３・・・Ｘｎ（図１の６）が配列され、列方向に長いｍ本のデータ電極Ａ１・・・Ａｍ（図１の１２）が配列されている。そして、１対の走査電極Ｙ１および維持電極Ｘ１と１つのデータ電極Ａ１とが交差した部分に放電セル１５が形成され、放電セル１５は放電空間内にｍ×ｎ個形成されている。また、前記走査電極Ｙ１および維持電極Ｘ１は、図３に示すように、走査電極Ｙ１−維持電極Ｘ１−維持電極Ｘ２−走査電極Ｙ２・・・・の配列で繰り返すパターンで、前面板１に形成されている。そしてこれらの電極のそれぞれは、前面板１、背面板２の画像表示領域外の周辺端部に設けられた接続端子それぞれに接続されている。

２、ＰＤＰ装置の構成
次に、上述したＰＤＰを用いたプラズマディスプレイ装置（以下、ＰＤＰ装置と示す）の全体構成について説明する。

図４はプラズマディスプレイ装置の全体構成を示すブロック図である。このＰＤＰ装置は、図１〜図３に示す構成のＰＤＰ２１、画像信号処理回路２２、データ電極駆動回路２３、走査電極駆動回路２４、維持電極駆動回路２５、タイミング発生回路２６および電源回路（図示せず）を備えている。また、データ電極駆動回路２３は、ＰＤＰ２１のデータ電極１２の一端に接続され、かつデータ電極１２に電圧を供給するための半導体素子からなる複数のデータドライバを有している。データ電極１２は、数本ずつのデータ電極１２で１ブロックとして複数のブロックに分割し、そのブロック単位で複数のデータドライバをＰＤＰ２１の下端部の電極引出部に接続して配置している。

図４において、画像信号処理回路２２は、画像信号ｓｉｇをサブフィールド毎の画像データに変換する。データ電極駆動回路２３はサブフィールド毎の画像データを各データ電極Ａ１〜Ａｍに対応する信号に変換し、各データ電極Ａ１〜Ａｍを駆動する。タイミング発生回路２６は水平同期信号Ｈおよび垂直同期信号Ｖをもとにして各種のタイミング信号を発生し、各駆動回路ブロックに供給している。走査電極駆動回路２４はタイミング信号にもとづいて走査電極Ｙ１〜Ｙｎに駆動電圧波形を供給し、維持電極駆動回路２５はタイミング信号にもとづいて維持電極Ｘ１〜Ｘｎに駆動電圧波形を供給する。なお、維持電極側は、ＰＤＰ２１内、またはＰＤＰ２１外において共通に接続された後、その共通接続配線が維持電極駆動回路２５に接続されている。

３、ＰＤＰの駆動について
次に、ＰＤＰ２１を駆動するための駆動電圧波形とその動作について図５を用いて説明する。図５はＰＤＰ２１の各電極に印加する駆動電圧波形を示す図である。

本実施の形態によるＰＤＰ２１においては、１フィールドを複数のサブフィールドに分割し、それぞれのサブフィールドは初期化期間、書込み期間、維持期間を有している。

３−１、初期化期間
第１サブフィールドの初期化期間では、データ電極Ａ１〜Ａｍおよび維持電極Ｘ１〜Ｘｎを０（Ｖ）に保持し、走査電極Ｙ１〜Ｙｎに対して放電開始電圧以下となる電圧Ｖｉ１（Ｖ）から放電開始電圧を超える電圧Ｖｉ２（Ｖ）に向かって緩やかに上昇するランプ電圧を印加する。すると、すべての放電セルにおいて１回目の微弱な初期化放電を起こし、走査電極Ｙ１〜Ｙｎ上に負の壁電圧が蓄えられるとともに維持電極Ｘ１〜Ｘｎ上およびデータ電極Ａ１〜Ａｍ上に正の壁電圧が蓄えられる。ここで、電極上の壁電圧とは電極を覆う誘電体層や蛍光体層上等に蓄積した壁電荷により生じる電圧を指す。

