JP2013147723A - 超電導線材の製造装置及び製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】実施形態に係る超電導線材の製造装置1は、直列に接続された第1乃至第3チャンバ11,12,13と、第1乃至第3チャンバ11,12,13を排気する排気装置と、基板が第1乃至第3チャンバをこの順に通過するように基板を搬送する搬送装置14と、基板上に第1チャンバ11内で金属層を形成する第1成膜装置と、第2チャンバ12に酸化性ガスを供給して金属層の表面を酸化させる第1ガス供給装置と、表面を酸化させた金属層上に第3チャンバ内で酸化物層を形成する第2成膜装置とを具備する。
【選択図】図1
Description
タンク15は、酸化性ガスを収容している。酸化性ガスは、例えば、酸素、オゾン、二酸化窒素又はそれらの混合物である。酸化性ガスは、不活性ガスを更に含んでいてもよい。不活性ガスとしては、例えば、アルゴン、ヘリウム、ネオン、クリプトン、キセノン、ラドン又はそれらの混合物を使用することができる。
タンク16は、不活性ガスを収容している。不活性ガスとしては、例えば、アルゴン、ヘリウム、ネオン、クリプトン、キセノン、ラドン又はそれらの混合物を使用することができる。
第6流路は、排出ライン17と、これに取り付けられたバルブ41とを含んでいる。
コントローラ20は、例えば、センサ51乃至53の出力を利用したフィードバック制御を行う。
コントローラ20は、センサ51の出力に基づいて、MFC32によって調整される流量の目標値を制御する。一例によれば、コントローラ20は、センサ51の出力から得られる実測圧力と設定圧力との差の絶対値が最小になるように、MFC32によって調整される前記目標値を変化させる。更に、コントローラ20は、センサ52の出力に基づいて、MFC34及び36によって調整される流量の目標値を制御する。一例によれば、コントローラ20は、センサ52の出力から得られる実測圧力と設定圧力との差の絶対値が最小になるように、MFC34によって調整される前記目標値及びMFC36によって調整される前記目標値を変化させる。更に、コントローラ20は、センサ53の出力に基づいて、MFC37及び39によって調整される流量の目標値を制御する。一例によれば、コントローラ20は、センサ53の出力から得られる実測圧力と設定圧力との差の絶対値が最小になるように、MFC38によって調整される前記目標値及びMFC40によって調整される前記目標値を変化させる。
なお、圧力センサの代わりに流量計を使用する場合は、流量計の出力から得られる実測流量と設定流量との差の絶対値が最小になるように、MFC32、34及び38の各々によって調整される流量の目標値を制御する。また、例えば、オペレータが手動で流量を制御する場合、コントローラ20は省略することができる。
なお、超電導層25を真空中で成膜する場合、第3チャンバ13と巻き取り室18bとの間に更なるチャンバを設け、この更なるチャンバにおいて超電導層25を成膜してもよい。
一方の主面が(200)面によって構成されている銅からなる基板21を準備した。
下記条件下、基板11の上に、膜厚1000nmのニッケルの層22を、スパッタ法によって形成した。
基板温度:300℃
2.第2チャンバ12での処理
下記条件下、第1チャンバ11で形成されたニッケルの薄膜の表面を酸化し、膜厚4.5nmのニッケル酸化物層23を形成した。
基板温度:300℃
酸素暴露時間:15分
3.第3チャンバ13での処理
下記条件下、第2チャンバ12で形成されたニッケル酸化物層23の上に、スパッタ法によって、膜厚75nmのCeO2からなる中間層24を形成した。
酸素分圧:7.5×10−3Pa
基板温度:300℃
(実施例2乃至4)
実施例2乃至4では、第2チャンバ12内での、酸化暴露時間を、それぞれ、15分、30分、60分としたこと以外は、実施例1と同様にして基板1を処理した。
第2チャンバ12内での、酸化暴露時間を0分としたこと以外は、実施例1と同様にして基板1を処理した。
実施例1乃至4及び比較例1で得られた各試料について、X線回折装置(D8−DISCOVER、Bruker AXS社製)を使用してX線回折スペクトルを得た。
結果を図3に示す。図3は、酸素暴露時間とCeO2を構成する格子面の各々のピーク強度比の関係を示すグラフである。
Claims (8)
- 直列に接続された第1乃至第3チャンバと、
前記第1乃至第3チャンバを排気する排気装置と、
基板が前記第1乃至第3チャンバをこの順に通過するように前記基板を搬送する搬送装置と、
前記基板上に前記第1チャンバ内で金属層を形成する第1成膜装置と、
前記第2チャンバに酸化性ガスを供給して前記金属層の表面を酸化させる第1ガス供給装置と、
表面を酸化させた前記金属層上に前記第3チャンバ内で酸化物層を形成する第2成膜装置と
を具備した超電導線材の製造装置。 - 前記第1乃至第3チャンバに不活性ガスを供給する第2ガス供給装置を更に具備し、前記排気装置は前記第3チャンバに接続され、前記第1及び第2ガス供給装置は、前記第1チャンバから前記第3チャンバへ向けてガスの流れが生じるように前記酸化性ガス及び前記不活性ガスをそれぞれ供給する請求項1に記載の製造装置。