その後、維持電極Ｘ１〜Ｘｎを正の電圧Ｖｈ（Ｖ）に保ち、走査電極Ｙ１〜Ｙｎに電圧Ｖｉ３（Ｖ）から電圧Ｖｉ４（Ｖ）に向かって緩やかに下降するランプ電圧を印加する。すると、すべての放電セルにおいて２回目の微弱な初期化放電を起こし、走査電極Ｙ１〜Ｙｎ上と維持電極Ｘ１〜Ｘｎ上との間の壁電圧が弱められ、データ電極Ａ１〜Ａｍ上の壁電圧も書込み動作に適した値に調整される。

３−２、書込み期間
続く書込み期間では、走査電極Ｙ１〜Ｙｎを一旦Ｖｒ（Ｖ）に保持する。次に、１行目の走査電極Ｙ１に負の走査パルス電圧Ｖａ（Ｖ）を印加するとともに、データ電極Ａ１〜Ａｍのうち１行目に表示すべき放電セルのデータ電極Ａｋ（ｋ＝１〜ｍ）に正の書込みパルス電圧Ｖｄ（Ｖ）を印加する。このときデータ電極Ａｋと走査電極Ｙ１との交差部の電圧は、外部印加電圧（Ｖｄ−Ｖａ）（Ｖ）にデータ電極Ａｋ上の壁電圧と走査電極Ｙ１上の壁電圧とが加算されたものとなり、放電開始電圧を超える。そして、データ電極Ａｋと走査電極Ｙ１との間および維持電極Ｘ１と走査電極Ｙ１との間に書込み放電が起こり、この放電セルの走査電極Ｙ１上に正の壁電圧が蓄積され、維持電極Ｘ１上に負の壁電圧が蓄積され、データ電極Ａｋ上にも負の壁電圧が蓄積される。

このようにして、１行目に表示すべき放電セルで書込み放電を起こして各電極上に壁電圧を蓄積する書込み動作が行われる。一方、書込みパルス電圧Ｖｄ（Ｖ）を印加しなかったデータ電極Ａ１〜Ａｍと走査電極Ｙ１との交差部の電圧は放電開始電圧を超えないので、書込み放電は発生しない。以上の書込み動作をｎ行目の放電セルに至るまで順次行い、書込み期間が終了する。

３−３、維持期間
続く維持期間では、走査電極Ｙ１〜Ｙｎには第１の電圧として正の維持パルス電圧Ｖｓ（Ｖ）を、維持電極Ｘ１〜Ｘｎには第２の電圧として接地電位、すなわち０（Ｖ）をそれぞれ印加する。このとき書込み放電を起こした放電セルにおいては、走査電極Ｙｉ（ｉ＝１〜ｎ）上と維持電極Ｘｉ（ｉ＝１〜ｎ）上との間の電圧は維持パルス電圧Ｖｓ（Ｖ）に走査電極Ｙｉ上の壁電圧と維持電極Ｘｉ上の壁電圧とが加算されたものとなり、放電開始電圧を超える。そして、走査電極Ｙｉと維持電極Ｘｉとの間に維持放電が起こり、このとき発生した紫外線により蛍光体層が発光する。そして走査電極Ｙｉ上に負の壁電圧が蓄積され、維持電極Ｘｉ上に正の壁電圧が蓄積される。このときデータ電極Ａｋ上にも正の壁電圧が蓄積される。

書込み期間において書込み放電が起きなかった放電セルでは、維持放電は発生せず、初期化期間の終了時における壁電圧が保持される。続いて、走査電極Ｙ１〜Ｙｎには第２の電圧である０（Ｖ）を、維持電極Ｘ１〜Ｘｎには第１の電圧である維持パルス電圧Ｖｓ（Ｖ）をそれぞれ印加する。すると、維持放電を起こした放電セルでは、維持電極Ｘｉ上と走査電極Ｙｉ上との間の電圧が放電開始電圧を超えるので、再び維持電極Ｘｉと走査電極Ｙｉとの間に維持放電が起こり、維持電極Ｘｉ上に負の壁電圧が蓄積され走査電極Ｙｉ上に正の壁電圧が蓄積される。

３−４、第２サブフィールド以降
以降同様に、走査電極Ｙ１〜Ｙｎと維持電極Ｘ１〜Ｘｎとに交互に輝度重みに応じた数の維持パルスを印加することにより、書込み期間において書込み放電を起こした放電セルで維持放電が継続して行われる。こうして維持期間における維持動作が終了する。続くサブフィールドにおける初期化期間、書込み期間、維持期間の動作も第１サブフィールドにおける動作とほぼ同様のため、説明を省略する。

４、ＰＤＰの製造方法について
４−１、前面板の製造方法
フォトリソグラフィ法によって、前面基板４上に、走査電極５および維持電極６が形成される。走査電極５および維持電極６の材料には、銀（Ａｇ）と銀を結着させるためのガラスフリットと感光性樹脂と溶剤などを含む電極ペーストが用いられる。まず、スクリーン印刷法などによって、電極ペーストが、前面基板４に塗布される。次に、乾燥炉によって、電極ペースト中の溶剤が除去される。次に、所定のパターンのフォトマスクを介して、電極ペーストが露光される。

次に、電極ペーストが現像され、表示電極パターンが形成される。最後に、焼成炉によって、表示電極パターンが所定の温度で焼成される。つまり、表示電極パターン中の感光性樹脂が除去される。また、電極パターン中のガラスフリットが溶融する。その後、室温まで冷却することにより、溶融していたガラスフリットが、ガラス化する。以上の工程によって、走査電極５および維持電極６が形成される。

ここで、電極ペーストをスクリーン印刷する方法以外にも、スパッタ法、蒸着法などを用いることができる。

次に、誘電体層８が形成される。誘電体層８の材料には、誘電体ガラスフリットと樹脂と溶剤などを含む誘電体ペーストが用いられる。まずダイコート法などによって、誘電体ペーストが所定の厚みで走査電極５、維持電極６を覆うように前面基板４上に塗布される。次に、乾燥炉によって、誘電体ペースト中の溶剤が除去される。最後に、焼成炉によって、誘電体ペーストが所定の温度で焼成される。つまり、誘電体ペースト中の樹脂が除去される。また、誘電体ガラスフリットが溶融する。その後、室温まで冷却することにより、溶融していた誘電体ガラスフリットが、ガラス化する。以上の工程によって、誘電体層８が形成される。ここで、誘電体ペーストをダイコートする方法以外にも、スクリーン印刷法、スピンコート法などを用いることができる。また、誘電体ペーストを用いずに、ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法などによって、誘電体層８となる膜を形成することもできる。

次に、誘電体層８上に保護膜９が形成される。

以上の工程により前面基板４上に走査電極５、維持電極６、誘電体層８および保護膜９を有する前面板１が完成する。

４−２、背面板２の製造方法
フォトリソグラフィ法によって、背面基板１０上に、データ電極１２が形成される。データ電極１２の材料には、導電性を確保するための銀（Ａｇ）と銀を結着させるためのガラスフリットと感光性樹脂と溶剤などを含むデータ電極ペーストが用いられる。まず、スクリーン印刷法などによって、データ電極ペーストが所定の厚みで背面基板１０上に塗布される。次に、乾燥炉によって、データ電極ペースト中の溶剤が除去される。次に、所定のパターンのフォトマスクを介して、データ電極ペーストが露光される。次に、データ電極ペーストが現像され、データ電極パターンが形成される。最後に、焼成炉によって、データ電極パターンが所定の温度で焼成される。つまり、データ電極パターン中の感光性樹脂が除去される。また、データ電極パターン中のガラスフリットが溶融する。その後、室温まで冷却することにより、溶融していたガラスフリットが、ガラス化する。以上の工程によって、データ電極１２が形成される。ここで、データ電極ペーストをスクリーン印刷する方法以外にも、スパッタ法、蒸着法などを用いることができる。

次に、絶縁体層１１が形成される。絶縁体層１１の材料には、絶縁体ガラスフリットと樹脂と溶剤などを含む絶縁体ペーストが用いられる。まず、スクリーン印刷法などによって、絶縁体ペーストが所定の厚みでデータ電極１２が形成された背面基板１０上にデータ電極１２を覆うように塗布される。次に、乾燥炉によって、絶縁体ペースト中の溶剤が除去される。最後に、焼成炉によって、絶縁体ペーストが所定の温度で焼成される。つまり、絶縁体ペースト中の樹脂が除去される。また、絶縁体ガラスフリットが溶融する。その後、室温まで冷却することにより、溶融していた絶縁体ガラスフリットが、ガラス化する。以上の工程によって、絶縁体層１１が形成される。ここで、絶縁体ペーストをスクリーン印刷する方法以外にも、ダイコート法、スピンコート法などを用いることができる。また、絶縁体ペーストを用いずに、ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法などによって、絶縁体層１１となる膜を形成することもできる。