- 前記第1チャンバから前記第3チャンバへ向けてガスの流れが生じるように前記第1及び第2ガス供給装置の動作を制御する制御装置を更に具備した請求項2に記載の製造装置。
- 前記基板は長尺物であり、前記搬送装置は、前記第1乃至第3チャンバの各々において前記長尺物をその長さ方向に搬送する請求項2又は3に記載の製造装置。
- 前記第1及び第2成膜装置は気相堆積装置である請求項1乃至4のいずれか1項に記載の製造装置。
- 前記第3チャンバに直列に接続された1以上の第4チャンバと、
前記酸化物層上に、前記1以上の第4チャンバ内で1以上の更なる酸化物層をそれぞれ形成する1以上の第3成膜装置と
を更に具備した請求項1に記載の製造装置。 - 真空中で基板上に金属層を形成する工程と、
真空を維持したまま前記金属層に酸化性ガスを供給して、その表面を酸化させることにより、金属酸化物層を形成する工程と、
真空を維持したまま前記金属酸化物層上に1以上の酸化物を堆積させて、1以上の酸化物層を形成する工程と、
前記1以上の酸化物層上に超電導層を形成する工程とを含んだ超電導線材の製造方法。 - 前記酸化物層を形成する工程は、複数の酸化物層を形成することを含んでいる請求項7に記載の超電導線材の製造方法。
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01107419A (ja) * | 1987-10-21 | 1989-04-25 | Hitachi Ltd | 超伝導体 |
JPH05139705A (ja) * | 1991-11-20 | 1993-06-08 | Hitachi Ltd | 超電導膜の形成方法 |
JPH06192827A (ja) * | 1992-12-28 | 1994-07-12 | Canon Inc | 堆積膜及びその形成方法 |
JPH11243234A (ja) * | 1998-02-25 | 1999-09-07 | Murata Mfg Co Ltd | 超伝導素子、及びその製造方法 |
JP2010225458A (ja) * | 2009-03-24 | 2010-10-07 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 薄膜超電導線材及びその製造方法 |
JP2011146234A (ja) * | 2010-01-14 | 2011-07-28 | Fujikura Ltd | 酸化物超電導膜の製造方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5776254A (en) * | 1994-12-28 | 1998-07-07 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Apparatus for forming thin film by chemical vapor deposition |
JP4497660B2 (ja) * | 2000-06-01 | 2010-07-07 | キヤノン株式会社 | 光起電力素子の製造方法 |
US6878207B2 (en) * | 2003-02-19 | 2005-04-12 | Energy Conversion Devices, Inc. | Gas gate for isolating regions of differing gaseous pressure |
US20060033678A1 (en) * | 2004-01-26 | 2006-02-16 | Applied Materials, Inc. | Integrated electroless deposition system |
-
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01107419A (ja) * | 1987-10-21 | 1989-04-25 | Hitachi Ltd | 超伝導体 |
JPH05139705A (ja) * | 1991-11-20 | 1993-06-08 | Hitachi Ltd | 超電導膜の形成方法 |
JPH06192827A (ja) * | 1992-12-28 | 1994-07-12 | Canon Inc | 堆積膜及びその形成方法 |
JPH11243234A (ja) * | 1998-02-25 | 1999-09-07 | Murata Mfg Co Ltd | 超伝導素子、及びその製造方法 |
JP2010225458A (ja) * | 2009-03-24 | 2010-10-07 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 薄膜超電導線材及びその製造方法 |
JP2011146234A (ja) * | 2010-01-14 | 2011-07-28 | Fujikura Ltd | 酸化物超電導膜の製造方法 |
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