次に、フォトリソグラフィ法によって、隔壁１３が形成される。隔壁１３の材料には、フィラーと、フィラーを結着させるためのガラスフリットと、感光性樹脂と、溶剤などを含む隔壁ペーストが用いられる。まず、ダイコート法などによって、隔壁ペーストが所定の厚みで絶縁体層１１上に塗布される。次に、乾燥炉によって、隔壁ペースト中の溶剤が除去される。次に、所定のパターンのフォトマスクを介して、隔壁ペーストが露光される。次に、隔壁ペーストが現像され、隔壁パターンが形成される。最後に、焼成炉によって、隔壁パターンが所定の温度で焼成される。つまり、隔壁パターン中の感光性樹脂が除去される。また、隔壁パターン中のガラスフリットが溶融する。その後、室温まで冷却することにより、溶融していたガラスフリットが、ガラス化する。以上の工程によって、隔壁１３が形成される。ここで、フォトリソグラフィ法以外にも、サンドブラスト法などを用いることができる。

次に、蛍光体層１４が形成される。蛍光体層１４の材料には、蛍光体粒子とバインダと溶剤などとを含む蛍光体ペーストが用いられる。まず、ディスペンス法などによって、蛍光体ペーストが所定の厚みで隣接する複数の隔壁１３間の絶縁体層１１上および隔壁１３の側面に塗布される。次に、乾燥炉によって、蛍光体ペースト中の溶剤が除去される。最後に、焼成炉によって、蛍光体ペーストが所定の温度で焼成される。つまり、蛍光体ペースト中の樹脂が除去される。以上の工程によって、蛍光体層１４が形成される。ここで、ディスペンス法以外にも、スクリーン印刷法などを用いることができる。

以上の工程により、背面基板１０上に、データ電極１２、絶縁体層１１、隔壁１３および蛍光体層１４を有する背面板２が完成する。

４−３、前面板１と背面板２との組立方法
まず、ディスペンス法などによって、背面板２の周囲に封着ペーストが塗布される。封着ペーストは、ビーズと低融点ガラス材料とバインダと溶剤などを含んでいてもよい。塗布された封着ペーストは、封着ペースト層（図示せず）を形成する。次に乾燥炉によって、封着ペースト層中の溶剤が除去される。その後、封着ペースト層は、約３５０℃の温度で仮焼成される。仮焼成によって、封着ペースト層中の樹脂成分などが除去される。次に、表示電極７とデータ電極１２とが直交するように、前面板１と背面板２とが対向配置される。

さらに、前面板１と背面板２の周縁部が、クリップなどにより押圧した状態で保持される。この状態で、所定の温度で焼成することにより、低融点ガラス材料が溶融する。その後、室温まで冷却することにより、溶融していた低融点ガラス材料がガラス化する。これにより、前面板１と背面板２とが気密封着される。最後に、放電空間にＮｅ、Ｘｅなどを含む放電ガスが封入されることによりＰＤＰ２１が完成する。

５、表示電極の詳細
上述したように、本発明のプラズマディスプレイパネルにおいては、前面板１の表示電極７を構成する走査電極５および維持電極６は、それぞれＩＴＯなどの透明電極を用いず、Ａｇなどの導電性材料からなる導電性電極のみにより構成している。図６に、表示電極７を構成する走査電極５および維持電極６と、データ電極１２と、隔壁１３との配置図を示している。

図６に示すように、表示電極７を構成する走査電極５および維持電極６は、それぞれ梯子型形状をしており、放電ギャップＭＧを介して対向する第１部分５１、６１と、この第１部分５１、６１から間隔をあけて平行に配置された第２部分５２、６２と、前記第１部分５１、６１と第２部分５２、６２とを接続しかつ前記放電セル１５毎に設けた第３部分５３、６３とを備えている。また、走査電極５および維持電極６間の放電ギャップＭＧは９０μｍ〜１００μｍであり、また走査電極５および維持電極６それぞれの第１部分５１、６１と第２部分５２、６２との間のギャップＬＧは、隣接する放電セル１５間の非放電ギャップＩＰＧより小さくなるように形成されている。

一般にプラズマディスプレイパネルにおいては、隔壁１３を構成する材料として比較的明度の高いガラス材料が使用されるため、隣接する放電セル１５の非放電ギャップＩＰＧ部分に遮光部材を配置することにより、十分なコントラスト比を確保する構造が採用されるが、本発明のように、表示面側から見たとき明度が低くなるように形成した表示電極７を構成する走査電極５および維持電極６は、放電ギャップＭＧを介して対向する第１部分５１、６１と、この第１部分５１、６１から間隔をあけて平行に配置された第２部分５２、６２と、前記第１部分５１、６１と第２部分５２、６２とを接続しかつ放電セル１５毎に設けた第３部分５３、６３とを備えることにより、隣接する放電セル１５の非放電ギャップＩＰＧ部分に遮光部材を配置しなくても、遮光部材を配置した場合と同様に、十分なコントラスト比を確保した表示性能を備えたパネルを得ることが可能となる。

６、走査電極および維持電極における電極の構造の詳細
次に、図７（ｂ）を用いて走査電極および維持電極における構造および電極の製造方法について詳細に説明する。

６−１、製造方法
第１電極について説明する。第１電極用の電極ペーストが、前面基板４に塗布される。そして、乾燥炉によって、電極ペースト中の溶剤が除去される。次に、所定のパターンのフォトマスクを介して、電極ペーストが露光される。この露光の際、本発明では、第２電極の第３部分が第１電極の第１部分の端部から放電ギャップＭＧの形成される方向に突出する形状に露光される。そのために、フォトマスクは、第２電極の第３部分が第１電極の第１部分の端部から放電ギャップＭＧの形成される方向に突出する形状となっている。

本実施の形態では、第１電極の第１部分の端部から放電ギャップＭＧの形成される方向に突出する長さを突出距離（μｍ）とし、４μｍである。なお、第１電極の第１部分の幅をＬ１（μｍ）、第１電極の第２部分の幅をＬ２（μｍ）、第３部分の幅をＬ３（μｍ）、第１部分と第２部分の間の距離をＳＰ（μｍ）とした場合、Ｌ１＝５５．０、Ｌ２＝６８．０、Ｌ３＝４５．０、ＳＰ＝８０．０としている。

第２電極についても同様の構成となるような形状を用いている。本実施の形態において、放電ギャップの距離（μｍ）は、ＭＧ＝８８．２である。

また、本実施の形態では突出する形状は長方形であるが、丸みを帯びていてもよい。

例えば、突出形状が円状である場合は、Ｌ３を直径とし、突出距離が所望の値となるような形状を有するフォトマスクを利用して露光される。

なお、本実施の形態では露光の回数は１回であり、第１部分、第２部分、および第３部分が同時に露光される。

また、フォトマスクは、第３部分が第１部分の端部から放電ギャップの方向へ０μｍより大きく８．０μｍ未満の範囲で突出している形状であればよい。８．０μｍ以上突出していると、放電ギャップ間の距離がより短くなり、走査−維持電極間で誤放電が発生する恐れがある。一方、０μｍ未満である場合、維持電圧のマージンの確保が十分でなくなる恐れがある。

６−２、電極の形状
第１電極および第２電極が露光された後、電極ペーストが現像され、表示電極パターンが形成される。そして、焼成炉によって、表示電極パターンが所定の温度で焼成される。その際、電極を構成する第１部分、第２部分および第３部分は収縮するが、特に第３部分が大きく収縮する。本実施の形態では、突出形状が４μｍのフォトマスクで露光されており、焼成後の走査電極と維持電極の第３部分の突出部間の距離をＭＧｓ（μｍ）とすると、ＭＧｓ＝８４．２である。ＭＧよりもＭＧｓの方が大きい値をとるということは、第３部分の突出部は第１部分の端部から放電ギャップの方向へ突出していることを示す。

したがって、電極の突出距離は、（８８．２−８４．２）／２で求められ、第３部分の突出部は第１部分の端部から放電ギャップの方向へ２μｍ突出した形状となる。

なお、焼成後の第３部分は第１部分の端部から放電ギャップの方向へ０μｍ以上４．７μｍ未満の範囲で突出している形状であればよい。

４．７μｍ以上突出していると、放電ギャップ間の距離がより短くなり、走査−維持電極間で誤放電が発生する恐れがある。

一方、０μｍ未満である場合、維持電圧の電圧マージンの確保が十分でなくなる恐れがある。

６−３、実施の形態の結果
次に、図８を用いて実施の形態の効果を説明する。図８は、本実施の形態のＰＤＰ２１と比較例であるＰＤＰとを比較した図である。

比較例１は、Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３、ＭＧおよびＳＰは本実施の形態と同じ値である。本実施の形態と異なる点は、突出距離（μｍ）が０である点である。

また、比較例２も比較例１同様に、Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３およびＳＰは本実施の形態と同じ値である。本実施の形態と異なる点は、突出距離（μｍ）が８、ＭＧ（μｍ）が８８．９である点である。

露光後焼成されて形成された電極の第３部分の形状は、比較例１では、図７（ａ）に示すように第１部分の端部から放電ギャップと反対方向に凹部を有している。それは、電極が焼成される際に、第３部分が収縮するためである。その結果、図８に示すようにＭＧｓ（μｍ）は９１．６となり、ＭＧ（μｍ）よりもＭＧｓ（μｍ）のほうが大きい値となる。つまり、電極の第３部分の凹部は（９１．６−８８．２）／２＝１．７μｍとなり、第１部分の端部から放電ギャップとは反対の方向に１．７μｍ分凹部を有している。

一方、比較例２では、露光後焼成されて形成された電極の第３部分の形状は、図７（ｂ）に示すように凸部を有している。それは、フォトマスクを介して露光される際、第３部分が第１部分の端部から放電ギャップの方向に８μｍ分の凸部を有しているため、電極が焼成される際に第３部分が収縮しても形成された電極は第３部分が第１部分の端部から放電ギャップの方向に凸部を有している。つまり、比較例２では、（８８．９−７９．５）／２＝４．７μｍであることから電極の第３部分は、第１部分の端部から放電ギャップ側に４．７μｍ突出した形状となる。

本実施の形態および比較例１、２についてそれぞれ維持電圧印加可能上限値（Ｖ）、維持電圧印加可能下限（Ｖ）、輝度、および発光効率を測定した結果を図８に示している。

維持電圧印加可能上限値（Ｖ）は、図８にＶｓｕｓ上限（Ｖ）と記載され、ＰＤＰを全面点灯した際に、放電セルが誤放電されない程度に維持電圧が印加される最大の値を示す。この最大の値を超えるとＰＤＰの放電セルにて放電させたくない放電セルにおいて誤放電が発生してしまう。つまり、維持電圧印加可能上限値は、維持もしくはより大きい方が誤放電を防ぐことができる。

一方、維持電圧印加可能下限（Ｖ）は、図８にＶｓｕｓ下限（Ｖ）と記載され、画像が全面点灯するために必要な最低の維持電圧である。この最低の電圧より低いと画像が点灯されず不灯現象が起こりうる。したがって、維持電圧印加可能上限値と維持電圧印加可能下限値との幅がより大きい維持電圧の印加マージンが確保される。

また、輝度は、ＫＯＮＩＣＡＭＩＮＯＬＴＡ製の輝度計ＣＡ１００を用い、例えば６５ＨＤのＰＤＰの場合、縦８ｍｍ×横１４．３ｍｍの領域における輝度を測定する。

本実施の形態では、Ｖｓｕｓ上限＝２２４．３Ｖであり、Ｖｓｕｓ下限＝１６８．２となり、維持電圧のマージンは２２４．３−１６８．２＝５６．１Ｖである。一方、比較例１は、Ｖｓｕｓ上限＝２２４．０Ｖであり、Ｖｓｕｓ下限＝１６９．５Ｖであり、維持電圧のマージンは２２４．０−１６９．５＝５４．５Ｖである。また、比較例２は、Ｖｓｕｓ上限＝２１４．３Ｖであり、Ｖｓｕｓ下限＝１６６．９であり、維持電圧のマージンは２１４．３−１６６．９＝４７．４Ｖである。

本実施の形態は、比較例１と比較してＶｓｕｓ下限がより小さく、維持電圧のマージンもより大きい。また、比較例２と比較してＶｓｕｓ下限は大きいが、比較例２はＶｓｕｓ上限も大きく下がっており、維持電圧のマージンはより小さい。

また、輝度、および発光効率についても比較例２は本実施の形態より小さい。

したがって、第３部分が第１部分の端部から放電ギャップの形成される方向に０μｍ以上４．７μｍ未満の範囲で突出する形状であることが好ましい。

より好ましい範囲は２．０μｍ以上４．７μｍ未満の範囲である。

そして、ＰＤＰを製造する際に、第３部分が第１部分の端部から放電ギャップの形成される方向に０μｍ以上８．０μｍ未満の範囲で突出する形状に露光されることが好ましい。

より好ましい範囲は４μｍ以上８．０μｍ未満の範囲である。

さらに、本構造と同時にＭＧを調整することにより維持電圧のマージンを確保した上で輝度および発光効率が改善される。

例えば、ＭＧが１μｍ大きいとＶｓｕｓ＿ｐｄは、０．３１Ｖ上昇し、Ｖｓｕｓ上限は１．１９Ｖ上昇、輝度は０．５４％、発光効率は０．３３％マージンを改善する。

実施例１の場合、比較例１に比べＶｓｕｓ＿ｐｄが１．３Ｖ低下するので、ＭＧを約４μｍ大きくしても、比較例１と同等のＶｓｕｓ＿ｐｄからのマージンを確保しつつ、輝度および発光効率改善の効果を得ることが可能となる。

７、実施の形態のまとめ
上記実施形態において特徴的な部分を以下に列記する。なお、上記実施形態に含まれる発明は、以下に限定されるものではない。

以上のように本発明は、表示品質のより高いプラズマディスプレイパネルを提供する上で有用な発明である。

１ 前面板
２ 背面板
３ 放電空間
４ 前面基板
５ 走査電極
６ 維持電極
７ 表示電極
８ 誘電体層
９ 保護膜
１０ 背面基板
１１ 絶縁体層
１２ データ電極
１３ 隔壁
１４Ｒ、１４Ｇ、１４Ｂ 蛍光体層
１５ 放電セル
５１、６１ 第１部分
５２、６２ 第２部分
５３、６３ 第３部分

Claims (2)

1. 基板に導電性の第１電極および第２電極を間に放電ギャップを設けて配置して表示電極を構成するとともにその表示電極を行方向に複数本配列して設け、前記第１電極および前記第２電極は、前記放電ギャップを介して対向する第１部分と、前記第１部分から間隔をあけて平行に配置された第２部分と、前記第１部分と前記第２部分とを接続しかつセル毎に設けた第３部分とが形成されるプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記第１電極および前記第２電極が形成される電極ペーストが背面基板上に塗布される塗布ステップと、前記第１電極および前記第２電極が形成されるようにマスクを介して露光される露光ステップと、を有し、
   前記露光ステップは、前記第３部分が前記第１部分の端部から前記放電ギャップの形成される方向に０μｍ以上８．０μｍ未満の範囲で突出する形状に露光されることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
2. 基板に導電性の第１電極および第２電極を間に放電ギャップを設けて配置して表示電極を構成するとともにその表示電極を行方向に複数本配列して設けた前面板と、前記前面板に間に放電空間を設けて対向配置されかつ前記表示電極と交差する列方向に複数本のデータ電極を形成して交差部分に放電セルを設けた背面板と、前記背面板に設けられかつ前記放電空間を前記セル毎に区画する隔壁とを有し、前記第１電極および前記第２電極は、放電ギャップを介して対向する第１部分と、前記第１部分から間隔をあけて平行に配置された第２部分と、前記第１部分と前記第２部分とを接続しかつセル毎に設けた第３部分とを備えるプラズマディスプレイパネルであって、前記第３部分が前記第１部分の端部から放電ギャップの形成される方向に０μｍ以上４．７μｍ未満の範囲で突出する形状であることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。